JPH043511Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH043511Y2 JPH043511Y2 JP1983193892U JP19389283U JPH043511Y2 JP H043511 Y2 JPH043511 Y2 JP H043511Y2 JP 1983193892 U JP1983193892 U JP 1983193892U JP 19389283 U JP19389283 U JP 19389283U JP H043511 Y2 JPH043511 Y2 JP H043511Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- chamfering
- laminated
- piezoelectric actuator
- face
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、圧電的に不活性な部分での歪みの存
在による圧電素子の破壊を防止した圧電セラミツ
クスより構成される積層型圧電アクチユエータに
関する。
在による圧電素子の破壊を防止した圧電セラミツ
クスより構成される積層型圧電アクチユエータに
関する。
従来、電磁式アクチユエータに比べ、小形、軽
量・省電力の圧電式アクチユエータが注目されて
いる。圧電アクチユエータには、圧電横効果を利
用した圧電バイモルフ型及び大きな変位量が得ら
れる圧電縦効果を利用した積層型がある。
量・省電力の圧電式アクチユエータが注目されて
いる。圧電アクチユエータには、圧電横効果を利
用した圧電バイモルフ型及び大きな変位量が得ら
れる圧電縦効果を利用した積層型がある。
積層型の圧電アクチユエータは、積層セラミツ
クコンデンサの製造技術を応用して製造されてい
る。すなわちセラミツクス粉末を有機バインダに
有機溶剤に溶かしてスラリーを得、次に例えばド
クターブレード法により有機フイルム上にグリー
ンシートを形成し、グリーンシート１上に内部電
極２となる二成分化合物（Pd−Ag）などの金属
ペーストを数十μｍの間隔で更に印刷塗布し、第
１図に示すごとく、所定の大きさに切断される。
そして上下の層の電極パターンが180°展開するよ
うにして層状に積層し、更に熱を加えながら上下
方向に加圧し、900〜1250℃位の温度範囲で焼結
し、両側面に銀ペースト等にて外部電極３を形成
することにより、得ることができる。
クコンデンサの製造技術を応用して製造されてい
る。すなわちセラミツクス粉末を有機バインダに
有機溶剤に溶かしてスラリーを得、次に例えばド
クターブレード法により有機フイルム上にグリー
ンシートを形成し、グリーンシート１上に内部電
極２となる二成分化合物（Pd−Ag）などの金属
ペーストを数十μｍの間隔で更に印刷塗布し、第
１図に示すごとく、所定の大きさに切断される。
そして上下の層の電極パターンが180°展開するよ
うにして層状に積層し、更に熱を加えながら上下
方向に加圧し、900〜1250℃位の温度範囲で焼結
し、両側面に銀ペースト等にて外部電極３を形成
することにより、得ることができる。
ところで、上記のような工程で得られた素子に
よれば、グリーンシートを１枚１枚打ち抜いて層
状に積層することになり、その膜厚は数十ないし
数百μｍであるため、機械的強度が小さく、作業
上格別の考慮が必要となる。しかも電極パターン
を180°展開する必要があるため、それぞれの膜の
位置合わせを充分に留意するなどに起因して、生
産効率が極めて低下する欠点がある。
よれば、グリーンシートを１枚１枚打ち抜いて層
状に積層することになり、その膜厚は数十ないし
数百μｍであるため、機械的強度が小さく、作業
上格別の考慮が必要となる。しかも電極パターン
を180°展開する必要があるため、それぞれの膜の
位置合わせを充分に留意するなどに起因して、生
産効率が極めて低下する欠点がある。
また第２図に示すごとく、内部電極が全面に形
成されていないために、圧電的に不活性の箇所
（図中Ａ参照）が存在し、その結果、圧電アクチ
ユエータとして繰り返し駆動した場合は、圧電素
子内の内部応力が不均一となり、繰り返し疲労に
よる圧電素子の破壊の虞れがある。
成されていないために、圧電的に不活性の箇所
（図中Ａ参照）が存在し、その結果、圧電アクチ
ユエータとして繰り返し駆動した場合は、圧電素
子内の内部応力が不均一となり、繰り返し疲労に
よる圧電素子の破壊の虞れがある。
本考案はかかる点に鑑み、圧電的に不活性部分
の端面で内部応力を吸収する丸み又は面取りを付
することにより、上記のような欠点を解消するこ
とを主たる目的とする。
の端面で内部応力を吸収する丸み又は面取りを付
することにより、上記のような欠点を解消するこ
とを主たる目的とする。
以下本考案の一実施例について図面を参照しな
がら詳細に説明する。
がら詳細に説明する。
まず、グリーンシートを形成した後、第３図に
示すごとく、従来法と同様にグリーンシート１０
に内部電極１１となる導電膜をスクリーン印刷に
より形成する。その後、必要により乾燥を施し、
次の素子１２との接続端側１２ａに丸みを付す
る。この場合、内部電極が重畳形成されていない
不活性部分Ａの開始部分より端面に向かつて素子
１２の厚みが漸減するように丸みが連続的に形成
され、端面で厚みがほぼ零となるように形成され
る。そして次々と積層圧着して焼結し、第４図に
示すごとき形状とする。このような素子１２は内
部電極が全面に形成されていないが、それぞれの
素子片１２Ａ，……の接続端部にて一体化されて
いる。更に、銀ペースト又は導電性スパツタ膜に
より外部電極１４ａ，１４ｂを形成することによ
り、アクチユエータ２０を得ることができる。
示すごとく、従来法と同様にグリーンシート１０
に内部電極１１となる導電膜をスクリーン印刷に
より形成する。その後、必要により乾燥を施し、
次の素子１２との接続端側１２ａに丸みを付す
る。この場合、内部電極が重畳形成されていない
不活性部分Ａの開始部分より端面に向かつて素子
１２の厚みが漸減するように丸みが連続的に形成
され、端面で厚みがほぼ零となるように形成され
る。そして次々と積層圧着して焼結し、第４図に
示すごとき形状とする。このような素子１２は内
部電極が全面に形成されていないが、それぞれの
素子片１２Ａ，……の接続端部にて一体化されて
いる。更に、銀ペースト又は導電性スパツタ膜に
より外部電極１４ａ，１４ｂを形成することによ
り、アクチユエータ２０を得ることができる。
第５図は本考案の他の例を示す図である。本例
においては、表面に電極が形成された焼結体１５
を接着剤で接着する際、圧電不活性領域に対応す
る部分に面取り１５ａを施こし、積層した後、外
部電極を形成するように構成することも可能であ
る。
においては、表面に電極が形成された焼結体１５
を接着剤で接着する際、圧電不活性領域に対応す
る部分に面取り１５ａを施こし、積層した後、外
部電極を形成するように構成することも可能であ
る。
よつて、上記例と同様の作用を得ることができ
る。
る。
尚、外部電極の形成は、上記実施例に限定され
るものではなく、絶縁層として樹脂、ガラス、ア
ルミナの膜を形成し、その上面に上記導電膜をス
パツタリングによつて形成することにより、上記
実施例と同様の効果を得ることができる。
るものではなく、絶縁層として樹脂、ガラス、ア
ルミナの膜を形成し、その上面に上記導電膜をス
パツタリングによつて形成することにより、上記
実施例と同様の効果を得ることができる。
以上述べたごとく本考案によれば、内部電極が
交互に外部電極に接続されるように層状に積層さ
れ圧電的に不活性部分を有する圧電アクチユエー
タにおいて、内部電極が形成されない圧電的に不
活性部分の開始点より端面まで連続して内部応力
を吸収する丸み又は面取りを付し、丸み又は面取
り量は端面で最大となるようにしたので、 圧電不活性部分の解消は勿論であるが、端面に
向かう程不活性量が顕著になるのに比例して丸み
面取り量を増加しているため、圧電アクチユエー
タの駆動時の歪を完全に除去できる効果を有す
る。
交互に外部電極に接続されるように層状に積層さ
れ圧電的に不活性部分を有する圧電アクチユエー
タにおいて、内部電極が形成されない圧電的に不
活性部分の開始点より端面まで連続して内部応力
を吸収する丸み又は面取りを付し、丸み又は面取
り量は端面で最大となるようにしたので、 圧電不活性部分の解消は勿論であるが、端面に
向かう程不活性量が顕著になるのに比例して丸み
面取り量を増加しているため、圧電アクチユエー
タの駆動時の歪を完全に除去できる効果を有す
る。
しかも本考案によれば、従来のセラミツクコン
デンサのように内部電極を交互に180°転回した内
部電極パターンとする作業工程を不要とすること
ができる。
デンサのように内部電極を交互に180°転回した内
部電極パターンとする作業工程を不要とすること
ができる。
第１及び第２図は従来の積層圧電アクチユエー
タの構造を示す図、第３図及び第４図は本考案の
一例を示す図、第５図は本考案素子の他の例を示
す図である。 １２……アクチユエータ素子、１２Ａ……素子
片、１２ａ……接続端側。
タの構造を示す図、第３図及び第４図は本考案の
一例を示す図、第５図は本考案素子の他の例を示
す図である。 １２……アクチユエータ素子、１２Ａ……素子
片、１２ａ……接続端側。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 内部電極が交互に外部電極に接続されるように
層状に積層され圧電的に不活性部分を有する圧電
アクチユエータにおいて、 内部電極が形成されない圧電的に不活性部分の
開始点より端面まで連続して内部応力を吸収する
丸み又は面取りを付し、丸み又は面取り量は端面
で最大となるようにしたことを特徴とする積層型
圧電アクチユエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1983193892U JPS60101764U (ja) | 1983-12-15 | 1983-12-15 | 積層型圧電アクチユエ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1983193892U JPS60101764U (ja) | 1983-12-15 | 1983-12-15 | 積層型圧電アクチユエ−タ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60101764U JPS60101764U (ja) | 1985-07-11 |
| JPH043511Y2 true JPH043511Y2 (ja) | 1992-02-04 |
Family
ID=30416915
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1983193892U Granted JPS60101764U (ja) | 1983-12-15 | 1983-12-15 | 積層型圧電アクチユエ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60101764U (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59145583A (ja) * | 1983-02-09 | 1984-08-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 積層型圧電変位素子 |
-
1983
- 1983-12-15 JP JP1983193892U patent/JPS60101764U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60101764U (ja) | 1985-07-11 |
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