JPH04336384A - パターン検査装置 - Google Patents
パターン検査装置Info
- Publication number
- JPH04336384A JPH04336384A JP3107681A JP10768191A JPH04336384A JP H04336384 A JPH04336384 A JP H04336384A JP 3107681 A JP3107681 A JP 3107681A JP 10768191 A JP10768191 A JP 10768191A JP H04336384 A JPH04336384 A JP H04336384A
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 19
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- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 3
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Landscapes
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、液晶パネルの表示パ
ターン検査装置、基板の回路パターン検査装置に関する
。
ターン検査装置、基板の回路パターン検査装置に関する
。
【０００２】
【従来の技術】従来のパターン検査装置は、画像メモリ
に取り込まれた濃淡画像に対して、単一あるいは、局所
的に設定されたしきい値を用いて二値化処理を行い、背
景と検査対象パターンを分離し検査を行っていた。
に取り込まれた濃淡画像に対して、単一あるいは、局所
的に設定されたしきい値を用いて二値化処理を行い、背
景と検査対象パターンを分離し検査を行っていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のパター
ン検査装置では、取り込まれた画像に、照明による明る
さのムラ、検査対象パターン部の色ムラ等が存在した場
合等、輝度の分布状態が変化した場合、あらかじめ設定
されたしきい値による二値化処理では、検査対象パター
ン部のみを分離できず、面積等により欠陥を検査ができ
ないという課題があった。
ン検査装置では、取り込まれた画像に、照明による明る
さのムラ、検査対象パターン部の色ムラ等が存在した場
合等、輝度の分布状態が変化した場合、あらかじめ設定
されたしきい値による二値化処理では、検査対象パター
ン部のみを分離できず、面積等により欠陥を検査ができ
ないという課題があった。
【０００４】そこで、この発明の目的は、従来のこのよ
うな課題を解決するため、照明によって発生する明るさ
のムラや検査対象パターン部の色ムラの影響を受けずに
、検査対象パターン部と背景とが分離された二値画像を
作成し、その画像を解析し、面積等による欠陥検査を行
うことができるパターン検査装置を得ることである。
うな課題を解決するため、照明によって発生する明るさ
のムラや検査対象パターン部の色ムラの影響を受けずに
、検査対象パターン部と背景とが分離された二値画像を
作成し、その画像を解析し、面積等による欠陥検査を行
うことができるパターン検査装置を得ることである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、この発明は、外乱の影響を除去するため、二値化処
理を行う前処理として濃淡膨張縮小処理を行う構成とし
、背景と検査対象パターン部の安定した分離が図れるよ
うにした。
に、この発明は、外乱の影響を除去するため、二値化処
理を行う前処理として濃淡膨張縮小処理を行う構成とし
、背景と検査対象パターン部の安定した分離が図れるよ
うにした。
【０００６】
【作用】上記のように構成されたパターン検査装置にお
いては、濃淡膨張縮小処理が作用して、照明ムラ、色ム
ラが存在する画像においても、それらの外乱の影響を受
けずに二値化処理による背景と検査対象パターン部の分
離が可能となり、面積等によるパターン検査が可能とな
る。
いては、濃淡膨張縮小処理が作用して、照明ムラ、色ム
ラが存在する画像においても、それらの外乱の影響を受
けずに二値化処理による背景と検査対象パターン部の分
離が可能となり、面積等によるパターン検査が可能とな
る。
【０００７】
【実施例】以下に、この発明の実施例を図面に基づいて
説明する。図１は、本発明のパターン検査装置の検査手
順を示す説明図である。図１に示すように、本発明にお
いては、濃淡画像を取り込んだ後に濃淡膨張縮小処理に
よる前処理を施し、処理前の濃淡画像と処理後の濃淡画
像から、画像間演算を行うことによって検査対象パター
ン部をのみ抽出した濃淡画像を作成する。その画像に対
して、背景と検査対象パターン部を分離するための二値
化処理を行い、検査対象パターン部の面積等を解析し、
検査を行なう。
説明する。図１は、本発明のパターン検査装置の検査手
順を示す説明図である。図１に示すように、本発明にお
いては、濃淡画像を取り込んだ後に濃淡膨張縮小処理に
よる前処理を施し、処理前の濃淡画像と処理後の濃淡画
像から、画像間演算を行うことによって検査対象パター
ン部をのみ抽出した濃淡画像を作成する。その画像に対
して、背景と検査対象パターン部を分離するための二値
化処理を行い、検査対象パターン部の面積等を解析し、
検査を行なう。
【０００８】図２は、本発明であるパターン検査装置の
実施例を示す説明図である。同図において、搬送レール
１で送られてきたパターンを検査する試料２がフォトセ
ンサ３の前を通過したとき、フォトセンサ３から電装コ
ントローラ４に制御信号が送信され、試料２はＴＶカメ
ラ５の真下で止まる。このとき、試料２上部のＴＶカメ
ラ５が試料２の画像をとらえ、画像処理部６がその画像
を入力する。画像処理部６では、取り込んだ画像を濃淡
膨張縮小処理等を行い、試料２のパターンの検査を行い
、その結果を電装コントローラ４へ転送する。検査結果
が良好の場合は試料２は搬送レール１によって次の行程
へ送られ、検査結果が不良の場合は電装コントローラ４
からの指示により試料２が搬出機７によって搬出テーブ
ル８へ搬出され、不良品として区別される。
実施例を示す説明図である。同図において、搬送レール
１で送られてきたパターンを検査する試料２がフォトセ
ンサ３の前を通過したとき、フォトセンサ３から電装コ
ントローラ４に制御信号が送信され、試料２はＴＶカメ
ラ５の真下で止まる。このとき、試料２上部のＴＶカメ
ラ５が試料２の画像をとらえ、画像処理部６がその画像
を入力する。画像処理部６では、取り込んだ画像を濃淡
膨張縮小処理等を行い、試料２のパターンの検査を行い
、その結果を電装コントローラ４へ転送する。検査結果
が良好の場合は試料２は搬送レール１によって次の行程
へ送られ、検査結果が不良の場合は電装コントローラ４
からの指示により試料２が搬出機７によって搬出テーブ
ル８へ搬出され、不良品として区別される。
【０００９】次に、本発明で二値画像作成前に使用され
る濃淡膨張縮小処理について説明する。図３は、濃淡膨
張処理の説明図である。濃淡膨張処理とは、個々の画素
を中心とした指定形状１０の範囲の中で、最も高い輝度
値により、指定形状内の画素の輝度値を置き換える処理
を言う。濃淡画像９は膨張処理前の画像である。各マス
は１画素に対応し、数字はそれぞれの画素の輝度値を表
わしている。この濃淡画像９を構成している各画素を中
心として指定形状１０をラスタ走査により順次あてはめ
、その中で最も輝度値の高い値で指定形状１０内の画素
の輝度値をすべて置き換える。この動作を画面全画素に
ついて行った濃淡膨張処理後の画像が、濃淡画像１１で
ある。
る濃淡膨張縮小処理について説明する。図３は、濃淡膨
張処理の説明図である。濃淡膨張処理とは、個々の画素
を中心とした指定形状１０の範囲の中で、最も高い輝度
値により、指定形状内の画素の輝度値を置き換える処理
を言う。濃淡画像９は膨張処理前の画像である。各マス
は１画素に対応し、数字はそれぞれの画素の輝度値を表
わしている。この濃淡画像９を構成している各画素を中
心として指定形状１０をラスタ走査により順次あてはめ
、その中で最も輝度値の高い値で指定形状１０内の画素
の輝度値をすべて置き換える。この動作を画面全画素に
ついて行った濃淡膨張処理後の画像が、濃淡画像１１で
ある。
【００１０】図４は、濃淡縮小処理の説明図である。濃
淡縮小処理とは、個々の画素を中心とした指定形状１３
の範囲の中で、最も低い輝度値により、指定形状内の画
素の輝度値を置き換える処理を言う。濃淡画像１２は縮
小処理前の画像である。各マスは１画素に対応し、数字
はそれぞれの画素の輝度値を表わしている。この濃淡画
像１２を構成している各画素を中心として指定形状１３
をラスタ走査により順次あてはめ、その中で最も輝度値
の低い値で指定形状１３内の画素の輝度値を置き換える
。この動作を画面全画素について行った濃淡縮小処理後
の画像が、濃淡画像１４である。
淡縮小処理とは、個々の画素を中心とした指定形状１３
の範囲の中で、最も低い輝度値により、指定形状内の画
素の輝度値を置き換える処理を言う。濃淡画像１２は縮
小処理前の画像である。各マスは１画素に対応し、数字
はそれぞれの画素の輝度値を表わしている。この濃淡画
像１２を構成している各画素を中心として指定形状１３
をラスタ走査により順次あてはめ、その中で最も輝度値
の低い値で指定形状１３内の画素の輝度値を置き換える
。この動作を画面全画素について行った濃淡縮小処理後
の画像が、濃淡画像１４である。
【００１１】この濃淡膨張縮小処理を、検査対象パター
ン部と背景の濃度分布状態により、適宜組み合わせて実
行する。検査対象パターン部の輝度値分布が、背景に対
して低い場合は、膨張処理から縮小処理を行い、画像内
より検査パターンを消去し、背景のみの濃淡画像を作成
する。濃淡分布状態が逆の場合は、縮小処理から膨張処
理を行う。この画像と元画像を用いて画像間演算（減算
）を行う。その際に、画像内に含まれる照明ムラ、色ム
ラが除去される。したがって、この前処理を行った濃淡
画像については、単一のしきい値によって二値化処理を
行うことができる。
ン部と背景の濃度分布状態により、適宜組み合わせて実
行する。検査対象パターン部の輝度値分布が、背景に対
して低い場合は、膨張処理から縮小処理を行い、画像内
より検査パターンを消去し、背景のみの濃淡画像を作成
する。濃淡分布状態が逆の場合は、縮小処理から膨張処
理を行う。この画像と元画像を用いて画像間演算（減算
）を行う。その際に、画像内に含まれる照明ムラ、色ム
ラが除去される。したがって、この前処理を行った濃淡
画像については、単一のしきい値によって二値化処理を
行うことができる。
【００１２】
【発明の効果】この発明は、以上説明したように、入力
画像に、照明ムラやパターンの色ムラが存在している場
合であっても、濃淡膨張縮小処理によってそれらを除去
できるため、外乱の多い状況下での検査、色ムラによる
二値化が困難だった試料についての検査が可能となった
。その結果、従来、人の視覚による検査に頼っていた工
程を、機械による自動検査に置き換えることができ、精
度の向上、人件費の削減、生産性の向上を図ることがで
きる。
画像に、照明ムラやパターンの色ムラが存在している場
合であっても、濃淡膨張縮小処理によってそれらを除去
できるため、外乱の多い状況下での検査、色ムラによる
二値化が困難だった試料についての検査が可能となった
。その結果、従来、人の視覚による検査に頼っていた工
程を、機械による自動検査に置き換えることができ、精
度の向上、人件費の削減、生産性の向上を図ることがで
きる。
【図１】本発明の検査装置の検査手順を示した説明図で
ある。
ある。
【図２】本発明の実施例を示した説明図である。
【図３】本発明で使用される濃淡膨張処理方法を示した
説明図である。
説明図である。
【図４】本発明で使用される濃淡縮小処理方法を示した
説明図である。
説明図である。
１ 搬送レール
２ 試料
３ フォトセンサ
４ 電装コントローラ
５ ＴＶカメラ
６ 画像処理部
７ 搬出機
８ 搬出テーブル
９ 膨張処理前の濃淡画面
１０ 膨張処理指定形状
１１ 膨張処理後の濃淡画面
１２ 縮小処理前の濃淡画面
１３ 縮小処理指定形状
１４ 縮小処理後の濃淡画面
Claims (1)
- 【請求項１】 装置内の画像メモリに蓄えられた濃淡
入力画像を、二値化処理を行うことによって背景とパタ
ーンとを分離し、その面積等でパターンの欠陥を検査す
るパターン検査装置において、二値化処理の前処理とし
て濃淡膨張縮小処理を行い、前記濃淡膨張縮小処理後の
二値化処理で得られた二値画像を用いてパターン検査を
行なう画像処理部を有することを特徴とするパターン検
査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3107681A JPH04336384A (ja) | 1991-05-13 | 1991-05-13 | パターン検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3107681A JPH04336384A (ja) | 1991-05-13 | 1991-05-13 | パターン検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04336384A true JPH04336384A (ja) | 1992-11-24 |
Family
ID=14465277
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3107681A Pending JPH04336384A (ja) | 1991-05-13 | 1991-05-13 | パターン検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04336384A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017062181A (ja) * | 2015-09-25 | 2017-03-30 | 株式会社豊田中央研究所 | 表面疵検査装置及び表面疵検査方法 |
-
1991
- 1991-05-13 JP JP3107681A patent/JPH04336384A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017062181A (ja) * | 2015-09-25 | 2017-03-30 | 株式会社豊田中央研究所 | 表面疵検査装置及び表面疵検査方法 |
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