JPH0433652U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0433652U JPH0433652U JP7228590U JP7228590U JPH0433652U JP H0433652 U JPH0433652 U JP H0433652U JP 7228590 U JP7228590 U JP 7228590U JP 7228590 U JP7228590 U JP 7228590U JP H0433652 U JPH0433652 U JP H0433652U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal
- disk
- see
- glass plate
- hole
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 10
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 3
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims description 2
- 238000001883 metal evaporation Methods 0.000 claims 1
- 238000012806 monitoring device Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す断面図、第２
図はその金属円板の詳細図でａは平面図、ｂはａ
図のＡ−Ａ線矢視図、ｃはａ図のＢ−Ｂ線矢視図
、第３図は第１図のＣ−Ｃ線矢視図、第４図は本
考案の他の実施例を示す断面図、第５Ａ図及び第
５Ｂ図は従来例の作動状態を示す断面図、第５Ｃ
図はその金属円板の詳細図でａは平面図、ｂは断
面図、第６図は金属蒸発装置を示す断面図である
。 １１……ケーシング、１１ａ……監視窓、１３
……透明ガラス板円板、１６……金属円板、１６
ａ……透視孔、１６ｄ……金属蒸気捕集片。
図はその金属円板の詳細図でａは平面図、ｂはａ
図のＡ−Ａ線矢視図、ｃはａ図のＢ−Ｂ線矢視図
、第３図は第１図のＣ−Ｃ線矢視図、第４図は本
考案の他の実施例を示す断面図、第５Ａ図及び第
５Ｂ図は従来例の作動状態を示す断面図、第５Ｃ
図はその金属円板の詳細図でａは平面図、ｂは断
面図、第６図は金属蒸発装置を示す断面図である
。 １１……ケーシング、１１ａ……監視窓、１３
……透明ガラス板円板、１６……金属円板、１６
ａ……透視孔、１６ｄ……金属蒸気捕集片。
Claims (1)
- 真空に保持した金属蒸発装置のケーシング内に
監視窓側に位置して回転自在な透明ガラス板円板
と該ガラス板円板に対向して透視孔を有する回転
金属円板とを併置させた金属蒸発装置用監視器に
おいて、前記回転金属円板の透視孔の位置に金属
蒸気捕集片を設けたことを特徴とした金属蒸発装
置用監視器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7228590U JPH0433652U (ja) | 1990-07-09 | 1990-07-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7228590U JPH0433652U (ja) | 1990-07-09 | 1990-07-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0433652U true JPH0433652U (ja) | 1992-03-19 |
Family
ID=31610091
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7228590U Pending JPH0433652U (ja) | 1990-07-09 | 1990-07-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0433652U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004205134A (ja) * | 2002-12-26 | 2004-07-22 | Toho Titanium Co Ltd | 電子ビーム溶解炉の覗き窓部およびその運転方法 |
-
1990
- 1990-07-09 JP JP7228590U patent/JPH0433652U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004205134A (ja) * | 2002-12-26 | 2004-07-22 | Toho Titanium Co Ltd | 電子ビーム溶解炉の覗き窓部およびその運転方法 |
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