JPS61236302A - クリーンルームなどに用いる搬送装置 - Google Patents
クリーンルームなどに用いる搬送装置Info
- Publication number
- JPS61236302A JPS61236302A JP7495985A JP7495985A JPS61236302A JP S61236302 A JPS61236302 A JP S61236302A JP 7495985 A JP7495985 A JP 7495985A JP 7495985 A JP7495985 A JP 7495985A JP S61236302 A JPS61236302 A JP S61236302A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conveyance
- groove
- magnetic fluid
- path groove
- conveyance path
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000011553 magnetic fluid Substances 0.000 claims abstract description 19
- 239000012530 fluid Substances 0.000 abstract 1
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract 1
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 238000005188 flotation Methods 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
、度】ユＪ夏１１分団
本発明は搬送路と搬送台の支持脚部との間に磁性流体を
介在させて搬送台を浮上させ、リニアモ−夕で移送する
搬送装置に関する。
介在させて搬送台を浮上させ、リニアモ−夕で移送する
搬送装置に関する。
丈来坐肢歪−
この種の搬送装置の従来例としては、例えば搬送台に設
けたりニアモータの平板状の可動子に、下方から圧縮空
気を前記可動子に対応したテーブルに設けた多数のノズ
ルから噴射させ、搬送台を浮上させながらリニアモータ
の固定子の励磁によって移送させる搬送装置が知られて
いる。
けたりニアモータの平板状の可動子に、下方から圧縮空
気を前記可動子に対応したテーブルに設けた多数のノズ
ルから噴射させ、搬送台を浮上させながらリニアモータ
の固定子の励磁によって移送させる搬送装置が知られて
いる。
く”′ しよ゛と る。 占
しかしながら、上記装置においては圧縮空気源を必要と
し、このため設備費用が高価となる。さらには、かかる
タイプの搬送装置では搬送台を常に安定良く移送するに
は、そのための装置を別途装備する必要があり、構造が
複雑になるという欠点があった。
し、このため設備費用が高価となる。さらには、かかる
タイプの搬送装置では搬送台を常に安定良く移送するに
は、そのための装置を別途装備する必要があり、構造が
複雑になるという欠点があった。
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、搬送台を浮
上させるのに圧縮空気を必要とせず、且つ、簡単な構造
で搬送台を常に安定良く移送する搬送装置を提供するこ
とを目的としている。
上させるのに圧縮空気を必要とせず、且つ、簡単な構造
で搬送台を常に安定良く移送する搬送装置を提供するこ
とを目的としている。
口 占 ２ るための び
第１の発明に係る搬送装置の特徴とするところは、搬送
路溝部底面に永久磁石を固設し、搬送路の溝部内に磁性
流体を所定量入れ前記磁性流体と永久磁石との相互作用
による磁気力により搬送台を浮上させ、リニアモータに
よって搬送台に推力を与えて搬送台を常に安定良く搬送
するように構成したことにある。
路溝部底面に永久磁石を固設し、搬送路の溝部内に磁性
流体を所定量入れ前記磁性流体と永久磁石との相互作用
による磁気力により搬送台を浮上させ、リニアモータに
よって搬送台に推力を与えて搬送台を常に安定良く搬送
するように構成したことにある。
第２の発明に係る搬送装置の特徴とするところは、笹１
の発明に、さらに搬送路溝部の両側面に永久磁石を固設
させ、搬送台が走行するに際して、搬送路溝部の内壁−
と接触することなく所定の間隙を保って安定良く走行で
きる構成を付加し、第１の発明より、さらに搬送台を安
定良く移送できるようにしたことにある。
の発明に、さらに搬送路溝部の両側面に永久磁石を固設
させ、搬送台が走行するに際して、搬送路溝部の内壁−
と接触することなく所定の間隙を保って安定良く走行で
きる構成を付加し、第１の発明より、さらに搬送台を安
定良く移送できるようにしたことにある。
１蓋■
第１図は、第１の発明に係る搬送装置の一実施例を示す
搬送台の進行方向に直角に切った断面図、第２図は、第
１図のＡ−Ａ ”断面図である。
搬送台の進行方向に直角に切った断面図、第２図は、第
１図のＡ−Ａ ”断面図である。
図において、１・１は図示しないフレームによって固設
された搬送路であり、該俗世送路１・１には、搬送路本
体１１・１１に凹設された１条の凹条溝と、該本体１１
の上面に設けられたカバ一部１２とでもって２条の溝部
１３が形成されている。２はリニアモータの固定子であ
り、搬送路１・１に対応して搬送台の進行方向にわたっ
て所定間隔に定置されている。３・３は永久磁石であり
、搬送路本体１１・１１の溝部底面に全長に亘って固設
されていて、磁性流体４が搬送路溝部１３・１３に所定
量介在させたとき、永久磁石３の表面附近に磁性流体４
を保持する。５・５は、搬送台６を支持する非磁性材料
で構成された脚部で、前記搬送路１１・１１内に配置さ
れ、磁性流体４により浮上せしめられている。前記搬送
台６の底面６１は図示しない被搬送物が載置され、底面
６１は、アルミニウム又は銅等の導電性金属材で構成さ
れてリニアモータ固定子２のリアクションプレートとし
て、作用するものである。
された搬送路であり、該俗世送路１・１には、搬送路本
体１１・１１に凹設された１条の凹条溝と、該本体１１
の上面に設けられたカバ一部１２とでもって２条の溝部
１３が形成されている。２はリニアモータの固定子であ
り、搬送路１・１に対応して搬送台の進行方向にわたっ
て所定間隔に定置されている。３・３は永久磁石であり
、搬送路本体１１・１１の溝部底面に全長に亘って固設
されていて、磁性流体４が搬送路溝部１３・１３に所定
量介在させたとき、永久磁石３の表面附近に磁性流体４
を保持する。５・５は、搬送台６を支持する非磁性材料
で構成された脚部で、前記搬送路１１・１１内に配置さ
れ、磁性流体４により浮上せしめられている。前記搬送
台６の底面６１は図示しない被搬送物が載置され、底面
６１は、アルミニウム又は銅等の導電性金属材で構成さ
れてリニアモータ固定子２のリアクションプレートとし
て、作用するものである。
前記のように構成することにより、磁性流体４は、永久
磁石３の磁気作用により、見かけ比重の増加効果により
搬送台の脚部５を浮上させることになり、搬送台６は走
行抵抗が極めて小さくなるので、リニアモータ固定子２
に通電することにより推力を発生させ、搬送台６を搬送
路１に沿って安定良く円滑に移送させ・ることかできる
。
磁石３の磁気作用により、見かけ比重の増加効果により
搬送台の脚部５を浮上させることになり、搬送台６は走
行抵抗が極めて小さくなるので、リニアモータ固定子２
に通電することにより推力を発生させ、搬送台６を搬送
路１に沿って安定良く円滑に移送させ・ることかできる
。
第３図は第２の発明に係る搬送装置の一実施例を示す搬
送台の進行方向に直角に切った断面図である。第３図に
おいて第１図と同一部分は同一符合を付して示した。第
２の発明が第１の発明と異なるところは、搬送台６の移
送時の横方向の振れを防止するために横振れガイドを設
けたことである。前記以外の構成は、第１の発明のそれ
と同様である。
送台の進行方向に直角に切った断面図である。第３図に
おいて第１図と同一部分は同一符合を付して示した。第
２の発明が第１の発明と異なるところは、搬送台６の移
送時の横方向の振れを防止するために横振れガイドを設
けたことである。前記以外の構成は、第１の発明のそれ
と同様である。
第３図において、搬送路１・１の底面に永久磁石３１・
３１を搬送路全長に亘って固設することは、第１の発明
と同様であるが、本実施例では搬送路溝部１３・１３の
両側面に永久磁石３２を搬送路１の全長に亘って固設す
る。本実施例では所定量注入された磁性流体４は、搬送
路本体１１・１１の底面及び両側面からは搬送台脚部５
を浮上させる力が発生する。搬送路本体１１・１１の底
面からは浮揚力、搬送路本体１１−１１の両側面からは
斥力として作用し、搬送台６の搬送走行に際して、搬送
路溝部１３の内壁面と接触することなく搬送台の搬送時
の横方向の振れがなくなり所定の間隙を保って走行でき
ることになる効果を有する。前記以外の効果は、第１の
発明と同様である。
３１を搬送路全長に亘って固設することは、第１の発明
と同様であるが、本実施例では搬送路溝部１３・１３の
両側面に永久磁石３２を搬送路１の全長に亘って固設す
る。本実施例では所定量注入された磁性流体４は、搬送
路本体１１・１１の底面及び両側面からは搬送台脚部５
を浮上させる力が発生する。搬送路本体１１・１１の底
面からは浮揚力、搬送路本体１１−１１の両側面からは
斥力として作用し、搬送台６の搬送走行に際して、搬送
路溝部１３の内壁面と接触することなく搬送台の搬送時
の横方向の振れがなくなり所定の間隙を保って走行でき
ることになる効果を有する。前記以外の効果は、第１の
発明と同様である。
なお、第１図及び第３図に示す実施例にあっては磁性流
体４の外部への飛散、流出を防ぎ、且つ外部よりの異物
流入防止のため、搬送路本体１１・１１の上面にカバ一
部１２を設けたものである。
体４の外部への飛散、流出を防ぎ、且つ外部よりの異物
流入防止のため、搬送路本体１１・１１の上面にカバ一
部１２を設けたものである。
第１及び第２の発明のいづれにおいても、永久磁石を搬
送路溝部に固設したので、搬送台に永久磁石を具備する
方法に比較して、搬送台の自重を軽くすることができる
。このため、搬送台に推力を与えるリニアモータの必要
な容量を小さくできる効果もある。
送路溝部に固設したので、搬送台に永久磁石を具備する
方法に比較して、搬送台の自重を軽くすることができる
。このため、搬送台に推力を与えるリニアモータの必要
な容量を小さくできる効果もある。
血所勿遡且
第１の発明は、上記詳述したように、搬送路溝部内に固
設した永久磁石と搬送路溝部に介在せしめた磁性流体と
で搬送台を浮上させているから、簡単な構成でもって、
搬送台を常に安定良く移送させることができる。しかも
、従来の圧縮空気による浮上手段に比して装置全体の小
型化が図れ、設備費用及び維持費用の面において優れて
いる。
設した永久磁石と搬送路溝部に介在せしめた磁性流体と
で搬送台を浮上させているから、簡単な構成でもって、
搬送台を常に安定良く移送させることができる。しかも
、従来の圧縮空気による浮上手段に比して装置全体の小
型化が図れ、設備費用及び維持費用の面において優れて
いる。
又、永久磁石を搬送路溝部内に固設したことにより、搬
送台の重量も軽くなり、搬送台を移送させるリニアモー
タの必要な推力を少なくできる。さらに、塵埃がほとん
ど発生することがないので特にクリーンルーム内におい
て使用する搬送装置として最適である。
送台の重量も軽くなり、搬送台を移送させるリニアモー
タの必要な推力を少なくできる。さらに、塵埃がほとん
ど発生することがないので特にクリーンルーム内におい
て使用する搬送装置として最適である。
第２の発明は、第１の発明にさらに搬送路溝部の両側面
に永久磁石を固設させる構成を付加させることにしたの
で、前記第１の発明の効果と同様の効果が得られる上に
、搬送台が走行するに際して、搬送路の内壁面と接触す
ることなく所定の間隙を保って走行でき、第１の発明よ
り、さらに搬送台を安定良く移送することができる。
に永久磁石を固設させる構成を付加させることにしたの
で、前記第１の発明の効果と同様の効果が得られる上に
、搬送台が走行するに際して、搬送路の内壁面と接触す
ることなく所定の間隙を保って走行でき、第１の発明よ
り、さらに搬送台を安定良く移送することができる。
第１図は第１の発明に係る搬送装置の一実施例を示す搬
送台の進行方向に直角に切った断面図、第２図は第１図
のＡ−Ａ“断面図である。第３図は第２の発明に係る搬
送装置の一実施例を示す搬送台の進行方向に直角に切っ
た断面図である。 １・・・搬送路、２・・・固定子、３．３１．３２・・
・永久磁石、４・・・磁性流体、５・・・脚部、６・・
・搬送台、６１・・・搬送台底面。
送台の進行方向に直角に切った断面図、第２図は第１図
のＡ−Ａ“断面図である。第３図は第２の発明に係る搬
送装置の一実施例を示す搬送台の進行方向に直角に切っ
た断面図である。 １・・・搬送路、２・・・固定子、３．３１．３２・・
・永久磁石、４・・・磁性流体、５・・・脚部、６・・
・搬送台、６１・・・搬送台底面。
Claims (4)
- （１）搬送台の底面をリアクションプレートとし、前記
リアクションプレートに対向して設けた固定子と前記リ
アクションプレートとからなるリニアモータを用いた搬
送装置において、溝型状の搬送路溝部に介在せしめた磁
性流体と、搬送路溝部底面に固設された永久磁石とを具
備しており、所定量の磁性流体を前記永久磁石上面に附
着せしめ、前記搬送台が常に磁性流体により搬送路から
浮上されつつ、リニアモータの推力によって移送される
ようにしたことを特徴とする搬送装置。 - （２）前記永久磁石は搬送路の走行範囲全長に亘って固
設されることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
搬送装置。 - （３）搬送台の底面をリアクションプレートとし、前記
リアクションプレートに対向して設けた固定子と前記リ
アクションプレートとからなるリニアモータを用いた搬
送装置において、溝型状の搬送路溝部に介在せしめた磁
性流体と、搬送路溝部底面に固設された永久磁石と、搬
送路溝部両側面に固設された永久磁石とを具備しており
、所定量の磁性流体を前記搬送路溝部底面に固設された
永久磁石上面に附着せしめ、前記搬送台が常に磁性流体
により搬送路から浮上されつつ、前記搬送路溝部両側面
に固設された永久磁石により、搬送路溝部内壁面と接触
することなく所定の間隔を保って、リニアモータの推力
によって移送されるようにしたことを特徴とする搬送装
置。 - （４）前記搬送路溝部底面及び両側面に固設された永久
磁石は、搬送路の走行範囲全長に亘って固設されること
を特徴とする特許請求の範囲第３項記載の搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60074959A JPH0785605B2 (ja) | 1985-04-08 | 1985-04-08 | クリーンルームなどに用いる搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60074959A JPH0785605B2 (ja) | 1985-04-08 | 1985-04-08 | クリーンルームなどに用いる搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61236302A true JPS61236302A (ja) | 1986-10-21 |
| JPH0785605B2 JPH0785605B2 (ja) | 1995-09-13 |
Family
ID=13562360
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60074959A Expired - Lifetime JPH0785605B2 (ja) | 1985-04-08 | 1985-04-08 | クリーンルームなどに用いる搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0785605B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63123719A (ja) * | 1986-11-11 | 1988-05-27 | Seibu Electric & Mach Co Ltd | 搬送装置 |
| CN107758351A (zh) * | 2016-08-16 | 2018-03-06 | 阳程科技股份有限公司 | 磁性传动的输送方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS538420A (en) * | 1976-05-14 | 1978-01-25 | Lucas Industries Ltd | Fuel system in internal combustion engine |
| JPS5555053A (en) * | 1978-10-20 | 1980-04-22 | Hitachi Ltd | Car |
-
1985
- 1985-04-08 JP JP60074959A patent/JPH0785605B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS538420A (en) * | 1976-05-14 | 1978-01-25 | Lucas Industries Ltd | Fuel system in internal combustion engine |
| JPS5555053A (en) * | 1978-10-20 | 1980-04-22 | Hitachi Ltd | Car |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63123719A (ja) * | 1986-11-11 | 1988-05-27 | Seibu Electric & Mach Co Ltd | 搬送装置 |
| CN107758351A (zh) * | 2016-08-16 | 2018-03-06 | 阳程科技股份有限公司 | 磁性传动的输送方法 |
| CN107758351B (zh) * | 2016-08-16 | 2019-11-22 | 阳程科技股份有限公司 | 磁性传动的输送方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0785605B2 (ja) | 1995-09-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS62114403A (ja) | 搬送装置 | |
| JPS61236302A (ja) | クリーンルームなどに用いる搬送装置 | |
| JPS627305A (ja) | 浮上式搬送装置 | |
| JPH042462B2 (ja) | ||
| JPH07118847B2 (ja) | 搬送装置 | |
| JPH0545490B2 (ja) | ||
| JPH06101884B2 (ja) | 浮上式搬送装置 | |
| JPH0537773U (ja) | 交流磁気浮上搬送装置 | |
| JPS60160367A (ja) | 浮上式搬送装置 | |
| JPH05193742A (ja) | 荷搬送設備 | |
| JPS61236303A (ja) | 搬送装置 | |
| JPS62264846A (ja) | 無接触推進装置 | |
| JPS627301A (ja) | 浮上式搬送装置 | |
| JPS62275925A (ja) | 搬送装置 | |
| JPS61236304A (ja) | 搬送装置 | |
| JPH048103Y2 (ja) | ||
| JPS61128706A (ja) | リニアモ−タを用いた懸垂式搬送装置 | |
| JPH0458247B2 (ja) | ||
| JPH03276865A (ja) | 磁気吸引式浮上搬送装置 | |
| JP2760495B2 (ja) | 浮上式搬送装置 | |
| JPS62171821A (ja) | 搬送装置 | |
| JPH03276866A (ja) | 磁気吸引式浮上搬送装置 | |
| JPH03243524A (ja) | 搬送装置 | |
| JPH04125007A (ja) | 磁気浮上式搬送装置 | |
| JPS6392204A (ja) | 搬送設備 |