JPH0434252B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0434252B2 JPH0434252B2 JP58239389A JP23938983A JPH0434252B2 JP H0434252 B2 JPH0434252 B2 JP H0434252B2 JP 58239389 A JP58239389 A JP 58239389A JP 23938983 A JP23938983 A JP 23938983A JP H0434252 B2 JPH0434252 B2 JP H0434252B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- vacuum container
- intermediate member
- unit
- welding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
- H01J29/86—Vessels; Containers; Vacuum locks
- H01J29/863—Vessels or containers characterised by the material thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J5/00—Details relating to vessels or to leading-in conductors common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J5/02—Vessels; Containers; Shields associated therewith; Vacuum locks
- H01J5/18—Windows permeable to X-rays, gamma-rays, or particles
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/24—Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases
- H01J9/26—Sealing together parts of vessels
- H01J9/263—Sealing together parts of vessels specially adapted for cathode-ray tubes
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、例えばＸ線螢光増倍管、Ｘ線管、
放射線検出器、ベータトロンドーナツ管や類似の
放射線を通過させる窓をもつ真空容器及びその製
造方法に関する。
放射線検出器、ベータトロンドーナツ管や類似の
放射線を通過させる窓をもつ真空容器及びその製
造方法に関する。
一般にＸ線螢光増倍管、Ｘ線管、放射線検出
器、ベータトロンドーナツ管などの真空容器は、
一部に放射線透過用の窓を有し、内部を真空もし
くは所定のガス雰囲気に維持するため気密構造に
なつている。例えば、Ｘ線螢光増倍管において
は、被検物体を通過して変調されたＸ線を導入す
る150〜400mmという大口径の入力窓は、Ｘ線吸収
及び散乱の比較的大きいガラスに替えて、アルミ
ニウム（Al）やチタニウム（Ti）が採用され始
めている。一方、真空容器の中央部分に金属を用
いたＸ線管においては、高温で且つ２次電子を放
射し易い陽極ターゲツトの極く近傍にＸ線放射窓
を設けなければならず、このＸ線放射窓は非常に
高温に耐えなければならない。このような条件の
もとで、放射線吸収及び散乱が少なく、且つ大気
圧に充分耐える金属材料としてはチタニウム又は
チタニウム合金が実用上有効である。
器、ベータトロンドーナツ管などの真空容器は、
一部に放射線透過用の窓を有し、内部を真空もし
くは所定のガス雰囲気に維持するため気密構造に
なつている。例えば、Ｘ線螢光増倍管において
は、被検物体を通過して変調されたＸ線を導入す
る150〜400mmという大口径の入力窓は、Ｘ線吸収
及び散乱の比較的大きいガラスに替えて、アルミ
ニウム（Al）やチタニウム（Ti）が採用され始
めている。一方、真空容器の中央部分に金属を用
いたＸ線管においては、高温で且つ２次電子を放
射し易い陽極ターゲツトの極く近傍にＸ線放射窓
を設けなければならず、このＸ線放射窓は非常に
高温に耐えなければならない。このような条件の
もとで、放射線吸収及び散乱が少なく、且つ大気
圧に充分耐える金属材料としてはチタニウム又は
チタニウム合金が実用上有効である。
ところで、この種の真空容器は、種々の内部電
極を支えたりリード線を容器外まで貫通させた
り、又、可視光像を容器外に透過させたりする必
要から、その一部にガラスやセラミツクのような
絶縁体を用いる必然性がある。もし、そうでなく
ともTi材のみで容器の全体を構成する場合は殆
どなく、他の金属部材を少なくとも１箇所でTi
材の部分と気密接合して構成するのが普通であ
る。この金属部材としては、ガラスやセラミツク
との安定な接合ができるコバール（商品名）やス
テンレス鋼、高透磁率材などの鉄（Fe）、又は鉄
を含む合金がしばしば用いられる。
極を支えたりリード線を容器外まで貫通させた
り、又、可視光像を容器外に透過させたりする必
要から、その一部にガラスやセラミツクのような
絶縁体を用いる必然性がある。もし、そうでなく
ともTi材のみで容器の全体を構成する場合は殆
どなく、他の金属部材を少なくとも１箇所でTi
材の部分と気密接合して構成するのが普通であ
る。この金属部材としては、ガラスやセラミツク
との安定な接合ができるコバール（商品名）やス
テンレス鋼、高透磁率材などの鉄（Fe）、又は鉄
を含む合金がしばしば用いられる。
このような真空容器におけるTi材とFe材との
真空気密接合技術としては、例えば特開昭57−
3340号公報に示されたものがある。
真空気密接合技術としては、例えば特開昭57−
3340号公報に示されたものがある。
これは、Ti材からなる放射線透過用窓材と、
この窓材の周縁部に真空気密に接合されたFe材
からなる入力窓支持枠とを具備する真空容器にお
いて、上記窓材周縁部と支持枠との間に該窓材の
変態点よりも低い温度で溶融する金属からなる中
間部材が介在され、且つスポツト抵抗加熱接合に
より真空気密接合されてなる真空容器である。
この窓材の周縁部に真空気密に接合されたFe材
からなる入力窓支持枠とを具備する真空容器にお
いて、上記窓材周縁部と支持枠との間に該窓材の
変態点よりも低い温度で溶融する金属からなる中
間部材が介在され、且つスポツト抵抗加熱接合に
より真空気密接合されてなる真空容器である。
更に、一対のスポツト抵抗加熱圧接電極の間
に、Ti材からなる放射線透過用窓材、Fe材から
なる支持枠及び上記窓材と支持枠との間に介在す
る金属中間部材を重ね合せて挿入し、上記圧接電
極間に40〜200Kg／cm2の圧力を加えなからパルス
電流を通電して接合すると共に、この通電接合部
を窓材の周縁部に沿つてずらせて気密接合する真
空容器の製造方法である。
に、Ti材からなる放射線透過用窓材、Fe材から
なる支持枠及び上記窓材と支持枠との間に介在す
る金属中間部材を重ね合せて挿入し、上記圧接電
極間に40〜200Kg／cm2の圧力を加えなからパルス
電流を通電して接合すると共に、この通電接合部
を窓材の周縁部に沿つてずらせて気密接合する真
空容器の製造方法である。
上記特開昭57−3340号公報に開示された技術に
は、次のような問題点がある。
は、次のような問題点がある。
平坦なTi板を接合する場合、熱膨張がある
ため、連続的にスポツト溶接する前に対角線上
に仮付を４〜16点行なう必要がある。
ため、連続的にスポツト溶接する前に対角線上
に仮付を４〜16点行なう必要がある。
中間部材の銀鑞又は金鑞の溶接条件が狂つて
くると、スプラツシユとなつて真空容器内に飛
散し、これがゴミとなり、容器内を汚す。
くると、スプラツシユとなつて真空容器内に飛
散し、これがゴミとなり、容器内を汚す。
直径の大きな窓の場合は、接合強度が弱いた
め、２列又は３列の重ね溶接を行なう必要があ
る。
め、２列又は３列の重ね溶接を行なう必要があ
る。
この発明の目的は、極めて安定した気密性が得
られ、スプラツシユも皆無となつた真空容器及び
その製造方法を提供することである。
られ、スプラツシユも皆無となつた真空容器及び
その製造方法を提供することである。
〔発明の概要〕
この発明は、第１の真空容器単体の周縁部と第
２の真空容器単体の周縁部の平担な面が予め仮溶
接され、更に第１の真空容器単体と第２の真空容
器単体との間に中間部材を介在させ、上記仮溶接
箇所に対し大気側に所定間隔をあけて第１の真空
容器単体、中間部材、第２の真空容器単体を連続
スポツト溶接により真空気密接合されてなる真空
容器である。
２の真空容器単体の周縁部の平担な面が予め仮溶
接され、更に第１の真空容器単体と第２の真空容
器単体との間に中間部材を介在させ、上記仮溶接
箇所に対し大気側に所定間隔をあけて第１の真空
容器単体、中間部材、第２の真空容器単体を連続
スポツト溶接により真空気密接合されてなる真空
容器である。
又、この発明は、一対のスポツト抵抗加熱圧接
電極の間に、第１の真空容器単体、第２の真空容
器単体及びこの両単体の間に介在する中間部材を
重ね合せて挿入し、先ず上記第１の真空容器単体
と第２の真空容器単体の各周縁部のうち中間部材
が存在しない真空側の平坦な面を所定加圧力で連
続スポツト溶接による仮溶接を行ない、次にこの
仮溶接箇所に対し大気側に所定間隔をあけて上記
第１の真空容器単体、中間部材、第２の真空容器
単体を所定加圧力で連続スポツト溶接により気密
接合する真空容器の製造方法である。
電極の間に、第１の真空容器単体、第２の真空容
器単体及びこの両単体の間に介在する中間部材を
重ね合せて挿入し、先ず上記第１の真空容器単体
と第２の真空容器単体の各周縁部のうち中間部材
が存在しない真空側の平坦な面を所定加圧力で連
続スポツト溶接による仮溶接を行ない、次にこの
仮溶接箇所に対し大気側に所定間隔をあけて上記
第１の真空容器単体、中間部材、第２の真空容器
単体を所定加圧力で連続スポツト溶接により気密
接合する真空容器の製造方法である。
上記問題点の原因は種々あるが、Ti板の直径
が大きいための熱膨張が原因でスポツト点の中間
部材適正位置からのズレが原因と考えられる。
が大きいための熱膨張が原因でスポツト点の中間
部材適正位置からのズレが原因と考えられる。
そこで、この発明の真空容器の要部は第１図に
示すように構成され、第１の真空容器単体１と第
２の真空容器単体２とが真空気密に接合されてい
る。この場合、上記第１の真空容器単体１の周縁
部と上記第２の真空容器単体２の周縁部とのうち
真空側の平担な面が、予め連続スポツト溶接３に
より仮溶接されている。更に上記第１の真空容器
単体１と上記第２の真空容器単体２との間に、厚
さ0.5mm以下、幅10mm以下の金属製中間部材４を
介在させ、上記仮溶接箇所つまり連続スポツト溶
接３位置より大気側に0.1〜10.0mmの間隔をあけ
て第１の真空容器単体１、中間部材４、第２の真
空容器単体２を連続スポツト溶接５により真空気
密に接合されている。
示すように構成され、第１の真空容器単体１と第
２の真空容器単体２とが真空気密に接合されてい
る。この場合、上記第１の真空容器単体１の周縁
部と上記第２の真空容器単体２の周縁部とのうち
真空側の平担な面が、予め連続スポツト溶接３に
より仮溶接されている。更に上記第１の真空容器
単体１と上記第２の真空容器単体２との間に、厚
さ0.5mm以下、幅10mm以下の金属製中間部材４を
介在させ、上記仮溶接箇所つまり連続スポツト溶
接３位置より大気側に0.1〜10.0mmの間隔をあけ
て第１の真空容器単体１、中間部材４、第２の真
空容器単体２を連続スポツト溶接５により真空気
密に接合されている。
尚、上記第１の真空容器単体１は、例えばＸ線
螢光増倍管におけるチタニウム又はチタニウム合
金からなる放射線透過用入力窓である。又、上記
第２の真空容器単体２は、例えばＸ線螢光増倍管
における鉄又は鉄を含む合金からなる入力窓支持
枠である。更に、上記中間部材４は、例えば銅を
含む金又は銀を主体にした合金からなつている。
なお、発明者は第１の真空容器及び第２の真空容
器の溶接手段としてシーム溶接を試みたが、円形
部への加圧溶接の際、熱膨張により、余肉の逃げ
場がなくなり、シワを生じひいてはリーク発生の
要因となる。したがつて本発明は連続スポツト溶
接を選定するものである。
螢光増倍管におけるチタニウム又はチタニウム合
金からなる放射線透過用入力窓である。又、上記
第２の真空容器単体２は、例えばＸ線螢光増倍管
における鉄又は鉄を含む合金からなる入力窓支持
枠である。更に、上記中間部材４は、例えば銅を
含む金又は銀を主体にした合金からなつている。
なお、発明者は第１の真空容器及び第２の真空容
器の溶接手段としてシーム溶接を試みたが、円形
部への加圧溶接の際、熱膨張により、余肉の逃げ
場がなくなり、シワを生じひいてはリーク発生の
要因となる。したがつて本発明は連続スポツト溶
接を選定するものである。
次に上記のような真空容器を製造するには、一
対のスポツト抵抗加熱圧接電極の間に、第１の真
空容器単体１、第２の真空容器単体２及びこの両
単体１，２の間に介在する中間部材４を重ね合せ
て挿入する。そして先ず、上記第１の真空容器単
体１と上記第２の真空容器単体２の各周縁部の平
担な面（上記中間部材４が存在しない真空側）
を、40〜200Kg／cm2の加圧力、5000〜40000A／cm2
のパルス電流で連続スポツト溶接３による仮溶接
を行なう。次に、この仮溶接箇所つまり上記連続
スポツト溶接３位置より大気側に0.1〜10mmの間
隔をあけて、上記第１の真空容器単体１、中間部
材４、第２の真空容器単体２を40〜200Kg／cm2の
加圧力、5000〜40000A／cm2のパルス電流で連続
スポツト溶接５による本溶接を行なつて気密接合
する。
対のスポツト抵抗加熱圧接電極の間に、第１の真
空容器単体１、第２の真空容器単体２及びこの両
単体１，２の間に介在する中間部材４を重ね合せ
て挿入する。そして先ず、上記第１の真空容器単
体１と上記第２の真空容器単体２の各周縁部の平
担な面（上記中間部材４が存在しない真空側）
を、40〜200Kg／cm2の加圧力、5000〜40000A／cm2
のパルス電流で連続スポツト溶接３による仮溶接
を行なう。次に、この仮溶接箇所つまり上記連続
スポツト溶接３位置より大気側に0.1〜10mmの間
隔をあけて、上記第１の真空容器単体１、中間部
材４、第２の真空容器単体２を40〜200Kg／cm2の
加圧力、5000〜40000A／cm2のパルス電流で連続
スポツト溶接５による本溶接を行なつて気密接合
する。
この発明によれば、中間部材４上を連続スポツ
トするときの変化が、仮付のためになくなつてし
まい、極めて安定した連続溶接が可能になつた。
この結果、製作された真空容器は安定した気密性
を有し、又、スプラツシユも皆無となつた。そし
て、塩水噴霧試験による気密保持時間の比較を行
なうと、従来技術によれば170時間であつたが、
この発明によれば1000時間以上であつた。
トするときの変化が、仮付のためになくなつてし
まい、極めて安定した連続溶接が可能になつた。
この結果、製作された真空容器は安定した気密性
を有し、又、スプラツシユも皆無となつた。そし
て、塩水噴霧試験による気密保持時間の比較を行
なうと、従来技術によれば170時間であつたが、
この発明によれば1000時間以上であつた。
尚、従来技術による場合とこの発明による場合
の真空容器の要部断面を示すと、第２図及び第３
図のようになり、従来技術（第２図）の場合は隙
間６ができ、スプラツシユ７が存在して不都合が
生じる。しかし、この発明（第３図）では、隙間
もできずスプラツシユも皆無で不都合は生じな
い。
の真空容器の要部断面を示すと、第２図及び第３
図のようになり、従来技術（第２図）の場合は隙
間６ができ、スプラツシユ７が存在して不都合が
生じる。しかし、この発明（第３図）では、隙間
もできずスプラツシユも皆無で不都合は生じな
い。
第１図はこの発明の一実施例に係る真空容器の
要部を示す一部断面を含む斜視図、第２図及び第
３図はこの発明の効果を説明するために用いるも
ので、それぞれ従来技術とこの発明による真空容
器の要部を拡大して示したものである。 １……第１の真空容器単体、２……第２の真空
容器単体、３……連続スポツト溶接（仮溶接）、
４……中間部材、５……連続スポツト溶接。
要部を示す一部断面を含む斜視図、第２図及び第
３図はこの発明の効果を説明するために用いるも
ので、それぞれ従来技術とこの発明による真空容
器の要部を拡大して示したものである。 １……第１の真空容器単体、２……第２の真空
容器単体、３……連続スポツト溶接（仮溶接）、
４……中間部材、５……連続スポツト溶接。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 第１の真空容器単体と、この第１の真空容器
単体の周縁部に真空気密に接合された第２の真空
容器単体とを具備する真空容器において、 上記第１の真空容器単体の周縁部と第２の真空
容器単体の平坦な面が予め仮溶接され、更に第１
の真空容器単体と第２の真空容器単体との間に中
間部材を介在させ上記仮溶接箇所に対し大気側に
所定間隔をあけて第１の真空容器単体、中間部
材、第２の真空容器単体が連続スポツト溶接によ
り真空気密接合されてなることを特徴とする真空
容器。 ２ 一対のスポツト抵抗加熱圧接電極の間に、第
１の真空容器単体、第２の真空容器単体及びこの
両単体の間に介在する中間部材を重ね合わせて挿
入し、先ず上記第１の真空容器単体と第２の真空
容器単体の各周縁部のうち上記中間部材が存在し
ない真空側の平坦な面を所定加圧力で連続スポツ
ト溶接による仮溶接を行ない、次にこの仮溶接箇
所に対し大気側に所定間隔をあけて上記第１の真
空容器単体、中間部材、第２の真空容器単体を所
定加圧力で連続スポツト溶接により気密接合する
ことを特徴とする真空容器の製造方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58239389A JPS60131729A (ja) | 1983-12-19 | 1983-12-19 | 真空容器及びその製造方法 |
| US06/681,143 US4588894A (en) | 1983-12-19 | 1984-12-13 | Vacuum tube and a method for manufacturing the same |
| DE8484115357T DE3471200D1 (en) | 1983-12-19 | 1984-12-13 | A vacuum tube and a method for manufacturing the same |
| EP84115357A EP0147734B1 (en) | 1983-12-19 | 1984-12-13 | A vacuum tube and a method for manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58239389A JPS60131729A (ja) | 1983-12-19 | 1983-12-19 | 真空容器及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60131729A JPS60131729A (ja) | 1985-07-13 |
| JPH0434252B2 true JPH0434252B2 (ja) | 1992-06-05 |
Family
ID=17044053
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58239389A Granted JPS60131729A (ja) | 1983-12-19 | 1983-12-19 | 真空容器及びその製造方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4588894A (ja) |
| EP (1) | EP0147734B1 (ja) |
| JP (1) | JPS60131729A (ja) |
| DE (1) | DE3471200D1 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2623940A1 (fr) * | 1987-11-27 | 1989-06-02 | Commissariat Energie Atomique | Detecteur de rayonnements et procede de fabrication de sa fenetre d'entree |
| US6434822B1 (en) * | 2000-09-13 | 2002-08-20 | Delphi Technologies, Inc. | Method of fuel injector assembly |
| FR2886180B1 (fr) * | 2005-05-27 | 2007-07-13 | Snecma Moteurs Sa | Procede de fabrication d'une nappe liee constituee de fils ceramiques a matrice metallique, dispositif de mise en oeuvre du procede nappe liee obtenue par le procede |
| SE533567C2 (sv) * | 2009-03-11 | 2010-10-26 | Tetra Laval Holdings & Finance | Förfarande för montering av ett fönster för utgående elektroner och en fönsterenhet för utgående elektroner |
| KR102072679B1 (ko) * | 2013-02-27 | 2020-02-04 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 증착용 마스크 어셈블리 제조 방법 |
| US11201041B2 (en) * | 2020-02-03 | 2021-12-14 | Baker Hughes Holdings Llc | Gas electron multiplier board photomultiplier |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR940352A (fr) * | 1946-02-07 | 1948-12-10 | Philips Nv | Récipient à vide plus ou moins complet dont la paroi est au moins partiellement en métal et son procédé de fabrication |
| US3406304A (en) * | 1966-11-25 | 1968-10-15 | Field Emission Corp | Electron transmission window for pulsed field emission electron radiation tube |
| DE2151079A1 (de) * | 1971-10-13 | 1973-04-19 | Siemens Ag | Strahlendurchtrittsfenster |
| DE2331210C2 (de) * | 1973-06-19 | 1975-06-26 | Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen | Verwendung von Leichtmetallscheiben als RöntgenstrahJendurchgangsfenster |
| DE2605376C3 (de) * | 1976-02-11 | 1979-01-11 | Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen | Abdichtung für ein Röntgenstrahlendurchgangsfenster und Verfahren zur Herstellung der Abdichtung |
| NL177160C (nl) * | 1977-10-24 | 1985-08-01 | Philips Nv | Roentgenbeeldversterkerbuis. |
| US4423351A (en) * | 1980-05-06 | 1983-12-27 | Tokyo Shibaura Denki Kabushiki Kaisha | Vacuum container of radiation image multiplier tube and method of manufacturing the same |
| JPS587010B2 (ja) * | 1980-06-05 | 1983-02-08 | 株式会社東芝 | 放射線透過用窓を有する真空容器の製造方法 |
| JPS587010A (ja) * | 1981-07-07 | 1983-01-14 | Kozo Nomura | 掻揚レ−キ付きスクリ−ン除塵装置の改良 |
-
1983
- 1983-12-19 JP JP58239389A patent/JPS60131729A/ja active Granted
-
1984
- 1984-12-13 DE DE8484115357T patent/DE3471200D1/de not_active Expired
- 1984-12-13 US US06/681,143 patent/US4588894A/en not_active Expired - Fee Related
- 1984-12-13 EP EP84115357A patent/EP0147734B1/en not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0147734A2 (en) | 1985-07-10 |
| US4588894A (en) | 1986-05-13 |
| JPS60131729A (ja) | 1985-07-13 |
| DE3471200D1 (en) | 1988-06-16 |
| EP0147734A3 (en) | 1986-01-02 |
| EP0147734B1 (en) | 1988-05-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6567500B2 (en) | Vacuum enclosure for a vacuum tube tube having an X-ray window | |
| US4423351A (en) | Vacuum container of radiation image multiplier tube and method of manufacturing the same | |
| US4433230A (en) | Method of manufacturing a vacuum vessel provided with a radiation-permeable window | |
| EP0239214B1 (en) | Method and apparatus for interconnecting and hermetically sealing ceramic components | |
| JPH05166462A (ja) | 平板型表示装置用真空容器の製造方法 | |
| US4331898A (en) | Image intensifier with two-layer input window | |
| JPS60131729A (ja) | 真空容器及びその製造方法 | |
| JP2002167285A (ja) | 金属−セラミック接合体及びそれを用いた真空スイッチユニット | |
| MXPA01009852A (es) | Tubo de imagenes a color que tiene una mascara de tension de expansion inferior unida a un marco de expansion mas alta. | |
| EP0023051A1 (en) | X-ray image intensifier | |
| US2751514A (en) | Hooded anode X-ray tube | |
| JPS61168848A (ja) | Ｘ線イメージ増倍管用真空ジヤケツト | |
| JPH0328773B2 (ja) | ||
| JPS6346945B2 (ja) | ||
| JPS63108640A (ja) | 真空容器及びその製造方法 | |
| JPS5816743B2 (ja) | Ｘ線けい光増倍管 | |
| JPS61253166A (ja) | 真空容器の製造法 | |
| JPS6364253A (ja) | 軟ｘ線取出し窓 | |
| JPS59158059A (ja) | Ｘ線イメ−ジ管 | |
| JPH0910962A (ja) | アルミニウム材とステンレス材との接合方法 | |
| JPS5913741Y2 (ja) | Ｘ線けい光増倍管 | |
| JPS61248340A (ja) | 空密熱圧封止の形成方法 | |
| JPH0225704B2 (ja) | ||
| JPH05174733A (ja) | 平板型表示装置用真空容器 | |
| JPH04160729A (ja) | 平板型表示装置用真空容器の製造方法 |