JPH0214361U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0214361U JPH0214361U JP9086488U JP9086488U JPH0214361U JP H0214361 U JPH0214361 U JP H0214361U JP 9086488 U JP9086488 U JP 9086488U JP 9086488 U JP9086488 U JP 9086488U JP H0214361 U JPH0214361 U JP H0214361U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotating
- rotating plate
- fixed
- substrate holder
- rotation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す基板ホルダー
回転装置の一実施例を示す平面図ａおよび側面図
ｂ、第２図はターゲツト上を通る基板の軌跡を示
す説明図、第３図は従来の基板ホルダーとターゲ
ツト選択板の関係を示す斜視図、第４図は従来装
置によるスパツタ金属の分布状態を示す図である
。 １……基板ホルダー回転装置、２……第１の回
転手段、３……第１の回転板、４……第２の回転
手段、５……第２の回転板、６……第３の回転手
段、７……基板ホルダー、８……基板。
回転装置の一実施例を示す平面図ａおよび側面図
ｂ、第２図はターゲツト上を通る基板の軌跡を示
す説明図、第３図は従来の基板ホルダーとターゲ
ツト選択板の関係を示す斜視図、第４図は従来装
置によるスパツタ金属の分布状態を示す図である
。 １……基板ホルダー回転装置、２……第１の回
転手段、３……第１の回転板、４……第２の回転
手段、５……第２の回転板、６……第３の回転手
段、７……基板ホルダー、８……基板。
Claims (1)
- 第１の回転手段に固定された第１の回転板と、
前記第１の回転板上に固定された少なくとも１つ
の第２の回転手段と、前記第２の回転手段に固定
された第２の回転板と、前記第２の回転板に固定
された少なくとも１つの第３の回転手段と、前記
第３の回転手段に固定された基板ホルダーを有す
ることを特徴とする基板ホルダー回転装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9086488U JPH0214361U (ja) | 1988-07-08 | 1988-07-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9086488U JPH0214361U (ja) | 1988-07-08 | 1988-07-08 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0214361U true JPH0214361U (ja) | 1990-01-29 |
Family
ID=31315373
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9086488U Pending JPH0214361U (ja) | 1988-07-08 | 1988-07-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0214361U (ja) |
-
1988
- 1988-07-08 JP JP9086488U patent/JPH0214361U/ja active Pending