JPH0433848A - 金属箔積層フィルムの製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、多層押出し成形法によって形成された「熱
圧着性の芳香族ポリイミドの薄層が特定の耐熱性の芳香
族ポリイミドの基体層の少なくとも片側に一体に積層さ
れている多層押出ポリイミドフィルム（支持体）ｊとｒ
金属箔ｊとを、一対の熱ロール間に供給して、特定の条
件で熱圧着して、前記熱圧着性の薄層表面と金属箔の表
面とで直接に一体に熱圧着されているｒ金属箔積層フィ
ルム（例えば、無接着剤型の銅張基板）」を連続的に製
造する方法に係わるものである。

この発明の金属箔積層フィルムは、多層押出し成形で得
られた芳香族ポリイミドフィルムからなる支持体が、極
めて高い耐熱性、寸法安定性および機械的物性を有して
いると共に、該多層押出ポリイミドフィルムと金属箔と
の接合が、熱硬化性の接着剤などをまったく使用せずに
、該多層押出ポリイミドフィルムにおける熱圧着性の芳
香族ポリイミドの薄層と金属箔との熱圧着で接合されて
いるので、例えば、前記の金属箔積層フィルムがハンダ
浴などの高温に曝されても、その接着性が充分に高いレ
ベルで維持され、支持体フィルムが実質的に熱劣化しな
いのである。

［従来技術の説明］ 従来、金属箔と耐熱性フィルム（例えば、芳香族ポリイ
ミド）支持体とからなる複合材料（例えば、銅張基板な
ど）は、芳香族ポリイミドフィルムと金属箔とをｒエポ
キシ樹脂などの熱硬化性接着剤ｊを介して熱接着するこ
とによって積層して製造されることが、−船釣であった
。

しかし、前記複合材料における熱硬化した接着剤層は、
適当な接着力が保持されうる常時使用温度がせいぜい２
００℃以下であったので、ハンダ処理などの高温に曝さ
れる加工工程、又は、高温に曝される用途では使用でき
ないという問題があり、金属箔と耐熱性フィルムとの複
合材料としてはより耐熱性のあるものが期待されていた
。

その対策として、耐熱性のある接着剤の検討が種々行わ
れているが、高い耐熱性を有する接着剤は、積層工程が
高温を必要としたり、複雑な積層工程を必要としたり、
また、得られた積層体が充分な接着性を示さないことが
多いなどの問題があり、実用的ではなかった。

一方、熱硬化性の接着剤などをまったく使用しないで、
芳香族ポリイミドフィルム支持体に金属層が形成されて
いる「無接着剤型の複合材料ｊを製造する方法も、いく
つか検討されている。

例えば、ｒ無接着剤型の複合材料」の製法としては、芳
香族ポリイミド前駆体（芳香族ポリアミック酸）の溶液
を、金属箔上で流延・製膜して、複合材料を製造する方
法、あるいは、芳香族ポリイミドフィルム上に金属をメ
ツキしたり、および／または、真空蒸着したりして、複
合材料を製造する方法が、提案されている。

しかし、前述の流延製膜法は、支持体層を充分に厚くす
ることが極めて困難であったり、あるいは、製膜工程に
おける溶媒の蒸発・除去工程が極めて長時間となって生
産性が低いという問題点があった。また、前述の金属メ
ンキ法及び／又は金属蒸着法は、金属層の厚さを充分に
厚くすることが困難であり、この点において生産性が低
くかったのである。

さらに、最近、熱可塑性を有するポリイミドフィルムと
金属箔との積層によって、積層材料を製造する方法（特
開昭６２−５３８２７号公報）、および、金属箔と、二
次転位温度を有する芳香族ポリイミドフィルムと、耐熱
性の高い芳香族ポリイミドフィルムとを重ね合わせて、
熱的に圧着することによって、積層材料を製造する方法
（特開昭６２−１０４８４０号公報、特公昭６１−１５
８２５号公報）が提案されている。

しかし、前述の熱可塑性のポリイミド又はＴｇを有する
ポリイミドを使用して積層する方法で得られた積層材料
は、支持体層が耐熱性、熱寸法安定性において低いレベ
ルであったり、ハンダ浴中での高い温度の履歴を受けた
場合の接着性（ハンダ耐熱性など）が低いという問題が
あった。

また、耐熱性および寸法安定性が高い芳香族ポリイミド
としては、ビフェニルテトラカルボン酸類とフェニレン
ジアミン類とから得られた高耐熱性の芳香族ポリイミド
が特公平２−３７３号公報などに提案されているが、前
記の芳香族ポリイミドからなるフィルムは、前述のよう
な公知の種々の方法などで、接着剤を用いて金属箔と接
着しても、得られた積層体が、接着性、耐熱性において
低いレベルであるという問題があった。

〔解決すべき問題点］ この発明の目的は、ビフェニルテトラカルボン酸類とフ
ェニレンジアミン類とから得られた高耐熱性の芳香族ポ
リイミド製のフィルムを主体とする支持体と金属箔とが
、熱硬化性の接着剤をまったく使用せずに、高い接着力
で一体に接着され積層されていて、芳香族ポリイミドの
みからなる支持体と金属箔とからなる金属箔積層フィル
ムを容易に製造することができる方法を提供することで
ある。

〔問題点を解決する手段〕

この発明は、芳香族テトラカルボン酸類と複数個のベン
ゼン環を有する芳香族ジアミンとから得られた熱圧着性
の芳香族ポリイミドからなる０、　２〜１５μｍの厚さ
の薄層Ｂが、ビフェニルテトラカルボン酸類とフェニレ
ンジアミン類とから得られた高耐熱性の芳香族ポリイミ
ドからなり、多層押出ポリイミドフィルムの全体の厚さ
の５５％以上の厚さであって６〜２００μｍの厚さの基
体層Ａの少なくとも片側に一体に積層されている多層押
出ポリイミドフィルムの前記薄層上に金属箔を重ね合わ
せて、その重合体を一対の熱ロール間に連続的に供給し
、２８０　’Ｃ〜５５０℃の温度及び１０〜５０００ｋ
ｇ／ｃｍＯ熱ロール間線圧力（長尺の多層押出フィルム
の幅で熱ロール間の荷重を割った値）で、連続的に熱圧
着することを特徴とする金属箔積層フィルムの製造法に
関する。

以下、この発明について、図面も参考にして、詳しく説
明する。

第１図は、この発明の製造法において使用される積層用
の装置の概略を示す断面図である。

第２図は、この発明の製造法で製造される多層押出ポリ
イミドフィルム（支持体フィルム）と金属箔とからなる
二層の金属箔積層フィルムの一例を示す断面図であり、
第３図は、前記の多層押出ポリイミドフィルム（支持体
フィルム）とその両側に積層された金属箔とからなる三
層の金属箔積層フィルムの例を示す断面図である。

さらに、第４図および第５図は、この発明の製造法にお
いて使用される二層及び三層押出ポリイミドフィルムの
例をそれぞれ示す断面図である。

この発明の製造法において使用されている多層押出ポリ
イミドフィルム（支持体フィルム）は、例えば、第４図
及び第５図に示されているように、ｒ（ａＪ２，３．３
’、４’−又は３．３″、４，４°−ビフェニルテトラ
カルボン酸又はその酸二無水物、３．３’　、４．４”
−ベンゾフェノンテトラカルボン酸又はその酸二無水物
、３．３’　、４．４’−ジフェニルエーテルテトラカ
ルボン酸又はその酸二無水物などの芳香族テトラカルボ
ン酸類と、複数個（好ましくは２〜５個）のヘンゼン環
を有する芳香族ジアミンとから重合及びイミド化によっ
て得られた「熱圧着性の芳香族ポリイミドＪからなり、 （ト））厚さ０．２〜１５μｍ（好ましくは０．４〜１
２　ｕｍ、特に０．５〜１０μｍ程度）である薄層Ｂ」
が、「ビフェニルテトラカルボン酸類とフェニレンジア
ミン類とから得られた高耐熱性の芳香族ポリイミドから
なり、多層押出ポリイミドフィルムの全体の厚さの５５
％以上、特に６０％以上の厚さであって、その厚さが６
〜２００μｍ（好ましくは７〜１８０１Ｉｍ、特に１０
〜１６０μｍ）の範囲内である基体層Ａ」の少なくとも
片側に、前記基体層用のドープ液と薄層用のドープ液と
の多層の共押出し成形−溶液流延製膜法によって、一体
に積層されて構成されているものである。

前記の多層押出ポリイミドフィルムは、例えば、この出
願人がすでに特許出願しているｒ特願平１−３１７７０
６号の出願明細書」に記載されている方法によって製造
することができる。

すなわち、前記の多層押出ポリイミドフィルムは、芳香
族テトラカボン酸類と複数個のヘンゼン環を有する芳香
族ジアミン類とから得られた芳香族ポリアミック酸が均
一に溶解している第一の芳香族ポリアミック酸溶液（薄
層用のドープ液）と、ビフェニルテトラカルボン酸類と
フェニレンジアミン類とから得られた芳香族ポリアミッ
ク酸が均一に溶解している第二の芳香族ポリアミック酸
溶液（基体層用のドープ液）とを、二層以上の押出し成
形用ダイスを有する押出成形機へ同時に供給して、前記
ダイスの吐出口から再溶液を少なくとも二層の薄膜状体
として平滑な支持体（金属製支持体）上に連続的に押し
出し、そして、前記支持体上の多層の薄膜状体を乾燥し
溶媒をかなり蒸発して除去して自己支持性の多層フィル
ム（溶媒を一部含有している）を形成し、次いで、支持
体上から該多層フィルムを剥離し、最後に、該多層フィ
ルムを高温（２５０〜６００℃）で充分に加熱処理する
ことによって溶媒を実質的に除去すると共にポリアミッ
ク酸をイミド化して、連続的に製造することができる。

前記の多層押出ポリイミドフィルムは、全体の厚さが６
〜２５０μｍ、特に８〜２００μｍ、さらに好ましくは
１０〜１５０μｍ程度であって、幅が５〜２００Ｃ１，
特に１０〜１５０ｃ１１である長尺の多層フィルムであ
ることが好ましい。

前記の多層押出ポリイミドフィルムは、電子顕微鏡写真
で断面を観察すると、熱圧着性の薄層Ｂが帯状に鱗状模
様をなしているように観察され、特に、高耐熱性の基体
層Ａと薄層Ｂとの境界部に沿ってはっきりとした太線状
に濃い鱗状模様が観察されるのである。しかし、この多
層押出ポリイミドフィルムは、前記の境界部分で二層に
剥離することかまった（できないのであり、各ポリイミ
ド層が実質的に連続して一体的にそして強固に結合した
ｒ少なくとも二層の多層フィルム１を形成しているので
ある。

この発明の金属箔積層フィルムでは、前記の多層押出ポ
リイミドフィルムは、第４図に示すように、基体層Ａと
薄層Ｂとからなる二層構造のフィルムであっても、また
、第５図に示すように、基体層Ａとその両側の薄層Ｂ及
゛びＢｏとからなる三層構造のフィルムであってもよい
。

前記の三層構造のフィルムは、熱圧着性の薄層ＢとＢｏ
とがほぼ同じ厚さ（薄層の厚さの比Ｂ／Ｂ°が０．８〜
１．２、特に０．９〜１．１の範囲内）であることが、
カール性が極めて小さくなるので最適である。

前記の基体層Ａを形成している高耐熱性の芳香族ポリイ
ミドは、ビフェニルテトラカルボン酸またはその酸二無
水物を６０モル％以上、特に８０モル％以上含有する芳
香族テトラカルボン酸成分と、フェニレンジアミン類を
５０モル％以上、特に６０モル％以上含有する芳香族ジ
アミン成分とから、重合およびイミド化によって得られ
る高分子量の芳香族ポリイミド（好ましくは二次転移温
度を実質的に有していない芳香族ポリイミド）であるこ
とが、耐熱性、機械的強度、寸法安定性などの点から好
ましい（例えば、特公平２−３７３号公報、特公昭６０
−４２８１７号公報などを参照）。

また、前記の薄層Ｂを形成している芳香族ポリイミドは
、ビフェニルテトラカルボン酸類を６０モル％以上、特
に８０モル％以上含有する芳香族テトラカルボン酸成分
と、例えば、ジフェニルエーテル系ジアミン、ジアミノ
ジフェニルアルカン系ジアミン、ジフェニルスルホン系
ジアミン、ジ（アミノフェノキシ）ベンゼン類、ジＣ（
アミノフェノキシ）フェニル〕スルホン類などの「複数
個のベンゼン環を有する芳香族ジアミン」を主として含
有する芳香族ジアミン成分とから、重合およびイミド化
することによって得られた、二次転移温度が２５０〜４
００℃、特に２６０〜３６０℃である芳香族ポリイミド
であることが、金属箔との熱圧着性および耐熱性が優れ
ているので好ましい。

この発明の金属箔積層フィルムにおいて使用されている
金属箔としては、鉄、アルミニウム、銅、金、銀、鉛、
マグネシウムからなる群から選ばれた少なくとも一種の
金属または合金からなる導電性の金属箔であればよく、
特に、厚さが５〜１００μｍ、さらに好ましくは１０〜
６０μｍであり、幅が５〜２００ｃｍである長尺の銅箔
を好適に挙げることができる。

二の発明の製造法は、前述の「長尺の多層押出ポリイミ
ドフィルム」の薄層上に、「長尺の金属箔ｊを、直接に
（熱硬化性の接着剤などを全く使用せず）重ね合わせて
、その重合体を一対の熱ロール間に供給して、２８０℃
〜５５０℃（好ましくは３００〜５００℃）の圧着温度
、および、１０〜５００００ｋｇ／Ｃ！ｅ　（好ましく
は２０〜１０００　ｋｇ　／　Ｃ１１程度）の熱ロール
間線圧力で、連続的に熱圧着することによって行われる
のである。

この発明の製造法において、熱圧着操作は、銅箔などの
金属箔の熱劣化を防止するために、窒素ガス、ネオンガ
ス、アルゴンガスなどの不活性ガスの雰囲気下、あるい
は、ｔ１４Ｍなどの金属箔上に熱劣化防止用の金属箔（
例えば、ステンレス箔、アルミニウム箔など）を重ね合
わせて、高温での加熱圧着をすることが好ましい。

この発明の製造法においては、例えば、第１図に示す装
置を使用し、しかも、長尺の多層押出ポリイミドフィル
ムおよび金属箔を使用して、連続的に行うことができる
。

この発明の製造法としては、第１図に示す装置を使用し
て、原料供給ロール７から前記の長尺の二層押出ポリイ
ミドフィルム１０（高耐熱性の基体層Ａ及び熱圧着性の
薄層Ｂからなり、その熱圧着性の薄層Ｂを上向きとして
）を、エキスパンダロール１、案内ロール２など経由で
、緊張状態で、一対の熱ロール３及び４（弾性ロール又
は金属ロール）の間へ供給すると共に、一方、原料供給
ロール６から長尺の金属箔２０を、エキスパンダロール
１など経由で、緊張状態で、前記一対の熱ロール間へ供
給して、両者を直接に重ね合わせると共に、熱ロール３
及び４で熱圧着して、一体に積層して、その積層体を必
要であれば冷却して、最後に、巻き取りロール５によっ
て、巻き取り速度１〜２００ｃｉＺ分、特に５〜１００
０１／分で連続的に巻き取り金属箔積層フィルムを製造
することが好ましい。

また、この発明の製造法において、長尺の三層押出ポリ
イミドフィルムを使用する場合には、前記の第１図の装
置における中央の原料供給ロール７から前記の三層押出
ポリイミドフィルム１０を供給すると共に、上下の原料
供給ロール６及び８から金属箔２０及び２０’を同時に
供給して、三者を重ね合わせて熱ロール３及び４の間に
供給することによって、熱圧着することができる。

この発明の製造法で得られた金属箔積層フィルムは、第
２図及び第３図に示すように、前記の多層押出ポリイミ
ドフィルム（支持体フィルム）１０の薄層Ｂと前記の金
属箔２０（又は２０“）とが直接に熱的に圧着されてお
り、その接着強度（９０°−剥離法）が、室温で、少な
くとも０．６ｋｇ／ＣＩ、特に０．７〜５ｋｇ／ＣＩ程
度であり、その剥離界面は、前記薄層Ｂの表面と金属箔
の表面との界面であり、基体層Ａと薄層Ｂとの界面部分
での剥離が実質的に全く生じないものであり、さらにハ
ンダ浴（約２８８℃）に１０秒間浮かべて接触させて、
熱圧着面において膨れ、剥がれなどが生じることがない
耐熱性の優れたものである。

〔実施例〕

以下、実施例および比較例を示して、この発明をさらに
詳しく説明する。

実施例および比較例において、各ポリイミドフィルムに
ついて、下記の各測定試験を行った。

引張試験は、ＡＳＴＭ　　Ｄ−８８２に準する方法で行
い、引張強度、伸び率（破断点）、弾性率を測定した。

加熱収縮率は、試料フィルムを、４００℃で２時間加熱
し、次いで、徐々に冷却した際の寸法変化率を測定した
。

線膨張係数は、４００℃で熱処理した後の試料フィルム
について、５０〜３００℃の範囲の温度において測定し
た。

また、実施例および比較例において、金属箔積層フィル
ムの接着強度は、Ｉ　Ｐ　Ｃ−ＴＭ−（２，４゜９、）
の「９０°−剥離法１に従って測定し、また、その耐ハ
ンダ性は、Ｉ　Ｐ　Ｃ−ＴＭ−６５０（２，４゜１３）
に準拠した測定法で、−２８８±５℃の温度に維持した
ハンダ浴に、試料の金属箔積層フィルムを、金属箔側と
ハンダ浴とが接触するように１０秒間浮かべて、金属箔
積層フィルムの膨れ、剥がれなどの有無を目視で判断（
良否を決定）する方法で行った。

実施例１ ３．３’、４．４’−ビフェニルテトカルボン酸二無水
物（ｓ−ＢＰＤＡ）と、４，４゛−ジアミノジフェニル
エーテル（ＤＡＤＥ）とを、Ｎ、Ｎ−ジメチルアセトア
ミド（ＤＭＡｃ）中で重合して、ポリマー濃度１８重量
％、溶液粘度５０００ボイズの第一の芳香族ポリアミッ
ク酸溶液を調製した。

一方、５−ＢＰＤＡと、バラフェニレンジアミン（ＰＰ
Ｄ）とを０ＭＡｃ中で重合して、モノマー濃度１８重量
％溶液粘度４５００ボイズの第二の芳香族ポリアミック
酸溶液を調製した。

前記の第−及び第二の芳香族ポリアミック酸溶液を使用
して、二層押し出しダイスから、平滑な金属製支持体の
上面に押し出して流延し、１４０℃の熱風で連続的に乾
燥し、固化フィルム（自己支持性フィルム、溶媒含有率
；３５重量％）を形成し、その固化フィルムを支持体か
ら剥離した後、加熱炉で、２００　”Ｃから５５０℃ま
で徐々に昇温して、溶媒を除去すると共にポリマーのイ
ミド化を行い、長尺の二層押出ポリイミドフィルム（幅
；２０Ｃ１１）を製造した。この二層押出ポリイミドフ
ィルムの各物性（引張試験、加熱収縮性、線膨張係数）
を第１表に示す。

前記の二層押出ポリイミドフィルムは、高耐熱性の芳香
族ポリイミド（二次転移温度なし）からなる基体層Ａが
、厚さ３２μｍであり、熱圧着性の芳香族ポリイミド（
二次転移温度２８０℃）からなる薄層Ｂが、厚さ３μｍ
であった。

次いで、第１図に示す装置を使用して、原料供給ロール
７から前記の長尺の二層押出ポリイミドフィルム１０を
その薄層Ｂが上方となるように、供給すると共に、一方
、原料供給ロール６から長尺の３５μｍの銅箔２０を供
給して、両者をエクスパンダロール１などで重ね合わせ
て、続いて、熱ロール３及び４へ供給して、第１表に示
す条件で熱圧着し、金属箔積層ポリイミドフィルムを製
造した。

前記の金属箔積層フィルムについて、その接着強度（９
０°−剥離、室温）および耐ハンダ性を測定した。その
結果を第１表に示す。

実施例２ 熱圧着条件として、第１表に示す条件を採用したほかは
、実施例１と同様にして、金属箔積層ポリイミドフィル
ムを製造した。

それらの金属箔積層フィルムの接着強度および耐ハンダ
性を第１表に示す。

実施例３ 二層押出しダイスの吐出量を変化させて、第１表に示す
厚さの構成（基体層Ａと薄層Ｂ）の二層押出ポリイミド
フィルムを製造し、それらの二層押出ポリイミドフィル
ムを使用したほかは、実施例２と同様にして、金属箔積
層ポリイミドフィルムを製造した。それらの金属箔積層
フィルムの接着強度および耐ハンダ性を第１表に示す。

実施例４〜７ 三層押出しダイスを使用し、吐出量を変えたほかは、実
施例１と同様にして、第２表に示す構成の三層押出ポリ
イミドフィルム（基体層Ａの両側に熱圧着性の薄層Ｂお
よびＢ′を有する）を製造した。この三層押出ポリイミ
ドフィルムの各物性（引張試験、加熱収縮性、線膨張係
数）を第１表に示す。

前記の三層押出ポリイミドフィルムを原料供給ロール７
から供給し、原料供給ロール６及び８から長尺の銅箔を
供給し、熱圧着条件を第１表に示すようにした他は、実
施例１と同様にして、各金属箔積層ポリイミドフィルム
をそれぞれ製造した。

前記の各金属箔積層フィルムについて、その接着強度お
よび耐ハンダ性を第２表に示す。

比較例１〜２ 実施例１で調製した第一の芳香族ボリアミンク酸を使用
して、−層押出しダイスを使用したほかは、実施例１と
同様の成形条件で、二次転移温度２８０℃を有する厚さ
７５μｍの芳香族ポリイミドフィルム（単層フィルム、
Ｒ，タイプという）を製造した。それらのフィルムの物
性を第１表に示す。

前記の単層の芳香族ポリイミドフィルムを使用し、第１
表に示す熱圧着条件としたほかは、実施例１と同様にし
て、金属箔積層ポリイミドフィルムを製造した。その金
属箔積層フィルムの接着強度および耐ハンダ性を第１表
に示す。

比較例３ 実施例１で調製した第一の芳香族ボリアミンク酸を使用
して、−層押出しダイスを使用したほかは、実施例１と
同様の成形条件で、二次転移温度２８５℃を有する厚さ
１５μｍの芳香族ポリイミドフィルム（単層フィルム、
Ｒ２タイプという）を製造した。

実施例１で調製した第二の芳香族ポリアミック酸を使用
して、−層押出しダイスを使用したほがは、実施例１と
同様の成形条件で、二次転移温度を有していない厚さ６
０μｍの芳香族ポリイミドフィルム（単層フィルム、Ｓ
ｌタイプという）を製造した。

前述の原料供給ロール８からＳｌタイプの単層フィルム
を供給し、原料供給ロール７からＲ２タイプの単層フィ
ルムを供給すると共に、原料供給ロール６から長尺の銅
箔を供給し、第１表に示す熱圧着条件としたほかは、実
施例１と同様にして金属箔積層ポリイミドフィルムをそ
れぞれ製造した。その金属箔積層フィルムの接着強度お
よび耐ハンダ性を第１表に示す。

〔本発明の作用効果〕

この発明の金属箔積層フィルムの製造法は、優れた金属
箔積層フィルムを、容易に再現性よく製造することがで
きる方法である。

前記の金属箔積層フィルムは、その支持体であるｒ多層
押出ポリイミドフィルム」が、そのｒ基体層」を高耐熱
性の特定の芳香族ポリイミドで形成されていると共に、
その少なくとも片面に熱圧着性を有する特定の芳香族ポ
リイミドからなる「薄層」を有しているものであるので
、支持体が極めて優れた耐熱性、機械物性、電気的特性
を有していると共に、また、その金属箔積層フィルムの
金属箔と多層押出ポリイミドフィルムとの間の接着性が
強固であり、極めて耐熱性に優れており、特に耐ハンダ
性が高い優れたものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明の製造法において使用される積層用
の装置の概略を示す断面図である。 第２図は、この発明の製造法で製造される多層押出ポリ
イミドフィルム（支持体フィルム）と金属箔とからなる
二層の金属箔積層フィルムの一例を示す断面図であり、
第３図は、前記の多層押出ポリイミドフィルム（支持体
フィルム）とその両側に積層された金属箔とからなる三
層の金属箔積層フィルムの例を示す断面図である。 さらに、第４図および第５図は、この発明の製造法にお
いて使用される二層及び三層押出ポリイミドフィルムの
例をそれぞれ示す断面図である。 Ａ；基体層、Ｂ及びＢ′　：薄層 １および２；エクスパンダロール、３および４；熱ロー
ル、５：巻き取りロール、６．７および８；原料供給ロ
ール、９；加熱炉、１０；多層押出フィルム、２０；金
属箔。 特許出願人　　宇部興産株式会社 第１図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　芳香族テトラカルボン酸類と複数個のベンゼン環を有
   する芳香族ジアミンとから得られた熱圧着性の芳香族ポ
   リイミドからなる、０．２〜１５μｍの厚さの薄層Ｂが
   、ビフェニルテトラカルボン酸類とフェニレンジアミン
   類とから得られた高耐熱性の芳香族ポリイミドからなり
   、多層押出ポリイミドフィルムの全体の厚さの５５％以
   上の厚さであって６〜２００μｍの厚さの基体層Ａの少
   なくとも片側に一体に積層されている多層押出ポリイミ
   ドフィルムの前記薄層上に金属箔を重ね合わせて、その
   重合体を一対の熱ロール間に連続的に供給し、２８０℃
   〜５５０℃の温度および１０〜５０００ｋｇ／ｃｍの熱
   ロール間線圧力で、連続的に熱圧着することを特徴とす
   る金属箔積層フィルムの製造法。