JPH0433782A - 少なくとも一部が金属間化合物からなる複合材の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明は、各種用途に使われる少なくとも一部が金属間
化合物からなる複合材の製造方法に関する。

「従来の技術」 金属間化合物は耐熱性、耐酸化性、耐摩耗性等に優れし
かも軽量に構成でき、また超電導等の機能性を有するな
どの優れた性質をもつため、各種用途に使われる素材と
してきわめて有望視されている。

金属間化合物の例として、Ｔｉ−Ａｌ系、　Ｎｉ−Ａｌ
系、　Ｎｉ−Ｔｌ系、　Ｃｏ−Ｔｌ系、　Ｆｅ−Ａｌ系
、　Ｎｏ−Ａｌ系。

Ｍｏ−８ｉ系、　Ｎｂ−Ａｌ系、　Ｔｉ−３ｉ系等の２
元系や、Ｆｅ−Ａｌ−９ｉ系、　Ａｌ−Ｇａ−Ａｓ系等
の多元系が知られている。具体的には、構造材として、
ＴｉＡｌ、　Ｔｉｓ　Ａｔ。

Ａｌ３　Ｔｉ、　Ｃｏ３Ｔｉ、　Ｎｉ３Ａｌ、　ＮｉＡ
ｌ、　ＦｅＡｌ、　ＭＯ３Ａｌｇ　。

ＭｏＳｉ２．　Ｎｂｉ　Ａ１．　Ｔｉ５Ｓｉｑ等が知ら
れている。また形状記憶効果を有するＴ１Ｎｉ、　Ｃｕ
Ｚｎ等、超電導材料としてＮｂｓ　Ｓｎ、　　Ｖ３　Ｇ
ａ、　Ｎｂｓ　Ｇａ、　Ｎｂ３Ｇｅ等、磁性材料として
Ｐｅａ　　（ＡＩＳｉ）　、５ＩＩＣＯ５、半導体及び
その他の機能性材料としてＩｎＳｂ、　ＧａＡｓ、　Ｂ
ｉ２Ｔｅ３゜Ｚｎ５ｅ等その他にも多くのものがある。

金属間化合物を利用する製品例としては、高温で使用さ
れる外壁材や、タービン部材、ピストンやバルブシステ
ム等のエンジン部品、弾性部材、あるいは超電導等の各
種金属間化合物に固有の優れた性質を生かした機能部品
などが考えられる。

［発明が解決しようとする課題］ 金属間化合物は上記のように優れた性質を有する反面、
接合に困難を伴う。例えば、金属間化合物からなる一方
の部材を電子ビーム溶接法によって他方の部材に接合さ
せる場合、溶接部において結晶粒の粗大化を生じたり、
実用上無視できない程大きな溶接欠陥が生じることがあ
り、接合部の組織・欠陥等を制御するには至っていない
。

ろう付けや接着剤による接合も考えられるが、接合部の
耐熱性や機械的性質や固有の機能性等が母材よりも劣る
ため、母材である金属間化合物の優れた特質を生かしき
れない。

また、接合部を加圧しつつ加熱することによって高温下
で接合させることも考えられるが、接合部が軟化する温
度まで加熱されると所定の形状を維持することが困難と
なる。

従って本発明の目的は、少なくとも一方が金属間化合物
からなる複合材を高品質かつ安価に接合でき、接合時の
加熱温度が比較的低くてすみ、接合部が母材と同等の性
能を発揮できるような接合部の組織・欠陥等の制御がな
された複合材の製造方法を提供することにある。

［課題を解決するための手段］ 上記目的を果たすために開発された本発明方法は、少な
くとも一方の部材の材料に金属間化合物を形成可能な組
成比で混合された複数の元素を含有する混合体を用い、
一方の部材と他方の部材を互いに接触させた状態で金属
間化合物が形成される温度で熱処理し、金属間化合物形
成時に発生する発熱を双方の部材の接触面に作用させる
ことにより、この自己発熱を利用して双方の部材を互い
に接合させることを特徴とする製造方法である。

上記混合体は、適宜手段によって圧着しておくと更によ
い場合がある。

第１図に本発明方法による複合材製造工程の概略を示し
ている。

上記熱処理は、例えばアルミナや珪砂等の粉粒体を圧力
媒体とする擬似等方圧プレス加工（以下、ＰＨＩＰと称
する）によって接合する部材の自重以上に加圧しながら
行なうと更に好ましい結果が得られる場合がある。加圧
時の雰囲気は、大気中あるいは不活性ガスであってもよ
いが、真空中あるいは酸化還元雰囲気ガス等を用いるこ
とによって、接合強度と母材強度を向上できる場合があ
る。

また、これらの雰囲気を組合わせてもよい。

上記一方の部材の原料は、少なくとも一部が金属間化合
物形成前の金属材料から構成されている必要があるが、
一部に金属間化合物を含んでいてもよい。また、接合後
の複合材の諸特性を改善する目的、あるいは所望の部品
形状への成形の容易化を図る目的で、適宜の元素や酸化
物・窒化物・炭化物等の化合物が含まれていてもよい。

上記原料は純金属の塊である必要はなく、固溶体であっ
てもよいし、めっき等によってつくられた複合体であっ
てもよい。混合前の原料の形態は、粉末。

フレーク状、線材、箔等である。

混合方法ないし圧着方法は、原料が粉末あるいはフレー
ク状である場合、Ｖ型混合機、ボールミル、ミキサ等に
よって混合したものを押出すか、金型プレスあるいはホ
ットプレスまたはＣＩＰ（冷間等方圧プレス成形）もし
くはＨＩＰによって圧着させる。また、混合された上記
原料を金属パイプに詰めるなどして、スェージングマシ
ンによって所定の外径になるまで鍛造するようにしても
よい。

線状原料の場合には、原料の線を束ねるかまたは撚り合
わせたのち、伸線機あるいはスェージングマシン、押出
し機等を使って線同志を圧着させる。箔状原料の場合に
は、箔を厚み方向に積層するかあるいは積層後に巻いた
状態で、圧延装置あるいはスェージングマシン、押出し
機により圧着させる。

上記成形工程は冷間で行ってもよいが、成形時の変形抵
抗を減少させるために温間で行ってもよい。温間で成形
する場合、金属間化合物が形成される温度以下であるこ
とか好ましいが、組織の一部に金属間化合物を生じる程
度の短時間で成形が終了するなら、金属間化合物が形成
される温度以上の温間で成形を行ってもよい。

上記成形工程は、適宜の方法により、大気中もしくは真
空中、不活性ガスあるいは酸化還元雰囲気ガス等、ある
いはこれら雰囲気を組合わせて行われてもよい。

［作用］ 所望の形状に加工された金属間化合物形成前の一方の部
材と、他方の部材は、金属間化合物が形成される温度ま
で加熱される。この熱処理によって拡散または自己燃焼
焼結を生じ、金属間化合物が形成されると同時に、金属
間化合物形成時の発熱もしくは自己燃焼反応熱により一
方の部材と他方の部材が接合される。自己発熱による温
度は加熱温度よりも高くなる。なお、熱処理時の変形を
小さくする上では、加熱温度を金属間化合物の固相線以
下の温度域にするとよい。金属間化合物の形成を終わら
せるには上記温度を一定時間維持する必要がある場合が
ある。温度が低いと時間が長くかかる。

本発明による接合のメカニズムは、金属間化合物形成時
の上記自己発熱によって接合部界面が軟化もしくは一部
が溶融して接合部界面の酸化被膜が破壊され、あるいは
界面の微細な凹凸が潰れ、双方が完全に密着することに
よる分子間力ないし金属結合的な力、そして拡散による
と考えられる。

［実施例］ 以下に本発明の実施例について、第２図ないし第６図を
参照して説明する。第３図および第４図に示された複合
材Ａの一例は、一方の部材１と、円筒状の他方の部材２
とからなる。一方の部材１に凸部３が設けられており、
この凸部３に他方の部材２の開口端部が嵌合させられて
いる。

第２図に示す製造工程の一例は、一方の部材１の材料で
ある混合圧着体の原料を混合する工程５と、必要に応じ
て行われる混合された原料を圧着して形状を付与する混
合圧着体製造工程６と、必要に応じて行われる成形前熱
処理工程７と、成形工程８と、他方の部材２を製造する
工程１０と、一方の部材１と他方の部材２を仮止めする
工程１１と、接合予定部を封止する工程１２と、金属間
化合物の形成温度まで加熱する熱処理工程１３と、必要
に応じて実施される熱処理後の加工工程１４と、金属間
化合物形成後の熱処理工程１５および仕上げ工程１６を
含んでいる。

一方の部材１の原料を混合する工程５においては、−例
としてガスアトマイズ法により作製した３５０メツシユ
以下のＡ１粉末と、８５０メツシユ以下のスポンジＴｉ
粉末を重量分率でＴｉ　：　Ａｌ　−６４％：３６％の
割合で、Ａｒガス置換された乾式ボールミルを用いて混
合する。

混合圧着体の製造工程６において、金型ブレスを用いて
、所望形状の混合圧着体（この場合、圧粉体）を得る。

なお、金型プレスを行う代りに、上記混合原料をバイブ
に詰め、ロータリスェージング等によって各種形状に圧
着させるようにしてもよい。なお、上記混合体をそのま
ま熱処理工程１３において熱処理する場合には、この工
程６を省略してもよい。

上記工程６が終了したのち、必要に応じて例えば真空中
で行われる焼鈍等の成形前熱処理工程７を実施すること
により、前記工程６で混合圧着体を製造した時の加工歪
を除去し、変形抵抗を減少させる。また、混合圧着体の
圧着面を拡散によって強固なものとし、強度を向上させ
る。

成形前熱処理工程７は、混合体もしくは混合圧着体の不
純物成分を拡散または除去する効果もある。この熱処理
工程７は、大気中もしくは真空中、不活性ガスあるいは
酸化還元雰囲気ガス等、あるいはこれら雰囲気を組合わ
せて行われてもよい。

処理温度は金属間化合物が形成される温度以下が一般的
であるが、圧着面の一部に金属間化合物ができる程度の
短時間の加熱であるなら金属間化合物が形成される温度
以上であってもかまわない。

Ｔｉ−Ａｌ系の場合は２００℃〜６００℃の範囲が望ま
しい。

上記工程６によって得られた混合圧着体に、成形工程８
によって鍛造あるいは機械加工等を行ってもよい。但し
、前記工程６によって所望の形状が得られる場合は、上
記熱処理工程７および成形工程８を省略してもよい。

他方の部材２の製造工程１０においては、ガスアトマイ
ズ法により作製した　３５０メツシユ以下のＡ１粉末と
、３５０メツシユ以下のスポンジＴｉ粉末を重量分率で
Ｔｉ　：　Ａｌ−６４％：３６％の割合で、Ａｒガス置
換された乾式ボールミルを用いて混合する。そののち、
金型ブレスあるいはバイブに詰めてスェージング加工す
るなどして、所望形状の混合圧着体を得る。なお、この
混合圧着体を一方の部材１と同様の工程によって成形す
るようにしてもよい。

上記各工程を経て得られた金属間化合物形成前の一方の
部材１の材料（混合圧着体）と他方の部材２の材料（混
合圧着体）は、互いに接合部位を嵌合させることによっ
て仮止めされる。両部材１゜２を固定する方法としては
、本実施例のような凹凸嵌合以外に、圧接、摩擦圧接、
接着剤、ろう付け、ボルト止め等が採用されてもよい。

一方の部材１と他方の部材２の接合部の接触面積は、複
合材Ａの形状を保持したり、良好な接合強度を得るため
に０．００１　ｍｍ２以上か望ましく、更には０．０１
ａｉ２以上が望ましい。

こうして互いに固定された両部材１．２は、必要に応じ
て封止材によって接合部を封止することにより、下記Ｐ
ＨＩＰを行なう際に粉粒体２〕か接合部に入り込まない
ようにする。封止材としては、上記混合圧着体と同様の
組成や他の組成、更には他の金属やセラミックス等から
なる板、線、箔、粉末等、あるいは無機接着剤や有機接
着剤、ろう材が用いられる。この封止材は、予め接合部
の縁に形成しておいた溝等に詰めるなどしてもよい。ま
た、この封止材と同様の効果をもたらすために、両部材
１．２の全体を金属８ガラス等によって真空密封するな
どしてもよい。

上記部材１，２は例えば第５図に示されたＰＨＩＰを実
施する装置２０に入れられ、金属間化合物が形成される
温度まで加熱されかつ必要に応じて擬似等方圧で加圧さ
れる。この装置２０は、′　圧力媒体として例えばアル
ミナ粉末等の固形粉粒体２１を満たした耐圧ステンレス
鋼製ポット２２と、このポット２２に内蔵されたコイル
状の抵抗発熱体であるカンタルヒータ２３と、温度検出
用の熱電対２４と、ステンレス鋼製の蓋２５と、この蓋
２５を加圧する油圧シリンダ等の加圧手段２６と、上記
ポット２２を包囲する密閉容器状の真空チャンバ２７と
、このチャンバ２７の内部を排気する排気装置２８等を
備えて構成されている。

チャンバ２７はＯリング等のシール材２９によって気密
が保たれる。粉粒体２１は、耐熱および耐圧性を有する
ものであればよいから、アルミナ粉末以外のセラミック
ス粉末やカーボン粉末等を利用してもよい。

加圧手段２６によって例えば５００ｋｇｆ’／ｃｍ２の
擬似等方圧をかける。また、排気装置２８によってチャ
ンバ２７内を排気することにより、ポット２２の内部も
排気した状態で、ヒータ２３によって例えば９００℃ま
で加熱する。この時の温度は熱電対２４によって測定す
ることができる。一方の部材１と他方の部材２の材料で
ある前記混合圧着体は、上記温度に加熱されることによ
り、自己燃焼焼結により金属間化合物を形成すると同時
に発熱し、互いの接合界面において拡散結合することな
どにより一体化する。なお、圧力媒体としてガスや液体
、もしくは流動体を用いるＨＩＰ等によって、等方圧で
加圧してもよい。あるいは型を用いるホットプレスによ
って機械的に加圧することにより、金属間化合物形成前
の混合体もしくは混合圧着体を所定の形状に成形すると
同時に、熱処理工程１３を行ってもよい。

Ｔｉ−Ａｌ系の場合は、５０ｋｇ　ｆ　／■２以上に加
圧するとよい。これ以下の圧力では、複合材の強度か極
端に低下する。さらに高強度な複合材を得るためには、
２００　）ｃｇ　ｆ　／　ｃｍ　２以上に加圧するとよ
い。

Ｔｊ−Ａｌ系の場合の熱処理温度は４００℃以上かよい
。４００℃以下では、処理時間が長くかかる。また、Ｔ
ｉ−Ａｌ系の場合の雰囲気は、高強度な複合材を得るた
めには、真空中で行なうのが特によい。

大気中で行なうと酸化が進行し、強度が低下する場合か
ある。

ＴｉＡｌの標準生成熱はΔＨ２９８−７５ＫＪ／　＋０
０１であり、金属間化合物形成時に発生する熱量が外部
に逃げない場合の複合体の温度は、ＴｉＡｌの融点以上
になり、十分な発熱が得られる。なおΔＨ２，８は一４
０ＫＪ／ｍｏｌ以下であると効果が大きい。

またＴｊ−Ａｌ系の場合は、上記熱処理温度までの昇温
スピードをｌＯ℃／　ｗｉｎ以上にするとよい。この昇
温スピードでは、急激な反応が起こるので、複合体の温
度上昇が十分なものとなる。

上記実施例装置２０を使用した場合、所望の真空度を部
材１，２の表面および内部に及ぼすことができるから、
必要に応じて真空雰囲気中で複合材Ａを金属間化合物形
成温度まで加熱することができる。このため、複合材Ａ
に含まれる不純物の除去が図れるとともに、空孔をさら
に減少させることができる。また、大気中で行なっても
よいが、必要に応じてチャンバ２７の内部を特定のガス
に置換させることにより、ガス雰囲気中で金属間化合物
を形成させることも可能である。そして特にＰＨＩＰを
用いることにより上記実施例以外の複雑な形状の複合材
にも容易に適用できる。

なお、必要があれば上記熱処理工程１３の終了後に、鍛
造等の適宜の加工工程１４を実施することにより、母材
と接合部の欠陥、偏析の改善、不純物の分散等を図って
もよい。

また、上記熱処理工程１３によって金属間化合物の形成
と接合がなされた後、必要に応じて上記擬似等方圧と雰
囲気を維持した状態で複合材Ａを例えば９００℃に保持
し、１時間の熱処理工程１５を行ってもよい。処理温度
は、金属間化合物の固相線以下の温度域が望ましい。特
に、Ｔｉ−Ａｌ系の場合は７００℃以上が望ましい。こ
れ以下の温度では十分な拡散が進行しない。この熱処理
工程１５は、大気中で行ってもよいが、不活性ガスある
いは真空雰囲気や酸化還元雰囲気等のガス中で行えば更
に好ましい結果か得られることがある。また、これらの
雰囲気を組合わせてもよい。材料によっては加圧しない
状態で二〇熱処理工程１５を実施してもよい。

金属間化合物形成後の熱処理工程１５を行うことによっ
て、複合材Ａ　＋：含まれる空孔を更に減少させること
ができるとともに、組織の均一化が促進され、また、接
合歪の除去、更には不純物の拡散もしくは不純物の除去
が図れる。この熱処理工程１５の実施によって、結晶粒
の大きさや金属間化合物組織または析出物の調整をする
ことも可能である。

以上の一連の工程によって、（ＴｉＡｌ　＋　Ｔｉｓ　
Ａｌ）の金属間化合物からなる一方の部材１と、同じく
（ＴｉＡＩ＋　Ｔｉ３Ａｔ）の金属間化合物からなる他
方の部材２とが完全に一体化された複合材Ａが得られた
。この複合材Ａは、母材および接合部に実用上問題にな
るような欠陥が存在せず、均質であり、良好な接合強度
を有していた。

第６図は上記複合材Ａの接合部の顕微鏡写真である。接
合部の組織は母材とほぼ同じであり、接合部の判別が困
難なほど良好な接合がなされた。

母材および接合部は共に優れた耐熱性と耐酸化性を発揮
し、しかも接合強度がきわめて大きい。

なお、上記熱処理工程１５の終了後に仕上げ工程１６を
行ってもよい。例えばバレル加工等によって複合材Ａの
表面を滑らかなものにする。あるいは機械加工等によっ
て表面の研磨を行うとか、表面傷１表面層等の除去ある
いは切断、研削加工等により形状の修正、追加を行った
り、前記封止材のはみ出した箇所もしくは封止材の全体
を除去する。また、ショットピーニング等を行うことに
より、複合材Ａの表層部に圧縮残留応力を生じさせれば
、複合材Ａの耐久性を更１ｑ高めることができる。

なお一方の部材１の材料にＴｊ　：　Ａｌ　−８４％二
３６％の混合圧着体を用い、他方の部材２の材料にＴｉ
　：　Ａｌ−３７，１７％：　８２．８３％の混合圧着
体を用いて、上記実施例と同様の製造工程を実施したと
ころ、金属間化合物（ＴｊＡＩ＋Ｔｊｉ　Ａｔ）からな
る一方の部材１と、金属間化合物（Ａｌ３　Ｔｉ）から
なる他方の部材２とが完璧に接合された複合材が得られ
た。

第７図に示された顕微鏡写真は、一方の部材１にＴｌ二
＾１−６４％二３６％の混合圧着体を用い、他方の部材
２にインコネルＭＡ７５４を用いて得た複合材の接合部
を示している。接合部には十分な拡散層もしくは、化合
物層が形成され、高強度な接合体が得られた。製造工程
は前記実施例の工程（第２図）と同様である。

なお、他方の部材２は、Ｎｉ、　Ｎｉ合金、Ｎ１基耐熱
合金、　ＴＩ、　Ｔｆ金合金　Ａ１．　Ａ１合金などの
金属、８１等の半金属、あるいは金属間化合物、アルミ
ナ、窒化けい素、炭化けい素等のセラミックス等の無機
材料のいずれでもよいし、耐熱プラスチック等の有機材
料でも適用できる場合がある。一方の部材１と他方の部
材２に、１つ以上の共通元素が含まれていればなおよい
。

第８図ないし第１７図は、複合材の形状例を示している
。第８図および第９図に示された複合材Ａ２は、カム形
状の一方の部材１と、シャフト形状の他方の部材２を互
いに前記方法によって接合したものである。この場合、
接合部に溝４０を設け、この溝４０に封止材４１を詰込
むことにより、前記ＰＨＩＰを行なう際に接合部に粉粒
体２１が入り込まないようにしている。

第１０図および第１１図に示された複合材Ａ３は、テー
パ状の端部５０を有する一方の部材１を、他方の部材２
のテーバ孔５１に挿入した状態で接合を行なうようにし
ている。第１２図および第１３図に示された複合材Ａ４
は、円板状の一方の部材１を、ピストンヘッド状の他方
の部材２の端面に接合している。第１４図および第１５
図に示された複合材Ａ、は、バルブ形状をなす一方の部
材１を円柱ロッド状の他方の部材２に接合したものであ
る。また、第１６図に示される複合材Ａ６のように、一
方の部材１と他方の部材２を厚み方向に重ねて接合して
もよいし、あるいは第１７図に示された複合材Ａ７のよ
うに、一方の部材１と他方の部材２を長平方向に接合し
てもよい。

また本発明は、前記実施例で示したものに限らず、Ｔｉ
−Ａｌ系の他の組成についても適用できる。

特に、少なくとも一方の部材を、前記混合原料の組成比
が重量％でＡｌが１４〜６３％、Ｔｉが８６〜３７％の
範囲にすると、Ｔｉ−Ａｌ系金属間化合物からなる複合
材においては、金属間化合物形成時の大きな発熱により
、気孔率が３％以下で最大欠陥が１００μｍ以下である
高強度な複合材が得られた。

また本発明は、他の金属間化合物を形成する系について
も適用できる。

［発明の効果］ 本発明によれば、金属間化合物形成時に発生する大きな
自己発熱を接合部に作用させることができ、接合界面に
おける欠陥発生の防止および接合に必要な拡散を進行さ
せる効果があり、加熱温度が比較的低くても自己発熱に
よって良好な接合部が短時間で容易に得られる。

また、金属間化合物の融点に比べてかなり低い温度で金
属間化合物の形成と接合がなされるため、接合温度が低
いにもかかわらず接合後は母材・接合部とも金属間化合
物と同等以上の耐熱性や機能性を発揮できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明方法を示す工程説明図、第２図は本発明
の一実施例を示す工程説明図、第３図は複合材の一例を
示す斜視図、第４図は第３図に示された複合材の断面図
、第５図はＰＨＩＰを実施する装置の断面図、第６図は
接合部の金属組織を６００倍に拡大して示す顕微鏡写真
、第７図は接合部の他の例を示す金属組織を４００倍に
拡大した顕微鏡写真、第８図は複合材の例を示す斜視図
、第９図は第８図に示された複合材の断面図、第１０図
は複合材の例を示す斜視図、第１１図は第１０図に示さ
れた複合材の断面図、第１２図は複合材の例を示す斜視
図、第１３図は第１２図に示された複合材の断面図、第
１４図は複合材の例を示す斜視図、第１５図は第１４図
に示された複合材の断面図、第１６図および第１７図は
それぞれ互いに異なる複合材の例を示す断面図である。 １・・・一方の部材、２・・・他方の部材、２０・・・
ＰＨＩＰを実施するための装置。 出願人代理人　弁理士　鈴江武彦 第１図 第２図 ３１３図　　　　　篇４図 ｊＩ５図 拌１′、部 ■ ×６００ 第６図 ・ｆ台Ｐ−（ 第７図 第８図　　　　　　第９図 ｊ１１ｏ図　　　　　　　第１１図 毘１２図　　　　　　　第１３図 ／ 第１６図 第１７図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）一方の部材と他方の部材を接合してなる複合材の
   製造方法であって、少なくとも一方の部材の材料に金属
   間化合物を形成可能な組成比で混合された複数の元素を
   含有する混合体を用い、上記一方の部材と他方の部材を
   互いに接触させた状態で金属間化合物が形成される温度
   で熱処理し、金属間化合物形成時に発生する発熱を双方
   の部材の接触面に作用させることにより、この発熱を利
   用して双方の部材を互いに接合させることを特徴とする
   、少なくとも一部が金属間化合物からなる複合材の製造
   方法。
2. （２）上記熱処理時に一方の部材と他方の部材を加圧し
   た状態で上記接合を行うことを特徴とする請求項１記載
   の複合材の製造方法。
3. （３）上記熱処理時に、擬似等方圧プレスによって所定
   の雰囲気中で上記一方の部材と他方の部材を加圧した状
   態で上記接合を行うことを特徴とする請求項１記載の複
   合材の製造方法。