JPH043386Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は中性粒子又はイオンをあてて試料をイ
オン化するイオン源に関するものである。

近時、高速時を与えた中性粒子又はイオンを試
料にあてて該試料をイオン化する方式のイオン源
が注目されている。かかるイオン源では、試料を
例えばグリセロール（常温では液体である）等に
溶かして又は混入して調製し、調製した液状試料
をターゲツト上に載置して中性粒子又はイオンを
照射するようにしており、高い質量数の領域まで
イオン化できるという特徴がある。ところが、質
量数の高い領域では一般に生成されるイオン量が
十分ではないため、長時間にわたつて積算するこ
とにより測定精度を向上させることが望まれてい
る。ところが、ターゲツトに載置できる試料の量
には限りがあり、従来は長時間にわたつて試料イ
オンを発生させることができず、十分な積算を行
うことができなかつた。

本考案は上述した点に鑑みてなされたものであ
り、加速したイオン又は中性粒子をターゲツト上
に載置された試料にあててイオン化するようにし
たイオン源において、液状試料を収容する試料溜
と、該試料溜から上記ターゲツトのイオン又は中
性粒子照射面へ該液状試料を移送する樋状の通路
とを設けることにより、長時間にわたり試料イオ
ンを発生することのできるイオン源を提供するこ
とを目的としている。以下、図面を用いて本考案
の一実施例を詳述する。

第１図は本考案の一実施例を示し、図において
１は金属製のターゲツト、２はターゲツト１を支
持する支柱、３は基台である。上記ターゲツト１
には穴４が開けられ、該穴４には裏側から試料溜
５が差込まれている。該試料溜５は溜部６及び試
料移送部７を有し、第１図におけるＡ−Ａ断面を
示す第２図から分るように試料移送部はパイプの
上半分を切取つた樋状となつている。

今、グリセロールと混合して適度な粘性を持つ
た液状試料Ｃを例えばマイクロシリンジで溜部６
へ注入すれば、該試料は移送部７及び穴４を通つ
てターゲツト１の表面へ到達し、該ターゲツト１
へ照射される中性粒子又はイオンのビームＢによ
つてイオン化される。イオン化によつて消耗した
試料は溜部６から移送部７を介して次々に送られ
て来るため、試料イオンを長時間にわたつて発生
させることができる。

ところで、試料を大気中でグリセロールと混合
して調製する際、調製した試料中に気泡が混入す
ることは避けられない。試料移送部７に通常の閉
じられたパイプを用いると、ターゲツトを真空排
気されたイオン化室内へ挿入した時、試料中の気
泡が膨脹し、その圧力でパイプの先端から試料が
飛出して飛散し、周囲を汚染してしまう恐れが多
い。その点、本考案では、樋状の試料移送部を用
いているため、試料移送部の上方は開放されてお
り、気泡が膨脹しても即座につぶれ、閉じられた
パイプを用いる場合のようにパイプの先端から飛
出して周囲を汚すようなことはない。

尚、ターゲツトの更に穴を開け、試料溜を取付
ければ、異なつた試料例えば標準試料を同時にタ
ーゲツト上に供給することができる。その場合、
ビームＢを２つの試料に交互に照射することによ
り標準試料と被検試料のイオンを交互に長時間に
わたつて発生させれば、標準試料に基づき被検試
料の質量数を分解能良く測定することが可能とな
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す図、第２図は
そのＡ−Ａ断面図である。 １……金属製ターゲツト、４……穴、５……試
料溜、６……溜部、７……試料移送部。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 加速したイオン又は中性粒子をターゲツト上に
   載置された試料に衝突させるようにしたイオン源
   において、液状試料を収容する試料溜と、該試料
   溜から上記ターゲツトのイオン又は中性粒子照射
   面へ該液状試料を移送する樋状の通路とを設けた
   ことを特徴とするイオン源。