JPS63208459A - 吸着テ−ブル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、吸着テーブルの改良に関するものである。

〈従来の技術とその問題点〉 従来の吸着テーブル（ア）は、第１０図に示すようにテ
ーブル（ア）の上部に真空室（イ）を設け、その上に捨
て板（つ）を置く。捨て板（つ）には、加工材Ｗに対応
する部分に吸引孔（１）をあけ、真空室（イ）に生ずる
吸引力により加工材Ｗの底面に吸着力を作用させて吸引
固定する。このため、捨て板（つ）は加工材Ｗの形状が
異る毎に、その形状に対応するものを準備しなければな
らない欠点がある。

また、加工材Ｗを直接捨て板（り）上におくので、カッ
タ（オ）の形状いかんによっては、加工材Ｗの下方にま
でカッ々（オ）が及ぶため、捨て板（つ）にまで切り込
んで、捨て板（つ）を傷付ける欠点があった。

く問題点を解決するための手段〉 本発明は、上記の欠点を解消した吸着テーブルを提供し
ようとするもので、つぎのように構成する。

すなわち厚さ方向に多数の吸引孔をあけた基板を吸着テ
ーブルの真空室上に固定し、吸引孔のうち吸引力を必要
としない部分の吸引孔には閉じ蓋を嵌合して閉じ、吸引
力を必要とする部分の吸引孔には吸着パットを挿入立設
し、この吸着パット上に加工材を載置して吸引固定する
ことを特徴とする吸着テーブルである。

〈作　用〉 吸引孔に吸着パットと閉じ蓋とを適宜に挿入することに
より、吸着力が働く部分と働かない部分とを任意に設け
つる。このため、加工材の形状に応じて吸着パットを挿
入立設することにより、基板そのものをかえなくても、
加工材の形状に対応する部分にのみ吸引力を作用させ、
他の部分には作用させないようにすることができる。

〈実施例〉 以下に本発明の実施例を図面に基いて説明する。第１〜
２図に示す図面において１は吸着テーブル２の真空室３
　（この部分は第９図参照）上に固定する基板で、厚さ
方向に多数の吸引孔４を縦横格子状にあける。吸引孔４
は、大径部５１（直径：２８ｍｍ）と小径部５２（直径
：２０ｍｍ）とよりなる断面段状の立孔で、各孔の中心
間ピッチは４４ｍ５とする。ただし、これらの数値は一
例で、これに限るものではない。

吸引孔４のうち、加工材Ｗを載置して吸引固定する部分
には、吸着パットを挿入立設する。

６は吸着パットの第１実施例で、第３図に示すように下
端に小径部７を有す外周段状の筒状体で、下半部を第８
〜９図に示すように吸引孔４内に挿入して立設する。上
端縁にはエアもれ防止用のウレタンリング８を貼着する
。内部には上下を開口端とした内部空間９を設け、その
下端は吸着テーブル２の真空室３へ連通させ、上端は吸
着面とする。なお第７〜８図に示す９１は吸着パット６
の抜は止めで、隣接する４本へ吸着パット６間にかため
に押し込み、中央のビス孔へ基板１へ通ずるビス９２を
通して固定する。

１０は吸着パットの第２実施例で、第４〜５図に示すよ
うに４本の吸引孔４にわたる吸着室１１を設け、その下
に各吸引孔４へ挿入する挿入端１２を設け、その下開口
端と吸着室１１間に連通孔１２１を設けたものである。

この吸着パット１０は、吸着室１１が第１実施例に比し
て大きいため、第１実施例の吸着パット６より大きな吸
引力が生ずる。

１３は加工材Ｗの横ずれ防止用のスパイクビン台で、第
６図に示すように上端の突出部１４にネジ孔１５を設け
、ここにスパイクピン１６をねじ込む。このスパイクピ
ン１６の突端を第９図に示すように加工材Ｗの底面に刺
入して、加工材Ｗの横ずれを防ぐ。

１７は吸引力を必要としない部分の吸引孔４をふさぐ閉
じ蓋で、第４図右側に示すように吸引孔４の大径部５１
に嵌入して、これを閉口する。下面にはエアもれ防止用
のウレタン１８を貼着する。第７〜８図に示す１９は閉
じ蓋１７の押え板で、まわり４枚の閉じ蓋１７の一端を
上から押え、中心のビス孔へ基板１へ通ずるビス２０を
通して固定する。

つぎに本装置の使い方を説明する。まず吸引力を必要と
する部分主として加工材Ｗを載置する部分の吸引孔４に
吸着パット６を挿入立設し、吸着力を必要としない部分
主として加工材Ｗが及ばない部分の吸引孔４には閉じ蓋
１９を嵌入して閉じる。（第９図参照）大きな吸引力を
必要とする部分には、第２実施例として示した吸着パッ
ト１１を挿入立設する。（第４図参照）さすれば各吸着
パット６の内部空間９もしくは吸着パット１１の吸着室
１１は吸着テーブル２の真空室３に通ずる。そこで、吸
着テーブル２を稼動して真空室３を真空状態とすれば、
加工材Ｗの下面に吸引力が働いて、これを吸引固定する
。

また、切削抵抗が大きくて加工材Ｗが横ずれする虞れが
あるところは、スパイクビン台１５を吸引孔４に挿入立
設して、スパイクピン１８の尖端を加工材Ｗの底面に刺
入し、これを固定して横ずれを防ぐ。（第９図参照） 〈発明の効果〉 本発明は、吸着テーブル上に固定する基板の吸引孔に吸
着パットと閉じ蓋とを任意に挿入立設するよう構成した
ため、つぎの効果が生ずる。

（１）基板上に吸引部分と非吸引部分とを自由に設けう
るため、主として加工材の形状に応じて吸引部分と非吸
引部分とが簡単に得られる。

このため、従来の捨て板のように加工材の形状がかわる
度に、これに対応するものを準備しなくても、一枚の基
板で各種形状の加工材に対応でき、きわめて効率的且つ
コストダウンが図れる。

（２）加工材を吸着パット上に載置するため、カッタが
加工材の下方にまで及ぶ形状のものであっても、基板を
傷付ける虞れが全くない。

（３）吸着パットの形状をかえて吸着室が大きいものを
使えば、吸着テーブルの吸引力は変わらなくても、大き
な吸引力が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は基板を示す平面図、第２図は同正面図、第３図
は第１実施例の吸着パットを示す縦断正面図、第４図は
第２実施例の吸着パットと閉じ蓋の使用状態を示す縦断
面図、第５図は同平面図、第６図はスパイクピン台を示
す縦断正面図、第７図は吸着パットと閉じ蓋と抜は止め
の使用状態を示す平面図、第８図は第７図におけるＡ−
Ａ縦断面図、第９図は吸着パット、スパイクピン台、閉
じ蓋の使用状態を示す縦断面図、第１０図は従来の吸着
テーブル、捨て板、加工材を示す縦断面図である。 Ｗ−加工材　　　１　一基板 ２−吸着テーブル　　　３−真空室 ４−吸引孔　　　６−吸着パット ９−内部空間　　　１〇　−吸着パット１１−　吸着室
　　　１２−挿入端 １７−閉じ蓋 出願代理人 松　　本　　　久 ’Ｉｆ開日ｒ；６３−２０８４５９　　（４＞手続補正
書（方式） 昭和６２年５月２″８：８ １、事件の表示 昭和６２年　特許　　願第　０４３３４０号３、補正を
する者 事件との関係　　特許出願人 住　所　　　　静岡県浜松市大蒲町１１６番地の６氏　
名（名称）　　庄田鉄工株式会社 代表者　庄　　１）　　　功

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、厚さ方向に多数の吸引孔をあけた基板を吸着テーブ
   ルの真空室上に固定し、吸引孔のうち吸引力を必要とし
   ない部分の吸引孔には閉じ蓋を嵌合して閉じ、吸引力を
   必要とする部分の吸引孔には吸着パットを挿入立設し、
   この吸着パット上に加工材を載置して吸引固定すること
   を特徴とする吸着テーブル。 ２、吸着パットとして、上下端を開口端とした内部空間
   を有する筒状体を吸引孔に挿入立設する特許請求の範囲
   第１項記載の吸着テーブル。 ３、吸着パットとして、複数の吸引孔へわたる吸着室を
   設け、該吸着室の下部へ各吸引孔へ挿入する挿入端を設
   けてなる特許請求の範囲第１項記載の吸着テーブル。