JPH043446A - 半導体ウエハ移し替え装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、ウェハが格納されているカセットから、空
のカセットヘウエハを自動で移し替える半導体ウェハ移
し替え装置に関するものである。

〔従来の技術〕

第２図は従来のこの種の半導体ウェハ移し替え装置を示
す正面図である０図において、１はウェハ、２はこのウ
ェハ１を一時的に保持するためのキャリア、３はウェハ
１を格納するためのカセット、４はカセット３からウェ
ハ１をキャリア２へ突上げるためのウェハ突上げ具、５
はカセット３をキャリア２の下方へ移動するためのスラ
イダである。

次に動作について説明する。

ウェハ１が格納されているカセット３は、スライダ５に
位置決めされ、キャリア２の下方へ移動する。ここで、
ウェハ１はウェハ突上げ具４により、キャリア２の位置
まで突上げられ、−時的に保持される。その後、つ・エ
バ突上げ具４は下降し、空になったカセット３はスライ
ダ５によりキャリア２の外へ移動する６次いで、新たに
ウェハ１を格納するための空のカセット３がスライダ５
に位置決めされ、キャリア２の下方へ移動する。ここで
、ウェハ突上げ具４が再度キャリア２の高さまで上昇し
、ウェハ１をキャリア２からカセット３まで降ろす、そ
の後、ウェハ１が格納されているカセット３は、スライ
ダ５により、キャリア２の外へ移動し、ウェハ１の移し
替えを終了する。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来の半導体ウェハ移し替え装置は以上のように構成さ
れているので、カセット３に入っているウェハ１をキャ
リア２の位置までウェハ突上げ具４により突上げなけれ
ばならないが、その際、カセット３とキャリア２の溝が
ずれていた場合等、ウェハ１に外力が加わり、ウェハ１
が割れてしまうという問題点があった。

この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、ウェハの割れを未然に防げるとともに、ウェ
ハの割れも検出できる半導体ウェハ移し替え装置を得る
ことを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

この発明に係る半導体ウェハ移し替え装置は、ウェハ突
上げ具にウェハに加わる外力検出装置を備えたものであ
る。

〔作用〕

上記のように構成された半導体ウェハ移し替え装置にお
いては、ウェハ突上げ具でウェハを押し上げるに際しウ
ェハつまり等が起きたとき、外力検出装置でその圧力を
検知し、ウェハの押し上げを一時的に停止してウェハ割
れを防ぐ。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を図について説明する。

第１図はこの発明の一実施例を示す正面図である。

図において、１＝３．５は上記従来例のものと同様のも
のであり、４はウェハ突上げ具で、適宜の間隔をあけて
上板４ａと下板４ｂを有し、その間にバネ６及び遮光板
７とセンサー８が配設されている。

即ち、６はウェハ突上げ具４が上昇する際に、ウェハ１
に加わる外力を検出するためのバネであり、７はこのバ
ネ６の伸縮により上下に移動する遮光板、８はこの遮光
板７と対向して設けられ上記バネ６の伸縮により上下に
移動する遮光板７の位置を検出するためのセンサーであ
る。

なおその他の構成は従来例と同一部分については同一符
号により表わし、説明を省略する。

次に動作について説明する。ウェハ１が格納されている
カセット３はスライダ５に位置決めされ、キャリア２の
下方へ移動する。ここでウェハ１はウェハ突上げ具４に
よりキャリア２の位置まで突上げられる。

この時、キャリア２とカセット３の溝が位置ずれしてい
ると、ウェハ１とキャリア２の溝でない部分とが接触し
、ウェハ１に外力が加わる。そこでこのままウェハ突上
げ具４が上昇を続けると、バネ６は次第に縮んで行き、
遮光板７とセンサー８との距離も次第に狭まる。そして
ウェハ１にある一定以上の外力が加わると、センサー８
は遮光板７を検出し、ＯＮする。制御部はこの信号を検
出し、ウェハ突上げ具４の上昇を停止する。

このようにウェハ突上げ具４が停止すると、人手により
キャリア２とカセット３の溝を位置決めし、再度ウェハ
突上げ具４を上昇する。

なおキャリア２とカセット３の溝にずれが無ければ、ウ
ェハ１はキャリア２の位置まで突上げられ一時的に保持
される。その後、ウェハ突上げ具４は下降し、空になっ
たカセット３はスライダ５によりキャリア２の外へ移動
する０次いで新たに空のカセット３がスライダ５により
キャリア２の下部へ移動する。

ここで、ウェハ突上げ具４は再度キャリア２の高さまで
上昇し、ウェハ１をキャリア２からカセット３まで降ろ
す、その後ウェハ１が格納されたカセット３は、スライ
ダ５によりキャリア２の外へ移動し、ウェハ１の移し替
えを終了する。

なお上記実施例では、ウェハ１に加わる外力を検出する
為にバネ６と遮光板７及びセンサー８を用いたが、ウェ
ハ１に加わる外力を検出する為に、ウェハ突上げ具４の
内部に圧電素子等の圧力を電気信号に変換する素子又は
機構を用いてもよい。

また、上記実施例では、半導体ウェハ移し替え装置につ
いて説明したが、他の半導体装置にて同様のウェハ突上
げ機構を有するものであっても適用することができる。

〔発明の効果〕

以上のようにこの発明によれば、ウェハ突上げ具にウェ
ハに加わる外力を検知するための検出装置を設けたので
、ウェハの割れを未然に防ぐことができるとともに、歩
留り向上ができ、また、ウェハ割れによる発塵も防ぐこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例による半導体ウェハ移し替
え装置を示す正面図、第２図は従来の半導体ウェハ移し
替え装置を示す正面図である。 図中、１はウェハ、２はキャリア、３はカセット、４は
ウェハ突上げ具、６はバネ、７は遮光板、８はセンサー
である。 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　スライダにより送られてくるカセット内に格納された
   ウエハを下方から突上げ具で押し上げることにより、そ
   の上方に配置されたキャリアに上記ウエハを一時的に保
   持し、これを別のカセットに落し込んで移し替えるよう
   にしたものにおいて、上記ウエハの突上げ具に、ウエハ
   に加わる外力の検出装置を備え、ウエハとキャリアの間
   でウエハつまりなどが起こった時、その圧力を検知して
   ウエハの押し上げを一時的に停止するようにしたことを
   特徴とする半導体ウエハ移し替え装置。