JPH04351200A - 圧電セラミックアクチュエータ駆動回路 - Google Patents
圧電セラミックアクチュエータ駆動回路Info
- Publication number
- JPH04351200A JPH04351200A JP3124237A JP12423791A JPH04351200A JP H04351200 A JPH04351200 A JP H04351200A JP 3124237 A JP3124237 A JP 3124237A JP 12423791 A JP12423791 A JP 12423791A JP H04351200 A JPH04351200 A JP H04351200A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ceramic actuator
- piezoelectric ceramic
- drive circuit
- voltage
- actuator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は圧電セラミックアクチュ
エータ等の容量性負荷を駆動する回路のうち、特に繰り
返し駆動するための駆動回路に関する。
エータ等の容量性負荷を駆動する回路のうち、特に繰り
返し駆動するための駆動回路に関する。
【０００２】
【従来の技術】圧電セラミックアクチュエータ（以下、
圧電アクチュエータと略称する）は、電圧を印加すると
セラミックの厚さ寸法が変化する圧電逆効果を利用した
アクチュエータであり、印加電圧に応じて高速でかつ高
精細な伸び量を制御することができるため、ガス流量弁
の開閉，Ｘ−Ｙテーブルの位置制御，射出成形機の樹脂
厚み調整，圧電式ドットプリンタヘッド等に使用されて
いる。
圧電アクチュエータと略称する）は、電圧を印加すると
セラミックの厚さ寸法が変化する圧電逆効果を利用した
アクチュエータであり、印加電圧に応じて高速でかつ高
精細な伸び量を制御することができるため、ガス流量弁
の開閉，Ｘ−Ｙテーブルの位置制御，射出成形機の樹脂
厚み調整，圧電式ドットプリンタヘッド等に使用されて
いる。
【０００３】アクチュエータの動作としては、一定の伸
び量を長時間保持する場合と、伸縮の繰り返し動作をさ
せる場合の２通りに大別される。前者の場合、動作の最
初に充電電荷を供給すれば、その後の電荷供給はほとん
ど不要であり、直流電源回路が利用できる。一方、後者
の場合、繰り返し動作時のアクチュエータの充放電回路
を必要とする。
び量を長時間保持する場合と、伸縮の繰り返し動作をさ
せる場合の２通りに大別される。前者の場合、動作の最
初に充電電荷を供給すれば、その後の電荷供給はほとん
ど不要であり、直流電源回路が利用できる。一方、後者
の場合、繰り返し動作時のアクチュエータの充放電回路
を必要とする。
【０００４】アクチュエータの駆動回路としては、本出
願人が先に出願した実開昭６１−６４６１９号に開示し
た図５（ａ）および図５（ｂ）に示すスイッチング素子
を用いた駆動回路が一般的である。これらの例において
は、アクチュエータを充電するためのスイッチング素子
５，１１に制御信号を加えることで、アクチュエータ９
には電流Ｉ１ が流れて充電され、アクチュエータ９は
その充電電荷量に応じた厚さ方向の歪を発生する。
願人が先に出願した実開昭６１−６４６１９号に開示し
た図５（ａ）および図５（ｂ）に示すスイッチング素子
を用いた駆動回路が一般的である。これらの例において
は、アクチュエータを充電するためのスイッチング素子
５，１１に制御信号を加えることで、アクチュエータ９
には電流Ｉ１ が流れて充電され、アクチュエータ９は
その充電電荷量に応じた厚さ方向の歪を発生する。
【０００５】一方、アクチュエータの充電電荷を放電し
、歪量を低減するためには、充電用スイッチング素子５
，１１を切り、代わって放電用スイッチング素子６，１
２に制御信号を加えることで、電流Ｉ２ を流して実現
される。
、歪量を低減するためには、充電用スイッチング素子５
，１１を切り、代わって放電用スイッチング素子６，１
２に制御信号を加えることで、電流Ｉ２ を流して実現
される。
【０００６】アクチュエータ９を繰り返し動作させる場
合は、充放電用スイッチング素子５，１１，６，１２に
制御信号を交互に繰り返し加えれば実現することができ
る。
合は、充放電用スイッチング素子５，１１，６，１２に
制御信号を交互に繰り返し加えれば実現することができ
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、図５（ｂ）
に示した駆動回路は、アクチュエータに印加する電圧を
変化させ、機械的変位を連続的に可変する用途には適し
ているが、スイッチング素子５，６内部で消費される電
力が大きいため、駆動電力の効率は低い。
に示した駆動回路は、アクチュエータに印加する電圧を
変化させ、機械的変位を連続的に可変する用途には適し
ているが、スイッチング素子５，６内部で消費される電
力が大きいため、駆動電力の効率は低い。
【０００８】一方、図５（ａ）に示した駆動回路は、電
流駆動が低入力インピーダンス動作で、印加電圧が一定
であるが、放電によるエネルギ損失が大きい。
流駆動が低入力インピーダンス動作で、印加電圧が一定
であるが、放電によるエネルギ損失が大きい。
【０００９】また、いずれの駆動回路も、充放電時に多
大な充放電電流が流れるため、許容電流の大きなスイッ
チング素子を使用する必要があった。さらに、放電時の
電流を制限しスイッチング素子を保護するための放電抵
抗１０を接続していた。
大な充放電電流が流れるため、許容電流の大きなスイッ
チング素子を使用する必要があった。さらに、放電時の
電流を制限しスイッチング素子を保護するための放電抵
抗１０を接続していた。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するために提案するものである。本発明は圧電アクチュ
エータとリアクトルを直列に接続し、それからなる直列
共振回路の共振周波数が駆動周波数よりも高くなるよう
にリアクトルのインダクタンスを設定したこと，また圧
電アクチュエータの充放電スイッチング素子を遮断する
タイミングを、圧電アクチュエータに流れる電流が零に
なった時点とすること，さらに圧電アクチュエータに並
列にダイオードを接続し放電時に圧電アクチュエータに
負極性電圧が印加されないように印加電圧を既略零ボル
トにクランプすることを特徴とする。
するために提案するものである。本発明は圧電アクチュ
エータとリアクトルを直列に接続し、それからなる直列
共振回路の共振周波数が駆動周波数よりも高くなるよう
にリアクトルのインダクタンスを設定したこと，また圧
電アクチュエータの充放電スイッチング素子を遮断する
タイミングを、圧電アクチュエータに流れる電流が零に
なった時点とすること，さらに圧電アクチュエータに並
列にダイオードを接続し放電時に圧電アクチュエータに
負極性電圧が印加されないように印加電圧を既略零ボル
トにクランプすることを特徴とする。
【００１１】
【作用】上記の構成によると、圧電アクチュエータの静
電容量をＣ，充電電圧をＶｃとすれば、圧電アクチュエ
ータ充電時に電源から供給されるエネルギは、リアクト
ルを使用しない場合、Ｐ１ ＝ＣＶｃ２ であるのに対
し、リアクトル使用の場合、Ｐ２ ＝１／２ＣＶｃ２
にでき、計算上半分のエネルギを供給すればよい。さら
に、充放電時に充放電回路に流れる最大電流Ｉｐｃ，Ｉ
ｐｄは、スイッチング素子のインピーダンスをＺｓｗと
すれば、リアクトルを使用しない場合Ｉｐ＝Ｖｃ／Ｚｓ
ｗであるのに対し、リアクトル使用の場合、
電容量をＣ，充電電圧をＶｃとすれば、圧電アクチュエ
ータ充電時に電源から供給されるエネルギは、リアクト
ルを使用しない場合、Ｐ１ ＝ＣＶｃ２ であるのに対
し、リアクトル使用の場合、Ｐ２ ＝１／２ＣＶｃ２
にでき、計算上半分のエネルギを供給すればよい。さら
に、充放電時に充放電回路に流れる最大電流Ｉｐｃ，Ｉ
ｐｄは、スイッチング素子のインピーダンスをＺｓｗと
すれば、リアクトルを使用しない場合Ｉｐ＝Ｖｃ／Ｚｓ
ｗであるのに対し、リアクトル使用の場合、
【式１】になる。Ｚｓｗは一般的に小さいため、リアク
トルを使用しない場合、スイッチング素子を流れる電流
が非常に大きくなるが、リアクトルを使用することによ
りスイッチング素子を流れる最大電流値を低くすること
ができるので、許容電流の小さいスイッチング素子を使
用することができる。
トルを使用しない場合、スイッチング素子を流れる電流
が非常に大きくなるが、リアクトルを使用することによ
りスイッチング素子を流れる最大電流値を低くすること
ができるので、許容電流の小さいスイッチング素子を使
用することができる。
【００１２】一方、上記構成において、負極性の電圧が
印加されてしまう。圧電アクチュエータの印加電圧−変
位特性を図３に示す。
印加されてしまう。圧電アクチュエータの印加電圧−変
位特性を図３に示す。
【００１３】図３は、圧電アクチュエータの端子間に、
０ボルト→正極性電圧→０ボルト→負極性電圧→０ボル
ト→正極性電圧の順に電圧を印加した場合の、印加電圧
−変位特性を示している。
０ボルト→正極性電圧→０ボルト→負極性電圧→０ボル
ト→正極性電圧の順に電圧を印加した場合の、印加電圧
−変位特性を示している。
【００１４】未分極の圧電アクチュエータは、印加電圧
を０ボルトから上げていくと抗電界までは変位しない（
図３■）。抗電界以上の電圧を印加すると、■のような
電圧−変位特性を示す。次に電圧を最高値から下げてい
くと■のような特性を示し、さらに負極性電圧を印加す
ると■→■のような特性を示す。このように、圧電アク
チュエータに正負両極性電圧を印加して動作させると、
電圧−変位特性に変曲点が生じ、動作を制御する上で不
都合である。圧電アクチュエータの一般的な電圧印加方
法は、片極性電圧を印加するものがほとんどであり、そ
の場合の電圧−変位特性は図３で、■→■→■のように
なり、印加電圧により変位量を制御しやすい。
を０ボルトから上げていくと抗電界までは変位しない（
図３■）。抗電界以上の電圧を印加すると、■のような
電圧−変位特性を示す。次に電圧を最高値から下げてい
くと■のような特性を示し、さらに負極性電圧を印加す
ると■→■のような特性を示す。このように、圧電アク
チュエータに正負両極性電圧を印加して動作させると、
電圧−変位特性に変曲点が生じ、動作を制御する上で不
都合である。圧電アクチュエータの一般的な電圧印加方
法は、片極性電圧を印加するものがほとんどであり、そ
の場合の電圧−変位特性は図３で、■→■→■のように
なり、印加電圧により変位量を制御しやすい。
【００１５】そこで、本発明では前記構成において圧電
アクチュエータに並列にダイオードを接続し、放電時に
圧電アクチュエータに加わる負極性電圧を０ボルトにク
ランプすることで、上記の問題が解決される。また、ダ
イオードを接続した場合でも、充電時の電圧−変位特性
は、ダイオードなしの場合と全く同一に正常に動作する
。
アクチュエータに並列にダイオードを接続し、放電時に
圧電アクチュエータに加わる負極性電圧を０ボルトにク
ランプすることで、上記の問題が解決される。また、ダ
イオードを接続した場合でも、充電時の電圧−変位特性
は、ダイオードなしの場合と全く同一に正常に動作する
。
【００１６】
【実施例】以下、この発明について図面を参照して説明
する。図１は本発明の実施例である駆動回路のブロック
図、図２は出力電圧，出力電流のタイミングチャート図
である。図１は電源端子１と、電源端子１の入力電圧を
圧電アクチュエータ９が必要とする動作電圧に変換する
ＤＣ−ＤＣコンバータ２，圧電アクチュエータ９の繰り
返し周波数を決定する発振回路３，圧電アクチュエータ
９の充放電時間をコントロールするタイミング制御回路
４，タイミング制御回路４からの制御信号によってＯＮ
，ＯＦＦを交互に繰り返す充電スイッチング素子５，放
電スイッチング素子６と圧電アクチュエータ９に直列に
接続されたリアクトル７および並列に接続されたダイオ
ード８から構成される。１６，１７は逆流防止用ダイオ
ードである。
する。図１は本発明の実施例である駆動回路のブロック
図、図２は出力電圧，出力電流のタイミングチャート図
である。図１は電源端子１と、電源端子１の入力電圧を
圧電アクチュエータ９が必要とする動作電圧に変換する
ＤＣ−ＤＣコンバータ２，圧電アクチュエータ９の繰り
返し周波数を決定する発振回路３，圧電アクチュエータ
９の充放電時間をコントロールするタイミング制御回路
４，タイミング制御回路４からの制御信号によってＯＮ
，ＯＦＦを交互に繰り返す充電スイッチング素子５，放
電スイッチング素子６と圧電アクチュエータ９に直列に
接続されたリアクトル７および並列に接続されたダイオ
ード８から構成される。１６，１７は逆流防止用ダイオ
ードである。
【００１７】次に、この回路の動作原理を、図１と図２
のタイミングチャートとを参照して詳述する。なお、図
２において、４ａおよび４ｂは充電スイッチング素子５
，放電スイッチング素子６を制御する信号であり、上レ
ベルはＯＮ，下レベルはＯＦＦであり、図２（ａ）（ｂ
）に示すＴ１ ，Ｔ２ のタイミングになっている。
のタイミングチャートとを参照して詳述する。なお、図
２において、４ａおよび４ｂは充電スイッチング素子５
，放電スイッチング素子６を制御する信号であり、上レ
ベルはＯＮ，下レベルはＯＦＦであり、図２（ａ）（ｂ
）に示すＴ１ ，Ｔ２ のタイミングになっている。
【００１８】今、仮に図２に示す時刻Ｔ０ のタイミン
グであったとすると、図１で充電スイッチング素子５は
ＯＮとなるので、ＤＣ−ＤＣコンバータ２−充電スイッ
チング素子５−リアクトル７−圧電アクチュエータ９−
ＧＮＤの回路が構成され、圧電アクチュエータ９の端子
電圧９ｔは図２（ｃ）に示す電圧値まで充電される。こ
のとき、圧電アクチュエータ９に流れる電流は、図２（
ｅ）に示すＩｐｃのようになる。次に、圧電アクチュエ
ータ９の電流が負になろうとすると、ダイオード１６に
より阻止され、結果的に時刻Ｔ１ で、充電スイッチン
グ素子５をＯＦＦすることになり、圧電アクチュエータ
９とＤＣ−ＤＣコンバータ２は切り離されるから、圧電
アクチュエータ９の端子電圧は図２（ｃ）に示すように
最高電圧を維持する。
グであったとすると、図１で充電スイッチング素子５は
ＯＮとなるので、ＤＣ−ＤＣコンバータ２−充電スイッ
チング素子５−リアクトル７−圧電アクチュエータ９−
ＧＮＤの回路が構成され、圧電アクチュエータ９の端子
電圧９ｔは図２（ｃ）に示す電圧値まで充電される。こ
のとき、圧電アクチュエータ９に流れる電流は、図２（
ｅ）に示すＩｐｃのようになる。次に、圧電アクチュエ
ータ９の電流が負になろうとすると、ダイオード１６に
より阻止され、結果的に時刻Ｔ１ で、充電スイッチン
グ素子５をＯＦＦすることになり、圧電アクチュエータ
９とＤＣ−ＤＣコンバータ２は切り離されるから、圧電
アクチュエータ９の端子電圧は図２（ｃ）に示すように
最高電圧を維持する。
【００１９】次に、時刻Ｔ２ のタイミングで放電スイ
ッチング素子６をＯＮすると、圧電アクチュエータ９−
リアクトル７−放電スイッチング素子６−ＧＮＤの回路
が構成され、圧電アクチュエータ９に充電されていた電
荷は放電される。このとき、圧電アクチュエータ９に流
れる電流は図２（ｅ）に示すＩｐｄのようになる。また
、もしダイオード８が接続されていなければ、放電時に
負極性電圧が発生する。その様子を図２（ｄ）に示す。 ダイオード８を図１のように圧電アクチュエータ９に並
列に接続することにより、負極性電圧は既略０ボルトに
クランプされて、圧電アクチュエータ９には負極性電圧
が印加されない。よって圧電アクチュエータ９の変位−
電圧特性は図３の０ボルト以上の印加電圧特性を示すこ
とになり、特性が安定する。
ッチング素子６をＯＮすると、圧電アクチュエータ９−
リアクトル７−放電スイッチング素子６−ＧＮＤの回路
が構成され、圧電アクチュエータ９に充電されていた電
荷は放電される。このとき、圧電アクチュエータ９に流
れる電流は図２（ｅ）に示すＩｐｄのようになる。また
、もしダイオード８が接続されていなければ、放電時に
負極性電圧が発生する。その様子を図２（ｄ）に示す。 ダイオード８を図１のように圧電アクチュエータ９に並
列に接続することにより、負極性電圧は既略０ボルトに
クランプされて、圧電アクチュエータ９には負極性電圧
が印加されない。よって圧電アクチュエータ９の変位−
電圧特性は図３の０ボルト以上の印加電圧特性を示すこ
とになり、特性が安定する。
【００２０】
【実施例２】図４は本発明の第２実施例である駆動回路
のブロック図である。この実施例は前記図１に示した第
１の実施例の充電スイッチング素子５に代えて、サイリ
スタ１３を用いた点を除いて第１の実施例と同様である
。この実施例ではサイリスタ１３の基本動作をＰＮＰト
ランジスタ１４とＮＰＮトランジスタ１５の組合せで実
現している。次に、この駆動回路の動作を説明する。 タイミング制御回路４からサイリスタ１３にターンオン
信号４ｔ０が印加されると、サイリスタ１３はターンオ
ンし、ＤＣ−ＤＣコンバータ２−サイリスタ１３−リア
クトル７−圧電アクチュエータ９−ＧＮＤの回路が構成
される。
のブロック図である。この実施例は前記図１に示した第
１の実施例の充電スイッチング素子５に代えて、サイリ
スタ１３を用いた点を除いて第１の実施例と同様である
。この実施例ではサイリスタ１３の基本動作をＰＮＰト
ランジスタ１４とＮＰＮトランジスタ１５の組合せで実
現している。次に、この駆動回路の動作を説明する。 タイミング制御回路４からサイリスタ１３にターンオン
信号４ｔ０が印加されると、サイリスタ１３はターンオ
ンし、ＤＣ−ＤＣコンバータ２−サイリスタ１３−リア
クトル７−圧電アクチュエータ９−ＧＮＤの回路が構成
される。
【００２１】このとき、圧電アクチュエータ９に流れる
電流は、図２（ｅ）を参照するとＩｐｃのようになるが
、電流が最大値から減少しほぼ零になると同時に、サイ
リスタ１３はその動作原理によりオフするため、圧電ア
クチュエータ９とＤＣ−ＤＣコンバータ２は切り離され
る。よって圧電アクチュエータ９の充電完了時点でタイ
ミング制御回路４によりサイリスタ１３をオフする必要
がない。そのため、第２実施例の構成によれば、タイミ
ング制御回路の設計が簡単になり、また圧電アクチュエ
ータ９の静電容量が変動し、充電時間が変動しても、タ
イミング制御回路の時定数を調整する必要がない。
電流は、図２（ｅ）を参照するとＩｐｃのようになるが
、電流が最大値から減少しほぼ零になると同時に、サイ
リスタ１３はその動作原理によりオフするため、圧電ア
クチュエータ９とＤＣ−ＤＣコンバータ２は切り離され
る。よって圧電アクチュエータ９の充電完了時点でタイ
ミング制御回路４によりサイリスタ１３をオフする必要
がない。そのため、第２実施例の構成によれば、タイミ
ング制御回路の設計が簡単になり、また圧電アクチュエ
ータ９の静電容量が変動し、充電時間が変動しても、タ
イミング制御回路の時定数を調整する必要がない。
【００２２】
【発明の効果】本発明のように、圧電アクチュエータに
直列にリアクトルを接続し、それらの直列共振回路の共
振周波数が駆動周波数よりも高くなるようにリアクトル
のインダクタンスを設定し、かつ圧電アクチュエータの
充放電電流が零になった時点で充放電スイッチを開くよ
うにし、さらに圧電アクチュエータに並列にダイオード
を接続することにより、圧電アクチュエータ充電時の電
源からの供給エネルギが半減され、充放電スイッチング
素子の許容電流値が小さくでき、かつ圧電アクチュエー
タを正極性で安定に動作することができる。また、静電
容量の大きな圧電アクチュエータでも効率よく容易に動
作させることが可能となる。
直列にリアクトルを接続し、それらの直列共振回路の共
振周波数が駆動周波数よりも高くなるようにリアクトル
のインダクタンスを設定し、かつ圧電アクチュエータの
充放電電流が零になった時点で充放電スイッチを開くよ
うにし、さらに圧電アクチュエータに並列にダイオード
を接続することにより、圧電アクチュエータ充電時の電
源からの供給エネルギが半減され、充放電スイッチング
素子の許容電流値が小さくでき、かつ圧電アクチュエー
タを正極性で安定に動作することができる。また、静電
容量の大きな圧電アクチュエータでも効率よく容易に動
作させることが可能となる。
【図１】 この発明の第１の実施例を示す駆動回路の
ブロック図
ブロック図
【図２】 駆動回路の出力電圧および圧電セラミック
アクチュエータに流れる電流の時間的推移を示す波形図
アクチュエータに流れる電流の時間的推移を示す波形図
【図３】 圧電セラミックアクチュエータの印加電圧
−変位特性図
−変位特性図
【図４】 この発明の第２実施例を示す駆動回路のブ
ロック図
ロック図
【図５】 従来の一般的な駆動回路図
１ 電源端子
２ ＤＣ−ＤＣコンバータ
３ 発振回路
４ タイミング制御回路
５ 充電用スイッチ
６ 放電用スイッチ
７ リアクトル
８ ダイオード
９ 圧電セラミックアクチュエータ
１０ 放電抵抗
１１ 充電用増幅素子
１２ 放電用増幅素子
１３ サイリスタ
１４ ＰＮＰトランジスタ
１５ ＮＰＮトランジスタ
Claims (4)
- 【請求項１】直流電源出力をスイッチング素子により駆
動パルスに変換し、圧電セラミックアクチュエータを駆
動する回路において、圧電セラミックアクチュエータに
リアクトルを直列に接続し、前記リアクトルのインダク
タンスを圧電セラミックアクチュエータの静電容量とリ
アクトルのインダクタンスによる直列共振周波数が駆動
周波数よりも高くなるように設定したことを特徴とする
圧電セラミックアクチュエータ駆動回路。 - 【請求項２】請求項１に示す駆動回路において、圧電セ
ラミックアクチュエータの充放電スイッチング素子を遮
断するタイミングを、圧電セラミックアクチュエータに
流れる電流が零になった時点とすることを特徴とする圧
電セラミックアクチュエータ駆動回路。 - 【請求項３】請求項１に示す駆動回路において、圧電セ
ラミックアクチュエータに並列にダイオードを接続し、
放電時に圧電セラミックアクチュエータに負極性電圧が
印加されないよう電圧をクランプすることを特徴とする
圧電セラミックアクチュエータ駆動回路。 - 【請求項４】請求項１に示す駆動回路において、圧電セ
ラミックアクチュエータの充電スイッチング素子がサイ
リスタで構成されることを特徴とする圧電セラミックア
クチュエータ駆動回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3124237A JPH04351200A (ja) | 1991-05-29 | 1991-05-29 | 圧電セラミックアクチュエータ駆動回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3124237A JPH04351200A (ja) | 1991-05-29 | 1991-05-29 | 圧電セラミックアクチュエータ駆動回路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04351200A true JPH04351200A (ja) | 1992-12-04 |
Family
ID=14880366
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3124237A Pending JPH04351200A (ja) | 1991-05-29 | 1991-05-29 | 圧電セラミックアクチュエータ駆動回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04351200A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6204591B1 (en) | 1998-01-16 | 2001-03-20 | Nec Corporation | Piezoelectric driving circuit |
| WO2001071899A3 (en) * | 2000-03-23 | 2002-06-13 | Elliptec Resonant Actuator Ag | Vibratory motor and method of making and using same |
| US6488652B1 (en) | 1998-02-02 | 2002-12-03 | Medtronic, Inc. | Safety valve assembly for implantable benefical agent infusion device |
| US6664714B2 (en) | 2000-03-23 | 2003-12-16 | Elliptec Resonant Actuator Ag | Vibratory motors and methods of making and using same |
| US7070577B1 (en) | 1998-02-02 | 2006-07-04 | Medtronic, Inc | Drive circuit having improved energy efficiency for implantable beneficial agent infusion or delivery device |
| US7187102B2 (en) | 2002-02-06 | 2007-03-06 | Elliptec Resonant Actuator Ag | Piezoelectric motor control |
| JP2007097337A (ja) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Brother Ind Ltd | 電気機械変換素子の駆動回路及びそれを備えた網膜走査表示装置 |
| US7342347B2 (en) | 2001-09-21 | 2008-03-11 | Elliptec Resonant Actuator Aktiengesellschaft | Piezomotor with a guide |
| US7368853B2 (en) | 2002-04-22 | 2008-05-06 | Elliptec Resonant Actuator Aktiengesellschaft | Piezoelectric motors and methods for the production and operation thereof |
| RU2666191C1 (ru) * | 2017-11-03 | 2018-09-10 | Владимир Борисович Комиссаренко | Устройство для возбуждения пьезоэлементов электроакустических преобразователей |
-
1991
- 1991-05-29 JP JP3124237A patent/JPH04351200A/ja active Pending
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6204591B1 (en) | 1998-01-16 | 2001-03-20 | Nec Corporation | Piezoelectric driving circuit |
| US7070577B1 (en) | 1998-02-02 | 2006-07-04 | Medtronic, Inc | Drive circuit having improved energy efficiency for implantable beneficial agent infusion or delivery device |
| US6488652B1 (en) | 1998-02-02 | 2002-12-03 | Medtronic, Inc. | Safety valve assembly for implantable benefical agent infusion device |
| US6870304B2 (en) | 2000-03-23 | 2005-03-22 | Elliptec Resonant Actuator Ag | Vibratory motors and methods of making and using same |
| US6690101B2 (en) | 2000-03-23 | 2004-02-10 | Elliptec Resonant Actuator Ag | Vibratory motors and methods of making and using same |
| US6825592B2 (en) | 2000-03-23 | 2004-11-30 | Elliptec Resonant Actuator Ag | Vibratory motors and methods of making and using same |
| US6664714B2 (en) | 2000-03-23 | 2003-12-16 | Elliptec Resonant Actuator Ag | Vibratory motors and methods of making and using same |
| WO2001071899A3 (en) * | 2000-03-23 | 2002-06-13 | Elliptec Resonant Actuator Ag | Vibratory motor and method of making and using same |
| US7173362B2 (en) | 2000-03-23 | 2007-02-06 | Bjoern Magnussen | Vibratory motors and methods of making and using same |
| US7342347B2 (en) | 2001-09-21 | 2008-03-11 | Elliptec Resonant Actuator Aktiengesellschaft | Piezomotor with a guide |
| US7187102B2 (en) | 2002-02-06 | 2007-03-06 | Elliptec Resonant Actuator Ag | Piezoelectric motor control |
| US7368853B2 (en) | 2002-04-22 | 2008-05-06 | Elliptec Resonant Actuator Aktiengesellschaft | Piezoelectric motors and methods for the production and operation thereof |
| JP2007097337A (ja) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Brother Ind Ltd | 電気機械変換素子の駆動回路及びそれを備えた網膜走査表示装置 |
| RU2666191C1 (ru) * | 2017-11-03 | 2018-09-10 | Владимир Борисович Комиссаренко | Устройство для возбуждения пьезоэлементов электроакустических преобразователей |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1319270B1 (en) | A high-efficiency driver circuit for capacitive loads | |
| EP0712546B1 (en) | Pulse width modulated dc-to-dc boost converter | |
| US4743789A (en) | Variable frequency drive circuit | |
| US6107860A (en) | High efficiency floating gate driver circuit using leakage-inductance transformer | |
| US5895984A (en) | Circuit arrangement for feeding a pulse output stage | |
| US5617015A (en) | Multiple output regulator with time sequencing | |
| EP1568132B1 (en) | Driver for switching circuit and drive method | |
| EP1965404A2 (en) | Circuit system with supply voltage for driving an electromechanical switch | |
| JPH10308542A (ja) | ピエゾ電気素子の充放電方法及び装置 | |
| CN112448565A (zh) | 变压器驱动的开关装置和变压器驱动的电源开关系统 | |
| EP1235334B1 (en) | Gate driver for thyristor | |
| US6798178B1 (en) | Method of forming a power system and structure therefor | |
| JPH04351200A (ja) | 圧電セラミックアクチュエータ駆動回路 | |
| KR20060059996A (ko) | 제어 회로 및 공진 드라이버 회로 동작 방법 | |
| JP4083299B2 (ja) | ターンオフサイリスタを駆動する方法及び装置 | |
| EP1451931B1 (en) | Switch mode power supply and driving method for efficient rf amplification | |
| JP2001169534A (ja) | 絶縁ゲート型半導体素子のゲート回路 | |
| JP7174672B2 (ja) | スイッチング電源装置 | |
| TW202520730A (zh) | 調整用於能量回收電路的導通期間之電路及方法 | |
| JP2008042633A (ja) | 電圧制御型スイッチング素子の共振ゲート駆動回路 | |
| JP4319336B2 (ja) | Ｍｏｓスイッチング回路 | |
| EP1195883B1 (en) | Control circuit for rectification | |
| Robbins | Simplified unipolar, quasisquare wave energy recovery drive circuits for piezoelectric actuators | |
| JP3663982B2 (ja) | 容量性負荷駆動回路 | |
| JP3721924B2 (ja) | 半導体集積回路 |