JPH04349328A - カラー受像管用シャドウマスクの製造方法 - Google Patents
カラー受像管用シャドウマスクの製造方法Info
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- JPH04349328A JPH04349328A JP12157491A JP12157491A JPH04349328A JP H04349328 A JPH04349328 A JP H04349328A JP 12157491 A JP12157491 A JP 12157491A JP 12157491 A JP12157491 A JP 12157491A JP H04349328 A JPH04349328 A JP H04349328A
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- shadow mask
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】［発明の目的］
【０００２】
【産業上の利用分野】この発明は、カラー受像管用シャ
ドウマスクの製造方法に関する。
ドウマスクの製造方法に関する。
【０００３】
【従来の技術】一般にカラー受像管は、図３に示すよう
に、パネル１内面に形成された３色蛍光体層からなる蛍
光体スクリーン２に対向してシャドウマスク３が配置さ
れている。このシャドウマスク３は、ファンネル４のネ
ック５内に配設された電子銃６から放出される３電子ビ
ームを選別して、蛍光体スクリーン２の３色蛍光体層に
入射させるためのものであり、通常電子ビームが通過す
る多数の透孔が所定の配列ピッチで形成されて、蛍光体
スクリーン２と対向する薄い金属板からなるマスク本体
７と、このマスク本体７の周辺部に取付けられたマスク
フレーム８とから構成されている。
に、パネル１内面に形成された３色蛍光体層からなる蛍
光体スクリーン２に対向してシャドウマスク３が配置さ
れている。このシャドウマスク３は、ファンネル４のネ
ック５内に配設された電子銃６から放出される３電子ビ
ームを選別して、蛍光体スクリーン２の３色蛍光体層に
入射させるためのものであり、通常電子ビームが通過す
る多数の透孔が所定の配列ピッチで形成されて、蛍光体
スクリーン２と対向する薄い金属板からなるマスク本体
７と、このマスク本体７の周辺部に取付けられたマスク
フレーム８とから構成されている。
【０００４】図４にこのシャドウマスクの代表的な透孔
形状を示す。この透孔１０は、電子銃と対向する一方の
面に形成された小孔１１と、蛍光体スクリーンと対向す
る他方の面に形成されて上記小孔１１に連通する大孔１
２とからなる。
形状を示す。この透孔１０は、電子銃と対向する一方の
面に形成された小孔１１と、蛍光体スクリーンと対向す
る他方の面に形成されて上記小孔１１に連通する大孔１
２とからなる。
【０００５】ところで、高解像度が要求されるカラーデ
ィスプレイ管やモニター管などの高精細カラー受像管の
シャドウマスクについては、その要求を満たすために、
通常のテレビ受像用カラー受像管のシャドウマスクにく
らべて、透孔およびこの透孔の配列ピッチが微細化して
いる。
ィスプレイ管やモニター管などの高精細カラー受像管の
シャドウマスクについては、その要求を満たすために、
通常のテレビ受像用カラー受像管のシャドウマスクにく
らべて、透孔およびこの透孔の配列ピッチが微細化して
いる。
【０００６】しかし、透孔の配列ピッチが微細化し、そ
の透孔の配列ピッチが０．２０〜０．２５ｍｍ程度にな
ると、図４に示したように、大孔１２に対して逆テーパ
状に形成された小孔１１の側壁寸法ｄが通常のシャドウ
マスクの小孔の側壁寸法と同様に５〜１０μｍ である
と、透孔１０の孔径Ｄがわずか１〜２μｍ 程度ばらつ
いただけで、ブラックマトリックス光吸収層とこの光吸
収層の間隙部に３色蛍光体層の形成されたブラックマト
リックス蛍光体スクリーンにモトリング（Ｍｏｔｔｌｉ
ｎｇ）といわれるむらが発生し、画面品位をいちじるし
く損なう。つまり、ブラックマトリックス蛍光体スクリ
ーンは、最初に感光剤被膜にシャドウマスクの円形透孔
パターンを焼付けてブラックマトリックス光吸収層を形
成し、ついでその光吸収層の円形間隙部にドット状蛍光
体層を形成することにより形成され、光吸収層の間隙部
は、シャドウマスクの透孔１０の孔径Ｄのばらつきが拡
大転写されたものとなるために、透孔１０の孔径Ｄのわ
ずかなばらつきが強調され、画面品位をいちじるしく損
なうものとなる。このようなむらは、シャドウマスクの
開孔率（透孔率）に関係し、透孔の配列ピッチが０．３
０ｍｍ以上になると軽減される。
の透孔の配列ピッチが０．２０〜０．２５ｍｍ程度にな
ると、図４に示したように、大孔１２に対して逆テーパ
状に形成された小孔１１の側壁寸法ｄが通常のシャドウ
マスクの小孔の側壁寸法と同様に５〜１０μｍ である
と、透孔１０の孔径Ｄがわずか１〜２μｍ 程度ばらつ
いただけで、ブラックマトリックス光吸収層とこの光吸
収層の間隙部に３色蛍光体層の形成されたブラックマト
リックス蛍光体スクリーンにモトリング（Ｍｏｔｔｌｉ
ｎｇ）といわれるむらが発生し、画面品位をいちじるし
く損なう。つまり、ブラックマトリックス蛍光体スクリ
ーンは、最初に感光剤被膜にシャドウマスクの円形透孔
パターンを焼付けてブラックマトリックス光吸収層を形
成し、ついでその光吸収層の円形間隙部にドット状蛍光
体層を形成することにより形成され、光吸収層の間隙部
は、シャドウマスクの透孔１０の孔径Ｄのばらつきが拡
大転写されたものとなるために、透孔１０の孔径Ｄのわ
ずかなばらつきが強調され、画面品位をいちじるしく損
なうものとなる。このようなむらは、シャドウマスクの
開孔率（透孔率）に関係し、透孔の配列ピッチが０．３
０ｍｍ以上になると軽減される。
【０００７】そこで、このシャドウマスクの透孔のばら
つく原因について考察すると、従来よりシャドウマスク
の透孔は、フォトエッチング法により形成され、一般に
おこなわれている周知の方法として、金属板の両面に形
成すべき透孔に対応するパターンをもつレジストを形成
したのち、その両面から同時にエッチングする方法（一
段エッチング法）がある。
つく原因について考察すると、従来よりシャドウマスク
の透孔は、フォトエッチング法により形成され、一般に
おこなわれている周知の方法として、金属板の両面に形
成すべき透孔に対応するパターンをもつレジストを形成
したのち、その両面から同時にエッチングする方法（一
段エッチング法）がある。
【０００８】この方法によれば、金属板の一方の面から
形成される小孔と他方の面から形成される大孔とが連通
したのちも、適宜エッチングを継続することにより、図
４に示した小孔１１の側壁の一方の面となす角度θを、
θ≧９０°とすることが可能である。その結果、透孔１
０の孔径Ｄのばらつきを小さくして、ブラックマトリッ
クス蛍光体スクリーンのむらを軽減することができる。 しかしこの方法では、板厚方向のエッチングに対して横
方向のサイドエッチングが大きく、上記高精細カラー受
像管のシャドウマスクのように透孔およびその配列ピッ
チが微細化したシャドウマスクを製造することが困難で
ある。
形成される小孔と他方の面から形成される大孔とが連通
したのちも、適宜エッチングを継続することにより、図
４に示した小孔１１の側壁の一方の面となす角度θを、
θ≧９０°とすることが可能である。その結果、透孔１
０の孔径Ｄのばらつきを小さくして、ブラックマトリッ
クス蛍光体スクリーンのむらを軽減することができる。 しかしこの方法では、板厚方向のエッチングに対して横
方向のサイドエッチングが大きく、上記高精細カラー受
像管のシャドウマスクのように透孔およびその配列ピッ
チが微細化したシャドウマスクを製造することが困難で
ある。
【０００９】そのため、この透孔およびその配列ピッチ
の微細化したシャドウマスクを有効に製造する方法とし
て、たとえば特開昭６１−６０８８９号公報などに示さ
れているように、金属板の両面に、形成すべき透孔に対
応するパターンをもつレジストを形成したのち、まずそ
の一方の面からエッチングして、この一方の面に小孔を
形成する。そしてその一方の面およびこの面に形成され
た小孔に耐エッチング剤を塗布充填し、他方の面からエ
ッチングして、この他方の面に上記小孔に連通する大孔
を形成することにより透孔を形成する方法（二段エッチ
ング法）がある。
の微細化したシャドウマスクを有効に製造する方法とし
て、たとえば特開昭６１−６０８８９号公報などに示さ
れているように、金属板の両面に、形成すべき透孔に対
応するパターンをもつレジストを形成したのち、まずそ
の一方の面からエッチングして、この一方の面に小孔を
形成する。そしてその一方の面およびこの面に形成され
た小孔に耐エッチング剤を塗布充填し、他方の面からエ
ッチングして、この他方の面に上記小孔に連通する大孔
を形成することにより透孔を形成する方法（二段エッチ
ング法）がある。
【００１０】この方法によれば、板厚よりも孔径の小さ
い透孔を形成することが可能であり、透孔およびその配
列ピッチが微細化したシャドウマスクを製造することが
できる。しかしこの方法では、最初に形成した小孔の形
状は、耐エッチング剤の充填により、大孔形成時にエッ
チングされることなく最後まで保たれるため、透孔の孔
径Ｄを決定する部分の側壁形状が前記一段エッチング法
にくらべてシャープとなり、孔径Ｄのばらつきによるむ
らが発生しやすくなる。
い透孔を形成することが可能であり、透孔およびその配
列ピッチが微細化したシャドウマスクを製造することが
できる。しかしこの方法では、最初に形成した小孔の形
状は、耐エッチング剤の充填により、大孔形成時にエッ
チングされることなく最後まで保たれるため、透孔の孔
径Ｄを決定する部分の側壁形状が前記一段エッチング法
にくらべてシャープとなり、孔径Ｄのばらつきによるむ
らが発生しやすくなる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】上記のように、カラー
ディスプレイ管などの高精細カラー受像管のシャドウマ
スクは、その要求を満たすために、通常のテレビ受像用
カラー受像管のシャドウマスクにくらべて、透孔および
この透孔の配列ピッチが微細化している。そのため、大
孔に対して逆テーパ状に形成される小孔の側壁寸法ｄが
５〜１０μｍ あると、透孔の孔径Ｄがわずか１〜２μ
ｍ 程度ばらついただけで、ブラックマトリックス蛍光
体スクリーンにモトリングといわれるシャドウマスクの
開孔率に関係するむらが発生し、画面品位がいちじるし
く損なわれる。
ディスプレイ管などの高精細カラー受像管のシャドウマ
スクは、その要求を満たすために、通常のテレビ受像用
カラー受像管のシャドウマスクにくらべて、透孔および
この透孔の配列ピッチが微細化している。そのため、大
孔に対して逆テーパ状に形成される小孔の側壁寸法ｄが
５〜１０μｍ あると、透孔の孔径Ｄがわずか１〜２μ
ｍ 程度ばらついただけで、ブラックマトリックス蛍光
体スクリーンにモトリングといわれるシャドウマスクの
開孔率に関係するむらが発生し、画面品位がいちじるし
く損なわれる。
【００１２】ところで、シャドウマスクの製造方法とし
ては、従来より一般におこなわれている周知の方法とし
て、金属板の両面に形成すべき透孔に対応するパターン
をもつレジストを形成したのち、その両面から同時にエ
ッチングする一段エッチング方法があるが、この方法は
、板厚方向のエッチングに対して横方向のサイドエッチ
ングが大きく、高精細カラー受像管のシャドウマスクの
ように透孔およびその配列ピッチが微細化したシャドウ
マスクを製造することが困難である。そのため、透孔お
よびその配列ピッチが微細化したシャドウマスクについ
は、金属板の両面に形成すべき透孔に対応するパターン
をもつレジストを形成したのち、まずその一方の面から
エッチングして小孔を形成したのち、その一方の面およ
びこの面に形成された小孔に耐エッチング剤を塗布充填
し、その後、他方の面からエッチングして上記小孔に連
通する大孔を形成する方法により製造される。
ては、従来より一般におこなわれている周知の方法とし
て、金属板の両面に形成すべき透孔に対応するパターン
をもつレジストを形成したのち、その両面から同時にエ
ッチングする一段エッチング方法があるが、この方法は
、板厚方向のエッチングに対して横方向のサイドエッチ
ングが大きく、高精細カラー受像管のシャドウマスクの
ように透孔およびその配列ピッチが微細化したシャドウ
マスクを製造することが困難である。そのため、透孔お
よびその配列ピッチが微細化したシャドウマスクについ
は、金属板の両面に形成すべき透孔に対応するパターン
をもつレジストを形成したのち、まずその一方の面から
エッチングして小孔を形成したのち、その一方の面およ
びこの面に形成された小孔に耐エッチング剤を塗布充填
し、その後、他方の面からエッチングして上記小孔に連
通する大孔を形成する方法により製造される。
【００１３】この方法によれば、板厚よりも孔径の小さ
い透孔を形成することが可能であり、透孔およびその配
列ピッチが微細化したシャドウマスクを製造することが
できるが、この方法では、最初に形成した小孔の形状が
大孔形成時にエッチングされることなく最後まで保たれ
るので、透孔の孔径Ｄを決定する部分の側壁形状が前記
一段エッチング法にくらべてシャープとなり、孔径Ｄの
ばらつきによるむらが発生しやすいという問題がある。
い透孔を形成することが可能であり、透孔およびその配
列ピッチが微細化したシャドウマスクを製造することが
できるが、この方法では、最初に形成した小孔の形状が
大孔形成時にエッチングされることなく最後まで保たれ
るので、透孔の孔径Ｄを決定する部分の側壁形状が前記
一段エッチング法にくらべてシャープとなり、孔径Ｄの
ばらつきによるむらが発生しやすいという問題がある。
【００１４】この発明は、上記問題点を解決するために
なされたものであり、透孔およびその配列ピッチが微細
化したシャドウマスクにおいて、その透孔の孔径Ｄのば
らつきを小さくできるシャドウマスクの製造方法を得る
ことを目的とする。
なされたものであり、透孔およびその配列ピッチが微細
化したシャドウマスクにおいて、その透孔の孔径Ｄのば
らつきを小さくできるシャドウマスクの製造方法を得る
ことを目的とする。
【００１５】［発明の構成］
【００１６】
【課題を解決するための手段】金属板の両面にシャドウ
マスクの多数の透孔に対応するパターンをもつレジスト
を形成し、このレジストの形成された金属板の一方の面
にエッチング液をスプレーしてこの一方の面に小孔を形
成したのち、上記レジストの形成された金属板の他方の
面にエッチング液をスプレーしてこの他方の面に大孔を
形成することによりシャドウマスクの透孔を形成するカ
ラー受像管用シャドウマスクの製造方法において、他方
の面に大孔を形成するときのエッチング液のスプレー圧
力を３ｋｇ／ｃｍ２ 以上として、金属板の一方の面に
対して小孔の側壁のなす角度θを、θ≧９０°にした。
マスクの多数の透孔に対応するパターンをもつレジスト
を形成し、このレジストの形成された金属板の一方の面
にエッチング液をスプレーしてこの一方の面に小孔を形
成したのち、上記レジストの形成された金属板の他方の
面にエッチング液をスプレーしてこの他方の面に大孔を
形成することによりシャドウマスクの透孔を形成するカ
ラー受像管用シャドウマスクの製造方法において、他方
の面に大孔を形成するときのエッチング液のスプレー圧
力を３ｋｇ／ｃｍ２ 以上として、金属板の一方の面に
対して小孔の側壁のなす角度θを、θ≧９０°にした。
【００１７】
【作用】上記のように、他方の面に大孔を形成するとき
のエッチング液のスプレー圧力を３ｋｇ／ｃｍ２ 以上
とすると、板厚方向のエッチングが横方向のサイドエッ
チングに対して積極的におこなわれ、小孔の深さを浅く
して、金属板の一方の面に対して小孔の側壁のなす角度
をθ≧９０°とすることができ、その結果、透孔の孔径
のばらつきを軽減することができる。
のエッチング液のスプレー圧力を３ｋｇ／ｃｍ２ 以上
とすると、板厚方向のエッチングが横方向のサイドエッ
チングに対して積極的におこなわれ、小孔の深さを浅く
して、金属板の一方の面に対して小孔の側壁のなす角度
をθ≧９０°とすることができ、その結果、透孔の孔径
のばらつきを軽減することができる。
【００１８】
【実施例】以下、図面を参照してこの発明を実施例に基
づいて説明する。
づいて説明する。
【００１９】図１にこの発明の方法により形成されたシ
ャドウマスクの透孔形状を示す。この透孔２０は、金属
板の一方の面に形成された小孔２１と、この小孔２１と
同軸に他方の面に形成されて連通する開口径Ｄ′の大孔
２２とからなり、大孔２２の開口径Ｄ′に対する深さ（
板厚方向）が従来の通常のシャドウマスクにくらべて大
きく、それに対応して小孔２１が浅く、この小孔２１の
側壁が上記一方の面となす角度θが、θ≧９０°となっ
ている。
ャドウマスクの透孔形状を示す。この透孔２０は、金属
板の一方の面に形成された小孔２１と、この小孔２１と
同軸に他方の面に形成されて連通する開口径Ｄ′の大孔
２２とからなり、大孔２２の開口径Ｄ′に対する深さ（
板厚方向）が従来の通常のシャドウマスクにくらべて大
きく、それに対応して小孔２１が浅く、この小孔２１の
側壁が上記一方の面となす角度θが、θ≧９０°となっ
ている。
【００２０】このシャドウマスクの製造は、図２（ａ）
に示すように、たとえばアルミキルド低炭素鋼板の如き
金属板２３の両面に、牛乳カゼイン酸アルカリおよび重
クロム酸アンモニウムを主成分とする感光剤を塗布、乾
燥して感光膜２４ａ ，２４ｂ を形成し、ついで同（
ｂ）に示すように、この両面の感光膜２４ａ ，２４ｂ
に、形成しようとする透孔に対応するパターンの形成
された一対のネガ原版２５ａ ，２５ｂ を密着して露
光し、両面の感光膜２４ａ ，２４ｂ に各ネガ原版２
５ａ ，２５ｂ のパターンを焼付ける。そして現像に
より未感光部分を除去して、同（ｃ）に示すように、各
ネガ原版のパターンに対応するパターンを有するレジス
ト２６ａ ，２６ｂ を形成する。その後、必要に応じ
て、このレジスト２６ａ ，２６ｂ を約２００℃の雰
囲気でバーニングして耐エッチング性を高める。
に示すように、たとえばアルミキルド低炭素鋼板の如き
金属板２３の両面に、牛乳カゼイン酸アルカリおよび重
クロム酸アンモニウムを主成分とする感光剤を塗布、乾
燥して感光膜２４ａ ，２４ｂ を形成し、ついで同（
ｂ）に示すように、この両面の感光膜２４ａ ，２４ｂ
に、形成しようとする透孔に対応するパターンの形成
された一対のネガ原版２５ａ ，２５ｂ を密着して露
光し、両面の感光膜２４ａ ，２４ｂ に各ネガ原版２
５ａ ，２５ｂ のパターンを焼付ける。そして現像に
より未感光部分を除去して、同（ｃ）に示すように、各
ネガ原版のパターンに対応するパターンを有するレジス
ト２６ａ ，２６ｂ を形成する。その後、必要に応じ
て、このレジスト２６ａ ，２６ｂ を約２００℃の雰
囲気でバーニングして耐エッチング性を高める。
【００２１】つぎに、同（ｄ）に示すように、大孔形成
予定の他方の面のレジスト２６ｂ 上に、ポリエチレン
、ポリプロピレン、塩化ビニル樹脂などからなる保護フ
ィルム２７を貼付ける。そして小孔形成予定の一方の面
を下向きにして、この一方の面にエッチング液を１〜２
ｋｇ／ｃｍ２ のスプレー圧力でスプレーしてエッチン
グし、この一方の面に比較的浅い所定の開口径の小孔２
１を形成する。 つぎに同（ｅ）に示すように、上記一方の面に形成され
ているレジストを剥離し、さらにこのレジストの剥離さ
れた一方の面および小孔２１内に、牛乳カゼイン酸アル
カリ、ポリビニルアルコール、エポキシ系ティスパージ
ョン樹脂などを塗布充填して耐エッチング層２８を形成
するとともに、他方の面のレジスト２６ｂ 上に貼付け
た保護フィルムを剥離する。ついで大孔形成予定の他方
の面を下向きにして、この他方の面にエッチング液を３
ｋｇ／ｃｍ２ のスプレー圧力でスプレーしてエッチン
グし、同（ｆ）に示すように、この他方の面に上記小孔
に連通する大孔２２を形成する。その後、上記耐エッチ
ング層２８および他方の面のレジスト２６ｂ を除去す
ることにより、図１に示した透孔２０を有するシャドウ
マスクが得られる。
予定の他方の面のレジスト２６ｂ 上に、ポリエチレン
、ポリプロピレン、塩化ビニル樹脂などからなる保護フ
ィルム２７を貼付ける。そして小孔形成予定の一方の面
を下向きにして、この一方の面にエッチング液を１〜２
ｋｇ／ｃｍ２ のスプレー圧力でスプレーしてエッチン
グし、この一方の面に比較的浅い所定の開口径の小孔２
１を形成する。 つぎに同（ｅ）に示すように、上記一方の面に形成され
ているレジストを剥離し、さらにこのレジストの剥離さ
れた一方の面および小孔２１内に、牛乳カゼイン酸アル
カリ、ポリビニルアルコール、エポキシ系ティスパージ
ョン樹脂などを塗布充填して耐エッチング層２８を形成
するとともに、他方の面のレジスト２６ｂ 上に貼付け
た保護フィルムを剥離する。ついで大孔形成予定の他方
の面を下向きにして、この他方の面にエッチング液を３
ｋｇ／ｃｍ２ のスプレー圧力でスプレーしてエッチン
グし、同（ｆ）に示すように、この他方の面に上記小孔
に連通する大孔２２を形成する。その後、上記耐エッチ
ング層２８および他方の面のレジスト２６ｂ を除去す
ることにより、図１に示した透孔２０を有するシャドウ
マスクが得られる。
【００２２】なお、この例では、大孔２２を形成すると
きのエッチング液のスプレー圧力を３ｋｇ／ｃｍ２ と
したが、このエッチング液のスプレー圧力は、５ｋｇ／
ｃｍ２ を越えると、サイドエッチングにより開口上に
張出るレジストを破損しやすくなるので、３〜５ｋｇ／
ｃｍ２ に調整するとよい。
きのエッチング液のスプレー圧力を３ｋｇ／ｃｍ２ と
したが、このエッチング液のスプレー圧力は、５ｋｇ／
ｃｍ２ を越えると、サイドエッチングにより開口上に
張出るレジストを破損しやすくなるので、３〜５ｋｇ／
ｃｍ２ に調整するとよい。
【００２３】ところで、上記のように他方の面に大孔２
２を形成するときのエッチング液のスプレー圧力を３ｋ
ｇ／ｃｍ２ 以上とすると、板厚方向のエッチングが横
方向のサイドエッチングに対して積極的におこなわれ、
大孔２２の開口径Ｄ′を従来の通常のシャドウマスクの
ように大きくすることなく板厚方向の深さの深い大孔２
２を形成することができ、小孔２１の深さを浅く、金属
板の一方の面に対する小孔２１の側壁のなす角度θを、
θ≧９０°として、透孔２０の孔径を規制する小孔２１
と大孔２２との連通部の孔径を所定の大きさに制御する
ことができる。したがって、この方法によりシャドウマ
スクを形成すると、θ≧９０°として、透孔の孔径のば
らつきを軽減でき、これをカラー受像管に組込んだとき
、従来シャドウマスク透孔の孔径のばらつきにより生じ
たブラックマトリックス蛍光体スクリーンのむらを大幅
に軽減できる。
２を形成するときのエッチング液のスプレー圧力を３ｋ
ｇ／ｃｍ２ 以上とすると、板厚方向のエッチングが横
方向のサイドエッチングに対して積極的におこなわれ、
大孔２２の開口径Ｄ′を従来の通常のシャドウマスクの
ように大きくすることなく板厚方向の深さの深い大孔２
２を形成することができ、小孔２１の深さを浅く、金属
板の一方の面に対する小孔２１の側壁のなす角度θを、
θ≧９０°として、透孔２０の孔径を規制する小孔２１
と大孔２２との連通部の孔径を所定の大きさに制御する
ことができる。したがって、この方法によりシャドウマ
スクを形成すると、θ≧９０°として、透孔の孔径のば
らつきを軽減でき、これをカラー受像管に組込んだとき
、従来シャドウマスク透孔の孔径のばらつきにより生じ
たブラックマトリックス蛍光体スクリーンのむらを大幅
に軽減できる。
【００２４】なお、上記実施例では、蛍光体スクリーン
をブラックマトリックス型とする円形透孔のシャドウマ
スクについて述べたが、この発明は、スリット状透孔を
有するシャドウマスクについても適用可能である。
をブラックマトリックス型とする円形透孔のシャドウマ
スクについて述べたが、この発明は、スリット状透孔を
有するシャドウマスクについても適用可能である。
【００２５】
【発明の効果】レジストの形成された金属板の一方の面
からエッチング液をスプレーして、この一方の面に小孔
を形成したのち、レジストの形成された金属板の他方の
面からエッチング液をスプレーして、この他方の面に大
孔を形成するときのエッチング液のスプレー圧力を３ｋ
ｇ／ｃｍ２ 以上とすると、大孔の開口径を大きくする
ことなく板厚方向に深さの深い大孔を形成することがで
き、小孔の深さを浅くして、金属板の一方の面に対して
小孔の側壁のなす角度θを、θ≧９０°として、透孔の
孔径を規制する小孔と大孔との連通部の孔径を所定の大
きさに制御することができる。したがって、その結果、
透孔の孔径のばらつきを軽減でき、これをカラー受像管
に組込んだとき、従来透孔の孔径のばらつきにより生じ
たブラックマトリックス蛍光体スクリーンのむらを大幅
に軽減することができる。
からエッチング液をスプレーして、この一方の面に小孔
を形成したのち、レジストの形成された金属板の他方の
面からエッチング液をスプレーして、この他方の面に大
孔を形成するときのエッチング液のスプレー圧力を３ｋ
ｇ／ｃｍ２ 以上とすると、大孔の開口径を大きくする
ことなく板厚方向に深さの深い大孔を形成することがで
き、小孔の深さを浅くして、金属板の一方の面に対して
小孔の側壁のなす角度θを、θ≧９０°として、透孔の
孔径を規制する小孔と大孔との連通部の孔径を所定の大
きさに制御することができる。したがって、その結果、
透孔の孔径のばらつきを軽減でき、これをカラー受像管
に組込んだとき、従来透孔の孔径のばらつきにより生じ
たブラックマトリックス蛍光体スクリーンのむらを大幅
に軽減することができる。
【図１】この発明の一実施例により製造されるシャドウ
マスクの透孔形状を示す図である。
マスクの透孔形状を示す図である。
【図２】図２（ａ）乃至（ｆ）はそれぞれこの発明の一
実施例シャドウマスクの製造方法を説明するための図で
ある。
実施例シャドウマスクの製造方法を説明するための図で
ある。
【図３】カラー受像管の構成を示す図である。
【図４】従来のシャドウマスクの透孔の代表的な形状を
示す図である。
示す図である。
２０…透孔
２１…小孔
２２…大孔
２３…金属板
２４ａ ，２４ｂ …感光膜
２６ａ ，２６ｂ …レジスト
２７…保護フィルム
２８…耐エッチング層
Claims (1)
- 【請求項１】 金属板の両面にシャドウマスクの多数
の透孔に対応するパターンをもつレジストを形成し、こ
のレジストの形成された金属板の一方の面にエッチング
液をスプレーしてこの一方の面に小孔を形成したのち、
上記レジストの形成された金属板の他方の面にエッチン
グ液をスプレーしてこの他方の面に大孔を形成すること
により上記シャドウマスクの透孔を形成するカラー受像
管用シャドウマスクの製造方法において、上記他方の面
に大孔を形成するときのエッチング液のスプレー圧力を
３ｋｇ／ｃｍ２ 以上として、上記金属板の一方の面に
対する上記小孔の側壁の角度θを、θ≧９０°にするこ
とを特徴とするカラー受像管用シャドウマスクの製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12157491A JP3169979B2 (ja) | 1991-05-28 | 1991-05-28 | カラー受像管用シャドウマスクの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12157491A JP3169979B2 (ja) | 1991-05-28 | 1991-05-28 | カラー受像管用シャドウマスクの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04349328A true JPH04349328A (ja) | 1992-12-03 |
| JP3169979B2 JP3169979B2 (ja) | 2001-05-28 |
Family
ID=14814608
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12157491A Expired - Fee Related JP3169979B2 (ja) | 1991-05-28 | 1991-05-28 | カラー受像管用シャドウマスクの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3169979B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010097161A (ko) * | 2000-04-20 | 2001-11-08 | 김순택 | 칼라 음극선관용 텐션마스크와 이의 제조방법 및텐션마스크를 제조하기 위한 노광마스크 |
-
1991
- 1991-05-28 JP JP12157491A patent/JP3169979B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010097161A (ko) * | 2000-04-20 | 2001-11-08 | 김순택 | 칼라 음극선관용 텐션마스크와 이의 제조방법 및텐션마스크를 제조하기 위한 노광마스크 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3169979B2 (ja) | 2001-05-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |