JPH04340507A - 光導波路部品 - Google Patents

光導波路部品

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Publication number
JPH04340507A
JPH04340507A JP11293591A JP11293591A JPH04340507A JP H04340507 A JPH04340507 A JP H04340507A JP 11293591 A JP11293591 A JP 11293591A JP 11293591 A JP11293591 A JP 11293591A JP H04340507 A JPH04340507 A JP H04340507A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical waveguide
substrate
optical
optical fiber
fiber alignment
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11293591A
Other languages
English (en)
Inventor
Takeshi Ueki
健 植木
Hisaharu Yanagawa
柳川 久治
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Furukawa Electric Co Ltd
Original Assignee
Furukawa Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Furukawa Electric Co Ltd filed Critical Furukawa Electric Co Ltd
Priority to JP11293591A priority Critical patent/JPH04340507A/ja
Publication of JPH04340507A publication Critical patent/JPH04340507A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/36Mechanical coupling means
    • G02B6/38Mechanical coupling means having fibre to fibre mating means
    • G02B6/3807Dismountable connectors, i.e. comprising plugs
    • G02B6/3833Details of mounting fibres in ferrules; Assembly methods; Manufacture
    • G02B6/3834Means for centering or aligning the light guide within the ferrule
    • G02B6/3838Means for centering or aligning the light guide within the ferrule using grooves for light guides
    • G02B6/3839Means for centering or aligning the light guide within the ferrule using grooves for light guides for a plurality of light guides

Landscapes

  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光導波路と光ファイバ
との接続を無調芯で行なう光導波路部品に関する。
【0002】
【従来の技術】光分波器、光スイッチ、光アイソレータ
或いは方向性結合器等の光導波路と光ファイバとの接合
は、図6に示すように光導波路1が所定の間隔で複数例
えば、2本並列に設けられた光導波路基板2の光入出射
端面2aと、光ファイバ固定部材3に前記所定の間隔で
整列固定された2本の光ファイバ4、4の各端面4a、
4aとを突き合わせ、1方の光ファイバ4と当該光ファ
イバ4と対応する光導波路1とに実際に光を通してこれ
ら両者を調芯した後、光導波路基板2と光ファイバ固定
部材3とを接着剤等により接着固定するようにしている
【0003】
【発明が解決しようとする課題】従って、上記従来の光
導波路と光ファイバとの接合では、光導波路1と光ファ
イバ4との調芯を必要とし、この調芯を行なうためには
光ファイバに光を通す必要がある。例えば、5本の光導
波路と光ファイバとを接合する場合には少なくとも1本
の光導波路と光ファイバとに実際に光を通す必要がある
。更に多数本の光導波路と光ファイバとの接合を行なう
場合には少なくとも2本の光ファイバ例えば、両側或い
は一側と中央の光ファイバに光を通して各光導波路と光
ファイバとの調芯を行なう必要がある。このため調芯工
程に相当の時間が掛かり、費用も高くなるという問題が
ある。
【0004】本発明は上述の点に鑑みてなされたもので
、多芯の光導波路と光ファイバとの接合を無調芯、且つ
一括して容易に行なうことが可能な光導波路部品を提供
することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明によれば、光導波路が設けられ位置決め用のガ
イドが形成された光導波路基板と、前記光導波路基板と
突き合わせて当接され、前記光導波路と接合すべき光フ
ァイバの位置決めをする光ファイバ整列溝と前記光導波
路基板との位置決めをするためのガイドとが形成された
光ファイバ整列基板と、前記光導波路基板と前記光ファ
イバ整列基板の各ガイドと嵌合してこれらの位置決めを
行ない前記光導波路と前記光ファイバとを整合させるガ
イド受が形成された固定基板とを備えた構成としたもの
である。
【0006】
【作用】光ファイバ整列基板の光ファイバ整列溝に光フ
ァイバを嵌合して位置決めし且つ当該光ファイバ整列基
板を光導波路基板に突き合わせて当接させる。次いで、
これらの光ファイバ整列基板と光導波路基板の各ガイド
に固定基板のガイド受を嵌合させる。この固定基板が光
導波路基板と光ファイバ整列基板とに嵌合した状態にお
いて、光導波路基板に設けられた光導波路と光ファイバ
整列基板に嵌合された光ファイバとが整合される。これ
により多芯の光導波路と光ファイバとを無調芯で接合す
ることが可能となる。
【0007】
【実施例】以下本発明の一実施例を添付図面に基づいて
詳述する。図1において光導波路部品10は、光導波路
基板11と、光ファイバ整列基板12と、固定基板13
とにより構成されており、光導波路基板11には光導波
路15が設けられ、光ファイバ整列基板12には光ファ
イバ4が整列され、固定基板13は、光導波路基板11
と光ファイバ整列基板12とに嵌合し光導波路15と光
ファイバ4とを接合する。そして、固定基板13は、光
導波路基板11と光ファイバ整列基板12とを突き合わ
せた長さとされていてる。
【0008】光導波路基板11は、図2に示すように上
面11aの所定の領域例えば、中央に直方体状の光導波
路15の光導波路本体16が設けられており、当該光導
波路本体16には複数例えば、2本のコア部17、17
が設けられている。これらのコア部17、17は、各中
心が上面11aから所定の高さhの位置に、且つ中心距
離が所定の間隔Dで並んで設けられている。そして、こ
の光導波路基板11の上面11aには光導波路本体16
の両側の所定位置にガイド11b、11bが平行に設け
られている。このガイド11bは、端面視略台形状をな
す凸条とされており、上面11aからの高さは適宜の高
さh’に設定されている。そして、光導波路基板11の
両端面と、光導波路本体16の両端面と、コア部17、
17の各両端面は、夫々面一とされている。
【0009】光ファイバ整列基板12は、図3に示すよ
うに上面12aの略中央に光導波路基板11の光導波路
本体16と対応する位置に2本の光ファイバ整列溝12
b、12bが設けられている。これらの光ファイバ整列
溝12b、12bは、端面視略台形状をなしており、光
ファイバ4、4が正確に嵌合し得る溝幅、深さに設定さ
れている。即ち、光ファイバ4は、周面が溝12bの両
側面及び底面の3箇所に点接触する。
【0010】そして、光ファイバ整列溝12b、12b
は、光ファイバ4、4が嵌合された状態においてこれら
の光ファイバ4、4のコア5、5の中心距離が光導波路
15の各コア部17、17の間隔Dとなり、且つ底面か
らコア5、5中心までの高さが前記各コア部17、17
の高さhとなるように設定されている。また、これらの
光ファイバ整列溝12b、12bの深さは、光ファイバ
4の直径Daよりも浅い例えば、半径程度に設定されて
いる。
【0011】光ファイバ整列基板12の上面12aには
光ファイバ整合溝12b、12bの両側に溝12c、1
2cを存して夫々ガイド12d、12dが平行に設けら
れている。これらのガイド12d、12dは、光導波路
基板11の各ガイド11b、11b(図2)と対応する
位置に、且つ同一の形状に形成されている。そして、光
導波路基板11の各ガイド11b、11bと光ファイバ
整列基板12の対応する各ガイド12d、12dとを夫
々合致させて同一直線上に配置した場合、光ファイバ整
列基板12の光ファイバ整列溝12b、12bに嵌合整
列された光ファイバ4、4の各コア5、5が、光導波路
基板11の光導波路15の各コア部17、17と整合す
るように設定されている。
【0012】固定基板13は、図2及び図3に示すよう
に光導波路基板11、光ファイバ整列基板12と対抗す
る下面13aの略中央に端面視略台形状をなす溝13b
が設けられており、当該溝13bの両側所定位置にはガ
イド受13c、13cが平行に設けられている。この溝
13bは、光導波路基板11の光導波路本体16の幅よ
りも僅かに広く、且つ光ファイバ4の外径Daと同じ深
さd(=Da)に設定されている。尚、光導波路本体1
6の高さは、光ファイバ4の外径Daよりも低く設定さ
れている。
【0013】ガイド受13c、13cは、端面視略台形
状をなす溝で、光導波路基板11のガイド11b、11
b、光ファイバ整列基板12のガイド12d、12dと
対応する位置に、その深さd’が、ガイド11b、12
bの高さh’と等しく(d’=h’)設定され、これら
と正確に嵌合し得るようになっている。光導波路基板1
1、光ファイバ整列基板12及び固定基板13等は、基
板材料として例えば、単結晶シリコンを用い、ガイド1
1b、12d、光ファイバ整列溝12b、溝13b、ガ
イド受13c等をシリコンの異方性エッチング技術によ
り形成することが可能である。また、光導波路15のコ
ア部17としては、シリコン基板上に容易に構成可能な
、火炎堆積法による石英導波路を用いることができる。
【0014】例えば、予めガイド(11b)を形成した
シリコン基板の所定の部分に石英光導波路の下部クラッ
ド層とコア層とを火炎堆積法により堆積、ガラス化した
後、LSI作製技術の応用である微細加工技術(例えば
、フォトリソグラフィによる微細パターン転写技術とR
IBEによるドライエッチング技術)によりコア層を光
導波路パターン(コア部17)に形成し、更に上部クラ
ッド層を堆積、ガラス化することにより形成することが
できる。この際、光導波路パターン形成時に予め形成さ
れているガイドを基準パターンとすることにより光導波
路パターン(コア部17)とガイド(11b)との位置
関係を精密に制御することができる。
【0015】更に、光導波路基板11のガイド11bと
光導波路本体16とは光導波路パターン形成時に水平方
向の位置合わせを容易に行なうことが可能であり、一方
光ファイバ整列基板12と光ファイバ整列溝12bとも
各パターンの形成を容易に高精度且つ一括して行なうこ
とが可能である。従って、光導波路16と光ファイバ4
とは、ガイド11b、12bとガイド受13cとを介し
て極めて容易に所定の位置関係で結合される。
【0016】尚、各光導波路基板11、光ファイバ整列
基板12、固定13をシリコン基板とした場合には、フ
ァイバ整列溝12bをシリコン基板の異方性エッチング
技術によるV溝構造とすることにより、ファイバ4の整
列高さ精度がV溝形成用マスクパターンの幅精度に完全
に比例するために、ファイバ4の整列高さ精度を極めて
容易且つ高精度で制御することができるという特徴があ
る。
【0017】以下に作用を説明する。先ず、図1に示す
ように光ファイバ整列基板12の各光ファイバ整列溝1
2b、12bに光ファイバ4、4を整列嵌合させ、且つ
接合すべき各端面を当該光ファイバ整列基板12の光導
波路基板11の端面11eと対応する端面12eと面一
に設定して固定する。次に、光導波路基板11の端面1
1eと光ファイバ整列溝12の端面12eとを矢印A、
A’で示すように突き合わせて当接させた後、これらの
光導波路基板11、光ファイバ整列基板12の各両側の
ガイド11b、11b、12d、12dに固定基板13
の両側の各ガイド受13c、13cを嵌合(図4、図5
)させる。
【0018】この状態において図5に示すように光ファ
イバ整列基板12の各光ファイバ整列溝12b、12b
に整列嵌合された光ファイバ4、4は、これらの光ファ
イバ整列溝12b、12bと固定基板13の溝13bの
底面とにより挾持される。そして、光導波路基板11の
光導波路15の各コア部17、17と光ファイバ整列基
板12の各光ファイバ4、4の各コア5、5とが正確に
整合し、且つ各接合端面同士が当接される。この後光導
波路基板11と光ファイバ整列基板12と固定基板13
とを夫々固定する。これにより光導波路15の各コア部
17、17と光ファイバ4、4とは無調芯で正確に接合
される。尚、これらの光導波路基板11と光ファイバ整
列基板12と固定基板13との固定は、固定金具等によ
り機械的に固定しても良く、或いは接着剤により接着固
定してもよい。
【0019】尚、上記実施例では光導波路基板11に光
導波路15を一体に形成した場合に付いて説明したが、
これに限るものではなく光導波路基板11と光導波路1
5とを各別に形成し、光導波路基板11に光導波路本体
15を所定の位置関係で正確に固定するようにしてもよ
い。また、上記実施例においては説明の便宜上光導波路
15に2本のコア部17、17を形成した場合について
記述したが、これに限るものではなく、実際には多芯即
ち、多数のコア部17と多数の光ファイバ4とを接合す
る多芯の一括無調芯の場合に適用される。
【0020】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、光
導波路が設けられ位置決め用のガイドが形成された光導
波路基板と、前記光導波路基板と突き合わせて当接され
、前記光導波路と接合すべき光ファイバの位置決めをす
る光ファイバ整列溝と前記光導波路基板との位置決めを
するためのガイドとが形成された光ファイバ整列基板と
、前記光導波路基板と前記光ファイバ整列基板の各ガイ
ドと嵌合してこれらの位置決めを行ない前記光導波路と
前記光ファイバとを整合させるガイド受が形成された固
定基板とを備えたことにより、前記光導波路と光ファイ
バとを無調芯で且つ極めて簡単に整合させることが可能
となり、光導波路と光ファイバとの接合を多芯一括で行
なうことが可能となり、作業能率が大幅に向上し、コス
トの低減が図られる。また、各部品の構成も簡単である
等の優れた効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る光導波路部品の一実施例を示す組
立斜視図である。
【図2】図1の光導波路基板と固定基板との関係を示す
端面図である。
【図3】図1の光ファイバ整列基板と固定基板との関係
を示す端面図である。
【図4】図2の光導波路基板と固定基板との嵌合状態を
示す図である。
【図5】図3の光ファイバ整列基板と固定基板との嵌合
状態を示す図である。
【図6】従来の光導波路と光ファイバとの接合を示す組
付け斜視図である。
【符号の説明】
4  光ファイバ 5  コア 10  光導波路部品 11  光導波路基板 11b、12d  ガイド 12  光ファイバ整列基板 12b  光ファイバ整列溝 13  固定基板 13c  ガイド受 15  光導波路 16  光導波路本体 17  コア部

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  光導波路が設けられ位置決め用のガイ
    ドが形成された光導波路基板と、前記光導波路基板と突
    き合わせて当接され、前記光導波路と接合すべき光ファ
    イバの位置決めをする光ファイバ整列溝と前記光導波路
    基板との位置決めをするためのガイドとが形成された光
    ファイバ整列基板と、前記光導波路基板と前記光ファイ
    バ整列基板の各ガイドと嵌合してこれらの位置決めを行
    ない前記光導波路と前記光ファイバとを整合させるガイ
    ド受が形成された固定基板とを備えたことを特徴とする
    光導波路部品。
JP11293591A 1991-05-17 1991-05-17 光導波路部品 Pending JPH04340507A (ja)

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Cited By (7)

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