JPH04347146A - 超音波プローブ - Google Patents

超音波プローブ

Info

Publication number
JPH04347146A
JPH04347146A JP3120830A JP12083091A JPH04347146A JP H04347146 A JPH04347146 A JP H04347146A JP 3120830 A JP3120830 A JP 3120830A JP 12083091 A JP12083091 A JP 12083091A JP H04347146 A JPH04347146 A JP H04347146A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ultrasonic
side wiring
wiring
vibrator
probe
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP3120830A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroyuki Yomo
浩之 四方
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP3120830A priority Critical patent/JPH04347146A/ja
Publication of JPH04347146A publication Critical patent/JPH04347146A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
  • Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
[発明の目的]
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、超音波振動子の異なっ
た位置からアース側配線及び信号側配線を引出す超音波
プローブに関する。
【0002】
【従来の技術】超音波診断装置に用いられる超音波プロ
ーブには、超音波振動子から超音波を放射させるための
駆動電圧を印加するアース側電極及び信号側電極の2種
類の電極が設けられている。
【0003】図11は従来の超音波プローブの電極引出
し構造を示す断面図で、超音波振動子1の超音波放射面
(上面)には絶縁材料から成る整合層10が設けられる
と共に、超音波放射面と反対側の面(下面)には絶縁材
料から成るバッキング層5が設けられている。また振動
子1の上面にはアース側電極2が設けられると共に、そ
の下面には信号側電極3が設けられている。そしてアー
ス側電極2からは回し電極11を介して下面からアース
側配線12が引出されると共に、信号側電極3からは下
面から信号側配線13が引出されている。
【0004】ここで下面に設けられている信号側電極3
の横寸法L1は、回し電極(アース側電極の一部)11
との絶縁を保つためにバッキング層5の表面に絶縁溝1
4が設けられているので、振動子1の横寸法Lよりも短
く形成される。これに伴い上面に設けられるアース側電
極2の横寸法L2もL1と等しくなるように形成されて
いる。なお、紙面の奥行き方向には互いに絶縁された多
数の振動子が一体に配置されており、同様な構造で各電
極が引出されている。
【0005】このような構造において、アース側配線1
2と信号側配線13との間に駆動電圧を印加することに
より、振動子1の上面から超音波が放射されるので超音
波診断を行うことができる。
【0006】ところでこのような構造の超音波プローブ
では、比較的厚いバッキング層5に面している振動子1
の下面からアース側配線12及び信号側配線13を引出
しているので、製造過程における曲げ、カッテング工程
等において強度が保たれるという利点がある反面、前記
のようにアース側電極2及び信号側電極3の横寸法L1
,L2が振動子1の横寸法Lよりも小さくなるため、こ
の分超音波放射面が制約されるという欠点が存在してお
り超音波プローブの小型化を図る場合のネックとなる。 さらにアース側電極2が全面に設けられていないので、
放射される超音波波形が乱れ易くなる。またアース側配
線12と信号側配線13とによって閉ループが形成され
るので、隣接する振動子間でクロストークが生じ易い。
【0007】このため、そのような欠点を改善すべく図
12及び図13に示したような、他の構造の超音波プロ
ーブが提案されている。図12においては、アース側配
線12を信号側配線13と異なる振動子1の上面から引
出すことにより、振動子1の超音波放射面を有効に利用
し、かつ超音波波形の乱れを防止するようにしたもので
ある。また図13においては、アース側配線12を振動
子1の上面から引出すと共に、信号側配線13と同じ側
面から引出すようにしたものである。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】ところでそのような従
来の超音波プローブでは、超音波放射面を有効に利用で
き、かつ超音波波形の乱れを防止できるという点では効
果があるものの、各々次のような問題が避けられない。
【0009】先ず、図12の構造ではアース側配線12
がバッキング層5に面しない振動子1の上面から引出さ
れているので、製造過程における曲げ、カッテング工程
等において強度が保たれないため、アース側配線12に
応力が加わるようになって、振動子1に割れが発生し易
くなる。また、図11の構造と同様な理由でクロストー
クの問題もそのまま存在する。次に、図13の構造では
アース側配線12と信号側配線13とが振動子1の同じ
側面から引出されているので、クロストークの問題は改
善されるものの、図12と同様に振動子が割れ易い問題
はそのまま存在する。
【0010】本発明は以上のような問題に対処してなさ
れたもので、超音波放射面を有効に利用でき、かつ超音
波波形の乱れを防止するという利点は生かしたままで、
振動子の割れ及びクロストークを防止するようにした超
音波プローブを提供することを目的とするものである。 [発明の構成]
【0011】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、超音波振動子の超音波放射面を整合層で覆
い、前記超音波振動子の異なった位置からアース側配線
及び信号側配線を引出す超音波プローブにおいて,前記
整合層として導電性部材を用い、前記超音波振動子の同
じ側面でその導電性部材からアース側配線を引出すと共
に前記超音波振動子の超音波放射面と反対側の面から信
号側配線を引出すことを特徴とするものである。
【0012】
【作用】超音波振動子を覆う整合層として導電性部材を
用い、振動子の同じ側面でその導電性部材からアース側
配線を引出すと共に、振動子の整合層と反対側の面から
信号側配線を引出すようにする。これによって超音波放
射面を有効に利用でき、かつ超音波波形の乱れを防止で
きると共に、振動子の割れ及びクロストークを防止する
ことができる。
【0013】
【実施例】以下図面を参照して本発明の実施例を説明す
る。
【0014】図1は本発明の超音波プローブの実施例を
示すプローブで、1は超音波振動子でこの超音波発生面
である上面にはアース側電極2が設けられると共に、下
面には信号側電極3が設けられている。4はアース側電
極2を覆うように設けられた整合層で導電性材料から成
っている。例えば樹脂の導電性粉末を混合したものが用
いられ、この整合層4は後述のようにアース側配線に接
続される。
【0015】5は振動子1を支持するためこの下面に設
けられたバッキング層で絶縁材料から成っている。これ
ら整合層4及びバッキング層5はまた、振動子1の音響
インピーダンス特性を調整するための層としても用いら
れている。
【0016】6は配線部材で図3に示すように2種類の
導電層7A,7Bが互いに絶縁層8A,8Bによって絶
縁されて一体に形成された構造から成っており、導電層
7Aがアース側配線として用いられて整合層4に半田付
けされると共に、導電層7Bが信号側配線として用いら
れて信号側電極3に半田付けられている。このように一
体の配線部材6を用いることにより、アース側配線7A
及び信号側配線7Bを振動子1の同じ側面から引出すこ
とができる。
【0017】図2は本実施例プローブの傾斜図を示すも
ので、紙面の奥行き方向には互いに絶縁された多数の振
動子がバッキング層5上に一体に配置されており、同様
な構造で各電極が引出されている。図4乃至図8は本実
施例プローブの製造方法を示すもので、以下工程順に説
明する。
【0018】先ず図4において、アース側電極2及び信
号側電極3を設けた振動子1を用意し、図3の配線部材
6を用いてその導電層7Bに信号側電極3を半田付けす
る。次に図5において、絶縁材料から成るバッキング層
5を振動子1の下面の信号側電極3に接着する。
【0019】続いて図6において、カッター9を用いて
矢印方向に振動子1をその厚みにわたってカッテングし
て、多数の素子に分割する。このように振動子を多数の
素子に分割することにより、フェズドアレイプローブが
構成される。図9はこの工程後の振動子を矢印方向Xか
ら見た断面構造を示している。次に図7において、導電
性材料から成る整合層4によって振動子の上面のアース
側電極2を覆う。図10はこの工程後の振動子を矢印方
向Xから見た断面構造を示している。
【0020】次に図8において、整合層4の端部を振動
子1の側面方向に折曲げて、既に用意されている配線部
材6の導電層7Aにその端部を半田付けする。整合層4
の材料としては柔軟性に富んだものを用いることにより
その屈曲は容易に行える。このようにして図1の構造の
超音波プローブが完成する。
【0021】このような本実施例によれば、アース側配
線7Aは整合層4を介して振動子1の側面から引出され
るので、アース側電極2の横寸法は何ら制約されること
なく振動子1の横寸法と等しく設けることができるため
、超音波放射面を有効に利用でき、かつ超音波波形の乱
れを防止するという利点は生かされる。そしてこの上で
アース側配線7A及び信号側配線7Bは振動子1の同じ
側面で引出されるので、両配線による閉ループは形成さ
れないためクロストークの発生は防止される。またこれ
に伴い製造過程において曲げ,カッテング工程等を行う
際にアース側配線は設けられていないので、応力が加わ
ることはないため振動子に割れが発生するのを防止する
ことができる。
【0022】また本実施例によれば図10に示した構造
から明らかなように、アース側配線7Aが接続される導
電性材料から成る整合層4は多数の振動子1を覆ってい
るので、シールド効果が得られることになり耐ノイズ性
に優れた効果を発揮することができる。
【0023】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、導電
性材料から成る整合層を用い振動子の同じ側面でこの整
合層からアース側配線を引出すと共に、振動子の他の面
から信号側配線を引出すようにしたので、超音波放射面
を有効に利用できかつ超音波波形の乱れを防止できると
いう利点を生かしたままで、振動子の割れ及びクロスト
ークを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の超音波プローブの実施例を示す断面図
である。
【図2】本実施例プローブの外観を示す斜視図である。
【図3】本実施例プローブに用いられる配線部材を示す
側面図である。
【図4】本実施例プローブの製造方法を工程順に示す断
面図である。
【図5】本実施例プローブの製造方法を工程順に示す断
面図である。
【図6】本実施例プローブの製造方法を工程順に示す断
面図である。
【図7】本実施例プローブの製造方法を工程順に示す断
面図である。
【図8】本実施例プローブの製造方法を工程順に示す断
面図である。
【図9】本実施例プローブの製造方法の途中工程におけ
る構造を示す断面図である。
【図10】本実施例プローブの製造方法の途中工程にお
ける構造を示す断面図である。
【図11】従来の超音波プローブの構造を示す断面図で
ある。
【図12】従来の超音波プローブの他の構造を示す断面
図である。
【図13】従来の超音波プローブのその他の構造を示す
断面図である。
【符号の説明】
1  超音波振動子 2  アース側電極 3  信号側電極 4  整合層(導電性材料) 6  配線部材 7A  アース側配線 7B  信号側配線

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  超音波振動子の超音波放射面を整合層
    で覆い、前記超音波振動子の異なった位置からアース側
    配線及び信号側配線を引出す超音波プローブにおいて、
    前記整合層として導電性部材を用い、前記超音波振動子
    の同じ側面でその導電性部材からアース側配線を引出す
    と共に前記超音波振動子の超音波放射面と反対側の面か
    ら信号側配線を引出すことを特徴とする超音波プローブ
  2. 【請求項2】  互いに絶縁された2種類の導電層が一
    体に形成された配線部材を用い、2種類の導電層によっ
    て各々アース側配線及び信号側配線を引出す請求項1記
    載の超音波プローブ。
JP3120830A 1991-05-27 1991-05-27 超音波プローブ Pending JPH04347146A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3120830A JPH04347146A (ja) 1991-05-27 1991-05-27 超音波プローブ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3120830A JPH04347146A (ja) 1991-05-27 1991-05-27 超音波プローブ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH04347146A true JPH04347146A (ja) 1992-12-02

Family

ID=14796022

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3120830A Pending JPH04347146A (ja) 1991-05-27 1991-05-27 超音波プローブ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH04347146A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10262968A (ja) * 1997-03-27 1998-10-06 Hitachi Medical Corp 超音波探触子
US7898154B2 (en) 2005-11-30 2011-03-01 Kabushiki Kaisha Toshiba Ultrasound probe and method for manufacturing the same
JP2011097582A (ja) * 2009-10-29 2011-05-12 Medison Co Ltd 超音波診断装置用プローブ及びその製造方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10262968A (ja) * 1997-03-27 1998-10-06 Hitachi Medical Corp 超音波探触子
US7898154B2 (en) 2005-11-30 2011-03-01 Kabushiki Kaisha Toshiba Ultrasound probe and method for manufacturing the same
JP2011097582A (ja) * 2009-10-29 2011-05-12 Medison Co Ltd 超音波診断装置用プローブ及びその製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6104126A (en) Composite transducer with connective backing block
JP4433378B2 (ja) 音響バッキング材料を介して超音波変換器に電気的に接続する方法
JPS60112400A (ja) 整相アレイ超音波変換器の製造方法
JPS586132B2 (ja) 超音波探触子
JPH0723500A (ja) 2次元アレイ超音波プローブ
JPS61135637A (ja) 超音波プロ−ブ
JPH04347146A (ja) 超音波プローブ
JP3384889B2 (ja) 超音波探触子
JPS6250040B2 (ja)
JP3469386B2 (ja) 超音波トランスジューサ及びその製造方法
JPS58118739A (ja) 超音波探触子およびその製造方法
JPH0628880Y2 (ja) 超音波トランスジュ−サ
JP4153576B2 (ja) 超音波トランスジューサ
JP3697200B2 (ja) 超音波探触子
JP3731690B2 (ja) 超音波探触子
JP3354194B2 (ja) 超音波プローブ装置
JP3392985B2 (ja) マトリクス状超音波探触子
JPH05123317A (ja) 2次元アレイ超音波プローブ
JP3009617B2 (ja) マルチ超音波センサー
JPS5826551B2 (ja) 超音波探触子の製造法
JPH0323040B2 (ja)
JPS61253999A (ja) 超音波振動子
JP3354195B2 (ja) 超音波プローブ装置
JPH03207350A (ja) 超音波プローブ
JPH0532059B2 (ja)