JPH0433697B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ 本発明は、吸着テーブルの改良に関するもので
ある。

＜従来の技術とその問題点＞ 従来の吸着テーブルアは、第１０図に示すよう
にテーブルアの上部に真空室イを設け、その上に
捨て板ウを置く。捨て板ウには、加工材Ｗに対応
する部分に吸引孔エをあけ、真空室イに生ずる吸
引力により加工材Ｗの底面に吸着力を作用させて
吸引固定する。このため、捨て板ウは加工材Ｗの
形状が異る毎に、その形状に対応するものを準備
しなければならない欠点がある。

また、加工材Ｗを直接捨て板ウ上におくので、
カツタオの形状いかんによつては、加工材Ｗの下
方にまでカツタオが及ぶため、捨て板ウにまで切
り込んで、捨て板ウを傷付ける欠点があつた。

＜問題点を解決するための手段＞ 本発明は、上記の欠点を解消した吸着テーブル
を提供しようとするもので、つぎのように構成す
る。

すなわち厚さ方向に多数の吸引孔をあけた基板
を吸着テーブルの真空室上に固定し、吸引孔のう
ち吸引力を必要としない部分の吸引孔には閉じ蓋
を嵌合して閉じ、吸引力を必要とする部分の吸引
孔には吸着パツトを挿入立設し、この吸着パツト
上に加工材を載置して吸引固定することを特徴と
する吸着テーブルである。

＜作用＞ 吸引孔に吸着パツトと閉じ蓋とを適宜に挿入す
ることにより、吸着力が働く部分と働かない部分
とを任意に設けうる。このため、加工材の形状に
応じて吸着パツトを挿入立設することにより、基
板そのものをかえなくても、加工材の形状に対応
する部分にのみ吸引力を作用させ、他の部分には
作用させないようにすることができる。

＜実施例＞ 以下に本発明の実施例を図面に基いて説明す
る。第１〜２図に示す図面において１は吸着テー
ブル２の真空室３（この部分は第９図参照）上に
固定する基板で、厚さ方向に多数の吸引孔４を縦
横格子状にあける。吸引孔４は、大径部５１（直
径：28mm）と小径部５２（直径：20mm）とよりな
る断面段状の立孔で、各孔の中心間ピツチは44mm
とする。ただし、これらの数値は一例で、これに
限るものではない。

吸引孔４のうち、加工材Ｗを載置して吸引固定
する部分には、吸着パツトを挿入立設する。６は
吸着パツトの第１実施例で、第３図に示すように
下端に小径部７を有す外周段状の筒状体で、下半
部を第８〜９図に示すように吸引孔４内に挿入し
て立設する。上端縁にはエアもれ防止用のウレタ
ンリング８を貼着する。内部には上下を開口端と
した内部空間９を設け、その下端は吸着テーブル
２の真空室３へ連通させ、上端は吸着面とする。
なお第７〜８図に示す９１は吸着パツト６の抜け
止めで、隣接する４本へ吸着パツト６間にかため
に押し込み、中央のビス孔へ基板１へ通ずるビス
９２を通して固定する。

１０は吸着パツトの第２実施例で、第４〜５図
に示すように４本の吸引孔４にわたる吸着室１１
を設け、その下に各吸引孔４へ挿入する挿入端１
２を設け、その下開口端と吸着室１１間に連通孔
１２１を設けたものである。この吸着パツト１０
は、吸着室１１が第１実施例に比して大きいた
め、第１実施例の吸着パツト６より大きな吸引力
が生ずる。

１３は加工材Ｗの横ずれ防止用のスパイクピン
台で、第６図に示すように上端の突出部１４にネ
ジ孔１５を設け、ここにスパイクピン１６をねじ
込む。このスパイクピン１６の突端を第９図に示
すように加工材Ｗの底面に刺入して、加工材Ｗの
横ずれを防ぐ。

１７は吸引力を必要としない部分の吸引孔４を
ふさぐ閉じ蓋で、第４図右側に示すように吸引孔
４の大径部５１に嵌入して、これを閉口する。下
面にはエアもれ防止用のウレタン１８を貼着す
る。第７〜８図に示す１９は閉じ蓋１７の押え板
で、まわり４枚の閉じ蓋１７の一端を上から押
え、中心のビス孔へ基板１へ通ずるビス２０を通
して固定する。

つぎに本装置の使い方を説明する。まず吸引力
を必要とする部分主として加工材Ｗを載置する部
分の吸引孔４に吸着パツト６を挿入立設し、吸着
力を必要としない部分主として加工材Ｗが及ばな
い部分の吸引孔４には閉じ蓋１９を嵌入して閉じ
る。（第９図参照）大きな吸引力を必要とする部
分には、第２実施例として示した吸着パツト１１
を挿入立設する。（第４図参照）さすれば各吸着
パツト６の内部空間９もしくは吸着パツト１１の
吸着室１１は吸着テーブル２の真空室３に通ず
る。そこで、吸着テーブル２を稼動して真空室３
を真空状態とすれば、加工材Ｗの下面に吸引力が
働いて、これを吸引固定する。

また、切削抵抗が大きくて加工材Ｗが横ずれす
る虞れがあるところは、スパイクピン台１５を吸
引孔４に挿入立設して、スパイクピン１８の尖端
を加工材Ｗの底面に刺入し、これを固定して横ず
れを防ぐ。（第９図参照） ＜発明の効果＞ 本発明は、吸着テーブル上に固定する基板の吸
引孔に吸着パツトと閉じ蓋とを任意に挿入立設す
るよう構成したため、つぎの効果が生ずる。

(1) 基板上に吸引部分と非吸引部分とを自由に設
けうるため、主として加工材の形状に応じて吸
引部分と非吸引部分とが簡単に得られる。この
ため、従来の捨て板のように加工材の形状がか
わる度に、これに対応するものを準備しなくて
も、一枚の基板で各種形状の加工材に対応で
き、きわめて効率的且つコストダウンが図れ
る。

(2) 加工材を吸着パツト上に載置するため、カツ
タが加工材の下方にまで及ぶ形状のものであつ
ても、基板を傷付ける虞れが全くない。

(3) 吸着パツトの形状をかえて吸着室が大きいも
のを使えば、吸着テーブルの吸引力は変わらな
くても、大きな吸引力が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は基板を示す平面図、第２図は同正面
図、第３図は第１実施例の吸着パツトを示す縦断
正面図、第４図は第２実施例の吸着パツトと閉じ
蓋の使用状態を示す縦断面図、第５図は同平面
図、第６図はスパイクピン台を示す縦断正面図、
第７図は吸着パツトと閉じ蓋と抜け止めの使用状
態を示す平面図、第８図は第７図におけるＡ−Ａ
縦断面図、第９図は吸着パツト、スパイクピン
台、閉じ蓋の使用状態を示す縦断面図、第１０図
は従来の吸着テーブル、捨て板、加工材を示す縦
断面図である。 Ｗ……加工材、１……基板、２……吸着テーブ
ル、３……真空室、４……吸引孔、６……吸着パ
ツト、９……内部空間、１０……吸着パツト、１
１……吸着室、１２……挿入端、１７……閉じ
蓋。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 厚さ方向に多数の吸引孔をあけた基板を吸着
   テーブルの真空室上に固定し、吸引孔のうち吸引
   力を必要としない部分の吸引孔には閉じ蓋を嵌合
   して閉じ、吸引力を必要とする部分の吸引孔には
   吸着パツトを挿入立設し、この吸着パツト上に加
   工材を載置して吸引固定することを特徴とする吸
   着テーブル。 ２ 吸着パツトとして、上下端を開口端とした内
   部空間を有する筒状体を吸引孔に挿入立設する特
   許請求の範囲第１項記載の吸着テーブル。 ３ 吸着パツトとして、複数の吸引孔へわたる吸
   着室を設け、該吸着室の下部へ各吸引孔へ挿入す
   る挿入端を設けてなる特許請求の範囲第１項記載
   の吸着テーブル。