JPH0433251U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図ａはこの考案にかかる真空シールの平面
図、同図ｂはａのＡ−Ａ矢視断面図、第２図はこ
の考案にかかる真空シールを用いてイオン源容器
を真空機器へ取付けた場合の縦断面図、第３図ａ
，ｂはこの考案にかかる真空シールの変形実施例
図、第４図はこの考案にかかる真空シールの更に
他の実施例の斜視図、第５図と第６図は従来の真
空機器への軸体のシールを示す断面図である。 １……真空シール、１１……環状部、１２……
管路、１３……中空部、１４……空洞部（アキユ
ムレータ）、２……イオン源容器、３……超真空
室、４……取付具、４１……環状溝、１ａ……取
付具、１ｂ……弾性環状シール。

補正 平２．９．２７ 図面の簡単な説明を次のように補正する。 明細書の８ページ、下から１行目より次のペー
ジの上から３行目にかけての、「第４図はこの考
案にかかる真空シールの更に他の実施例の斜視図
、第５図と第６図は従来の真空機器への軸体のシ
ールを示す断面図である。」までを削除し、代わ
りに「第４図は第３図の変形実施例で管路部を環
状部の上に接続した場合の実施例図、第５図はこ
の考案にかかる真空シールの更に他の実施例の斜
視図、第６図と第７図は従来の真空機器への軸体
のシールを示す断面図である。」とする。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 内部に中空を形成すると共に一部又は全体
   を弾性材で製作された環状部と、該環状部に連設
   され中空内に圧力流体を流入・排出する管路とよ
   り成ることを特徴とする真空シール。 (2) 管路途中に、環状部よりバネ定数の小さな
   空洞部を形成したことを特徴とする請求項第１項
   記載の真空シール。