JPH0225704B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0225704B2 JPH0225704B2 JP29733287A JP29733287A JPH0225704B2 JP H0225704 B2 JPH0225704 B2 JP H0225704B2 JP 29733287 A JP29733287 A JP 29733287A JP 29733287 A JP29733287 A JP 29733287A JP H0225704 B2 JPH0225704 B2 JP H0225704B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- brazing
- stainless steel
- aluminum
- vacuum
- container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
- Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)
- Thermally Insulated Containers For Foods (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、ステンレス鋼およびガラスを用いて
形成される高真空容器（または真空管）をアルミ
ニウム材をもつて閉塞して製造する方法に関す
る。
形成される高真空容器（または真空管）をアルミ
ニウム材をもつて閉塞して製造する方法に関す
る。
［従来の技術］
従来から、ステンレス鋼をもつて形成される容
器体にアルミニウム材を接合して閉塞する場合に
は、通常の溶接操作が採用できないので、例え
ば、ステンレス鋼とアルミニウム材との間にSi系
コンパウンドを介在させて加熱、加圧して結合す
る方法が採られている。ところが、この方法では
結合状態が弱く、耐久性に劣る問題がある。
器体にアルミニウム材を接合して閉塞する場合に
は、通常の溶接操作が採用できないので、例え
ば、ステンレス鋼とアルミニウム材との間にSi系
コンパウンドを介在させて加熱、加圧して結合す
る方法が採られている。ところが、この方法では
結合状態が弱く、耐久性に劣る問題がある。
そこで、本出願人はさきに、ステンレス鋼を
純AlもしくはAl−Si合金溶場に浸漬後あるいは
AgメツキかSnメツキを施した後、真空ろう付用
アルミニウムブレージング材と真空ロウ付する方
法、ステンレス鋼を純AlかAl−Si合金溶場に
浸漬後あるいはAgメツキかSnメツキ後、不活性
ガス（非酸化性）雰囲気ろう付用アルミニウムブ
レージング材と不活性ガス雰囲気ろう付する方
法、ステンレス鋼にNiメツキ後、アルミニウ
ムブレージング材を介在させてアルミニウム材と
ろう付接合する方法（特開昭61−253166号）、を
開発した。
純AlもしくはAl−Si合金溶場に浸漬後あるいは
AgメツキかSnメツキを施した後、真空ろう付用
アルミニウムブレージング材と真空ロウ付する方
法、ステンレス鋼を純AlかAl−Si合金溶場に
浸漬後あるいはAgメツキかSnメツキ後、不活性
ガス（非酸化性）雰囲気ろう付用アルミニウムブ
レージング材と不活性ガス雰囲気ろう付する方
法、ステンレス鋼にNiメツキ後、アルミニウ
ムブレージング材を介在させてアルミニウム材と
ろう付接合する方法（特開昭61−253166号）、を
開発した。
［発明が解決しようとする問題点］
しかしながら、上記の方法の場合、Agメツ
キ品はAg層が多孔質であり、ガスを吸収し易い
ので、真空引き（シーズニング）に長時間を要
し、又、品質上からも好ましくない。又、の方
法の場合、Snメツキ品は、ろう付時Snが溶けて
外観を損なう欠点がある。又、10-6〜10-7Torr
程度の高真空度に耐える容器を得ることはむずか
しい。さらにの方法はメツキ条件の設定に格別
の配慮をする必要がある。
キ品はAg層が多孔質であり、ガスを吸収し易い
ので、真空引き（シーズニング）に長時間を要
し、又、品質上からも好ましくない。又、の方
法の場合、Snメツキ品は、ろう付時Snが溶けて
外観を損なう欠点がある。又、10-6〜10-7Torr
程度の高真空度に耐える容器を得ることはむずか
しい。さらにの方法はメツキ条件の設定に格別
の配慮をする必要がある。
［問題点を解決するための手段］
本発明は、上記問題点を解決するためになされ
たもので、ステンレス鋼をもつて形成される容器
体の開口部をアルミニウム材で閉塞する方法にお
いて、容器体の少なくとも開口端にTiまたは
TiNのイオンプレーテイング層を設けるととも
に、容器体とアルミニウム材との間にアルミニウ
ムブレージング材を介在させて、両者をろう付接
合することを特徴とする真空容器の製造法であ
る。
たもので、ステンレス鋼をもつて形成される容器
体の開口部をアルミニウム材で閉塞する方法にお
いて、容器体の少なくとも開口端にTiまたは
TiNのイオンプレーテイング層を設けるととも
に、容器体とアルミニウム材との間にアルミニウ
ムブレージング材を介在させて、両者をろう付接
合することを特徴とする真空容器の製造法であ
る。
本発明に用いる容器はステンレス鋼製のもの
か、アルミニウム材で閉塞する側はステンレス鋼
で他の側はガラスで形成し、中間部で両者を結合
したものでもよい。かかる容器体の開口部をアル
ミニウム材で閉塞する理由は、ガラス材を用いる
と板厚が不均一になり、Ｘ線の透過にムラができ
るため、大型のものができないが、アルミニウム
材を用いると板厚が均一で、かつＸ線の透過率が
大きいため、Ｘ線源の出力を小さくできる。ま
た、同一線源ならば、アルミニウム材の方がガラ
ス材よりも解像力が上がる。例えば、ガラス材の
場合の解像度50〜70％に対して、アルミニウム材
の場合は80〜90％となる。
か、アルミニウム材で閉塞する側はステンレス鋼
で他の側はガラスで形成し、中間部で両者を結合
したものでもよい。かかる容器体の開口部をアル
ミニウム材で閉塞する理由は、ガラス材を用いる
と板厚が不均一になり、Ｘ線の透過にムラができ
るため、大型のものができないが、アルミニウム
材を用いると板厚が均一で、かつＸ線の透過率が
大きいため、Ｘ線源の出力を小さくできる。ま
た、同一線源ならば、アルミニウム材の方がガラ
ス材よりも解像力が上がる。例えば、ガラス材の
場合の解像度50〜70％に対して、アルミニウム材
の場合は80〜90％となる。
TiまたはTiNのイオンプレーテイングを施す
ことにより、膜厚のばらつきが少なく、ろう付け
後信頼性の高い高強度の接合部分が得られる。一
例を挙げると本発明によつて得られた開口部の引
張剪断力は351〜377Kgであり、アルミニウム材の
方が破断した。なお、このイオンプレーテイング
層の厚さは0.5〜10μの範囲が望ましい。
ことにより、膜厚のばらつきが少なく、ろう付け
後信頼性の高い高強度の接合部分が得られる。一
例を挙げると本発明によつて得られた開口部の引
張剪断力は351〜377Kgであり、アルミニウム材の
方が破断した。なお、このイオンプレーテイング
層の厚さは0.5〜10μの範囲が望ましい。
又、アルミニウム材としてはアルミニウム合金
材をも含む。
材をも含む。
ろう付方法は真空または不活性雰囲気ろう付が
用いられる。
用いられる。
ブレージング材におけるクラツド材（ろう材）
は、上記ろう付け雰囲気が真空か不活性ガスかに
よつて、それぞれの雰囲気に適したろう材として
従来から知られているものが、ステンレス鋼との
接合面に少なくとも位置せしめられるように用い
られる。真空ろう付用ろう材としては、Al−Si
−0.2〜３％Mg系（必要に応じてBi添加）のもの
があり、例えばBA4003、4004、4005、BA4N04
等がこれに含まれ、又、不活性ガス雰囲気ろう付
用ろう材としては、Al−Si−Be、Bi系（場合に
よりMgが添加される）のもの等が用いられるこ
ととなる。そしてこれらのろう材は、通常の方法
にしたがつて、Al材料にクラツドせしめられ、
ブレージングシートの形態にて、ステンレス鋼に
対して適用される。
は、上記ろう付け雰囲気が真空か不活性ガスかに
よつて、それぞれの雰囲気に適したろう材として
従来から知られているものが、ステンレス鋼との
接合面に少なくとも位置せしめられるように用い
られる。真空ろう付用ろう材としては、Al−Si
−0.2〜３％Mg系（必要に応じてBi添加）のもの
があり、例えばBA4003、4004、4005、BA4N04
等がこれに含まれ、又、不活性ガス雰囲気ろう付
用ろう材としては、Al−Si−Be、Bi系（場合に
よりMgが添加される）のもの等が用いられるこ
ととなる。そしてこれらのろう材は、通常の方法
にしたがつて、Al材料にクラツドせしめられ、
ブレージングシートの形態にて、ステンレス鋼に
対して適用される。
［実施例］
以下、実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は、本発明で製造された真空容器の断面
図で、１は半球板状のアルミニウム材で、２はブ
レージング材、３はTi又はTiNのイオンプレー
テイング層の設けられたステンレス鋼のフラン
ジ、４はステンレス鋼の胴体で、３と４とでステ
ンレス綱の容器体を形成する。５は真空排気弁で
ある。第２図は他の実施例で製造されたもので、
第１図と相違する点は容器体の下半分がガラス６
でつくられ、これをステンレス鋼の胴体４と接合
したものである。
図で、１は半球板状のアルミニウム材で、２はブ
レージング材、３はTi又はTiNのイオンプレー
テイング層の設けられたステンレス鋼のフラン
ジ、４はステンレス鋼の胴体で、３と４とでステ
ンレス綱の容器体を形成する。５は真空排気弁で
ある。第２図は他の実施例で製造されたもので、
第１図と相違する点は容器体の下半分がガラス６
でつくられ、これをステンレス鋼の胴体４と接合
したものである。
第３図は主要部のろう付前の拡大断面図を示
し、２１はブレージング材の心材、２２は同じく
クラツド材、３１はTi又はTiNイオンプレーテ
イング層である。
し、２１はブレージング材の心材、２２は同じく
クラツド材、３１はTi又はTiNイオンプレーテ
イング層である。
材質としては、ステンレス鋼３，４が
SUS304、アルミニウム材１がA3003、ブレージ
ング材２に心材２１はA3003、又同じくクラツド
材２２は、真空ろう付の場合はAl−10％Si−1.5
％Mg、又、不活性ガスろう付の場合は、Al−10
％Si−Be、Bi系を用いた。
SUS304、アルミニウム材１がA3003、ブレージ
ング材２に心材２１はA3003、又同じくクラツド
材２２は、真空ろう付の場合はAl−10％Si−1.5
％Mg、又、不活性ガスろう付の場合は、Al−10
％Si−Be、Bi系を用いた。
ステンレス鋼のフランジ３の表面にはイオンプ
レーテイングして2μのTi又はTiN層３１が形成
してある。この時、容器内部側にはマスキングに
より、Ti又はTiN層を形成させない方がガス放
出の少ない容器ができる。
レーテイングして2μのTi又はTiN層３１が形成
してある。この時、容器内部側にはマスキングに
より、Ti又はTiN層を形成させない方がガス放
出の少ない容器ができる。
又、ステンレス鋼材の板厚は1.5mm、アルミニ
ウム材の板厚は１mmである。
ウム材の板厚は１mmである。
第４図はろう付時の状態を示し、７は上治具、
８は下治具、９は締付用ボルト、１０は同ナツ
ト、１１は締付力調整用バネをそれぞれ示し、ス
テンレス鋼のフランジ３とアルミニウム材１とを
ブレージング材２を介挿して挾持してなる。かか
る組立体を真空雰囲気あるいは不活性ガス雰囲気
中で加熱し、ろう付接合する。
８は下治具、９は締付用ボルト、１０は同ナツ
ト、１１は締付力調整用バネをそれぞれ示し、ス
テンレス鋼のフランジ３とアルミニウム材１とを
ブレージング材２を介挿して挾持してなる。かか
る組立体を真空雰囲気あるいは不活性ガス雰囲気
中で加熱し、ろう付接合する。
第５図はろう付後の断面を示し、２３はろう付
フイレツトである。
フイレツトである。
その後、フランジ３と胴体４とをTIG溶接し、
胴体４と真空排気弁５とはコバル等で結合、加熱
真空引きをして真空容器を得る。
胴体４と真空排気弁５とはコバル等で結合、加熱
真空引きをして真空容器を得る。
［発明の効果］
本発明は、ステンレス鋼とアルミニウム材とを
ブレージングシートを介してろう付接合するに当
り、ステンレス鋼にTiまたはTiNのイオンプレ
ーテイング層を施すが、かかるイオンプレーテイ
ング層は膜厚のばらつきが少なく、ろう材と均一
で強固な接合が得られるので、強度的にすぐれた
ものとなる。因に、TiまたはTiNのイオンプレ
ーテイング層を施さないでろう付けしたものの接
合部の引張剪断力は50〜170Kgで、破断部はろう
付け部であつたが、本発明で得た容器の接合部の
引張剪断力は351〜377Kgで破断部はアルミニウム
材部であつた。
ブレージングシートを介してろう付接合するに当
り、ステンレス鋼にTiまたはTiNのイオンプレ
ーテイング層を施すが、かかるイオンプレーテイ
ング層は膜厚のばらつきが少なく、ろう材と均一
で強固な接合が得られるので、強度的にすぐれた
ものとなる。因に、TiまたはTiNのイオンプレ
ーテイング層を施さないでろう付けしたものの接
合部の引張剪断力は50〜170Kgで、破断部はろう
付け部であつたが、本発明で得た容器の接合部の
引張剪断力は351〜377Kgで破断部はアルミニウム
材部であつた。
さらに、本発明で得た容器は10-7〜10-8Torr
の高真空度に耐えるものであつた。
の高真空度に耐えるものであつた。
本発明製品はこのような特性をもつため、Ｘ線
受信管などの電子管等に応用し得る。
受信管などの電子管等に応用し得る。
第１図は本発明で得られる真空容器の断面図、
第２図は同じく他の例の断面図、第３図は主要部
のろう付前の状態の断面図、第４図はろう付時の
状態を説明する断面図、第５図はろう付後の状態
を示す断面図をそれぞれ示す。 １……アルミニウム材、２……ブレージング
材、３……フランジ、４……胴体、５……真空排
気弁、６……ガラス、７……上治具、８……下治
具、９……締付用ボルト、１０……同ナツト、１
１……締付力調整用バネ、２１……心材（ブレー
ジング材の）、２２……クラツド材（ブレージン
グ材の）、２３……ろう付けフイレツト、３１…
…Ti（またはTiN）イオンプレーテイング層。
第２図は同じく他の例の断面図、第３図は主要部
のろう付前の状態の断面図、第４図はろう付時の
状態を説明する断面図、第５図はろう付後の状態
を示す断面図をそれぞれ示す。 １……アルミニウム材、２……ブレージング
材、３……フランジ、４……胴体、５……真空排
気弁、６……ガラス、７……上治具、８……下治
具、９……締付用ボルト、１０……同ナツト、１
１……締付力調整用バネ、２１……心材（ブレー
ジング材の）、２２……クラツド材（ブレージン
グ材の）、２３……ろう付けフイレツト、３１…
…Ti（またはTiN）イオンプレーテイング層。
Claims (1)
- １ ステンレス鋼をもつて形成される容器体の開
口部をアルミニウム材で閉塞する方法において、
容器体の少なくとも開口端にTiまたはTiNのイ
オンプレーテイング層を設けるとともに、容器体
とアルミニウム材との間にアルミニウムブレージ
ング材を介在させて、両者をろう付接合すること
を特徴とする真空容器の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29733287A JPH01143788A (ja) | 1987-11-27 | 1987-11-27 | 真空容器の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29733287A JPH01143788A (ja) | 1987-11-27 | 1987-11-27 | 真空容器の製造法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01143788A JPH01143788A (ja) | 1989-06-06 |
| JPH0225704B2 true JPH0225704B2 (ja) | 1990-06-05 |
Family
ID=17845147
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29733287A Granted JPH01143788A (ja) | 1987-11-27 | 1987-11-27 | 真空容器の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01143788A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4840256B2 (ja) * | 2007-06-04 | 2011-12-21 | コベルコクレーン株式会社 | カウンタバランス型クレーン |
| CN103962668A (zh) * | 2013-01-24 | 2014-08-06 | 中广核工程有限公司 | 表面处理钢与钛或钛合金的钎焊方法 |
-
1987
- 1987-11-27 JP JP29733287A patent/JPH01143788A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01143788A (ja) | 1989-06-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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