JPH0433847A - 金属箔積層フィルム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野］ この発明は、多層押出し成形法によって形成された「熱
圧着性の芳香族ポリイミドの薄層が特定の耐熱性の芳香
族ポリイミドの基体層の少なくとも片側に一体に積層さ
れている多層押出ポリイミドフィルム（支持体）Ｊとｒ
金属箔」とが、前記熱圧着性の薄層表面と金属箔の表面
とで直接に一体に熱圧着されているｒ金属箔積層フィル
ム（例えば、無接着剤型の銅張基板）」、および、その
製法に係わるものである。

この発明の金属箔積層フィルムは、多層押出し成形で得
られた芳香族ポリイミドフィルムからなる支持体が、極
めて高い耐熱性、寸法安定性および機械的物性を有して
いると共に、該多層押出ポリイミドフィルムと金属箔と
の接合が、熱硬化性の接着剤などをまったく使用せずに
、該多層押出ポリイミドフィルムにおける熱圧着性の芳
香族ポリイミドの薄層と金属箔との熱圧着で接合されて
いるので、例えば、この発明の金属箔積層フィルムがハ
ンダ浴などの高温に曝されても、その接着性が充分に高
いレベルで維持され、支持体が実質的に熱劣化しないの
である。

〔従来技術の説明］ 従来、金属箔と耐熱性フィルム（例えば、芳香族ポリイ
ミド）支持体とからなる複合材料（例えば、銅張基板な
ど）は、芳香族ポリイミドフィルムと金属箔とをｒエポ
キシ樹脂などの熱硬化性接着剤１を介して熱接着するこ
とによって積層して製造されたものが、−船釣であった
。

しかし、前記複合材料における熱硬化した接着剤層は、
適当な接着力が保持されうる常時使用温度がせいぜい２
００℃以下であったので、ハンダ処理などの高温に曝さ
れる加工工程、又は、高温に曝される用途では使用でき
ないという問題があり、金属箔と耐熱性フィルムとの複
合材料としてはより耐熱性のあるものが期待されていた
。

その対策として、耐熱性のある接着剤の検討が種々行わ
れているが、高い耐熱性を有する接着剤は、積層工程が
高温を必要としたり、複雑な積層工程を必要としたり、
また、得られた積層体が充分な接着性を示さないことが
多いなどの問題があり、実用的ではなかった。

一方、熱硬化性の接着剤などをまったく使用しないで、
芳香族ポリイミドフィルム支持体に金属層が形成されて
いるｒ無接着剤型の複合材料」を製造する方法も、いく
つか検討されている。

例えば、ｒ無接着剤型の複合材料」の製法としては、芳
香族ポリイミド前駆体（芳香族ポリアミック酸）の溶液
を、金属箔上で流延・製膜して、複合材料を製造する方
法、あるいは、芳香族ポリイミドフィルム上に金属をメ
ツキしたり、および／または、真空蒸着したりして、複
合材料を製造する方法が、提案されている。

しかし、前述の流延製膜法は、支持体層を充分に厚くす
ることが極めて困難であったり、あるいは、製膜工程に
おける溶媒の蒸発・除去工程が極めて長時間となって生
産性が低いという問題点があった門また、前述の金属メ
ツキ法及び／又は金属蒸着法は、金属層の厚さを充分に
厚くすることが困難であり、この点において生産性が低
くかったのである。

さらに、最近、熱可塑性を有するポリイミドフィルムと
金属箔との積層によって、積層材料を製造する方法（特
開昭６２−５３８２７号公報）、および、金属箔と、二
次転位温度を有する芳香族ポリイミドフィルムと、耐熱
性の高い芳香族ポリイミドフィルムとを重ね合わせて、
熱的に圧着することによって、積層材料を製造する方法
（特開昭６２−１０４８４０号公報、特公昭６１−１５
８２５号公報）が提案されている。

しかし、前述の熱可塑性のポリイミド又はＴｇを有する
ポリイミドを使用して積層する方法で得られた積層材料
は、支持体層が耐熱性、熱寸法安定性において低いレベ
ルであったり、ハンダ浴中での高い温度の履歴を受けた
場合の接着性（ハンダ耐熱性）が低いという問題があっ
た。

また、耐熱性および寸法安定性が高い芳香族ポリイミド
としては、ビフェニルテトラカルボン酸類とフェニレン
ジアミン類とから得られた高耐熱性の芳香族ポリイミド
が特公平２−３７３号公報などに提案されているが、前
記の芳香族ポリイミドからなるフィルムは、前述のよう
な公知の種々の方法などで、接着剤を用いて金属箔と接
着しても、得られた積層体が、接着性、耐熱性（接着剤
層）において低いレベルであるという問題があった。

［解決すべき問題点］ この発明の目的は、ビフェニルテトラカルボン酸類とフ
ェニレンジアミン類とから得られた高耐熱性の芳香族ポ
リイミド製のフィルムを主体としる支持体と金属箔とが
、熱硬化性の接着剤をまったく使用せずに、高い接着力
で一体に接着され積層されていて、芳香族ポリイミドの
みからなる支持体と金属箔とからなる金属箔積層フィル
ムを提供することである。

［問題点を解決する手段］ この出願の第１の発明は、芳香族テトラカルボン酸類と
複数個のベンゼン環を有する芳香族ジアミンとから得ら
れた熱圧着性の芳香族ポリイミドからなる、０．３〜１
５μｍの厚さの薄層Ｂが、ビフェニルテトラカルボン酸
類とフェニレンジアミン類とから得られた高耐熱性の芳
香族ポリイミドからなり、多層押出ポリイミドフィルム
の全体の厚さの５５％以上の厚さであって６〜２００μ
ｍの厚さの基体層への少なくとも片側に一体に積層され
ている多層押出ポリイミドフィルムと、金属箔とが、前
記薄層表面と金属箔の表面とで、直接に一体に熱圧着さ
れていることを特徴とする金属箔積層フィルムに関する
ものであり、また、この出願の第２の発明は、前述の「
多層押出ポリイミドフィルム」と、「金属ｆｔ３Ｊとを
、重ね合わせて、２８０℃〜５５０℃の温度および２０
〜５００００ｋｇ／ｃｍ２の圧力で、熱圧着することを
特徴とする金属箔積層フィルムの製法に関する。

以下、この発明について、図面も参考にして、詳しく説
明する。

第１図は、前記の多層押出ポリイミドフィルム（支持体
フィルム）と金属箔とからなる二層の金属箔積層フィル
ムの一例を示す断面図であり、第２図は、前記の多層押
出ポリイミドフィルム（支持体フィルム）とその両側に
積層された金属箔とからなる三層の金属箔積層フィルム
の例を示す断面図である。

さらに、第３図および第４図は、この発明において使用
される多層押出ポリイミドフィルムの例を示す断面図で
ある。

この発明の金属箔積層フィルムにおいて使用されている
多層押出ポリイミドフィルム（支持体フィルム）は、例
えば、第３図および第４図に示されているように、 ｒ　（ａ）２．３．３’　、　４　’−又は３．３’、
４．４’−ビフェニルテトラカルボン酸又はその酸二無
水物、３．３’　、４．４’−ベンゾフェノンテトラカ
ルボン酸又はその酸二無水物、３．３’、４．４’−ジ
フェニルエーテルテトラカルボン酸又はその酸二無水物
などの芳香族テトラカルボン酸類と、複数個（好ましく
は２〜５個）のベンゼン環を有する芳香族ジアミンとか
ら重合及びイミド化によって得られたｒ熱圧着性の芳香
族ポリイミドｊからなり、 の）厚さ０．３〜１５μｍ（好ましくは０．４〜Ｉ　２
　ａｍ、特に０．５〜１０μｍ程度）である薄層Ｂ」が
、「ビフェニルテトラカルボン酸類とフェニレンジアミ
ン類とから得られた高耐熱性の芳香族ポリイミドからな
り、多層押出ポリイミドフィルムの全体の厚さの５５％
以上、特に６０％以上の厚さであって、その厚さが６〜
２００μｍ（好ましくは７〜１８０μｍ、特に１０〜１
６０μｍ）の範囲内である基体層Ａ」の少なくとも片側
に、前記基体層用のドープ液と薄層用のドープ液との多
層の共押出し成形−溶液流延製膜法によって、一体に積
層されて構成されているものである。

前記の多層押出ポリイミドフィルムは、例えば、この出
願人がすでに特許出願しているｒ特願平１−３１７７０
６号の出願明細書」に記載されている方法によって製造
することができる。

すなわち、前記の多層押出ポリイミドフィルムは、芳香
族テトラカボン酸類と複数個のベンゼン環を有する芳香
族ジアミン類とから得られた芳香族ポリアミック酸が均
一に溶解している第一芳香族ポリアミック酸溶液（薄層
用のドープ液）と、ビフェニルテトラカルボン酸類とフ
ェニレンジアミン類とから得られた芳香族ポリアミック
酸が均一に溶解している第二芳香族ポリアミック酸溶液
（基体層用のドープ液）とを、二層以上の押出し成形用
ダイスを有する押出成形機へ同時に供給して、前記ダイ
スの吐出口から両溶液を少なくとも二層の薄膜状体とし
て平滑な支持体（金属製支持体）上に連続的に押し出し
、そして、前記支持体上の多層の薄膜状体を乾燥し溶媒
をがなり蒸発して除去して自己支持性の多層フィルム（
溶媒を−部含有していている）を形成し、次いで、支持
体上から該多層フィルムを剥離し、最後に、該多層フィ
ルムを高温（２５０〜６００″Ｃ）で充分に加熱処理す
ることによって溶媒を実質的に除去すると共にポリアミ
ック酸をイミド化して、連続的に製造することができる
。

前記の多層押出ポリイミドフィルムは、全体の厚さが６
〜２５０μｍ、特に８〜２００ｕｍ、さらに好ましくは
１０〜１５０μｍ程度であることが好ましい。

前記の多層押出ポリイミドフィルムは、電子顕微鏡写真
で断面を観察すると、熱圧着性の薄層Ｂが帯状に鱗状模
様をなしているように観察され、特に、高耐熱性の基体
層Ａと薄層Ｂとの境界部に沿ってはっきりとした太線状
に濃い鱗状模様が観察されるのである。しかし、この多
層押出ポリイミドフィルムは、前記の境界部分で二層に
剥離することがまったくできないのであり、各ポリイミ
ド層が実質的に連続して一体的にそして強固に結合した
「少な（とも二層の多層フィルム」を形成しているので
ある。

この発明の金属箔積層フィルムでは、前記の多層押出ポ
リイミドフィルムは、第３図−に示ずように、基体層Ａ
と薄層Ｂとからなる二層構造のフィルムであっても、ま
た、第４図に示すように、基体層Ａとその両側の薄層Ｂ
及びＢｏ　とからなる三層構造のフィルムであってもよ
い。

前記の三層構造のフィルムは、熱圧着性の薄層ＢとＢｏ
　とがほぼ同じ厚さ（薄層の厚さの比Ｂ／Ｂ”が０．８
〜１．２、特に０．９〜１．１の範囲内）であることが
、カール性が極めて小さくなるので最適である。

前記の基体層Ａを形成している高耐熱性の芳香族ポリイ
ミドは、ビフェニルテトラカルボン酸またはその酸二無
水物を６０モル％以上、特に８０モル％以上含有する芳
香族テトラカルボン酸成分と、フェニレンジアミン類を
５０モル％以上、特に６０モル％以上含有する芳香族ジ
アミン成分とから、重合およびイミド化によって得られ
る高分子量の芳香族ポリイミド（好ましくは二次転移温
度を実質的に有していない芳香族ポリイミド）であるこ
とが、耐熱性、機械的強度、寸法安定性などの点から好
ましい（例えば、特公平２−３７．３号公報、特公昭６
０−４２８１７号公報などを参照）。

また、前記の薄層Ｂを形成している芳香族ポリイミドは
、ビフェニルテトラカルボン酸類を６０モル％以上、特
に８０モル％以上含有する芳香族テトラカルボン酸成分
と、例えば、ジフェニルエーテル系ジアミン、ジアミノ
ジフェニルアルカン系ジアミン、ジフェニルスルホン系
ジアミン、ジ（アミノフェノキシ）ベンゼン類、ジ〔（
アミノフェノキシ）フェニル〕スルホン類などのｒ複数
個のベンゼン環を有する芳香族ジアミン」を主として含
有する芳香族ジアミン成分とから、重合およびイミド化
することによって得られた、二次転移温度が２５０〜４
００℃１特に２６０〜３６０℃である芳香族ポリイミド
であることが、金属箔との熱圧着性および耐熱性が優れ
ているので好ましい。

この発明の金属箔積層フィルムにおいて使用されている
金属箔としては、鉄、アルミニウム、銅、金、銀、鉛、
マグネシウムからなる群から選ばれた少なくとも一種の
金属または合金からなる導電性の金属箔であればよく、
特に厚さ５〜１００μｍ、さらに好ましくは１０〜６０
μｍの銅箔を好適に挙げることができる。

この発明の金属箔積層フィルムは、第１図及び第２図に
示すように、前記の多層押出ポリイミドフィルム（支持
体フィルム）１の薄層Ｂと前記の金属箔２（又は２″）
とが直接に熱的に圧着されており、その接着強度（９０
°−剥離法）が、室温で、少なくとも０．８　ｋｇ　／
　ｃｍ、特に０．９〜５ｋｇ／ｌ程度であり、その剥離
界面は、前記薄層Ｂの表面と金属箔の表面との界面であ
り、基体層Ａと薄層Ｂとの界面部分での剥離が実質的に
全く生じないものであり、さらに、ハンダ浴（約２８８
℃）に１０秒間浮かべて接触させて、熱圧着面において
膨れ、剥がれなどが生しることがない耐熱性の優れたも
のである。

二の発明の金属箔積層フィルムの製法は、前述の「多層
押出ポリイミドフィルム」と「金属箔」とを、直接に（
熱硬化性の接着剤などを全く使用せずに）重ね合わせて
、２８０℃〜５５０℃（好ましくは３００〜５００″Ｃ
）の圧着温度、および、２０〜５００００ｋｇ／ｄ（好
ましくは３０〜３００００ｋｇ／ｃｔｌｌ程度）の圧力
で、例えば、熱ブレス法などの手段で、好ましくは約０
．１秒〜６０分間、特に０．５秒〜３０分間、熱圧着す
ることによって行われるのである。

この発明の製法において、熱圧着操作は、銅箔などの金
属箔の熱劣化を防止するために、窒素ガス、ネオンガス
、アルゴンガスなどの不活性ガスの雰囲気下、あるいは
、銅箔などの金属箔上に熱−劣化防止用の金属箔（例え
ば、ステンレス箔、アルミニウム箔など）を重ね合わせ
て、高温での加熱圧着をすることが好ましい。

〔実施例〕

以下、実施例および比較例を示して、この発明をさらに
詳しく説明する。

実施例および比較例において、各ポリイミドフィルムに
ついて、下記の各測定試験を行った。

引張試験は、ＡＳＴＭ　　Ｄ−８８２に７準する方法で
行い、引張強度、伸び率（破断点）、弾性率を測定した
。

加熱収縮率は、試料フィルムを、４００℃で２時間加熱
し、次いで、徐々に冷却した際の寸法変化率を測定した
。

線膨張係数は、４００℃で熱処理した後の試料フィルム
について、５０〜３００℃の範囲の温度において測定し
た。

また、実施例および比較例において、金属箔積層フィル
ムの接着強度は、ＩＰＣ−ＴＭ−６５０（２，４，９，
）の「９０°−剥離法ｊに従って測定し、また、その耐
ハンダ性は、Ｉ　ＰＣ−ＴＭ−６５０（２，４，１３）
に準拠した測定法で、２８８±５℃の温度に維持したハ
ンダ浴に、試料の金属箔積層フィルムを、金属箔側とハ
ンダ浴とが接触するように１０秒間浮かべて、金属箔積
層フィルムの膨れ、剥がれなどの有無を目視で判断（良
否を決定）する方法で行った。

実施例１ ３．３”、４．４’−ビフェニルテトカルボン酸二無水
物（ｓ−ＢＰＤＡ）と、４．４“−ジアミノジフェニル
エーテル（ＤＡＤＥ）とを、〜、Ｎ−ジメチルアセトア
ミド（ＤＭＡｃ）中で重合して、ポリマー濃度１８重量
％、溶液粘度５０００ポイズの第一の芳香族ポリアミッ
ク酸溶液を調製した。

一方、５−ＢＰＤＡとパラフェニレンジアミン（ＰＰＤ
）とをＤＭＡｃ中で重合して、モノマー濃度１８重量％
熔液粘度４５００ポイズの第二の芳香族ポリアミック酸
溶液を調製した。

前記の第−及び第二の芳香族ポリアミック酸溶液を使用
して、二層押し出しダイスから、平滑な金属製支持体の
上面に押し出して流延し、１４０℃の熱風で連続的に乾
燥し、固化フィルム（自己支持性フィルム、溶媒含有率
；３５重量％）を形成し、その固化フィルムを支持体か
ら剥離した後、加熱炉で、２００℃から５５０℃まで徐
々に昇温しで、溶媒を除去すると共にポリマーのイミド
化を行い、二層押出ポリイミドフィルムを製造した。

この二層押出ポリイミドフィルムの各物性（引張試験、
加熱収縮性、線膨張係数）を第１表に示す。

前記の二層押出ポリイミドフィルムは、高耐熱性の芳香
族ポリイミド（二次転移温度なし）からなる基体層Ａが
、厚さ５０μｍであり、熱圧着性の芳香族ポリイミド（
二次転移温度２８５℃）からなる薄層Ｂが、厚さ７．５
μｍであった。

次いで、前記の二層押出ポリイミドフィルムを敷いて、
その熱圧着性の薄層Ｂ上に、３５μｍの銅箔を重ね合わ
せ、さらにその銅箔上に１２μｍのアルミニウム箔を重
ね合わせて、それらの重ね合わせたものを熱プレス機内
の加熱板間に配置し、４００℃の温度で４００ｋｇ／ｃ
ｉｉｌの圧で、５分間、熱圧着を行って、金属箔積層ポ
リイミドフィルムを製造した。

前記の金属箔積層フィルムについて、その接着強度（９
０°−剥離、室温）および耐ハンダ性を測定した。その
結果を第１表に示す。

実施例２〜３ 熱圧着条件として、第１表に示す条件を採用したほかは
、実施例１と同様にして、金属箔積層ポリイミドフィル
ムを製造した。

それらの金属箔積層フィルムの接着強度および耐ハンダ
性を第１表に示す。

実施例４〜５ 二層押出しダイスの吐出量を変化させて、第１表に示す
厚さの構成（基体層Ａと薄層Ｂ）の二層押出ポリイミド
フィルムを製造し、それらの二層押出ポリイミドフィル
ムを使用したほかは、実施例１と同様にして、金属箔積
層ポリイミドフィルムを製造した。それらの金属箔積層
フィルムの接着強度および耐ハンダ性を第１表に示す。

比較例１ 実施例１で調製した第一の芳香族ポリアミック酸を使用
して、−層押出しダイスを使用したほかは、実施例１と
同様の成形条件で、二次転移温度２８５℃を有する厚さ
５０μｍの芳香族ポリイミドフィルム（単層フィルム、
Ｒ，タイプという）を製造した。それらのフィルムの物
性を第１表に示す。

前記の単層の芳香族ポリイミドフィルムを使用し、接着
圧力を１００ｋｇ／Ｃｊとしたほかは、実施例１と同様
にして、金属箔積層ポリイミドフィルムを製造した。そ
の金属箔積層フィルムの接着強度および耐ハンダ性を第
１表に示す。

比較例２ 二層押出しダイスの吐出量を変化させて、第１表に示す
厚さの構成（基体層Ａと薄層Ｂ）の二層押出ポリイミド
フィルム（薄層Ｂの厚さ＝０．２μｍ）を製造した。そ
の二層押出フィルムの物性を第１表に示す。

その二層押出ポリイミドフィルムを使用したほかは、実
施例１と同様にして金属箔積層ポリイミドフィルムを製
造した。その金属箔積層フィルムの接着強度および耐ハ
ンダ性を第１表に示す。

比較例３ 接着温度を２５０℃としたほかは、実施例１と同様にし
て、金属箔積層ポリイミドフィルムを製造した。その金
属箔積層フィルムの接着強度および耐ハンダ性を第１表
に示す。

比較例４〜５ 実施例１で調製した第一の芳香族ポリアミック酸を使用
して、−層押出しダイスを使用したほかは、実施例１と
同様の成形条件で、二次転移温度２８５℃を有する厚さ
７．５μｍおよび２５μｍの芳香族ポリイミドフィルム
（単層フィルム、Ｒ２タイプおよびＲ，タイプという）
をそれぞれ製造した。

実施例１で調製した第二の芳香族ポリアミック酸を使用
して、−層押出しダイスを使用したほかは、実施例１と
同様の成形条件で、二次転移温度を有していない厚さ５
０μｍおよび２５μｍの芳香族ポリイミドフィルム（単
層フィルム、ＳＩタイプおよび３２タイプという）を製
造した。

前述のＳ、又はＳ２タイプの単層フィルムの上に、Ｒ８
又はＲ，タイプの単層フィルムを重ね合わせ、そして、
そのＲ２又はＲ，タイプの単層フィルム上に３５μｍの
銅箔を重ね合わせ、さらに、その銅箔上に１２μｍのア
ルミニウム箔を重ね合わせて、それらの重ね合わせたも
のを熱プレス機内に配置した他は、実施例１と同様にし
て、各金属箔積層ポリイミドフィルムをそれぞれ製造し
た。

それらの金属箔積層フィルムの接着強度および耐ハンダ
性を第１表に示す。

実施例６〜１１および比較例６〜８ 三層押出しダイスを使用し、吐出量を変えたほかは、実
施例１と同様にして、第２表に示す構成の三層押出ポリ
イミドフィルム（基体層Ａの両側に熱圧着性の薄層Ｂお
よびＢ”を有する）を製造した。この二層押出ポリイミ
ドフィルムの各物性（引張試験、加熱収縮性、線膨張係
数）を第１表に示す。

１２μｍのアルミニウム箔を敷いて、その上に３５μｍ
の銅箔を重ね合わせ、そして、その上の前述の各三層押
出ポリイミドフィルムを重ね合わせ、次いで、その上に
、３５μｍの銅箔を重ね合わせ、さらに、その銅箔上に
１２μｍのアルミニウム箔を重ね合わせて、それらの重
ね合わせたものを熱プレス機内に配置し、第２表に示す
熱圧着条件で熱圧着を行って、各金属箔積層ポリイミド
フィルムをそれぞれ製造した。

前記の各金属箔積層フィルムについて、その接着強度お
よび耐ハンダ性を第２表に示す。

比較例９ 実施例１で調製した第二の芳香族ポリアミック酸を使用
して、−層押出しダイスを使用し、吐出量を変えたほか
は、比較例１と同様の成形条件で、二次転移温度を有し
ていない厚さ７５μｍの芳香族ポリイミドフィルム（単
層フィルム、Ｓ、タイプという）を製造した。

前述の比較例４で製造したＲ、タイプの単層フィルムの
上に、Ｓ、タイプの単層フィルムおよびＲ２タイプの単
層フィルムをこの順序で重ね合わせたものを、三層押出
ポリイミドフィルムの代わりに使用したほかは、実施例
６と同様にして金属゛箔積層ポリイミドフィルムを製造
した。

前記の各金属箔積層フィルムについて、その接着強度お
よび耐ハンダ性を第２表に示す。

［本発明の作用効果］ この発明の金属箔積層フィルムは、その支持体である「
多層押出ポリイミドフィルム１が、その「基体層」を高
耐熱性の特定の芳香族ポリイミドで形成されていると共
に、その少なくとも片面に熱圧着性を有する特定の芳香
族ポリイミドからなる「薄層ｊを有しているものである
ので、支持体が極めて優れた耐熱性、機械物性、電気的
特性を有していると共に、また、その金属箔積層フィル
ムの金属箔と多層押出ポリイミドフィルムとの間の接着
性が強固であり、極めて耐熱性に優れており、特に耐ハ
ンダ性が高い優れたものである。

また、この発明の製法は、前述の優れた金属箔積層フィ
ルムを、容易に再現性よく製造することができる方法で
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図は、前記の多層押出ポリイミドフィルム（支持体
フィルム）と金属箔とからなる二層の金属箔積層フィル
ムの一例を示す断面図であり、第２図は、前記の多層押
出ポリイミドフィルム（支持体フィルム）とその両側に
積層された金属箔とからなる三層の金属箔積層フィルム
の例を示す断面図である。 さらに、第３図および第４図は、この発明において使用
される多層押出ポリイミドフィルムの例を示す断面図で
ある。 Ａ；基体層、Ｂ及びＢ”　；薄層 １；芳香族ポリイミド製の支持体フィルム、２および２
”　；銅箔、 特許出願人　　宇部興産株式会社

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）芳香族テトラカルボン酸類と複数個のベンゼン環
   を有する芳香族ジアミンとから得られた熱圧着性の芳香
   族ポリイミドからなる、０．３〜１５μｍの厚さの薄層
   Ｂが、ビフェニルテトラカルボン酸類とフェニレンジア
   ミン類とから得られた高耐熱性の芳香族ポリイミドから
   なり、多層押出ポリイミドフィルムの全体の厚さの５５
   ％以上の厚さであって６〜２００μｍの厚さの基体層Ａ
   の少なくとも片側に一体に積層されている多層押出ポリ
   イミドフィルムと、金属箔とが、前記薄層表面と金属箔
   の表面とで、直接に一体に熱圧着されていることを特徴
   とする金属箔積層フィルム。
2. （２）芳香族テトラカルボン酸類と複数個のベンゼン環
   を有する芳香族ジアミンとから得られた熱圧着性の芳香
   族ポリイミドからなる、０．３〜１５μｍの厚さの薄層
   Ｂが、ビフェニルテトラカルボン酸類とフェニレンジア
   ミン類とから得られた高耐熱性の芳香族ポリイミドから
   なり、多層押出ポリイミドフィルムの全体の厚さの５５
   ％以上の厚さであって６〜２００μｍの範囲内の厚さで
   ある基体層Ａの少なくとも片側に一体に積層されている
   多層押出ポリイミドフィルムと、金属箔とを、重ね合わ
   せて、２８０℃〜５５０℃の温度および２０〜５０００
   ０ｋｇ／ｃｍ＾２の圧力で、熱圧着することを特徴とす
   る金属箔積層フィルムの製法。