JPH04331090A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
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- JPH04331090A JPH04331090A JP12209891A JP12209891A JPH04331090A JP H04331090 A JPH04331090 A JP H04331090A JP 12209891 A JP12209891 A JP 12209891A JP 12209891 A JP12209891 A JP 12209891A JP H04331090 A JPH04331090 A JP H04331090A
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- arm
- connecting shaft
- driving force
- inner arm
- transmitting means
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体デバイスを製造するため
の各工程においては、物品としての半導体ウエハをクリ
ーンルーム側から所定の処理を行なうプロセス装置側へ
、引き渡すために、或いは、処理済みの半導体ウエハを
プロセス装置側からクリーンルーム側へ引き渡すために
、例えばフロッグレグ型の搬送装置やベルト型の搬送装
置が使用されている。このフロッグレグ型の搬送装置は
、例えば、特開昭６０−１８３７３６号公報或いは実開
昭６０−６１１９１号公報にも示されるごとく、２対の
平行リンクを連結軸を介して直列に接続し、その先端に
フォークなどを設けてこれに半導体ウエハを載置する。 そして、上記平行リンクをかえるの足のように相互に外
方へ屈曲させることにより半導体ウエハを前後に搬送す
るようになっている。また、上記ベルト型の搬送装置は
、ベルト自体に半導体ウエハを載せて搬送するようにな
っている。
の各工程においては、物品としての半導体ウエハをクリ
ーンルーム側から所定の処理を行なうプロセス装置側へ
、引き渡すために、或いは、処理済みの半導体ウエハを
プロセス装置側からクリーンルーム側へ引き渡すために
、例えばフロッグレグ型の搬送装置やベルト型の搬送装
置が使用されている。このフロッグレグ型の搬送装置は
、例えば、特開昭６０−１８３７３６号公報或いは実開
昭６０−６１１９１号公報にも示されるごとく、２対の
平行リンクを連結軸を介して直列に接続し、その先端に
フォークなどを設けてこれに半導体ウエハを載置する。 そして、上記平行リンクをかえるの足のように相互に外
方へ屈曲させることにより半導体ウエハを前後に搬送す
るようになっている。また、上記ベルト型の搬送装置は
、ベルト自体に半導体ウエハを載せて搬送するようにな
っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この種の搬送装置は、
一般的には、ロードロック機構のある枚葉処理装置に使
用され、所定の処理を行なうプロセス室とゲートバルブ
等を介して隣接したロボットチャンバ室内に設け、クリ
ーン室側から半導体ウエハをこの搬送装置を用いて搬入
した後に、室内を真空状態にし、プロセス室外へ移載す
るようになっている。この場合、上記ベルト型の搬送装
置にあっては、ベルト伝達機構を用いるために、搬送装
置全体が大型化して厚くなり、ロボットチャンバやプロ
セス室側との接続部に設ける、例えばゲートバルブを非
常に大型化しなければならないという改善点を有す。ま
た、フロッグレグ型の搬送装置にあっては、上記ベルト
型の装置と比較すれば、かなり小型化されているのであ
るが、半導体ウエハを前後へ搬送するために２つ折りの
平行リンクの伸長と屈曲を行なうようにしているので、
ロボットチャンバの大きさとして少なくとも１つのリン
クを半径とした円の面積よりも広いチャンバを必要とし
、半導体ウエハの移動ストロークに対するリンクの長さ
が比較的大きなものとなり、チャンバ室自体の大型化を
余儀なくされるという改善点を有する。
一般的には、ロードロック機構のある枚葉処理装置に使
用され、所定の処理を行なうプロセス室とゲートバルブ
等を介して隣接したロボットチャンバ室内に設け、クリ
ーン室側から半導体ウエハをこの搬送装置を用いて搬入
した後に、室内を真空状態にし、プロセス室外へ移載す
るようになっている。この場合、上記ベルト型の搬送装
置にあっては、ベルト伝達機構を用いるために、搬送装
置全体が大型化して厚くなり、ロボットチャンバやプロ
セス室側との接続部に設ける、例えばゲートバルブを非
常に大型化しなければならないという改善点を有す。ま
た、フロッグレグ型の搬送装置にあっては、上記ベルト
型の装置と比較すれば、かなり小型化されているのであ
るが、半導体ウエハを前後へ搬送するために２つ折りの
平行リンクの伸長と屈曲を行なうようにしているので、
ロボットチャンバの大きさとして少なくとも１つのリン
クを半径とした円の面積よりも広いチャンバを必要とし
、半導体ウエハの移動ストロークに対するリンクの長さ
が比較的大きなものとなり、チャンバ室自体の大型化を
余儀なくされるという改善点を有する。
【０００４】また、この種の装置にあっては、平行リン
ク先端に、リンクの伸縮を円滑に行なうギアを設けなけ
ればならず、このため、リンク先端部の厚みが大きくな
ってしまい、プロセス室側との接合部に設けるゲートバ
ルブ等の大型化を余儀なくされるという改善点も有する
。本発明は、以上のような問題点に着目し、これを有効
に解決すべく創案されたものである。本発明の目的は、
短いアームでもって長い移動ストロークを実現できる搬
送装置を提供することにある。
ク先端に、リンクの伸縮を円滑に行なうギアを設けなけ
ればならず、このため、リンク先端部の厚みが大きくな
ってしまい、プロセス室側との接合部に設けるゲートバ
ルブ等の大型化を余儀なくされるという改善点も有する
。本発明は、以上のような問題点に着目し、これを有効
に解決すべく創案されたものである。本発明の目的は、
短いアームでもって長い移動ストロークを実現できる搬
送装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記問題点を
解決するために、物品を搬送するための搬送装置におい
て、一端部が回転駆動軸に固定されると共に、他端部に
第１連結軸が固定的に設けられた第１内アームと、前記
第１内アームに平行に配置され、一端部が回転可能に支
持されると共に、他端部に第２連結軸が回転可能に設け
られた第２内アームと、前記第１連結軸に固定された第
１駆動力伝達手段と、前記第１駆動力伝達手段から駆動
力を受けるべくこれと係合され、前記第２連結軸に固定
された第２駆動力伝達手段と、一端部が前記第１連結軸
に回転可能に支持されると共に、他端部に前記物品を保
持する保持部材が回転可能に設けられた第１外アームと
、前記第１外アームに平行に配置され、一端部が前記第
２駆動軸に固定されると共に、他端部に前記保持部材が
回転可能に設けられた第２外アームとを備えるようにし
たものである。
解決するために、物品を搬送するための搬送装置におい
て、一端部が回転駆動軸に固定されると共に、他端部に
第１連結軸が固定的に設けられた第１内アームと、前記
第１内アームに平行に配置され、一端部が回転可能に支
持されると共に、他端部に第２連結軸が回転可能に設け
られた第２内アームと、前記第１連結軸に固定された第
１駆動力伝達手段と、前記第１駆動力伝達手段から駆動
力を受けるべくこれと係合され、前記第２連結軸に固定
された第２駆動力伝達手段と、一端部が前記第１連結軸
に回転可能に支持されると共に、他端部に前記物品を保
持する保持部材が回転可能に設けられた第１外アームと
、前記第１外アームに平行に配置され、一端部が前記第
２駆動軸に固定されると共に、他端部に前記保持部材が
回転可能に設けられた第２外アームとを備えるようにし
たものである。
【０００６】
【作用】本発明は、以上のように構成されたので、上記
回転駆動軸を、例えば右回転することにより第１内アー
ムが右回転し、これと平行に第２内アームも右回転する
。ここで、上記第１駆動力伝達手段と第２駆動力伝達手
段は係合しているので上記第１内アームの回転力は、第
１連結軸を介して上記第２駆動力伝達手段に固定されて
いる第２連結軸に伝達されて、この第２連結軸が先と反
対の左へ回転する。すると、この軸には上記第２外アー
ムが固定されているので、このアームも上記第１外アー
ムと平行状態を維持したまま左回転することになる。 従って、物体を保持する上記保持部材は、内アームと外
アームを斜辺とする２等辺三角形の底辺に沿って移動す
るごとく前後に直線運動をすることになる。
回転駆動軸を、例えば右回転することにより第１内アー
ムが右回転し、これと平行に第２内アームも右回転する
。ここで、上記第１駆動力伝達手段と第２駆動力伝達手
段は係合しているので上記第１内アームの回転力は、第
１連結軸を介して上記第２駆動力伝達手段に固定されて
いる第２連結軸に伝達されて、この第２連結軸が先と反
対の左へ回転する。すると、この軸には上記第２外アー
ムが固定されているので、このアームも上記第１外アー
ムと平行状態を維持したまま左回転することになる。 従って、物体を保持する上記保持部材は、内アームと外
アームを斜辺とする２等辺三角形の底辺に沿って移動す
るごとく前後に直線運動をすることになる。
【０００７】
【実施例】以下に、本発明に係る搬送装置の一実施例を
添付図面に基づいて詳述する。本実施例にあっては、物
品として半導体ウエハを搬送する場合の装置を例にとっ
て説明するが、これに限定されるものではない。図１及
び図２に示すごとく、この搬送装置２は、半導体デバイ
スの各プロセスを行なうプロセス室４と隣接されたロボ
ットチャンバ６内に設けられており、クリーンルーム側
（図示せず）とプロセス室４内との間で半導体ウエハ８
の受け渡しを行なうものである。図示するごとくこの搬
送装置２は、相互に平行になされた一対のアーム、第１
内アーム１０及び第２内アーム１２と、これらアーム１
０、１２のそれぞれの端部側に設けられる第１駆動力伝
達集団１４及び第２駆動力伝達手段１６と、上記第１内
アーム１０及び第２内アーム１２にそれぞれ連結される
第１外アーム１８及び第２外アーム２０とにより主に構
成されており、装置全体は、例えばアルミニウム等の軽
量金属により形成されると共に、上記各アームは全て同
一長さに設定されている。
添付図面に基づいて詳述する。本実施例にあっては、物
品として半導体ウエハを搬送する場合の装置を例にとっ
て説明するが、これに限定されるものではない。図１及
び図２に示すごとく、この搬送装置２は、半導体デバイ
スの各プロセスを行なうプロセス室４と隣接されたロボ
ットチャンバ６内に設けられており、クリーンルーム側
（図示せず）とプロセス室４内との間で半導体ウエハ８
の受け渡しを行なうものである。図示するごとくこの搬
送装置２は、相互に平行になされた一対のアーム、第１
内アーム１０及び第２内アーム１２と、これらアーム１
０、１２のそれぞれの端部側に設けられる第１駆動力伝
達集団１４及び第２駆動力伝達手段１６と、上記第１内
アーム１０及び第２内アーム１２にそれぞれ連結される
第１外アーム１８及び第２外アーム２０とにより主に構
成されており、装置全体は、例えばアルミニウム等の軽
量金属により形成されると共に、上記各アームは全て同
一長さに設定されている。
【０００８】具体的には、上記第１内アーム１０は、両
端部を屈曲させて全体がコ字状に成形されており、その
一端部は、軸受２２を介して基台２４に回転可能に支持
された回転駆動軸２６に固定されており、この駆動軸２
６の下端に取付けた、例えばＡＣサーボモータのごとき
駆動源２８を作動させることにより、上記第１内アーム
１０を回転移動し得るように構成されている。そして、
この第１内アーム１０の他端部には、上方へ起立させて
第１連結軸３０が固定的に取付けられている。一方、上
記第２内アーム１２は、上記第１内アーム１０と同様な
コ字状に成形されており、上記第１内アーム１０と相対
向するように平行に配置されている。この第２内アーム
１２の一端部は、上記第１内アーム１０の一端部に対し
て上記半導体ウエハ８の搬送方向に僅かな距離だけずら
して、軸受３２を介して上記基台２４に回転可能に支持
された回転軸３４に固定されている。そして、第２内ア
ーム１２の他端部には、上方へ起立させて第２連結軸３
６が軸受３８を介して回転可能に取付けられている。そ
して、上記第１連結軸３０及び第２連結軸３６には、こ
れらの軸３０、３６が分離分散しないように保持する上
下一対の保持板４０、４０が、それぞれ軸受４２、４２
及び軸受４４、４４を介して挿通させて取付けられてい
る。これら上下一対の保持板４０、４０は、図示されな
い一角において相互に連結されている。
端部を屈曲させて全体がコ字状に成形されており、その
一端部は、軸受２２を介して基台２４に回転可能に支持
された回転駆動軸２６に固定されており、この駆動軸２
６の下端に取付けた、例えばＡＣサーボモータのごとき
駆動源２８を作動させることにより、上記第１内アーム
１０を回転移動し得るように構成されている。そして、
この第１内アーム１０の他端部には、上方へ起立させて
第１連結軸３０が固定的に取付けられている。一方、上
記第２内アーム１２は、上記第１内アーム１０と同様な
コ字状に成形されており、上記第１内アーム１０と相対
向するように平行に配置されている。この第２内アーム
１２の一端部は、上記第１内アーム１０の一端部に対し
て上記半導体ウエハ８の搬送方向に僅かな距離だけずら
して、軸受３２を介して上記基台２４に回転可能に支持
された回転軸３４に固定されている。そして、第２内ア
ーム１２の他端部には、上方へ起立させて第２連結軸３
６が軸受３８を介して回転可能に取付けられている。そ
して、上記第１連結軸３０及び第２連結軸３６には、こ
れらの軸３０、３６が分離分散しないように保持する上
下一対の保持板４０、４０が、それぞれ軸受４２、４２
及び軸受４４、４４を介して挿通させて取付けられてい
る。これら上下一対の保持板４０、４０は、図示されな
い一角において相互に連結されている。
【０００９】そして、上記上下の保持板４０、４０間の
上記第１連結軸３０には、例えば歯車よりなる上記第１
駆動力伝達手段１４が取付け固定されており、この連結
軸３０と一体的に回転するように構成されている。この
第１駆動力伝達手段１４は、上下に２分割された歯車１
４ａ、１４ｂよりなり、下側の歯車１４ｂをスプリング
（図示せず）により歯車回転方向に付勢しておくことに
より、後述するごとくこの歯車に歯合する歯車との間に
おいて遊びが生じないように構成されている。また、上
記上下の保持板４０、４０間の上記第２連結軸３６には
、例えば歯車よりなる前記第２駆動力伝達手段１６が上
記歯車１４ａ、１４ｂと歯合された状態で取付け固定さ
れており、上記第１駆動力伝達手段１４から伝達される
回転力を第２連結軸３６へ伝達するように構成されてい
る。
上記第１連結軸３０には、例えば歯車よりなる上記第１
駆動力伝達手段１４が取付け固定されており、この連結
軸３０と一体的に回転するように構成されている。この
第１駆動力伝達手段１４は、上下に２分割された歯車１
４ａ、１４ｂよりなり、下側の歯車１４ｂをスプリング
（図示せず）により歯車回転方向に付勢しておくことに
より、後述するごとくこの歯車に歯合する歯車との間に
おいて遊びが生じないように構成されている。また、上
記上下の保持板４０、４０間の上記第２連結軸３６には
、例えば歯車よりなる前記第２駆動力伝達手段１６が上
記歯車１４ａ、１４ｂと歯合された状態で取付け固定さ
れており、上記第１駆動力伝達手段１４から伝達される
回転力を第２連結軸３６へ伝達するように構成されてい
る。
【００１０】一方、第１連結軸３０の上端突出部には、
前記第１外アーム１８の一端部が軸受４６を介して回転
可能に取付けられると共に、その他端部には前記半導体
ウエハ８を保持するための薄板状の保持部材４８が軸４
９及び軸受５０を介して回転可能に取付けられている。 また、上記第２連結軸３６の上端突出部には、前記第２
外アーム２０の一端部が取付け固定されており、この第
２連結軸３６と一体的に回転し得るように構成されてい
る。この第２外アーム２０は、上記第１外アーム１８と
平行に配置されると共に、その他端部には、上記保持部
材４８が軸５１及び軸受５２を介して回転可能に取付け
られている。この第２外アーム２０の形状は、前記各ア
ームの形状と少し異なっており、ほぼ直線状に成形され
、途中にて前記第１連結軸３０の上端突出部との干渉を
避けるための凹部５４が形成されている。尚、第２外ア
ーム２０も他の各アームと同様なコ字状に成形してもよ
いのは勿論である。また、前記基台２４全体は、図示し
ないクリーンルーム側へ半導体ウエハを搬送するために
、１８０度回転可能に構成されている。
前記第１外アーム１８の一端部が軸受４６を介して回転
可能に取付けられると共に、その他端部には前記半導体
ウエハ８を保持するための薄板状の保持部材４８が軸４
９及び軸受５０を介して回転可能に取付けられている。 また、上記第２連結軸３６の上端突出部には、前記第２
外アーム２０の一端部が取付け固定されており、この第
２連結軸３６と一体的に回転し得るように構成されてい
る。この第２外アーム２０は、上記第１外アーム１８と
平行に配置されると共に、その他端部には、上記保持部
材４８が軸５１及び軸受５２を介して回転可能に取付け
られている。この第２外アーム２０の形状は、前記各ア
ームの形状と少し異なっており、ほぼ直線状に成形され
、途中にて前記第１連結軸３０の上端突出部との干渉を
避けるための凹部５４が形成されている。尚、第２外ア
ーム２０も他の各アームと同様なコ字状に成形してもよ
いのは勿論である。また、前記基台２４全体は、図示し
ないクリーンルーム側へ半導体ウエハを搬送するために
、１８０度回転可能に構成されている。
【００１１】次に、以上のように構成された本実施例の
動作について説明する。まず、図３に示すごとく、この
搬送装置２の全体の動きは、内アーム１０、１２と外ア
ーム１８、２０とを斜辺とする２等辺三角形の底辺に沿
って半導体ウエハ８が搬送されるように動作する。実際
の動作は、図４乃至図６に示されている。この搬送装置
２を駆動する駆動力は、ＡＣサーボ等の駆動源２８によ
り発生され、例えば図１において矢印Ａに示すように右
回転を加えたとすると、これからの回転駆動力は、まず
、回転駆動軸２６に伝達され、これに固定されている第
１内アーム１０は同様に右回転する。そして、上記第２
内アーム１２は、上記第１内アーム１０と平行状態を維
持したまま追従して図４に示すように右回転することに
なる。ここで、第１内アーム１０の端部の第１連結軸３
０に固定的に設けた歯車よりなる第１駆動力伝達手段１
４と第２駆動力伝達手段１６とが歯合していることから
、第１内アーム１０の回転に従ってその回転力は第２連
結軸１６へ伝達されて、これを前記と反対の矢印Ｂに示
すように左方向へ回転する（図４参照）。
動作について説明する。まず、図３に示すごとく、この
搬送装置２の全体の動きは、内アーム１０、１２と外ア
ーム１８、２０とを斜辺とする２等辺三角形の底辺に沿
って半導体ウエハ８が搬送されるように動作する。実際
の動作は、図４乃至図６に示されている。この搬送装置
２を駆動する駆動力は、ＡＣサーボ等の駆動源２８によ
り発生され、例えば図１において矢印Ａに示すように右
回転を加えたとすると、これからの回転駆動力は、まず
、回転駆動軸２６に伝達され、これに固定されている第
１内アーム１０は同様に右回転する。そして、上記第２
内アーム１２は、上記第１内アーム１０と平行状態を維
持したまま追従して図４に示すように右回転することに
なる。ここで、第１内アーム１０の端部の第１連結軸３
０に固定的に設けた歯車よりなる第１駆動力伝達手段１
４と第２駆動力伝達手段１６とが歯合していることから
、第１内アーム１０の回転に従ってその回転力は第２連
結軸１６へ伝達されて、これを前記と反対の矢印Ｂに示
すように左方向へ回転する（図４参照）。
【００１２】すると、この第２連結軸３６の上端部には
、第２外アーム２０の一端部が固定的に取付けられてい
ることから第２外アーム２０は左方向へ回転することに
なる。そして、第１外アーム１８は、上記第２外アーム
２０と平行状態を維持したまま追従して左方向へ回転す
る。従って、半導体ウエハ８を保持した保持部材４８は
、プロセス室４（図２参照）側から直線的にロボットチ
ャンバ６側へ搬送されることになる。更に、駆動源２８
の回転を進めると、図５に示すように内アーム１０、１
２と外アーム２０、１８はそれぞれ上下に重なり合い、
更に、図６に示すように回転駆動中心を通過して、後方
にまで下げることができ、ここで駆動源２８の回転を停
止する。ここで、この駆動源２８を逆方向、すなわち左
方向へ回転させば、アーム等は前記したと逆方向へ回転
して、再度、搬送装置は伸びることになる。
、第２外アーム２０の一端部が固定的に取付けられてい
ることから第２外アーム２０は左方向へ回転することに
なる。そして、第１外アーム１８は、上記第２外アーム
２０と平行状態を維持したまま追従して左方向へ回転す
る。従って、半導体ウエハ８を保持した保持部材４８は
、プロセス室４（図２参照）側から直線的にロボットチ
ャンバ６側へ搬送されることになる。更に、駆動源２８
の回転を進めると、図５に示すように内アーム１０、１
２と外アーム２０、１８はそれぞれ上下に重なり合い、
更に、図６に示すように回転駆動中心を通過して、後方
にまで下げることができ、ここで駆動源２８の回転を停
止する。ここで、この駆動源２８を逆方向、すなわち左
方向へ回転させば、アーム等は前記したと逆方向へ回転
して、再度、搬送装置は伸びることになる。
【００１３】この搬送装置が取付けられるプロセス装置
においては、上述のごとく搬送装置のアームが縮退した
状態で装置全体を支持する基台２４を、例えば１８０度
回転させ、その後、アームを伸ばすことによりクリーン
ルーム側（図示せず）との間で半導体ウエハの受け渡し
を行なうことになる。図７は本発明に係る装置と従来の
フロッグレグ型の搬送装置とのストロークの比較を示し
た図であるが、図から明らかなごとく、半導体ウエハ８
を同一ストロークだけ移動する場合には、フロッグレグ
型搬送装置５６にあっては移動距離の約１／２の長さＲ
のアーム５８を必要とするが、本発明にあってはアーム
１０、１２、１８、２０の長さは約２／３Ｒ程度で済み
、装置自体を小型化できる。すなわち、アームの長さが
比較的短いにもかかわらず、長いストロークを確保する
ことができる。
においては、上述のごとく搬送装置のアームが縮退した
状態で装置全体を支持する基台２４を、例えば１８０度
回転させ、その後、アームを伸ばすことによりクリーン
ルーム側（図示せず）との間で半導体ウエハの受け渡し
を行なうことになる。図７は本発明に係る装置と従来の
フロッグレグ型の搬送装置とのストロークの比較を示し
た図であるが、図から明らかなごとく、半導体ウエハ８
を同一ストロークだけ移動する場合には、フロッグレグ
型搬送装置５６にあっては移動距離の約１／２の長さＲ
のアーム５８を必要とするが、本発明にあってはアーム
１０、１２、１８、２０の長さは約２／３Ｒ程度で済み
、装置自体を小型化できる。すなわち、アームの長さが
比較的短いにもかかわらず、長いストロークを確保する
ことができる。
【００１４】また、本発明装置は、これを半導体ウエハ
のプロセス装置に適用した場合には、各アームを短くし
て回転半径を小さくすることができるので、これを収容
するロボットチャンバ自体を小型化できる。また、外ア
ーム１８、２０と保持部材４８との取付け部分は、実質
的に軸受５０、５２だけの厚さとなるので、ロボットチ
ャンバ６とプロセス室４とを連通する開口部６０の広さ
を従来の、例えばフロッグレグ型搬送装置と比較すると
狭くすることができ、従って、この開口部６０に設けら
れるゲートバルブ（図示せず）を小型化することができ
る。
のプロセス装置に適用した場合には、各アームを短くし
て回転半径を小さくすることができるので、これを収容
するロボットチャンバ自体を小型化できる。また、外ア
ーム１８、２０と保持部材４８との取付け部分は、実質
的に軸受５０、５２だけの厚さとなるので、ロボットチ
ャンバ６とプロセス室４とを連通する開口部６０の広さ
を従来の、例えばフロッグレグ型搬送装置と比較すると
狭くすることができ、従って、この開口部６０に設けら
れるゲートバルブ（図示せず）を小型化することができ
る。
【００１５】更には、外アーム１８、２０の先端に取付
ける薄板状の保持部材４８を、従来装置と比較して長く
設定することが可能となるので、例えばプロセス室側に
てガス処理等を行なう場合には、狭く設定されたガス流
路に半導体ウエハを設置することが可能となる。尚、上
記実施例にあっては、第１及び第２駆動力伝達手段とし
て歯車を用いたが、これに限定されず、例えば滑りのな
いローラ等を用いてもよいのは勿論である。また、本実
施例は、予備真空室などのロードロック機構を備えた枚
葉処理装置、例えばエッチング装置やＣＶＤ装置等のみ
ならず、狭い空間にて物品を搬送する必要のある装置全
てに適用することができる。
ける薄板状の保持部材４８を、従来装置と比較して長く
設定することが可能となるので、例えばプロセス室側に
てガス処理等を行なう場合には、狭く設定されたガス流
路に半導体ウエハを設置することが可能となる。尚、上
記実施例にあっては、第１及び第２駆動力伝達手段とし
て歯車を用いたが、これに限定されず、例えば滑りのな
いローラ等を用いてもよいのは勿論である。また、本実
施例は、予備真空室などのロードロック機構を備えた枚
葉処理装置、例えばエッチング装置やＣＶＤ装置等のみ
ならず、狭い空間にて物品を搬送する必要のある装置全
てに適用することができる。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば次
のような優れた作用効果を発揮することができる。物品
を搬送するストロークを前方のみならず後方側へもとる
ことができるようにしたので、移動ストロークに対する
アームの長さを大幅に短くすることができる。従って、
装置全体を小型化することができ、占有空間を小さくす
ることが可能となる。また、装置自体も簡単化でき、部
品点数を少なくすることができる。
のような優れた作用効果を発揮することができる。物品
を搬送するストロークを前方のみならず後方側へもとる
ことができるようにしたので、移動ストロークに対する
アームの長さを大幅に短くすることができる。従って、
装置全体を小型化することができ、占有空間を小さくす
ることが可能となる。また、装置自体も簡単化でき、部
品点数を少なくすることができる。
【図１】本発明に係る搬送装置を示す断面図である。
【図２】本発明に係る搬送装置を示す平面図である。
【図３】本発明の搬送装置の動作の概略を説明するため
の説明図である。
の説明図である。
【図４】本発明の搬送装置の動作途中を示す図である。
【図５】本発明の搬送装置の動作途中を示す図である。
【図６】本発明の搬送装置の動作途中を示す図である。
【図７】本発明の搬送装置と従来のフロッグレグ型搬送
装置とのストロークを比較するための説明図である。
装置とのストロークを比較するための説明図である。
２ 搬送装置
８ 半導体ウエハ（物品）
１０ 第１内アーム
１２ 第２内アーム
１４ 第１駆動力伝達手段
１４ａ、１４ｂ 歯車
１６ 第２駆動力伝達手段
１８ 第１外アーム
２０ 第２外アーム
２６ 回転駆動軸
２８ 駆動源
３０ 第１連結軸
３６ 第２連結軸
４０ 保持板
Claims (1)
- 【請求項１】 物品を搬送するための搬送装置におい
て、一端部が回転駆動軸に固定されると共に、他端部に
第１連結軸が固定的に設けられた第１内アームと、前記
第１内アームに平行に配置され、一端部が回転可能に支
持されると共に、他端部に第２連結軸が回転可能に設け
られた第２内アームと、前記第１連結軸に固定された第
１駆動力伝達手段と、前記第１駆動力伝達手段から駆動
力を受けるべくこれと係合され、前記第２連結軸に固定
された第２駆動力伝達手段と、一端部が前記第１連結軸
に回転可能に支持されると共に、他端部に前記物品を保
持する保持部材が回転可能に設けられた第１外アームと
、前記第１外アームに平行に配置され、一端部が前記第
２駆動軸に固定されると共に、他端部に前記保持部材が
回転可能に設けられた第２外アームとを備えたことを特
徴とする搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12209891A JPH04331090A (ja) | 1991-04-24 | 1991-04-24 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12209891A JPH04331090A (ja) | 1991-04-24 | 1991-04-24 | 搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04331090A true JPH04331090A (ja) | 1992-11-18 |
Family
ID=14827600
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12209891A Pending JPH04331090A (ja) | 1991-04-24 | 1991-04-24 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04331090A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000005762A1 (en) * | 1998-07-22 | 2000-02-03 | Tokyo Electron Limited | Transfer arm |
| US7987742B2 (en) | 2006-12-22 | 2011-08-02 | Shinko Electric Co., Ltd. | Transportation apparatus and tension adjustment method of belt in the same |
| JP2013129007A (ja) * | 2011-12-21 | 2013-07-04 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | デルタ型パラレルロボット |
-
1991
- 1991-04-24 JP JP12209891A patent/JPH04331090A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000005762A1 (en) * | 1998-07-22 | 2000-02-03 | Tokyo Electron Limited | Transfer arm |
| US6575691B1 (en) | 1998-07-22 | 2003-06-10 | Tokyo Electron Limited | Transfer arm |
| US6884019B2 (en) | 1998-07-22 | 2005-04-26 | Tokyo Electron Limited | Conveying arm |
| US7987742B2 (en) | 2006-12-22 | 2011-08-02 | Shinko Electric Co., Ltd. | Transportation apparatus and tension adjustment method of belt in the same |
| JP2013129007A (ja) * | 2011-12-21 | 2013-07-04 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | デルタ型パラレルロボット |
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