JPH0433687B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、搬送路と搬送台の支持脚部との間に
磁性流体を介在させて搬送台を浮上させ移送する
搬送配置に関する。

従来の技術 半導体製造工場か医薬品用設備等におけるクリ
ーンルーム等での発塵を嫌う場合に利用されるこ
の種の搬送装置の従来例としては、例えば磁性流
体を使用して搬送台を浮上さす装置として第４図
に示すような搬送装置が提案されている。第５図
は第４図のＣ−Ｃ断面図を示し、第６図は矢符で
示す方向に搬送台が走行する場合の状況を示す図
である。

図において、１は図示しないフレームによつて
固設された凹条溝１１を有する搬送路であり、該
搬送路１には前記溝部１１に配置された２組の脚
部４で支持された被搬送物Ｇを載置する搬送台３
が配置される。

脚部４の下端面には永久磁石５が設けられてい
る。２は磁性流体であり、永久磁石５の磁界が作
用するように前記脚部４の下端面と搬送路１（溝
部１１）の底面との間に設けられている。

しかして、前記磁性流体２は磁気的には永久磁
石モーメントをもつた分子の集合体であり、超常
磁性の性質をもつているので搬送台３の脚部４の
下端面に設けたそれぞれの永久磁石５により発生
する磁界の影響によつて、それぞれの磁性流体２
は磁化される結果、搬送台３は永久磁石５と磁性
流体２との作用で搬送路より浮上することにな
る。従つて、搬送台３はリニアモータ等で駆動す
ることにより矢符で示す方向に浮上し走行できる
ことになる。

発明が解決しようとする問題点 しかしながら、この搬送装置は、脚部４の下端
面に設けた永久磁石５の搬送路１に対する面が搬
送路１と平行になつているので、第６図の矢符で
示す方向に搬送台３が走行するときは、磁性流体
２が進行方向の前部では少なくなり、永久磁石５
が搬送路１に接触し、搬送抵抗が増大し、搬送台
３を安定して円滑に走行できなくなる問題点があ
つた。又、永久磁石５と搬送路１が接触すると摩
擦により摩耗粉が発生し、その粉塵が磁性流体２
に混入し、磁性流体の性能変化をおこす問題点も
あつた。

本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、
簡単な構成でもつて走行時永久磁石と搬送路の接
触を防止し、搬送抵抗を増大させることなく、搬
送台を安定し円滑に走行させることができ、かつ
摩耗粉を発生させることなく磁性流体の性能変化
をおこさせない搬送装置を提供することを目的と
する。

問題点を解決するための手段 搬送路に沿つて搬送台が走行するときに、磁性
流体が進行方向の前部で減少する原因としては、 磁性流体のもつ粘性に基づき搬送台の進行方
向と反対側、すなわち後方に磁性流体が集中す
る。この現象は搬送台の走行速度が永久磁石に
より磁性流体が進行方向前方に引き戻される速
度より大きくなるとき発生する。

磁性流体と搬送路面の粘性に基づいても、
項と同様の現象が発生する。

が考えられる。

従つて、磁性流体が搬送台の進行方向の前部で
減少することは前述の従来の技術では防止するこ
とはできなかつた。

本発明は磁性流体が進行方向の前部で減少する
原因を解消するような構成とすることにより、前
述の問題点を解決したものである。

本発明は、断面が開溝又は略蟻溝状に形成され
た搬送路と、前記搬送路に沿つて走行する搬送台
と、前記搬送台に設けた脚部と、前記脚部底部に
固設した複数個の永久磁石と、前記搬送路と搬送
台の脚部との間に介在せしめた磁性流体とを具備
しており、かつ前記複数個の永久磁石の底面が搬
送台の進行方向水平面に対して搬送台中央部より
前上がりのなだらかな勾配を有するように永久磁
石を配置したことを特徴としている。

実施例 以下本発明の実施例について図面に基づき説明
を行う。

第１図は本発明に係る磁性流体搬送装置の第１
の実施例を示す断面正面図、第２図は第１図のＡ
−Ａ断面図、第３図は第１図のＢ−Ｂ断面図、第
１０図は本実施例での搬送台が走行する場合の状
況を示す図である。

図において、１は図示しないフレームによつて
固設された凹条溝１１を有する搬送路であり、該
搬送路１には前記溝部１１に配置された２個所に
設けた脚部４で支持された被搬送物Ｇを載置する
搬送台３が配置される。脚部４の下端面には所定
数の永久磁石５が設けられている。永久磁石５は
搬送台３の進行方向に対して、搬送台３の中央が
搬送路１の溝部１１の底面に対する距離が最小
で、進行方向の前方及び後方に向かうにつれて距
離が増加するように所定の曲率半径Ｒに永久磁石
５の下面がなるように配置する。従つて、第２図
及び第３図に示す如く、複数個の永久磁石５は搬
送台３の進行方向水平面に対して前上がりのなだ
らかな勾配を有している。従つて、永久磁石５と
溝部１１の底面との距離は、搬送台３の進行方向
に対して、搬送台３の中央では少なく、前方及び
後方では多くなる。

２は磁性流体であり、永久磁石５の磁界が作用
するように前記脚部４の下端面と搬送路１（溝部
１１）の底面との間に設けられている。その結
果、搬送台３の走行速度が、永久磁石５により磁
性流体２が進行方向に引き戻される速度より大き
くなつても、磁性流体２が永久磁石５の後方に集
中することがなく、搬送台３は永久磁石５と磁性
流体２との作用で搬送路より浮上することにな
る。従つて、搬送台３はリニアモータ等で駆動す
ることにより矢符で示す方向に浮上し走行できる
ことになる。

このような構成とすることにより、搬送台が走
行しても、第１０図に示す如く、進行方向の磁性
流体の付着量を殆ど静止時と比べて減少さすこと
なく、このため永久磁石５が搬送路１に接触する
こともなくなる。

従つて、永久磁石と搬送路の接触による摩耗粉
が発生せず、その粉塵が磁性流体に混入して、磁
性流体の性能変化をおこすことなく、搬送抵抗を
増大させることもなく、搬送台を安定し円滑に発
塵もなく走行させることができる。

第７図は本発明に係る磁性流体搬送装置の第２
の実施例を示す断面図、第８図は第７図イ部の拡
大図である。第１図〜第３図と同一部分には同一
符号を付して、その説明を省略する。又、第７図
のＡ−Ａ断面は第２図と、第７図のＢ−Ｂ断面図
は第３図と同様である。

本実施例が前記実施例と異なるのは、脚部４の
下端面に配置する永久磁石５の搬送路１の溝部１
１の底面に対する面が進行方向に対して搬送台３
の中央部より進行方向の前方及び後方にそれぞれ
前上がりのなだらかな勾配を設けたことであり、
第７図に示す如く永久磁石５と溝部１１の底面と
の距離は、搬送台３の進行方向に対して、搬送台
３の中央では少なく、前方及び後方では所定の寸
法HTだけ多くなるように勾配を設ける。

このような構成とすることにより、前記実施例
で説明したと同様に、進行方向の磁性流体の付着
量を殆ど静止時と比べて減少さすことなく、この
ため永久磁石５が搬送路１に接触することもなく
なり、搬送台を安定し円滑に発塵もなく走行させ
ることができる。

なお、第１の実施例及び第２の実施例におい
て、永久磁石５の搬送路１の溝部１１の底面に対
する面である第１図及び第７図のイ部に示す部分
の形状は所定の曲率半径をもつ形状にするか又
は、勾配を設けることに限定されずに、例えば第
８図に示す如く、永久磁石５と溝部１１の底面と
の距離は順次段階的にH1，H2……Hnと変化さ
せるように永久磁石５を構成することも可能であ
る。

第９図は本発明に係る磁性流体搬送装置の第３
の実施例を示す断面正面図である。第１図〜第３
図と同一部分には同一符号を付して、その説明を
省略する。又、第９図のＡ−Ａ断面は第２図と、
第９図のＢ−Ｂ断面図は第３図と同様である。

本実施例が第２の実施例と異なるのは、脚部４
の下端面に配置する永久磁石５の搬送路１の溝部
１１の底面に対する面が進行方向に対して搬送台
３の中央部両側の所定寸法L1は水平とし、それ
より前方又は後方の所定寸法L2は第９図に示す
如く永久磁石５と溝部１１の底面との距離は、搬
送台の中央部より前方及び後方では所定の寸法
HLだけ多くなるようにそれぞれ勾配を設けたこ
とである。

このような構成とすることにより、第２の実施
例で説明したと同様に、進行方向の磁性流体の付
着量を殆ど静止時と比べて減少さすことなく、こ
のため永久磁石５が搬送路１に接触することもな
くなり、搬送台を安定し円滑に発塵もなく走行さ
せることができる。

本実施例は第２の実施例の永久磁石の構成を比
較すると、本実施例では、搬送台の中央部の両側
の所定寸法L1の区間では永久磁石は水平とした
ので簡単にすることができる効果も有する。

さらに、本実施例において、永久磁石５の搬送
路１の溝部１１の底面に対する面である第９図の
ロ部に示す部分の永久磁石５の勾配を設ける構成
は本実施例に限定されずに、例えば第１１図に示
す如く、永久磁石５と溝部１１との底面との距離
は順次段階的にH1，H2……H5と変化させるよ
うに永久磁石５を構成することも可能である。

第１２図は本発明に係る磁性流体搬送装置をリ
ニアモータで駆動する場合の一実施例を示す図で
ある。前記各実施例で説明した構成において、図
示しないフレームにリニアモータの固定子２１を
搬送台３の進行方向に対し所定間隔をもつて定置
したものである。又、搬送台３の固定子２１と対
向する底面３１をリニアモータのリアクシヨンプ
レートとして作用するように、例えばアルミニウ
ム又は銅板等の導電性材料で構成し、前記固定子
２１と空隙を介して相対向し、リニアモータを構
成する。

このような構成により、搬送台３は永久磁石５
と磁性流体２との作用で前述した如く搬送路より
浮上し、さらにリニアモータで駆動し搬送台３を
走行さすことができる。

なお、搬送台３を駆動する方法は、リニアモー
タで行うことに限定されることなく、例えばロー
プトロリー等で駆動できることは勿論である。

前記各実施例においては、永久磁石５の構成
は、搬送台３の進行方向と直角の面は２列とした
が、永久磁石５の構成はこれに限定されることは
なく、例えば第１３図に示す如く１列とすること
も可能であり、さらに３列以上にすることも可能
なのは勿論である。さらに、搬送台３の進行方向
に配置する永久磁石５の構成は、前記各実施例に
限定されずに各実施例と同様の効果を奏するよう
に適宜可能なのは勿論である。

又、前記各実施例においては、搬送台３の進行
方向と直角方向の支持脚４は２本としたが、支持
脚の数はこれに限定されず、例えば第１４図に示
す如く１本とした場合、さらに３本以上にするこ
とも可能なのは勿論である。

発明の効果 本発明は、磁性流体搬送装置において、永久磁
石の構成を搬送台の進行方向に対して、複数個の
永久磁石の底面が搬送台の進行方向水平面に対し
前上がりのなだらかな勾配を有するように永久磁
石を配置することにより、簡単な構成でもつて、
搬送台が走行しても、永久磁石と搬送路が接触す
ることをなくし、永久磁石と搬送路の接触による
摩耗粉が発生せず、磁性流体の性能変化をおこす
ことなく、搬送抵抗を増大させることなく、搬送
台を安定し、円滑に発塵もなく走行させることが
できる効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る磁性流体搬送装置の第１
の実施例を示す断面正面図、第２図は第１図のＡ
−Ａ断面図、第３図は第１図のＢ−Ｂ断面図、第
４図は従来の搬送装置、第５図は第４図のＣ−Ｃ
断面図、第６図は従来の搬送装置において、搬送
台車が矢符で示す方向に走行する場合の状況を示
す図である。第７図は本発明に係る磁性流体搬送
装置の第２の実施例を示す断面正面図、第８図は
第７図イ部の拡大図、第９図は同第３の実施例を
示す断面正面図、第１０図は搬送台が走行する場
合の状況を示す図、である。第１１図は本発明の
他の実施例を示す断面正面図、第１２図、第１３
図、第１４図は本発明の他の実施例を示す図であ
る。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 断面が開溝又は略蟻溝状に形成された搬送路
   と、前記搬送路に沿つて走行する搬送台と、前記
   搬送台に設けた脚部と、前記脚部底部に固設した
   複数個の永久磁石と、前記搬送路と搬送台の脚部
   との間に介在せしめた磁性流体とを具備してお
   り、かつ前記複数個の永久磁石の底面が搬送台の
   進行方向水平面に対して搬送台中央部より前上が
   りのなだらかな勾配を有するように永久磁石を配
   置したことを特徴とする磁性流体搬送装置。