JPH0434892A - 薄膜ｅｌパネルの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は薄膜ＥＬ素子を使用した薄膜ＥＬパネルの製造
方法に関し、特に、大型の薄膜ＥＬパネルの製造方法に
好適に用いられる。

（従来の技術） 最近、コンピュータの出力表示端末機器等には、薄膜Ｅ
Ｌ素子を使用した薄膜ＥＬパネルが広く用いられている
。この薄膜ＥＬパネルは、従来用いられているブラウン
管等と比較して、動作電圧が低く、動作寿命が長い等の
優れた特徴を有するものである。

薄膜ＥＬパネルに使用される薄膜ＥＬ素子は、半導体発
光層が誘電体層で挟み込まれるようになされたものであ
る。この薄膜ＥＬ素子は、製造する過程で、誘電体層に
ピンホールやマイクロクランク等の薄膜欠陥部を多数含
むものである。これらの薄膜欠陥部を通して薄膜ＥＬ素
子内部の半導体発光層に湿気等が侵入した場合、ＥＬ発
光損失による発熱等により、薄膜ＥＬ素子の特性劣化を
招いていた。この問題に対応するため、前記薄膜欠陥部
にシリコンオイル等の保護用流体を浸透させて、薄膜Ｅ
Ｌ素子内部の半導体発光層を保護するようになされた薄
膜ＥＬパネルが知られている。

このような薄膜ＥＬパネルの製造方法としては、特公昭
５７−４７５５９号公報に示す製造方法が知られている
。この製造方法について第５図乃至第８図を参照して説
明する。

まず、薄膜ＥＬ素子を収納した外囲器Ｃを構成する。透
光性前面基板ａ上に薄膜ＥＬ素子（図示せず）を載置固
定しておく。背面板すのほぼ中央部に、薄膜ＥＬ素子（
図示せず）を収納するための凹陥部ｆを形成し、この凹
陥部ｆに流体注入孔ｅを設けておく、透光性前面基板ａ
上の薄膜ＥＬ素子を背面板すの凹陥部ｆ内に収納するよ
うにして、透光性前面基板ａと背面板すとを固着して外
囲器Ｃを構成する。前記流体注入孔ｅには、注入管ｄを
挿入固定しておく。この注入管ｄは、その先端を下方に
向けるようにしてＬ字形に屈曲しておく。

上記のようになる外囲器Ｃを、第５図に示すように、真
空槽に内に設置する。外囲器Ｃの注入管ｄの先端の下方
に、保護用流体りを収納した流体貯留槽ｇを設置してお
く。

真空槽に内を減圧させた状態で、流体貯留槽ｇを上昇さ
せて（第６図参照）、この流体貯留槽ｇ内の保護用流体
り内に前記注入管ｄの先端を挿入する。

真空槽に内を減圧状態から常圧状態にすると、第７図に
示すように、流体貯留槽ｇ内の保護用流体りは、真空槽
に内の圧力によって、注入管ｄを介して外囲器Ｃ内に注
入されることとなる。

この後、流体貯留槽ｇを下降させ（第８図参照）、注入
管ｄを外囲器Ｃより取り外してから、外囲器Ｃの流体注
入孔ｅを封止する。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、上記した従来の薄膜ＥＬパネルの製造方
法にあっては以下のような問題があった。

真空槽に内の圧力によって、外囲器Ｃ内に保護用流体り
を注入する際、第６図に示すように１．外囲器Ｃの透光
性前面基板ａ及び背面板すがその内側に撓んだ状態とな
る。この撓みは、外囲器Ｃ内に保護用流体りが充填され
ることによって元に戻ろうとするが、以下に示す理由で
完全に戻らない。

つまり、保護用流体りを外囲器Ｃ内に注入する際、流体
貯留槽ｇ内の保護用流体りの液面の高さは、外囲器Ｃの
流体注入孔ｅの高さより低くなっている。この状態では
、真空槽に内が常圧となっても、外囲器Ｃ内の圧力は、
前記液面と流体注入孔ｅとの高低差に相当する圧力だけ
常圧より低圧となっている。したがって、保護用流体り
が外囲器Ｃの内部へ注入されても、第７図に示すように
、外囲器Ｃが内側へ撓んだまま平衡状態となり、これ以
上、外囲器Ｃ内に保護用流体りを注入するのは不可能と
なる。

このような状態で、注入管ｄの先端を保護用流体りの液
面から離すと、外囲器Ｃの撓みが解消すると同時に注入
管ｄより外囲器Ｃ内へ空気が侵入する。すると、第８図
に示すように、外囲器Ｃ内部の上部に空間が生じる。外
囲器Ｃ内に空間を生じた状態で外囲器Ｃの流体注入孔ｅ
を封止すると、薄膜ＥＬ素子の全ての薄膜欠陥部に保護
用流体りを完全に浸透させることができないこととなる
。

したがって、薄膜ＥＬパネルの長寿命化を図ることがで
きなかった。

また、外囲器Ｃに撓みが生じた状態で流体注入孔ｅを封
止したような場合でも、外囲器Ｃに常に応力がかかった
状態となって、薄膜ＥＬパネルの長寿命化を図ることが
できなかった。

大型ＥＬパネルを製造するような場合には、外囲器Ｃも
大型となるため、外囲器Ｃの流体注入孔ｅがさらに上方
に位置することとなる。したがって、保護用流体りの液
面と流体注入孔ｅとの圧力差はさらに大きくなり、上記
したような傾向はさらに顕著となっていた。

なお、上記した問題に対処するには、保護用流体を低比
重のものにすることが考えられる。しかし、これでは薄
膜ＥＬ素子の保護を充分に行うことができず、実現不可
能であった。

本発明は、上記したような問題に鑑みなされたものであ
って、外囲器内に保護用流体を完全に充填するとともに
、外囲器に撓みが残留したまま封止されることのない薄
膜ＥＬパネルの製造方法を提供することを目的とする。

（課題を解決するための手段） 本発明は、薄膜ＥＬ素子を外囲器内に収納し、この外囲
器に形成した流体注入孔に注入管を連結し、外囲器と並
べて減圧下に置かれた流体貯留槽内の保護用流体に前記
注入管の先端を挿入し、この状態で減圧下から常圧下に
することで、外囲器内に保護用流体を注入管を介して注
入することにより、前記薄膜ＥＬ素子の薄膜欠陥部に保
護用流体を浸透させる薄膜ＥＬパネルの製造方法であっ
て、保護用流体を外囲器内に注入する際、流体貯留槽内
に入れてある保護用流体の液面の高さを、外囲器の流体
注入孔と同じ高さか、若しくはそれ以上の高さにしてい
るものである。

（作用） 外囲器を減圧下に設置し、その注入管の先端を、流体貯
留槽内に収納された保護用流体に挿入する。

このとき、保護用流体の液面を外囲器の流体注入孔と同
じ高さ位置か、若しくはそれ以上の高い位置にして、外
囲器内を外部より減圧されないようにする。

この状態で減圧下から常圧下にすると、保護用流体は、
常圧か若しくは常圧以上の圧力で、外囲器内に注入され
ることとなる。

すると、外囲器内に保護用流体が完全に充填されて外囲
器に撓みが生じていない状態か、若しくは外囲器内に保
護用流体が余分に充填されて外囲器が外側に膨らんだ状
態となる。

ここで、前記注入管の先端を流体貯留槽内の保護用流体
より離し、この注入管を外囲器より取り外す、このとき
、外囲器が膨らんだ状態であったならば、余分な保護用
流体が流体注入孔より排出されて、外囲器に撓みが生じ
ていない状態となる。

この後、流体注入孔を封止する。

以上により、外囲器内に保護用流体が完全に充填される
と同時に外囲器に撓みが生じない薄膜ＥＬパネルが得ら
れる。

（実施例） 以下、本発明の一実施例を図面を参照して説明する。

第１図乃至第４図は、本発明に係る薄膜ＥＬパネルの製
造方法を示す工程図である。

まず、薄膜ＥＬ素子を収納した外囲器３を以下のように
して構成する。

透光性前面基板ｌ上に薄膜ＥＬ素子（図示せず）を載置
する。

背面板２のほぼ中央部に、薄膜ＥＬ素子（図示せず）を
収納するための凹陥部２１を形成し、この凹陥部２１に
流体注入孔２２を設ける。

透光性前面基板ｌ上の薄膜ＥＬ素子を背面板２の凹陥部
２１内に収納するようにして、透光性前面基板１と背面
板２とを固着して外囲器３を構成する。

前記流体注入孔２２には、注入管４を挿入固定する。こ
の注入管４は、その先端４１側が逆Ｕ字形に湾曲され、
下方に向けられるとともに、前記流体注入孔２２と同じ
高さ位置とされる。

第１図に示すように、真空槽７内に上記外囲器３を設置
する。保護用流体６を収納した流体貯留槽５を、注入管
４の先端４１の下方に位置するように設置する。

真空槽７内を減圧させた状態で、流体貯留Ｎ５を上昇さ
せ、この流体貯留槽５内の保護用流体６に前記注入管４
の先端４１を挿入する。このとき、流体貯留槽５内の保
護用流体６の液面６１と、前記流体注入孔２２とを同じ
高さ位置にしてお（。

真空槽７内を減圧状態から常圧状態にすると、この圧力
変化（圧力上昇）により、外囲器３の透光性前面基板１
及び背面板２がその内側に撓む（第２図参照）と同時に
、外囲器３内に注入管４を介して保護用流体６が注入さ
れる。

外囲器３内への保護用流体６の注入は、前記液面６１と
流体注入孔２２とが同じ高さであることから、外囲器３
内の圧力と真空槽７内の圧力とが等しくなったところで
停止する。これにより、第３図に示すように、外囲器３
内には保護用流体６が必要量だけ注入されたこととなり
、外囲器３の撓みは完全に解消された状態となる。

この後、流体貯留槽５を下降させ（第４図参照）、注入
管４を外囲器３より取り外してから、外囲器３の流体注
入孔２２を封止する。

なお、保護用流体６の液面６１を流体注入孔２２より高
い位置に設定した場合には、外囲器３内の圧力が真空槽
７内の圧力より前記液面６１と流体注入孔２２との高低
差に相当する圧力だけ高圧となるところで、保護用流体
６の外囲器３への注入が停止する。この場合、外囲器３
内に必要量以上の保護用流体６が注入されて、外囲器３
は膨らんだ状態となる。注入管４を外囲器３より取り除
くと、外囲器３内と真空槽７内との圧力差により、流体
注入孔２２より外囲器３内の余分な保護用流体６が排出
される。したがって、流体注入孔２２を封止する際には
、外囲器３内に保護用流体６が必要量だけ注入されてお
り、外囲器３の撓みは完全に解消された状態となる。

〔具体例〕

本発明により、高さが２７０閣程度の薄膜ＥＬパネル（
従来のものより７０ｍ程度高い）の製造を行った。

保護用流体は、シリコンオイルに多量のシルカゲルを混
合させたものを使用した。外囲器の注入管の先端を流体
貯留槽内の保護用流体に挿入した際、この保護用流体の
液面を、外囲器の流体注入孔と同一高さとした。

外囲器に設ける流体注入孔の径は、１．５１１ＩＩ１１
程度とした。流体注入孔に接続される注入管の内径は、
１．５〜３．Ｏｍｍ程度とした。

以上の条件で行ったところ、保護用流体は空気等を混入
することなく外囲器に注入され、しかも外囲器に歪み等
は生じなかった。

（発明の効果） 以上説明したように、本発明によれば、大型の薄膜ＥＬ
パネルの製造の場合でも、外囲器内に保護用流体を完全
に充填するとともに、外囲器に応力がかかっていない状
態で外囲器の流体注入孔を封止することができる。した
がって、薄膜ＥＬパネルの製品寿命を長くすることがで
き、信転性を確保することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第４図は本発明に係る薄膜ＥＬパネルの製造
方法を説明するための工程図、第５図乃至第８図は従来
の薄膜ＥＬパネルの製造方法を説明するための工程図で
ある。 ３・・・外囲器 ２２・・・流体注入孔 ４・・・注入管 ４１・・・先端 ５・・・流体貯留槽 ６・・・保護用流体 ６１・・・液面

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）薄膜ＥＬ素子を外囲器内に収納し、この外囲器に
   形成した流体注入孔に注入管を連結し、外囲器と並べて
   減圧下に置かれた流体貯留槽内の保護用流体に前記注入
   管の先端を挿入し、この状態で減圧下から常圧下にする
   ことで、外囲器内に保護用流体を注入管を介して注入す
   ることにより、前記薄膜ＥＬ素子の薄膜欠陥部に保護用
   流体を浸透させる薄膜ＥＬパネルの製造方法であって、 保護用流体を外囲器内に注入する際、流体 貯留槽内に入れてある保護用流体の液面の高さを、外囲
   器の流体注入孔と同じ高さか、若しくはそれ以上の高さ
   にしていることを特徴とする薄膜ＥＬパネルの製造方法
   。