JPH04334834A - 光センサ - Google Patents
光センサInfo
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- JPH04334834A JPH04334834A JP3104440A JP10444091A JPH04334834A JP H04334834 A JPH04334834 A JP H04334834A JP 3104440 A JP3104440 A JP 3104440A JP 10444091 A JP10444091 A JP 10444091A JP H04334834 A JPH04334834 A JP H04334834A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- light
- displacement
- optical sensor
- output signal
- Prior art date
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- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Switches Operated By Changes In Physical Conditions (AREA)
- Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、LED(light
Emitting Diode)、LD(Laser
Diode )およびランプなどの発光源を用いた投
光部およびPD(Photo Diode )、PDア
レイ、CCD(Charge Coupled Dev
ice )、およびPSD(Positioin Se
nsitive Detector)などの受光素子を
用いた受光部を含み、被測定物体の有無の検出、前記物
体の寸法測定、前記物体までの距離の測定などに利用さ
れる光センサに関し、特に、光センサの温度特性に基づ
いてその出力を補正する機能を備える光センサに関する
。
Emitting Diode)、LD(Laser
Diode )およびランプなどの発光源を用いた投
光部およびPD(Photo Diode )、PDア
レイ、CCD(Charge Coupled Dev
ice )、およびPSD(Positioin Se
nsitive Detector)などの受光素子を
用いた受光部を含み、被測定物体の有無の検出、前記物
体の寸法測定、前記物体までの距離の測定などに利用さ
れる光センサに関し、特に、光センサの温度特性に基づ
いてその出力を補正する機能を備える光センサに関する
。
【0002】
【従来の技術】投光部より発した光を被測定物体あるい
は回帰性反射板に照射し、その反射光あるいは透過光を
受光部で受光して、受光光量変化により前記被測定物体
の有無検出または前記物体の寸法測定をする光センサが
あり、これら光センサには、一般的に温度特性の向上対
策として投光部における投光パワーを安定化するために
APC(Auto Power Control)回路
が内蔵される。
は回帰性反射板に照射し、その反射光あるいは透過光を
受光部で受光して、受光光量変化により前記被測定物体
の有無検出または前記物体の寸法測定をする光センサが
あり、これら光センサには、一般的に温度特性の向上対
策として投光部における投光パワーを安定化するために
APC(Auto Power Control)回路
が内蔵される。
【0003】また、被測定物体における変位または被測
定物体までの距離を測定する光センサにおいても、前記
APC回路の内蔵、あるいは温度特性に特に優れた回路
素子の使用などを図って光センサにおける温度特性の向
上を図るように構成されている。
定物体までの距離を測定する光センサにおいても、前記
APC回路の内蔵、あるいは温度特性に特に優れた回路
素子の使用などを図って光センサにおける温度特性の向
上を図るように構成されている。
【0004】図3は、従来の被測定物体の寸法測定を行
なう寸法測定装置の概略構成図である。
なう寸法測定装置の概略構成図である。
【0005】図示される寸法測定装置20は、投光部2
1および受光部22を含み、投光部21から発せられる
平行光PLを被測定物体OBに照射し、前記物体OBに
おいて遮蔽された透過光を受光部22で検出し、応じて
前記物体OBの寸法を測定するように構成される。
1および受光部22を含み、投光部21から発せられる
平行光PLを被測定物体OBに照射し、前記物体OBに
おいて遮蔽された透過光を受光部22で検出し、応じて
前記物体OBの寸法を測定するように構成される。
【0006】前記投光部21は、投光素子41および前
記素子41からの出射光を平行光PLにして照射するた
めに設けられるレンズ42を含む投光器4、および前記
投光素子41をその投光パワーを安定化させるように駆
動する前記APC回路を内蔵する駆動回路10を含む。
記素子41からの出射光を平行光PLにして照射するた
めに設けられるレンズ42を含む投光器4、および前記
投光素子41をその投光パワーを安定化させるように駆
動する前記APC回路を内蔵する駆動回路10を含む。
【0007】前記受光部22は受光素子51、前記素子
51の前段に設けられ、前記平行光PLが前記素子51
に効果的に入射するように設けられるレンズ52および
前記物体OBの寸法測定に関連して設けられるスリット
53を含む受光器5および前記素子51の出力信号を入
力し、応じて信号処理し前記物体OBの寸法に関する出
力信号outを導出する受光回路6を含む。
51の前段に設けられ、前記平行光PLが前記素子51
に効果的に入射するように設けられるレンズ52および
前記物体OBの寸法測定に関連して設けられるスリット
53を含む受光器5および前記素子51の出力信号を入
力し、応じて信号処理し前記物体OBの寸法に関する出
力信号outを導出する受光回路6を含む。
【0008】なお、前記投光素子41はLDまたはLE
Dなどが使用され、前記受光素子51はPDなどが使用
される。
Dなどが使用され、前記受光素子51はPDなどが使用
される。
【0009】前記寸法測定装置20の動作において、予
め投光部21と受光部22は対向するように配置され、
前記投光部21と受光部22との間には被測定物体OB
が図面に対して垂直方向に搬送されていると想定する。 前記投光部21における投光素子41は駆動回路10に
より駆動され、その投光は次段のレンズ42を介して平
行光PLとして、前記投光部21と対向して配置された
受光部22に入射する。
め投光部21と受光部22は対向するように配置され、
前記投光部21と受光部22との間には被測定物体OB
が図面に対して垂直方向に搬送されていると想定する。 前記投光部21における投光素子41は駆動回路10に
より駆動され、その投光は次段のレンズ42を介して平
行光PLとして、前記投光部21と対向して配置された
受光部22に入射する。
【0010】前記受光部22は前記投光部21から照射
された平行光PLを入射するが、このとき、前記入射す
る平行光PLは被測定物体OBの寸法に応じて遮蔽され
ており、前記物体OBにおいて遮蔽されない透過光のみ
がスリット53およびレンズ52を介して受光素子51
において受光される。前記受光素子51における受光レ
ベルは、次段の受光回路6において前記物体OBの寸法
に応じたアナログ量(電圧レベルまたは電流レベル等)
の出力信号outに変換され、該装置20外部に導出さ
れる。以上により、寸法測定装置20は被測定物体OB
の寸法に応じたレベルの出力信号outを導出できる。
された平行光PLを入射するが、このとき、前記入射す
る平行光PLは被測定物体OBの寸法に応じて遮蔽され
ており、前記物体OBにおいて遮蔽されない透過光のみ
がスリット53およびレンズ52を介して受光素子51
において受光される。前記受光素子51における受光レ
ベルは、次段の受光回路6において前記物体OBの寸法
に応じたアナログ量(電圧レベルまたは電流レベル等)
の出力信号outに変換され、該装置20外部に導出さ
れる。以上により、寸法測定装置20は被測定物体OB
の寸法に応じたレベルの出力信号outを導出できる。
【0011】ここで、前掲図3に示されたように一方向
から平行光PLにより光ビームを照射し、前記光ビーム
が被測定物体OBにおいて遮蔽された場合の前記物体O
Bの寸法と受光出力、すなわち出力信号outとの相関
関係について説明する。
から平行光PLにより光ビームを照射し、前記光ビーム
が被測定物体OBにおいて遮蔽された場合の前記物体O
Bの寸法と受光出力、すなわち出力信号outとの相関
関係について説明する。
【0012】図4は、従来および本発明の一実施例に適
用される寸法測定装置における被測定物体による遮光量
と受光量との関係を説明する図である。
用される寸法測定装置における被測定物体による遮光量
と受光量との関係を説明する図である。
【0013】図4は、その縦軸に受光部22における受
光量、すなわち出力信号outの信号レベルがとられ、
横軸には被測定物体OBにおける遮光量、すなわち前記
物体OBの寸法がとられる。また横軸には検出領域RG
がとられる。前記領域RGは前記スリット53の次段の
レンズ52に平行光PLを通すことのできる隙間の幅(
スリット長:既知の値)に相当する。したがって、図4
に示されるように前記物体OBによる遮光量に応じて受
光量が変化する、すなわち出力信号outが変化するの
で、予め定められた検出領域RGを用いれば、前記物体
OBの寸法を容易に測定することができる。
光量、すなわち出力信号outの信号レベルがとられ、
横軸には被測定物体OBにおける遮光量、すなわち前記
物体OBの寸法がとられる。また横軸には検出領域RG
がとられる。前記領域RGは前記スリット53の次段の
レンズ52に平行光PLを通すことのできる隙間の幅(
スリット長:既知の値)に相当する。したがって、図4
に示されるように前記物体OBによる遮光量に応じて受
光量が変化する、すなわち出力信号outが変化するの
で、予め定められた検出領域RGを用いれば、前記物体
OBの寸法を容易に測定することができる。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の寸法測定装置20は、被測定物体OBにおける
平行光PLの遮蔽によって生じる受光光量の変位を検出
することにより、前記物体OBの寸法を測定するように
動作しているので、同一の被測定物体OBを測定するよ
うな場合であっても、その周囲温度の変化により測定さ
れた寸法値が異なるという問題があった。つまり、測定
時の周囲温度の変化により、投光部21における投光素
子41の特性が変化し、投光パワーが変動したり、また
受光部22における受光素子51の変換効率が変動した
り、さらには受光回路6に含まれる信号処理回路の特性
変動などが発生し、前掲図4に示されたような理想的な
特性曲線が得られず、これに起因して該装置における測
定精度の悪化および誤検出などが発生するという問題も
あった。
た従来の寸法測定装置20は、被測定物体OBにおける
平行光PLの遮蔽によって生じる受光光量の変位を検出
することにより、前記物体OBの寸法を測定するように
動作しているので、同一の被測定物体OBを測定するよ
うな場合であっても、その周囲温度の変化により測定さ
れた寸法値が異なるという問題があった。つまり、測定
時の周囲温度の変化により、投光部21における投光素
子41の特性が変化し、投光パワーが変動したり、また
受光部22における受光素子51の変換効率が変動した
り、さらには受光回路6に含まれる信号処理回路の特性
変動などが発生し、前掲図4に示されたような理想的な
特性曲線が得られず、これに起因して該装置における測
定精度の悪化および誤検出などが発生するという問題も
あった。
【0015】また、冒頭にも述べたが従来の光センサで
は、APC回路の内蔵あるいは温度特性に優れた回路素
子の使用などにより温度特性の向上を図っているが、こ
れは温度特性の部分的な対策をしているだけであり、光
センサ全体での温度補正がなされてない。したがって、
光センサにおける温度特性の向上には限界があり、上述
した誤検出および測定精度の悪化などを引起こすという
問題があった。
は、APC回路の内蔵あるいは温度特性に優れた回路素
子の使用などにより温度特性の向上を図っているが、こ
れは温度特性の部分的な対策をしているだけであり、光
センサ全体での温度補正がなされてない。したがって、
光センサにおける温度特性の向上には限界があり、上述
した誤検出および測定精度の悪化などを引起こすという
問題があった。
【0016】それゆえにこの発明の目的は、該センサ全
体における温度特性を向上させて、誤検出の防止、高精
度測定および温度特性による機種間のばらつきを小さく
する光センサを提供することである。
体における温度特性を向上させて、誤検出の防止、高精
度測定および温度特性による機種間のばらつきを小さく
する光センサを提供することである。
【0017】
【課題を解決するための手段】この発明に係る光センサ
は、投光部と、前記投光部により照射された光を受光し
、応じて前記受光レベルに応じたレベルの電気信号を出
力する受光部とを備えて構成される。詳細には、前記投
光部および前記受光部の少なくともいずれか一方の温度
変位を検出する温度変位検出手段と、前記電気信号の変
位を検出する信号変位検出手段と、前記温度変位検出手
段により検出された前記温度変位および前記信号変位検
出手段により検出された前記信号変位に基づいて、前記
電気信号の温度係数を算出する算出手段と、前記算出手
段により算出された前記温度係数および前記温度変位検
出手段により検出された前記温度変位に基づいて、前記
電気信号をそこに含まれる前記温度変位による変位分を
相殺するように補正する補正手段とを備えて構成される
。
は、投光部と、前記投光部により照射された光を受光し
、応じて前記受光レベルに応じたレベルの電気信号を出
力する受光部とを備えて構成される。詳細には、前記投
光部および前記受光部の少なくともいずれか一方の温度
変位を検出する温度変位検出手段と、前記電気信号の変
位を検出する信号変位検出手段と、前記温度変位検出手
段により検出された前記温度変位および前記信号変位検
出手段により検出された前記信号変位に基づいて、前記
電気信号の温度係数を算出する算出手段と、前記算出手
段により算出された前記温度係数および前記温度変位検
出手段により検出された前記温度変位に基づいて、前記
電気信号をそこに含まれる前記温度変位による変位分を
相殺するように補正する補正手段とを備えて構成される
。
【0018】
【作用】この発明に係る光センサは上述のように構成さ
れて、その受光動作において前記受光部が、その受光レ
ベルに応じて出力する電気信号は、前記温度変位検出手
段により検出される該センサ自体の温度変位に追従して
、前記補正手段により前記温度変位分に相当する変位分
が相殺されるよう補正されながら導出されるので、該セ
ンサ自体の温度特性は向上する。
れて、その受光動作において前記受光部が、その受光レ
ベルに応じて出力する電気信号は、前記温度変位検出手
段により検出される該センサ自体の温度変位に追従して
、前記補正手段により前記温度変位分に相当する変位分
が相殺されるよう補正されながら導出されるので、該セ
ンサ自体の温度特性は向上する。
【0019】
【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照
して詳細に説明する。
して詳細に説明する。
【0020】図1は、本発明の一実施例による被測定物
体の寸法測定を行なう寸法測定装置の概略構成図である
。
体の寸法測定を行なう寸法測定装置の概略構成図である
。
【0021】図1に示される寸法測定装置1と、前述し
た図2に示された寸法測定装置20とを比較し、その構
成上異なる点は寸法測定装置1が前記装置20の機能構
成に追加して演算部7、温度センサ8および9ならびに
電源13を新たに追加している点にある。
た図2に示された寸法測定装置20とを比較し、その構
成上異なる点は寸法測定装置1が前記装置20の機能構
成に追加して演算部7、温度センサ8および9ならびに
電源13を新たに追加している点にある。
【0022】前記演算部7は受光部3の受光回路6の出
力段に設けられ、前記受光回路6が出力する受光レベル
に応じたレベルの出力信号outを、予め算出された温
度係数を用いて補正し、出力信号OUTを導出する。前
記温度センサ8は受光部3の内部に設けられ、前記受光
部3を一体的に覆うケース12内部の温度を検出し、応
じて受光部温度信号Yを前記演算部7に与える。前記温
度センサ9は投光部2を一体的に覆うケース11の内部
の温度を検出し、応じて投光部温度信号Xを演算部7に
与える。なお、前記温度センサ8および9は、たとえば
サーミスタを含んで構成される。
力段に設けられ、前記受光回路6が出力する受光レベル
に応じたレベルの出力信号outを、予め算出された温
度係数を用いて補正し、出力信号OUTを導出する。前
記温度センサ8は受光部3の内部に設けられ、前記受光
部3を一体的に覆うケース12内部の温度を検出し、応
じて受光部温度信号Yを前記演算部7に与える。前記温
度センサ9は投光部2を一体的に覆うケース11の内部
の温度を検出し、応じて投光部温度信号Xを演算部7に
与える。なお、前記温度センサ8および9は、たとえば
サーミスタを含んで構成される。
【0023】前記演算部7は、タイマを内蔵し該寸法測
定装置1の電源13投入時ごとに、前記電源投入による
前記ケース11またはケース12内部の温度上昇分を前
記温度信号Xまたは前記温度信号Yに基づいて算出し、
該装置1における温度特性の補正係数(以下、温度係数
と呼ぶ)を算出する機能と各種補正機能をそなえている
。前記電源投入時ごとに算出される温度係数は、以降の
該測定装置1稼働時において前記受光回路6における出
力信号outを前記寸法測定装置1における温度変位分
、すなわち前記ケース11またはケース12内部におけ
る温度変位分に相当する出力変動分だけ補正するために
用いられる。補正された出力信号outは出力信号OU
Tとして導出されるよう構成される。次に、前記演算部
7における前記温度係数の算出手順について説明する。
定装置1の電源13投入時ごとに、前記電源投入による
前記ケース11またはケース12内部の温度上昇分を前
記温度信号Xまたは前記温度信号Yに基づいて算出し、
該装置1における温度特性の補正係数(以下、温度係数
と呼ぶ)を算出する機能と各種補正機能をそなえている
。前記電源投入時ごとに算出される温度係数は、以降の
該測定装置1稼働時において前記受光回路6における出
力信号outを前記寸法測定装置1における温度変位分
、すなわち前記ケース11またはケース12内部におけ
る温度変位分に相当する出力変動分だけ補正するために
用いられる。補正された出力信号outは出力信号OU
Tとして導出されるよう構成される。次に、前記演算部
7における前記温度係数の算出手順について説明する。
【0024】まず、次のように変数を予め設定する。
電源13投入からt1時間期間における投光部2内部の
温度変位:X1 電源13投入からt2時間期間における投光部2内部の
温度変位:X2 電源13投入からt1時間期間における受光部3内部の
温度変位:Y1 電源13投入からt2時間期間における受光部3内部の
温度変位:Y2 電源13投入からt1時間期間における出力信号out
の変位:Z1 電源13投入からt2時間期間における出力信号out
の変位:Z2 投光部2の温度係数:p 受光部3の温度係数:q ただしt1<t2 以上のように各変数を定め、下記の計算式により前記温
度係数pおよびqが算出される。
温度変位:X1 電源13投入からt2時間期間における投光部2内部の
温度変位:X2 電源13投入からt1時間期間における受光部3内部の
温度変位:Y1 電源13投入からt2時間期間における受光部3内部の
温度変位:Y2 電源13投入からt1時間期間における出力信号out
の変位:Z1 電源13投入からt2時間期間における出力信号out
の変位:Z2 投光部2の温度係数:p 受光部3の温度係数:q ただしt1<t2 以上のように各変数を定め、下記の計算式により前記温
度係数pおよびqが算出される。
【0025】p・X1+q・Y1=Z1 …(t
1時間期間経過後) p・X2+q・Y2=Z2 …(t2時間期間経
過後) たとえば、t1時間期間においてX1=8deg、Y1
=4deg、Z1=+0.6% t2時間期間においてX2=10deg、Y2=6de
g、Z2=+1.0% と演算部7において算出されたとき、 温度係数p=−0.05%/deg 温度係数q=+0.25%/deg と算出される。したがって、寸法測定装置1としての温
度係数は(温度係数p+温度係数q)により、+0.2
%/degと算出される。
1時間期間経過後) p・X2+q・Y2=Z2 …(t2時間期間経
過後) たとえば、t1時間期間においてX1=8deg、Y1
=4deg、Z1=+0.6% t2時間期間においてX2=10deg、Y2=6de
g、Z2=+1.0% と演算部7において算出されたとき、 温度係数p=−0.05%/deg 温度係数q=+0.25%/deg と算出される。したがって、寸法測定装置1としての温
度係数は(温度係数p+温度係数q)により、+0.2
%/degと算出される。
【0026】以上のように、演算部7は電源13投入時
ごとに上述した演算処理により寸法測定装置1の温度係
数(以下、温度係数(p+q)と呼ぶ)を算出するよう
に動作する。
ごとに上述した演算処理により寸法測定装置1の温度係
数(以下、温度係数(p+q)と呼ぶ)を算出するよう
に動作する。
【0027】上述のように該寸法測定装置1の温度特性
における温度係数(p+q)が算出されると、その後の
該装置1の稼働状態においては、投光部2または受光部
3におけるその内部温度の変位が前記温度信号Xまたは
前記温度信号Yから算出される。そして、前記算出温度
変位と直前の電源投入時に算出された温度係数(p+q
)とにより稼働時に得られる出力信号outが演算部7
において前記温度変位分に相当する出力変位分だけ補正
されて、出力信号OUTとして導出される。前記出力信
号OUTは演算部7における演算結果がそのまま出力さ
れる場合はデジタル形式で出力されるし、また演算部7
の出力段にD/Aコンバータ(ディジタル/アナログ変
換器)を備えてアナログ量として出力されるようにして
もよい。以上のように、該寸法測定装置1における温度
係数(p+q)の算出は、前記電源13の投入時ごとに
実施されるので、前記温度係数(p+q)は電源13投
入時ごとにデータ更新される。また前記算出された温度
係数(p+q)を用いた出力信号outの補正演算処理
は、演算部7におけるデータサイクル毎に実施される。
における温度係数(p+q)が算出されると、その後の
該装置1の稼働状態においては、投光部2または受光部
3におけるその内部温度の変位が前記温度信号Xまたは
前記温度信号Yから算出される。そして、前記算出温度
変位と直前の電源投入時に算出された温度係数(p+q
)とにより稼働時に得られる出力信号outが演算部7
において前記温度変位分に相当する出力変位分だけ補正
されて、出力信号OUTとして導出される。前記出力信
号OUTは演算部7における演算結果がそのまま出力さ
れる場合はデジタル形式で出力されるし、また演算部7
の出力段にD/Aコンバータ(ディジタル/アナログ変
換器)を備えてアナログ量として出力されるようにして
もよい。以上のように、該寸法測定装置1における温度
係数(p+q)の算出は、前記電源13の投入時ごとに
実施されるので、前記温度係数(p+q)は電源13投
入時ごとにデータ更新される。また前記算出された温度
係数(p+q)を用いた出力信号outの補正演算処理
は、演算部7におけるデータサイクル毎に実施される。
【0028】なお、前記温度センサ8および9、演算部
7ならびに電源13を除く他の回路および処理部は図3
で示した従来のそれと同様であるため、それらに関する
詳細な説明は省略する。
7ならびに電源13を除く他の回路および処理部は図3
で示した従来のそれと同様であるため、それらに関する
詳細な説明は省略する。
【0029】図1の寸法測定装置1の動作において、従
来と同様にして駆動回路10により投光駆動されて投光
素子41から照射された平行光PLは、被測定物体OB
によりその一部分が遮蔽されながら受光器5の受光素子
51に、スリット53およびレンズ52を介して入射す
る。前記受光素子51に入射した光は電気信号に変換さ
れ受光回路6において前述した図4に示される遮光量と
受光量との関係に基づく出力信号outとして導出され
る。演算部7は電気出力信号outを入力し、応じて予
め算出された前記温度係数(p+q)と温度センサ9の
前記信号Xまたは温度センサ8の前記信号Yに基づいて
算出された投光部2または受光部3内部における温度変
位に基づいて前記温度変位に相当する前記出力信号ou
tに含まれる変動分を相殺するように前記信号outを
補正した後、出力信号OUTを導出する。したがって該
寸法測定装置1においては、その出力信号OUTが、常
に該装置1の温度特性を補償された形式で導出されるこ
とになる。
来と同様にして駆動回路10により投光駆動されて投光
素子41から照射された平行光PLは、被測定物体OB
によりその一部分が遮蔽されながら受光器5の受光素子
51に、スリット53およびレンズ52を介して入射す
る。前記受光素子51に入射した光は電気信号に変換さ
れ受光回路6において前述した図4に示される遮光量と
受光量との関係に基づく出力信号outとして導出され
る。演算部7は電気出力信号outを入力し、応じて予
め算出された前記温度係数(p+q)と温度センサ9の
前記信号Xまたは温度センサ8の前記信号Yに基づいて
算出された投光部2または受光部3内部における温度変
位に基づいて前記温度変位に相当する前記出力信号ou
tに含まれる変動分を相殺するように前記信号outを
補正した後、出力信号OUTを導出する。したがって該
寸法測定装置1においては、その出力信号OUTが、常
に該装置1の温度特性を補償された形式で導出されるこ
とになる。
【0030】図2は、前掲図1に示された演算部7にお
ける寸法測定装置1の温度特性補正の動作を示す概略処
理フロー図である。
ける寸法測定装置1の温度特性補正の動作を示す概略処
理フロー図である。
【0031】図2に示される概略処理フローは、予めプ
ログラムとして演算部7の図示されないメモリにストア
され、またこの処理フローで用いられる各変数(後述す
る)も前記メモリに予めその記憶領域がとられる。
ログラムとして演算部7の図示されないメモリにストア
され、またこの処理フローで用いられる各変数(後述す
る)も前記メモリに予めその記憶領域がとられる。
【0032】次に、演算部7による該装置の温度特性補
正動作について説明する。演算部7の図示されないCP
Uは、ステップST1(図中ST1と略す)において電
源13の電源投入の有無を確認する。このとき、電源投
入が確認されなければステップST1の処理が繰り返し
実行されるが、電源投入が確認されると、応じてステッ
プST2以降の処理に移行する。
正動作について説明する。演算部7の図示されないCP
Uは、ステップST1(図中ST1と略す)において電
源13の電源投入の有無を確認する。このとき、電源投
入が確認されなければステップST1の処理が繰り返し
実行されるが、電源投入が確認されると、応じてステッ
プST2以降の処理に移行する。
【0033】ステップST2ないしステップST6の処
理においては、CPUは前記電源投入からt1時間期間
、およびt2時間期間の各時間経過後の投受光部の温度
変位ならびに出力信号outの変位を算出しながら該寸
法測定装置1の温度係数(p+q)を、前述のようにし
て算出する。前記算出された温度係数(p+q)は、算
出後、前記演算部7の内部メモリに一時ストアされる。
理においては、CPUは前記電源投入からt1時間期間
、およびt2時間期間の各時間経過後の投受光部の温度
変位ならびに出力信号outの変位を算出しながら該寸
法測定装置1の温度係数(p+q)を、前述のようにし
て算出する。前記算出された温度係数(p+q)は、算
出後、前記演算部7の内部メモリに一時ストアされる。
【0034】その後、CPUはステップST7ないしス
テップST10を含んで構成されるループ処理Lを該測
定装置1の稼働期間繰り返し実行する。出力信号out
を投光部2の内部温度上昇に基づいて、逐次温度特性に
ついて補正するために、まずステップST7の処理にお
いて、投光部温度信号Xを読込み、読込まれた信号Xを
デジタルデータに変換し、変数Xγに設定する。その後
、ステップST8の処理において、直前の電源投入時か
らの温度変位が算出される。つまり、前記ステップST
2の処理において電源投入直後の投光部温度信号Xから
読まれた投光部2の温度を表わす変数Xαの値と、前記
変数Xγの値とから、前記温度変位XDが算出される(
XD=Xγ−Xα)。その後、CPUは前記受光回路6
から出力信号outを入力し、予め算出された前記温度
係数(p+q)および前記温度変位XDを用いて前記信
号outをそこに含まれる前記温度変位XDに相当する
変位分を相殺するように補正し、この補正された値を変
数VDに設定する。その後、CPUはステップST10
の処理において前記変数VDの値を出力信号OUTにし
て該装置外部に出力する。これにより、出力信号out
について前記電源投入直後から現時点における温度変動
分に相当する出力変動分を前記温度係数(p+q)およ
び前記温度変位XDを用いてリアルタイムに補正するこ
とができる。
テップST10を含んで構成されるループ処理Lを該測
定装置1の稼働期間繰り返し実行する。出力信号out
を投光部2の内部温度上昇に基づいて、逐次温度特性に
ついて補正するために、まずステップST7の処理にお
いて、投光部温度信号Xを読込み、読込まれた信号Xを
デジタルデータに変換し、変数Xγに設定する。その後
、ステップST8の処理において、直前の電源投入時か
らの温度変位が算出される。つまり、前記ステップST
2の処理において電源投入直後の投光部温度信号Xから
読まれた投光部2の温度を表わす変数Xαの値と、前記
変数Xγの値とから、前記温度変位XDが算出される(
XD=Xγ−Xα)。その後、CPUは前記受光回路6
から出力信号outを入力し、予め算出された前記温度
係数(p+q)および前記温度変位XDを用いて前記信
号outをそこに含まれる前記温度変位XDに相当する
変位分を相殺するように補正し、この補正された値を変
数VDに設定する。その後、CPUはステップST10
の処理において前記変数VDの値を出力信号OUTにし
て該装置外部に出力する。これにより、出力信号out
について前記電源投入直後から現時点における温度変動
分に相当する出力変動分を前記温度係数(p+q)およ
び前記温度変位XDを用いてリアルタイムに補正するこ
とができる。
【0035】上述した補正後の出力信号OUTが導出さ
れると、処理は再びステップST7に戻り、以下同様に
して、ループ処理Lが繰り返し実行される。
れると、処理は再びステップST7に戻り、以下同様に
して、ループ処理Lが繰り返し実行される。
【0036】以上のように演算部7は、該寸法測定装置
1の稼働期間は、ループ処理Lを繰り返し実行すること
により、逐次得られる出力信号outを、予め算出した
前記温度係数(p+q)および逐次得られる温度変位X
Dを用いて、前記温度変位XDに相当する出力変動分だ
け補正することができる。
1の稼働期間は、ループ処理Lを繰り返し実行すること
により、逐次得られる出力信号outを、予め算出した
前記温度係数(p+q)および逐次得られる温度変位X
Dを用いて、前記温度変位XDに相当する出力変動分だ
け補正することができる。
【0037】なお、上述した実施例における寸法測定装
置1は透過型であるので投光部2と受光部3の両方に温
度センサ9および8を設置し、t1時間期間およびt2
時間期間経過後のそれぞれの内部温度上昇と出力信号o
utの変位を検出する必要があるが、いずれか一方の温
度特性が明らかに無視できるような場合には、t1時間
期間経過後のみ(t2時間期間経過後の検出は不要)に
おいて、必要とされる一方の内部温度上昇とt1時間期
間の出力信号outの変位を検出するだけで前記寸法測
定装置1の温度係数(p+q)を算出できる。
置1は透過型であるので投光部2と受光部3の両方に温
度センサ9および8を設置し、t1時間期間およびt2
時間期間経過後のそれぞれの内部温度上昇と出力信号o
utの変位を検出する必要があるが、いずれか一方の温
度特性が明らかに無視できるような場合には、t1時間
期間経過後のみ(t2時間期間経過後の検出は不要)に
おいて、必要とされる一方の内部温度上昇とt1時間期
間の出力信号outの変位を検出するだけで前記寸法測
定装置1の温度係数(p+q)を算出できる。
【0038】また、反射型の他の寸法測定装置であって
も、上述と同様にt1時間期間経過後のみの各値を検出
するだけでよい。
も、上述と同様にt1時間期間経過後のみの各値を検出
するだけでよい。
【0039】また、前記出力信号outはアナログ量の
出力変位を検出するようにしたが、前記信号outをデ
ィジタル量として、ディジタル量の出力変位を検出する
ことも可能である。
出力変位を検出するようにしたが、前記信号outをデ
ィジタル量として、ディジタル量の出力変位を検出する
ことも可能である。
【0040】また、該温度特性の補正処理は、寸法測定
装置に適用された場合を述べたが、光センサを利用した
他の測定装置および検出装置にも同様にして適用可能で
ある。
装置に適用された場合を述べたが、光センサを利用した
他の測定装置および検出装置にも同様にして適用可能で
ある。
【0041】
【発明の効果】この発明による光センサは、該センサの
特性を決定する温度係数を算出する算出手段を備え、前
記算出された温度係数および温度変位検出手段により検
出された温度変位に基づいて、出力する信号に含まれる
前記温度変位による変位分を相殺するように補正する補
正手段を備えるので、該光センサの温度特性が補正され
る。したがって該光センサを用いて検出および測定する
際の誤検出の防止および高精度測定が可能となるという
効果がある。
特性を決定する温度係数を算出する算出手段を備え、前
記算出された温度係数および温度変位検出手段により検
出された温度変位に基づいて、出力する信号に含まれる
前記温度変位による変位分を相殺するように補正する補
正手段を備えるので、該光センサの温度特性が補正され
る。したがって該光センサを用いて検出および測定する
際の誤検出の防止および高精度測定が可能となるという
効果がある。
【0042】また、前記温度係数は、光センサ稼働時、
算出手段によりリアルタイムに算出されるので、予め光
センサの温度特性を知る必要もなく、ユーザの使い勝手
が向上するという効果がある。
算出手段によりリアルタイムに算出されるので、予め光
センサの温度特性を知る必要もなく、ユーザの使い勝手
が向上するという効果がある。
【0043】また前記補正手段は投光部、受光部などの
回路特性に起因する温度特性の変動要因も含めてトータ
ルに補正するので、光センサの温度特性の機種間ばらつ
きを小さくできるという効果がある。また前記効果によ
りユーザは温度特性の良好なセンサ回路を特に選択する
必要がないので光センサの選択の自由度が向上するとい
う効果もある。
回路特性に起因する温度特性の変動要因も含めてトータ
ルに補正するので、光センサの温度特性の機種間ばらつ
きを小さくできるという効果がある。また前記効果によ
りユーザは温度特性の良好なセンサ回路を特に選択する
必要がないので光センサの選択の自由度が向上するとい
う効果もある。
【0044】さらに、光センサの温度特性を改善するた
めに、特に温度特性の優れた高価な回路素子を該光セン
サに使用する必要がなく、該光センサの製造コストの削
減が図れるという効果もある。
めに、特に温度特性の優れた高価な回路素子を該光セン
サに使用する必要がなく、該光センサの製造コストの削
減が図れるという効果もある。
【図1】本発明の一実施例による被測定物体の寸法測定
を行なう寸法測定装置の概略構成図である。
を行なう寸法測定装置の概略構成図である。
【図2】図1に示された演算部における被測定装置の温
度特性補正の動作を示す概略処理フロー図である。
度特性補正の動作を示す概略処理フロー図である。
【図3】従来の被測定物体の寸法測定を行なう寸法測定
装置の概略構成図である。
装置の概略構成図である。
【図4】従来および本発明の一実施例に適用される寸法
測定装置における受光量と被測定物体における遮光量と
の関係を説明する図である。
測定装置における受光量と被測定物体における遮光量と
の関係を説明する図である。
1 寸法測定装置
2 投光部
3 受光部
7 演算部
8および9 温度センサ
X 投光部温度信号
Y 受光部温度信号
OUTおよびout 出力信号
なお、各図中、同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- 【請求項1】 投光部と、前記投光部により照射され
た光を受光し、応じて前記受光レベルに応じたレベルの
電気信号を出力する受光部とを備えた光センサであって
、前記投光部および前記受光部の少なくともいずれか一
方の温度変位を検出する温度変位検出手段と、前記電気
信号の変位を検出する信号変位検出手段と、前記温度変
位検出手段により検出された前記温度変位および前記信
号変位検出手段により検出された前記信号変位に基づい
て、前記電気信号の温度係数を算出する算出手段と、前
記算出手段により算出された前記温度係数および前記温
度変位検出手段により検出された前記温度変位に基づい
て、前記電気信号をそこに含まれる前記温度変位による
変位分を相殺するように補正する補正手段とを備えた、
光センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3104440A JPH04334834A (ja) | 1991-05-09 | 1991-05-09 | 光センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3104440A JPH04334834A (ja) | 1991-05-09 | 1991-05-09 | 光センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04334834A true JPH04334834A (ja) | 1992-11-20 |
Family
ID=14380723
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3104440A Withdrawn JPH04334834A (ja) | 1991-05-09 | 1991-05-09 | 光センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04334834A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022034106A (ja) * | 2020-08-18 | 2022-03-03 | 日新電機株式会社 | 塵埃堆積量推定方法、塵埃堆積検出装置及び結露リスク検出装置 |
-
1991
- 1991-05-09 JP JP3104440A patent/JPH04334834A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022034106A (ja) * | 2020-08-18 | 2022-03-03 | 日新電機株式会社 | 塵埃堆積量推定方法、塵埃堆積検出装置及び結露リスク検出装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980806 |