JPH0435294B2 - - Google Patents
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- JPH0435294B2 JPH0435294B2 JP62035902A JP3590287A JPH0435294B2 JP H0435294 B2 JPH0435294 B2 JP H0435294B2 JP 62035902 A JP62035902 A JP 62035902A JP 3590287 A JP3590287 A JP 3590287A JP H0435294 B2 JPH0435294 B2 JP H0435294B2
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- linear
- pin
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- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 24
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 14
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 6
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 38
- 210000000707 wrist Anatomy 0.000 description 20
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 230000008859 change Effects 0.000 description 10
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 10
- 230000009471 action Effects 0.000 description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 6
- 230000006870 function Effects 0.000 description 5
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 4
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 210000004247 hand Anatomy 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 238000005339 levitation Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
- H05K13/08—Monitoring manufacture of assemblages
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Operations Research (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Automatic Assembly (AREA)
- Feedback Control In General (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、自動組立ハンドに係り、特に、ピン
立て作業などの基本的な作業を簡易な構成でもつ
て、自動的に、しかも的確に行う組立ハンドに関
する。
立て作業などの基本的な作業を簡易な構成でもつ
て、自動的に、しかも的確に行う組立ハンドに関
する。
(従来の技術)
自動的に嵌め合いを行う場合、例えば、穴に対
してピンが垂直にしかも穴の中心とピンの中心が
完全に一致するように位置決めできた状態で挿入
作業を行うことができれば問題はないが、実際の
作業の自動化はロボツト或いは自動組立機で行わ
れ、高精度の位置決めと傾きの制御を行うことは
困難である。このことは穴とピンとのすきま(ク
リアランス)が小さくなればなるほど問題が難し
くなる。つまり、(1)穴とピンとの中心の位置合わ
せの難しさ。(2)ピンを把持する機構が必要である
が、ピンの傾きの誤差を零にすることの難しさ。
(3)ピンを穴の中心軸に沿つて降ろすことが必要で
あるが、ピンを真に垂直に沿つて降ろすことの難
しさ。
してピンが垂直にしかも穴の中心とピンの中心が
完全に一致するように位置決めできた状態で挿入
作業を行うことができれば問題はないが、実際の
作業の自動化はロボツト或いは自動組立機で行わ
れ、高精度の位置決めと傾きの制御を行うことは
困難である。このことは穴とピンとのすきま(ク
リアランス)が小さくなればなるほど問題が難し
くなる。つまり、(1)穴とピンとの中心の位置合わ
せの難しさ。(2)ピンを把持する機構が必要である
が、ピンの傾きの誤差を零にすることの難しさ。
(3)ピンを穴の中心軸に沿つて降ろすことが必要で
あるが、ピンを真に垂直に沿つて降ろすことの難
しさ。
などがあり、ピン立て作業の誤差の要因になつて
いる。
いる。
これらが解決できないと、ピンが穴に入らなか
つたり、ピンが穴の途中でカジリ付いたりするこ
とになる。
つたり、ピンが穴の途中でカジリ付いたりするこ
とになる。
そこで、ピンと穴との相対的な位置合わせと姿
勢(傾き)の誤差を修正することを目的として
種々の機構・ハンドが開発されている。
勢(傾き)の誤差を修正することを目的として
種々の機構・ハンドが開発されている。
以下、2通りの基本的な考え方について説明す
る。
る。
(1) ハンドに柔軟性を持たせて、自動(受動)的
にピンを穴に倣わせようとする方法。
にピンを穴に倣わせようとする方法。
この代表的なものとして、RCC(リモートセ
ンターコンプライアンス)機構があり、これは
ピンと穴との位置ずれと傾きの誤差をピンを押
し込む工程で、これらが自動的に小さくなる方
向に動き易い機構とバネを工夫することによつ
て構成したものである。
ンターコンプライアンス)機構があり、これは
ピンと穴との位置ずれと傾きの誤差をピンを押
し込む工程で、これらが自動的に小さくなる方
向に動き易い機構とバネを工夫することによつ
て構成したものである。
以下、このRCCハンドの構成第28図及び
第29図を用いて説明する。
第29図を用いて説明する。
図中、1はハンドとの結合部、2は横方向コ
ンプライアンスリンク、3は回転コンプライア
ンスリンク、4はコンプライアンスセンタ、5
は並進部、6は回転部である。
ンプライアンスリンク、3は回転コンプライア
ンスリンク、4はコンプライアンスセンタ、5
は並進部、6は回転部である。
これはクリアランスの小さいピンと面取りの
ついた穴との嵌め合い作業に適するもので、平
行四辺形リンクからなる並進部5と台形状のリ
ンクからなる回転部6の組み合わせからなつて
いる。このリンクを直列に等価的に示すと第2
5図のようになり、そのリンクの組み合わせの
下端に挿入すべきピンを取り付ける。そこで、
ピンに垂直な方向に力が作用すると、平行四辺
形リンクの働きにより、ピンはその姿勢を維持
したまま加えられた力の方向に移動する。ま
た、回転方向の力が作用すると、コンプライア
ンスセンタ4を中心にして、台形状のリンクの
働きにより、ピンは回転運動をする。従つて、
穴8に面取りがしてあり、その部分にピンの先
端が当たると、押し込みと同時にピンは横方向
に力を受け穴の中心方向に移動する。また、斜
めにピンが挿入された時はコンプライアンスセ
ンタ4を中心に回転が生じ、穴の中心線とピン
の中心線を一致させる方向へ運動が生じる機構
となつている。
ついた穴との嵌め合い作業に適するもので、平
行四辺形リンクからなる並進部5と台形状のリ
ンクからなる回転部6の組み合わせからなつて
いる。このリンクを直列に等価的に示すと第2
5図のようになり、そのリンクの組み合わせの
下端に挿入すべきピンを取り付ける。そこで、
ピンに垂直な方向に力が作用すると、平行四辺
形リンクの働きにより、ピンはその姿勢を維持
したまま加えられた力の方向に移動する。ま
た、回転方向の力が作用すると、コンプライア
ンスセンタ4を中心にして、台形状のリンクの
働きにより、ピンは回転運動をする。従つて、
穴8に面取りがしてあり、その部分にピンの先
端が当たると、押し込みと同時にピンは横方向
に力を受け穴の中心方向に移動する。また、斜
めにピンが挿入された時はコンプライアンスセ
ンタ4を中心に回転が生じ、穴の中心線とピン
の中心線を一致させる方向へ運動が生じる機構
となつている。
(2) 次に、能動的に相対誤差を小さくしようとす
る方法について第30図及び第31図を参照し
ながら説明する。
る方法について第30図及び第31図を参照し
ながら説明する。
ピン12を穴13に挿入動作をするロボツト
の腕11がX,Y方向に動く、センサとして
は、例えば、ひずみゲージ14が十字形のバネ
15に付いていて、このセンサ出力と、ロボツ
トのX,Y方向の駆動部分とでサーボ系を組ん
でいる。
の腕11がX,Y方向に動く、センサとして
は、例えば、ひずみゲージ14が十字形のバネ
15に付いていて、このセンサ出力と、ロボツ
トのX,Y方向の駆動部分とでサーボ系を組ん
でいる。
そこで、ロボツトの手首部に設けられたセン
サにより、ピン12の穴13への挿入作業中に
生じる力を検出し、この力を一般的には減じる
方向に手首部を動かして中心軸を合わせる方法
である。
サにより、ピン12の穴13への挿入作業中に
生じる力を検出し、この力を一般的には減じる
方向に手首部を動かして中心軸を合わせる方法
である。
尚、上記(1)のRCC機構としては、米国特許第
4098001号明細書、米国特許第4439926号明細書
(US,C133)などが挙げられる。
4098001号明細書、米国特許第4439926号明細書
(US,C133)などが挙げられる。
(発明が解決しようとする問題点)
しかしながら、上記(1)の従来技術によれば、
RCCハンドのセンタの位置がピンの先端部にな
るように機構の寸法とバネ定数の配分が決定され
ることから、把持対象とするピンの長さが変化し
た場合には、その効果がなくなる。つまり、個々
の作業に応じて設計されたRCCハンドを用いる
必要があり、汎用性に乏しい。また、かなり柔ら
かいバネであることから、ピンを穴の近くへ近ず
げる移動が行われる際に、振動が生じ組み立て作
業の全体としてのスピードが低下し、作業能率が
低減する。
RCCハンドのセンタの位置がピンの先端部にな
るように機構の寸法とバネ定数の配分が決定され
ることから、把持対象とするピンの長さが変化し
た場合には、その効果がなくなる。つまり、個々
の作業に応じて設計されたRCCハンドを用いる
必要があり、汎用性に乏しい。また、かなり柔ら
かいバネであることから、ピンを穴の近くへ近ず
げる移動が行われる際に、振動が生じ組み立て作
業の全体としてのスピードが低下し、作業能率が
低減する。
また、上記(2)の従来技術によれば、力センサが
必要であり、少なくともX,Y方向の力の検出が
必要である。また、傾き、位置を微調整できるサ
ーボ機構が必要である。このハンド部に微調整機
構と力センサの両方を組み込んだものの実用例は
非常に少ない。
必要であり、少なくともX,Y方向の力の検出が
必要である。また、傾き、位置を微調整できるサ
ーボ機構が必要である。このハンド部に微調整機
構と力センサの両方を組み込んだものの実用例は
非常に少ない。
本発明は、上記の問題点を除去し、簡単な構成
でもつて、自動的にしかも的確に組立作業を遂行
し得る自動組立ハンドを提供することを目的とす
る。
でもつて、自動的にしかも的確に組立作業を遂行
し得る自動組立ハンドを提供することを目的とす
る。
(問題点を解決するための手段)
本発明は、上記の問題点を解決するために、挿
入部品を装着した可動体を支持可能なリニア直流
アクチユエータリニア形手首機構を構成し、穴へ
の挿入部品の挿入過程での状態の判別と接触点の
位置の推定をその手首機構に組み込まれている空
芯コイルの電流値に基づいて行い、挿入部品の挿
入作業を円滑に行うための挿入部品の位置、姿勢
の調整を能動的に行うようにしたものである。
入部品を装着した可動体を支持可能なリニア直流
アクチユエータリニア形手首機構を構成し、穴へ
の挿入部品の挿入過程での状態の判別と接触点の
位置の推定をその手首機構に組み込まれている空
芯コイルの電流値に基づいて行い、挿入部品の挿
入作業を円滑に行うための挿入部品の位置、姿勢
の調整を能動的に行うようにしたものである。
(作用)
本発明によれば、上記したように、挿入部品を
リニア直流アクチユエータ形手首機構によつて支
持し、支持位置設定値、姿勢位置設定値から挿入
部品の位置姿勢を操り、嵌め合いを円滑に行うこ
とができる。また、力の推定を空芯コイルの電流
値の測定のみで正確に行うことができ、制御系の
線形化のためのバイアス電流が不要である。更
に、一自由度の位置の制御を一個のリニア直流ア
クチユエータ要素でも行うことができる。挿入作
業の対象となる挿入部品の長さが変化しても、こ
れに伴う機械的な変更を伴うことなく、直ぐに対
応でき、弾力的に運用することができる。
リニア直流アクチユエータ形手首機構によつて支
持し、支持位置設定値、姿勢位置設定値から挿入
部品の位置姿勢を操り、嵌め合いを円滑に行うこ
とができる。また、力の推定を空芯コイルの電流
値の測定のみで正確に行うことができ、制御系の
線形化のためのバイアス電流が不要である。更
に、一自由度の位置の制御を一個のリニア直流ア
クチユエータ要素でも行うことができる。挿入作
業の対象となる挿入部品の長さが変化しても、こ
れに伴う機械的な変更を伴うことなく、直ぐに対
応でき、弾力的に運用することができる。
(実施例)
以下、本発明の実施例を図面を参照しながら詳
細に説明する。
細に説明する。
第1図は本発明の自動組立ハンドの断面図、第
2図は本発明の自動組立システムを示す全体構成
図である。
2図は本発明の自動組立システムを示す全体構成
図である。
図中、20はハンドの外枠、21はこの外枠に
取り付けられる固定磁極であり、可動体40に取
り付けられた空芯コイル26と共に、可動体40
のZ軸方向の制御を行うリニア直流アクチユエー
タ要素を構成する。また、22及び24は外枠2
0に取り付けられる固定磁極であり、可動体40
に取り付けられた空芯コイル27及び29と共
に、可動体40の上方のX軸方向の制御を行うリ
ニア直流アクチユエータ要素を構成する。更に、
23及び25も同様に設けられる固定磁極であ
り、可動体40に取り付けられた空芯コイル28
及び30と共に、可動体40の下方のX軸方向の
制御を行うリニア直流アクチユエータ要素を構成
する。この可動体40の下方にはピンのチヤツク
41が設けられ、嵌め合いを行うピン42が装着
される。また、31,36,37はハンドの外枠
20内に設けられ、Z軸方向の変位を検出する位
置検出器(キヤツプセンサ)、32及び34は上
方のX軸方向の変位を検出する位置検出器、33
及び35は下方のX軸方向の変位を検出する位置
検出器であり、また、図示されていないが、Y軸
方向の制御を行うリニア直流アクチユエータ要素
が前後に配置される。また、Z軸方向の位置検出
器は中央に設けられる位置検出器31に代えて、
その左右の位置に位置検出器36及び37を配置
し、その平均をとるようにしてもよい。なお、l
は空芯コイルへの給電線であり、可動体40の移
動を拘束しないように自由度がある配線となつて
いる。
取り付けられる固定磁極であり、可動体40に取
り付けられた空芯コイル26と共に、可動体40
のZ軸方向の制御を行うリニア直流アクチユエー
タ要素を構成する。また、22及び24は外枠2
0に取り付けられる固定磁極であり、可動体40
に取り付けられた空芯コイル27及び29と共
に、可動体40の上方のX軸方向の制御を行うリ
ニア直流アクチユエータ要素を構成する。更に、
23及び25も同様に設けられる固定磁極であ
り、可動体40に取り付けられた空芯コイル28
及び30と共に、可動体40の下方のX軸方向の
制御を行うリニア直流アクチユエータ要素を構成
する。この可動体40の下方にはピンのチヤツク
41が設けられ、嵌め合いを行うピン42が装着
される。また、31,36,37はハンドの外枠
20内に設けられ、Z軸方向の変位を検出する位
置検出器(キヤツプセンサ)、32及び34は上
方のX軸方向の変位を検出する位置検出器、33
及び35は下方のX軸方向の変位を検出する位置
検出器であり、また、図示されていないが、Y軸
方向の制御を行うリニア直流アクチユエータ要素
が前後に配置される。また、Z軸方向の位置検出
器は中央に設けられる位置検出器31に代えて、
その左右の位置に位置検出器36及び37を配置
し、その平均をとるようにしてもよい。なお、l
は空芯コイルへの給電線であり、可動体40の移
動を拘束しないように自由度がある配線となつて
いる。
ここで、留意すべきことは、図の点線による部
分、つまり、左側のリニア直流アクチユエータ要
素は省略しても右側及び上側のリニア直流アクチ
ユエータ要素でもつて、十分な機能をはたすこと
ができる。しかし、更に、高精度の組み立てを行
う場合には、図のように、軸対称位置に、リニア
直流アクチユエータ要素及び位置検出器を配置
し、両側から一対のリニア直流アクチユエータ要
素及び位置検出器で差動的に力の制御やギヤツプ
の検出を行うようにすればよい。上記実施例で
は、磁気回路を固定側に配置し、空芯コイルを可
動側に設けるようにしたが、逆に、空芯コイルを
固定側、磁気回路を可動側に配置するようにして
も、同様の作用、効果を得ることができる。この
ように構成すると、空芯コイルへの給電線の配線
が容易である。更に、X軸方向のリニア直流アク
チユエータ要素の配置は、固定磁極22と25を
対向させるか、固定磁極23と24を対向させよ
うな配置、つまり、高さが互い違いになるように
配設するようにしてもよい。
分、つまり、左側のリニア直流アクチユエータ要
素は省略しても右側及び上側のリニア直流アクチ
ユエータ要素でもつて、十分な機能をはたすこと
ができる。しかし、更に、高精度の組み立てを行
う場合には、図のように、軸対称位置に、リニア
直流アクチユエータ要素及び位置検出器を配置
し、両側から一対のリニア直流アクチユエータ要
素及び位置検出器で差動的に力の制御やギヤツプ
の検出を行うようにすればよい。上記実施例で
は、磁気回路を固定側に配置し、空芯コイルを可
動側に設けるようにしたが、逆に、空芯コイルを
固定側、磁気回路を可動側に配置するようにして
も、同様の作用、効果を得ることができる。この
ように構成すると、空芯コイルへの給電線の配線
が容易である。更に、X軸方向のリニア直流アク
チユエータ要素の配置は、固定磁極22と25を
対向させるか、固定磁極23と24を対向させよ
うな配置、つまり、高さが互い違いになるように
配設するようにしてもよい。
また、42はチヤツク41に装着されるピン、
43はテーブル上にセツトされた部材、44はそ
の部材43にあけられたピン42が挿入される
穴、50はリニア直流アクチユエータ形手首機構
の制御装置、51はCPU(中央制御装置)、52
はメモリ、53は入出力インターフエース、54
はデイスプレイ付入出力装置、55は電源、56
は電源に接続され、入出力インターフエース53
に接続されるパワー制御部であり、リニア直流ア
クチユエータ要素に接触される。また、58はハ
ンドを制御するロボツト本体制御装置である。
43はテーブル上にセツトされた部材、44はそ
の部材43にあけられたピン42が挿入される
穴、50はリニア直流アクチユエータ形手首機構
の制御装置、51はCPU(中央制御装置)、52
はメモリ、53は入出力インターフエース、54
はデイスプレイ付入出力装置、55は電源、56
は電源に接続され、入出力インターフエース53
に接続されるパワー制御部であり、リニア直流ア
クチユエータ要素に接触される。また、58はハ
ンドを制御するロボツト本体制御装置である。
そして、以下、順に示されるように、本発明の
リニア直流アクチユエータ形手首機構は、前記し
たリニア直流アクチユエータ要素の空芯コイル2
6乃至30により、可動体の姿勢を検知し、かつ
可動体40の中心軸の回転運動を除く5自由度を
全て能動的に制御することができる。
リニア直流アクチユエータ形手首機構は、前記し
たリニア直流アクチユエータ要素の空芯コイル2
6乃至30により、可動体の姿勢を検知し、かつ
可動体40の中心軸の回転運動を除く5自由度を
全て能動的に制御することができる。
以下、詳細にリニア直流アクチユエータ(ボイ
スコイル形アクチユエータ)要素について、説明
する。
スコイル形アクチユエータ)要素について、説明
する。
第3図は係るリニア直流アクチユエータ(ボイ
スコイル形アクチユエータ)要素の断面図、第4
図はそのアクチユエータ要素の固定磁極の断面
図、第5図は第4図のA−A線矢視図、第6図は
固定磁極へ筒状に巻回された空芯コイルを組み合
わせた断面図、第7図はその空芯コイルの断面図
である。
スコイル形アクチユエータ)要素の断面図、第4
図はそのアクチユエータ要素の固定磁極の断面
図、第5図は第4図のA−A線矢視図、第6図は
固定磁極へ筒状に巻回された空芯コイルを組み合
わせた断面図、第7図はその空芯コイルの断面図
である。
まず、第4図及び第5図に示されるように、中
央に円柱61が形成された円筒体62からなる固
定磁極60を設け、これらの図に示されるような
磁気回路によつて、放射状の一様な磁界を得る。
その磁界中に、筒状に巻いた空芯コイル63を、
第6図に示されるように、装着すると、そのコイ
ル63を流れる電流iに比例する電磁力F′を矢印
の方向に発生させることができる。ここで、一様
な磁界の磁束密度B、コイルの巻数n、電流iと
すると、 F=k・n・B・i k:コイルの寸法によつて決まる定数 となり、第6図に示されるように、空芯コイル6
3に直流電流が流されると、フレミング左手の法
則により、電磁力F′が発生する。また、直流電流
の方向を逆にすると、電磁力は逆向きになる。
央に円柱61が形成された円筒体62からなる固
定磁極60を設け、これらの図に示されるような
磁気回路によつて、放射状の一様な磁界を得る。
その磁界中に、筒状に巻いた空芯コイル63を、
第6図に示されるように、装着すると、そのコイ
ル63を流れる電流iに比例する電磁力F′を矢印
の方向に発生させることができる。ここで、一様
な磁界の磁束密度B、コイルの巻数n、電流iと
すると、 F=k・n・B・i k:コイルの寸法によつて決まる定数 となり、第6図に示されるように、空芯コイル6
3に直流電流が流されると、フレミング左手の法
則により、電磁力F′が発生する。また、直流電流
の方向を逆にすると、電磁力は逆向きになる。
このリニア直流アクチユエータ自体はスピーカ
ーの振動発生部に利用されており、コイルの電流
に正確に比例する電磁力を発生させることができ
る。
ーの振動発生部に利用されており、コイルの電流
に正確に比例する電磁力を発生させることができ
る。
なお、この種のリニア直流アクチユエータ要素
は可動体及びピンの重量が比較的軽い場合に適し
ている。従つて、Z軸の制御に関しては、磁界と
電流の相互作用によつたのでは、重量の大きい可
動体の支持が容易でない場合には、Z軸の制御に
関しては、従来の磁気軸受のスラスト軸受部を用
いるようにしてもよい。また、検出感度をさほど
要求しないならば、Z軸に関しては補助的に機械
的なバネを介して可動体を支持するようにしても
良い。また、可動体40の回転軸φの保持は永久
磁石を用いて非接触状態で行うか、或いは回転軸
φの運動のみを阻止するバネを設けるようにすれ
ばよい。
は可動体及びピンの重量が比較的軽い場合に適し
ている。従つて、Z軸の制御に関しては、磁界と
電流の相互作用によつたのでは、重量の大きい可
動体の支持が容易でない場合には、Z軸の制御に
関しては、従来の磁気軸受のスラスト軸受部を用
いるようにしてもよい。また、検出感度をさほど
要求しないならば、Z軸に関しては補助的に機械
的なバネを介して可動体を支持するようにしても
良い。また、可動体40の回転軸φの保持は永久
磁石を用いて非接触状態で行うか、或いは回転軸
φの運動のみを阻止するバネを設けるようにすれ
ばよい。
このように、構成することにより、
(1) 力の推定を電流値の測定のみで正確に行うこ
とができる。
とができる。
(2) 磁界が一定の領域では位置によらずに上記の
関係が得られる。
関係が得られる。
(3) 制御系の線形化のためのバイアス電流が不要
である。
である。
(4) 一自由度の位置の制御を一個のリニア直流ア
クチユエータ要素でも行うことができる。これ
に対し、電磁石による吸引力を利用したもの
は、吸引力のみしか発生しないので、通常一対
の電磁石を必要とするのに対して、このリニア
直流アクチユエータでは電流の流れる向きが変
われば、力の方向も変わることにより、一個の
要素で制御することができる。
クチユエータ要素でも行うことができる。これ
に対し、電磁石による吸引力を利用したもの
は、吸引力のみしか発生しないので、通常一対
の電磁石を必要とするのに対して、このリニア
直流アクチユエータでは電流の流れる向きが変
われば、力の方向も変わることにより、一個の
要素で制御することができる。
(5) 更に、数mm〜数cmの移動距離を容易に実現で
きることにより、組立用ハンドとして利用した
場合、位置、姿勢の修正可能範囲が通常の磁気
軸受に比べて拡大する。
きることにより、組立用ハンドとして利用した
場合、位置、姿勢の修正可能範囲が通常の磁気
軸受に比べて拡大する。
第8図及び第9図は本発明の第2実施例を示す
リニア直流アクチユエータの構成図であり、第8
図はその断面図、第9図は第8図のB−B線矢視
図である。
リニア直流アクチユエータの構成図であり、第8
図はその断面図、第9図は第8図のB−B線矢視
図である。
この実施例においては、中央に角柱65が形成
された角形筒状部材66からなる固定磁極64及
びコイルを前記の円形に代えて、矩形に形成した
角形空芯コイル67を有する構成となつている。
された角形筒状部材66からなる固定磁極64及
びコイルを前記の円形に代えて、矩形に形成した
角形空芯コイル67を有する構成となつている。
第10図及び第11図は本発明の第3実施例を
示すリニア直流アクチユエータの構成図であり、
第10図はその断面図、第11図は第10図のC
−C線矢視図である。
示すリニア直流アクチユエータの構成図であり、
第10図はその断面図、第11図は第10図のC
−C線矢視図である。
この実施例においては、中央に角柱69が形成
された山形部材70からなる固定磁極68形成
し、角形空芯コイル71を装着した構造を有す
る。
された山形部材70からなる固定磁極68形成
し、角形空芯コイル71を装着した構造を有す
る。
更に、リニア直流アクチユエータの構成は、第
12図乃至第15図に示されるように構成しても
よい。即ち、第12図はその固定磁極の斜視図、
第13図はコイルの斜視図、第14図はそのアク
チユエータの断面図、第15図は第14図のD−
D線矢視図である。
12図乃至第15図に示されるように構成しても
よい。即ち、第12図はその固定磁極の斜視図、
第13図はコイルの斜視図、第14図はそのアク
チユエータの断面図、第15図は第14図のD−
D線矢視図である。
この実施例は、第12図に示されるように、互
いに向かいあつた一対の固定磁極72を配置し、
その一様な磁界中に、第13図に示されるよう
な、矩形状のコイル73を配設する。そして、例
えば、その矩形状のコイル73に、第14図に示
されるような直流電流を流すと、フレミング左手
の法則により、電磁力Fが矢印の方向へ発生す
る。また、これと逆の方向に直流電流を流すと、
電磁力Fと逆の方向に電磁力を発生させることが
できる。
いに向かいあつた一対の固定磁極72を配置し、
その一様な磁界中に、第13図に示されるよう
な、矩形状のコイル73を配設する。そして、例
えば、その矩形状のコイル73に、第14図に示
されるような直流電流を流すと、フレミング左手
の法則により、電磁力Fが矢印の方向へ発生す
る。また、これと逆の方向に直流電流を流すと、
電磁力Fと逆の方向に電磁力を発生させることが
できる。
この種のリニア直流アクチユエータを要素とし
て組み合わせ、第16図に示されるような自動組
立てハンドを構成することができる。第16図に
おいて、80はハンドの外枠、81はその固定さ
れる一対の固定磁極(第14図の固定磁極72に
対応)であり、矩形状のコイル(第14図の矩形
状のコイル73に対応)86と共に、Z軸方向の
制御を行うリニア直流アクチユエータ要素を構成
する。同様に、一対の固定磁極82と矩形状のコ
イル87は上方のX軸方向の制御を行うリニア直
流アクチユエータ要素を、一対の固定磁極83と
矩形状のコイル88は上方のX軸方向の制御を行
うリニア直流アクチユエータ要素をそれぞれ構成
する。更に、図示されていないが、少なくとも前
か後に、一対の固定磁極と矩形状のコイルを2段
に配設して、X軸と同様にY軸方向の制御を行う
リニア直流アクチユエータ要素を設けるようにす
る。また、ここで、74は可動体、75はチヤツ
ク、76はピンである。
て組み合わせ、第16図に示されるような自動組
立てハンドを構成することができる。第16図に
おいて、80はハンドの外枠、81はその固定さ
れる一対の固定磁極(第14図の固定磁極72に
対応)であり、矩形状のコイル(第14図の矩形
状のコイル73に対応)86と共に、Z軸方向の
制御を行うリニア直流アクチユエータ要素を構成
する。同様に、一対の固定磁極82と矩形状のコ
イル87は上方のX軸方向の制御を行うリニア直
流アクチユエータ要素を、一対の固定磁極83と
矩形状のコイル88は上方のX軸方向の制御を行
うリニア直流アクチユエータ要素をそれぞれ構成
する。更に、図示されていないが、少なくとも前
か後に、一対の固定磁極と矩形状のコイルを2段
に配設して、X軸と同様にY軸方向の制御を行う
リニア直流アクチユエータ要素を設けるようにす
る。また、ここで、74は可動体、75はチヤツ
ク、76はピンである。
この実施例は、小さいピンなどの嵌め合い用の
アクチユエータ要素として好適である。
アクチユエータ要素として好適である。
以下、この自動組立ハンドを用いたピン立て作
業の1例を第2図及び第17図を参照しながら、
X,Z平面を用いて説明する。実際にはZY平面
とのベクトル和で現象を把握することができる。
業の1例を第2図及び第17図を参照しながら、
X,Z平面を用いて説明する。実際にはZY平面
とのベクトル和で現象を把握することができる。
まず、ピン42の挿入作業に先立ち、穴を有す
る部材43を取り付けたテーブル(図示なし)が
移動機構によつて、XYについてのおおよその位
置決めがなされ、穴44とピン42との中心位置
をある誤差範囲内に合わせる。
る部材43を取り付けたテーブル(図示なし)が
移動機構によつて、XYについてのおおよその位
置決めがなされ、穴44とピン42との中心位置
をある誤差範囲内に合わせる。
そして、本発明のリニア直流アクチユエータ要
素形手首機構を具備するハンドが下げられ、第1
7図aに示されるように、部材43に当接し、ピ
ン42が粗位置決めされる。部材43に当接した
ことは、部材43に対する可動体40の抗力Fzが
作用し、Z軸方向の距離の変化を検出する位置検
出装置31からの出力信号S1により検出される。
素形手首機構を具備するハンドが下げられ、第1
7図aに示されるように、部材43に当接し、ピ
ン42が粗位置決めされる。部材43に当接した
ことは、部材43に対する可動体40の抗力Fzが
作用し、Z軸方向の距離の変化を検出する位置検
出装置31からの出力信号S1により検出される。
次に、第17図bに示されるように、部材43
の穴44にピン42を落とし込む、つまり、穴4
4の探索を行う。穴44が探索されたことは、ピ
ン42が穴44へ落ち込み、ピン42に連結され
ている可動体40へ作用していた抗力Fzがなくな
ることを、Z軸方向の位置を検出する位置検出装
置31からの出力信号S1により検出することがで
きる。
の穴44にピン42を落とし込む、つまり、穴4
4の探索を行う。穴44が探索されたことは、ピ
ン42が穴44へ落ち込み、ピン42に連結され
ている可動体40へ作用していた抗力Fzがなくな
ることを、Z軸方向の位置を検出する位置検出装
置31からの出力信号S1により検出することがで
きる。
このようにして、穴44が探索されると、ハン
ドを−Z方向に移動し、ピン42が穴44にカジ
リつくか否かをみながら、ピン42を挿入してい
く。
ドを−Z方向に移動し、ピン42が穴44にカジ
リつくか否かをみながら、ピン42を挿入してい
く。
もし、第17図cに示されるように、ピン42
が穴44にカジリつくと、再び、可動体40の部
材43に対する抗力Fzが作用し、Z軸方向の位置
を検出する位置検出装置31からの出力信号S1に
より検出される。そして、穴44が探索された時
点から、ピン42が穴44にカジリついた時点ま
でのZ軸方向の距離lと、ピン42と穴44とク
リアランスΔwとから、ピン42の傾きθを検出
し、第17図dに示されるように、この傾きθの
修正を行う。
が穴44にカジリつくと、再び、可動体40の部
材43に対する抗力Fzが作用し、Z軸方向の位置
を検出する位置検出装置31からの出力信号S1に
より検出される。そして、穴44が探索された時
点から、ピン42が穴44にカジリついた時点ま
でのZ軸方向の距離lと、ピン42と穴44とク
リアランスΔwとから、ピン42の傾きθを検出
し、第17図dに示されるように、この傾きθの
修正を行う。
次に、第17図eに示されるように、その修正
後はピン42が穴44の底に到達すると、Z軸方
向の位置を検出する位置検出装置31からの出力
信号S1により検出される。
後はピン42が穴44の底に到達すると、Z軸方
向の位置を検出する位置検出装置31からの出力
信号S1により検出される。
このように、自動的に、しかも的確にピン挿入
作業を行うことができる。
作業を行うことができる。
以下、本発明のリニア直流アクチユエータ要素
形手首機構を具備するハンドを用いたピンの組立
方法を第18図のフローチヤートにしたがつて更
に詳細に説明する。
形手首機構を具備するハンドを用いたピンの組立
方法を第18図のフローチヤートにしたがつて更
に詳細に説明する。
なお、第2図に示されるリニア直流アクチユエ
ータ形手首機構の制御装置50のメモリ52に
は、予め、ピンと穴とのクリアランス値Δw、Z
軸方向の閾値Fs、ピンの傾きθk及び各リニア直流
アクチユエータへ分配される電流値とをテーブル
にしてROMに記憶しておく。
ータ形手首機構の制御装置50のメモリ52に
は、予め、ピンと穴とのクリアランス値Δw、Z
軸方向の閾値Fs、ピンの傾きθk及び各リニア直流
アクチユエータへ分配される電流値とをテーブル
にしてROMに記憶しておく。
まず、ハンドへのピンの装着を行う。
ハンドをロボツト本体制御装置58、例え
ば、NC制御装置により、X,Y,Zの基本座
標上に移動して、ピンの穴に対する粗位置決め
を行う。この場合、ピンが穴を有する部材に当
接すると、可動体40に抗力Fzが作用し、この
抗力Fzの大きさを主としてリニア直流アクチユ
エータ要素の空芯コイル26の電流値及びZ軸
方向の位置を検出する位置検出装置31で検知
する。そして、抗力Fzがある閾値Fsに達するま
では、ピンを穴に近ずけて良いこととし、Fz>
Fsになつた時点でZ軸方向のハンドの移動を速
やかに停止させる。
ば、NC制御装置により、X,Y,Zの基本座
標上に移動して、ピンの穴に対する粗位置決め
を行う。この場合、ピンが穴を有する部材に当
接すると、可動体40に抗力Fzが作用し、この
抗力Fzの大きさを主としてリニア直流アクチユ
エータ要素の空芯コイル26の電流値及びZ軸
方向の位置を検出する位置検出装置31で検知
する。そして、抗力Fzがある閾値Fsに達するま
では、ピンを穴に近ずけて良いこととし、Fz>
Fsになつた時点でZ軸方向のハンドの移動を速
やかに停止させる。
ピンが穴に係合しているか否かを判断する。
この判断は抗力Fzに基づいて行なう。係合して
いる場合にはステツプに進む。
この判断は抗力Fzに基づいて行なう。係合して
いる場合にはステツプに進む。
ピンが穴に係合していない場合には、穴の探
索を行う。
索を行う。
穴の探索、つまり、抗力Fz<Fsになつたか否
かを判断する。
かを判断する。
穴が探索される、つまり、抗力Fz≧Fsであつ
た状態から、抗力Fz<Fsに変化すると、その時
点のZ軸方向の位置Z1を読み込み、メモリ52
に記憶し、ハンド下げを行う。
た状態から、抗力Fz<Fsに変化すると、その時
点のZ軸方向の位置Z1を読み込み、メモリ52
に記憶し、ハンド下げを行う。
ハンド下げ中に、ピンが穴にカジリつく否か
を判断する、つまり、抗力Fz<Fsの状態から、
抗力Fz≧Fsに変化するか否かを判断する。
を判断する、つまり、抗力Fz<Fsの状態から、
抗力Fz≧Fsに変化するか否かを判断する。
抗力Fz≧Fsに変化すると、その時点のZ軸方
向の位置Z2を読み込み、前記位置Z1との差を
CPU51で計算して、Z軸方向の移動距離ZD
を求める。そこで、その移動距離ZDと、メモリ
52に記憶されているピンと穴とのクリアラン
ス値Δwとに基づいて、その時のピンの傾きθ1
を求める。
向の位置Z2を読み込み、前記位置Z1との差を
CPU51で計算して、Z軸方向の移動距離ZD
を求める。そこで、その移動距離ZDと、メモリ
52に記憶されているピンと穴とのクリアラン
ス値Δwとに基づいて、その時のピンの傾きθ1
を求める。
手首機構によるあやつりにより、そのピンの
傾きθ1を減じる方向に各リニア直流アクチユエ
ータ要素の空芯コイルの電流を分配しその傾き
θ1を修正する。この修正は予め記憶されている
ピンの傾きθ1と各リニア直流アクチユエータ要
素の空芯コイル27乃至30(図示されないが
Y軸方向を制御する空芯コイルも含む)へ分配
される電流値のテーブルを用いて、即座に、そ
の傾きθ1を修正する。即ち、第1の接触開始か
らの2点接触が起こるまでのハンドの移動距離
ZDとクリアランス値Δwから傾きの方向と大き
さが推定できる。そこで、これを減じるよう
に、2つの接触点の中心を不動点として、この
点を中心にして、ピンの傾きの修正を行う。
傾きθ1を減じる方向に各リニア直流アクチユエ
ータ要素の空芯コイルの電流を分配しその傾き
θ1を修正する。この修正は予め記憶されている
ピンの傾きθ1と各リニア直流アクチユエータ要
素の空芯コイル27乃至30(図示されないが
Y軸方向を制御する空芯コイルも含む)へ分配
される電流値のテーブルを用いて、即座に、そ
の傾きθ1を修正する。即ち、第1の接触開始か
らの2点接触が起こるまでのハンドの移動距離
ZDとクリアランス値Δwから傾きの方向と大き
さが推定できる。そこで、これを減じるよう
に、2つの接触点の中心を不動点として、この
点を中心にして、ピンの傾きの修正を行う。
ピンの傾きθ1が修正されると、再び前記同様
にハンド下げを行う。
にハンド下げを行う。
ピンの先端が穴の底に当接するか否か、つま
り、抗力Fz<Fsの状態から抗力Fz≧Fsに変化す
るか否かを判断する。
り、抗力Fz<Fsの状態から抗力Fz≧Fsに変化す
るか否かを判断する。
抗力Fz≧Fsに変化すると、ハンド下げを止め
る。
る。
ハンドからピンを外す。
上記実施例においては、部材に円柱状の穴が形
成され、その穴にピンを挿入する場合について説
明したが、次に、面取りが施された穴へのピンの
挿入の場合について詳細に説明する。
成され、その穴にピンを挿入する場合について説
明したが、次に、面取りが施された穴へのピンの
挿入の場合について詳細に説明する。
第19図は面取りが施された穴へのピンの挿入
作業について説明する。
作業について説明する。
まず、第19図aに示されるように、部材92
の穴93には面取り部94が設けられ、その面取
り部94にピン91の下端の円周の一点が接触
し、粗位置決めされる。なお、ピン91が面取り
部94に接触せず、それより外側に粗位置決めさ
れた場合には前記した穴の探索(前記ステツプ
)(この場合は正確には面取り部の探索)によ
り面取り部94を探索するためあやつるが、最近
はロボツトも視覚センサを持つようになり、位置
決め精度が向上してきているので、通常、粗位置
決めの段階でピン91は面取り部94に接触させ
ることができる。
の穴93には面取り部94が設けられ、その面取
り部94にピン91の下端の円周の一点が接触
し、粗位置決めされる。なお、ピン91が面取り
部94に接触せず、それより外側に粗位置決めさ
れた場合には前記した穴の探索(前記ステツプ
)(この場合は正確には面取り部の探索)によ
り面取り部94を探索するためあやつるが、最近
はロボツトも視覚センサを持つようになり、位置
決め精度が向上してきているので、通常、粗位置
決めの段階でピン91は面取り部94に接触させ
ることができる。
この場合には面取り部94の円錐状の面にピン
91の下端の円周の一点が載ることになり、Z軸
(スラスト)方向の抗力Fzと穴93の中心に向か
う半径(ラジアル)方向の抗力Fbが作用する。
そして、これらの抗力は、スラスト、ラジアルの
各コイルの励磁電流値をインターフエース53を
介して制御装置50に取り込み、CPU51によ
り演算され、求められる。
91の下端の円周の一点が載ることになり、Z軸
(スラスト)方向の抗力Fzと穴93の中心に向か
う半径(ラジアル)方向の抗力Fbが作用する。
そして、これらの抗力は、スラスト、ラジアルの
各コイルの励磁電流値をインターフエース53を
介して制御装置50に取り込み、CPU51によ
り演算され、求められる。
この点について詳細に説明する。
第20図に示されるように、このリニア直流ア
クチユエータの場合、被支持可動体95に作用す
る1つのリニア直流アクチユエータ要素について
みてみると、その電磁力Fは一般に、 F=k・n・B・i=f(i) で表される。ここで、i:コイルに流す電流、関
数fはコイルの形状、寸法、材質、巻数などによ
つて決まる。
クチユエータの場合、被支持可動体95に作用す
る1つのリニア直流アクチユエータ要素について
みてみると、その電磁力Fは一般に、 F=k・n・B・i=f(i) で表される。ここで、i:コイルに流す電流、関
数fはコイルの形状、寸法、材質、巻数などによ
つて決まる。
次に、電磁力の推定について説明する。
被支持可動体95に作用する電磁吸引力Fは前
記したように、F=f(i)で表せることから、
電流iを測定して、その被支持可動体95に作用
する電磁力Fを求めることができる。或いは電流
iの代表点での電磁力Fを書き込んだROMを用
意しておき、このデータから補間法によつて電磁
力Fを求める方法をとることもできる。
記したように、F=f(i)で表せることから、
電流iを測定して、その被支持可動体95に作用
する電磁力Fを求めることができる。或いは電流
iの代表点での電磁力Fを書き込んだROMを用
意しておき、このデータから補間法によつて電磁
力Fを求める方法をとることもできる。
次に、被支持可動体に作用する力の大きさと作
用点の推定法について第21図を用いて説明す
る。
用点の推定法について第21図を用いて説明す
る。
なお、ここでは、被支持可動体98は下方にピ
ン99が装着されている。なお、Z,Xの1平面
内で説明する。また、重心Gの位置を座標原点と
して説明する。
ン99が装着されている。なお、Z,Xの1平面
内で説明する。また、重心Gの位置を座標原点と
して説明する。
今、リニア直流アクチユエータ要素による被支
持可動体98が機械的接触がない状態で支持され
ている時を平衡状態とする。
持可動体98が機械的接触がない状態で支持され
ている時を平衡状態とする。
次に、ピン99の先端のある点が接触し、これ
を検知し、Z軸方向の送りを停止し、保持した状
態において、リニア直流アクチユエータ要素の各
空芯コイルの電流値から、上方のラジアル軸受部
による支持力の平衡状態からの変化f1、下方のラ
ジアル軸受部による支持力の平衡状態からの変化
f2、スラスト軸受部による支持力の平衡状態から
の変化f3を求めることができる。
を検知し、Z軸方向の送りを停止し、保持した状
態において、リニア直流アクチユエータ要素の各
空芯コイルの電流値から、上方のラジアル軸受部
による支持力の平衡状態からの変化f1、下方のラ
ジアル軸受部による支持力の平衡状態からの変化
f2、スラスト軸受部による支持力の平衡状態から
の変化f3を求めることができる。
そのf1の作用点の重心Gからの距離をl1、
そのf2の作用点の重心Gからの距離をl2
但し、+Z方向を正、−Z方向を負とする。
そこで、Fz,Fbのxcを求める。
力の釣り合いから、
f1+f2+Fb=0
f3+Fz=0
f1l1+f2l2+Fzxc+Fbl3=0
が成立する。
これより、
Fz=−f3
Fb=−(f1+f2)
xc=(f1l1+f2l2−f1l3−f2l3)/−f3
=〔(l3−l1)f1+(l3−l2)f2〕/f3
で求めることができる。
上の式から分かるように、(l3−l1),(l3−l2)
が分かつておればよく、結果的には被支持可動体
98の重心位置を知る必要はない。
が分かつておればよく、結果的には被支持可動体
98の重心位置を知る必要はない。
ピン99の質量、長さが変化しても、ピン99
長さを知ることで対応することができる。
長さを知ることで対応することができる。
このように、各要素の支持力との釣り合い式か
らそのFz,Fbの大きさと共に接触点の位置を推
定できる。つまり、磁気浮上手段により完全に非
接触支持されていたものが、初めて、一点のみ機
械的接触があるようになつたという条件下におい
て、推定が可能になる。稀に、部材の穴の周縁の
2点で接触する場合があるが、この場合は、計算
では一点のみで接触しているとみなして処理する
が、その点は2点の中間のある位置となるので、
後に述べる位置の修正法には問題はない。
らそのFz,Fbの大きさと共に接触点の位置を推
定できる。つまり、磁気浮上手段により完全に非
接触支持されていたものが、初めて、一点のみ機
械的接触があるようになつたという条件下におい
て、推定が可能になる。稀に、部材の穴の周縁の
2点で接触する場合があるが、この場合は、計算
では一点のみで接触しているとみなして処理する
が、その点は2点の中間のある位置となるので、
後に述べる位置の修正法には問題はない。
次に、第19図に戻り、前記した穴の探索(前
記ステツプ)により面取り部94から内側の穴
内にピン91をあやつり、第19図bに示される
ように、ピン91が内側の穴内に至ると、Fz≧Fs
状態からFz<Fsに変化するので、これを検出し
て、ハンド下げを行う(前記ステツプ)。
記ステツプ)により面取り部94から内側の穴
内にピン91をあやつり、第19図bに示される
ように、ピン91が内側の穴内に至ると、Fz≧Fs
状態からFz<Fsに変化するので、これを検出し
て、ハンド下げを行う(前記ステツプ)。
次に、第19図bに示されるように、ピン91
が穴93にカジリ付くか否かをみながら、挿入し
て行く。
が穴93にカジリ付くか否かをみながら、挿入し
て行く。
以下、第19図c及び第19図dに示されるよ
うに、前記したステツプ〜〓にしたがつて、ピ
ンの挿入作業を遂行する。
うに、前記したステツプ〜〓にしたがつて、ピ
ンの挿入作業を遂行する。
また、対象とするピンの長さの変化に対して、
機械的変化がなく、直ぐに対応できる。
機械的変化がなく、直ぐに対応できる。
更に、各支持要素としての空芯コイルのゲイン
を調整することによつて任意の位置にコンプライ
アンスセンタを設定するようにすることもでき
る。
を調整することによつて任意の位置にコンプライ
アンスセンタを設定するようにすることもでき
る。
ところで、RCC機構はピンの先端部に加わる
力に対してその剛性の中心がピンの先端の中心の
位置になるようにバネによつて機構的に工夫した
ものである。
力に対してその剛性の中心がピンの先端の中心の
位置になるようにバネによつて機構的に工夫した
ものである。
説明を第22図を用いて、X,Z平面について
行う。
行う。
この場合、
(1) X方向の力Fbがピン100の端部に加わつ
た時、ピン100がX方向に並進するように変
位すること。
た時、ピン100がX方向に並進するように変
位すること。
(2) また、Z方向の力Fzに対しては、この作用に
よつて生じるモーメントによつてRCC点10
1を中心に回転変位すること。
よつて生じるモーメントによつてRCC点10
1を中心に回転変位すること。
を満たすような弾性系をハンドに持たせるように
したものである。
したものである。
そこで、第23図において可動体102にピン
103が装着される場合、 P0:ピン103の先端の中心、x1:P0から距
離l11の点p1のx方向の変位、x2:P0から
距離l21の点p2のx方向の変位。
103が装着される場合、 P0:ピン103の先端の中心、x1:P0から距
離l11の点p1のx方向の変位、x2:P0から
距離l21の点p2のx方向の変位。
とすると、
前記したハンドで点p1にf1、点p2にf2の作用力
を発生するようにすることができる。
を発生するようにすることができる。
今、P0から距離aだけ離れた点で端部が接触
し、Fb,Fzが接触点からピン103に働いてい
るとする。
し、Fb,Fzが接触点からピン103に働いてい
るとする。
力の釣り合いから
f1+f2=Fb ……
l11f1+l21f2=a・Fz ……
を満たすことが必要である。
RCC機構の機能とは、この時、次の関係を満
たすことである。
たすことである。
x1=xb1+xz1 ……
x2=xb2+xz2 ……
xb1=xb2=kb・Fb ……
xz1=xz2・(l11/l21)=kz・a・Fz ……
但し、xb1はFbに対する点p1の変位変化
xb2はFbに対する点p2の変位変化
xz1はa・Fzに対する点p1の変位変化
xz2はa・Fzに対する点p2の変位変化
kbはFbに対する剛性係数、
kzはa・Fzのモーメントに対する剛性係数
である。
一方、磁気軸受機構はf1,f2をx1,x2に対し
て、 f1=k11x1+k12x2 …… f2=k21x1+k22x2 …… の関係で得るようにすることができる。
て、 f1=k11x1+k12x2 …… f2=k21x1+k22x2 …… の関係で得るようにすることができる。
但し、k11,k12,k21,k22はフイードバツクゲ
インである。
インである。
x1,x2は最小2個のギヤツプセンサの検出値か
ら線形演算で得ることができる。つまり、オペア
ンプ或いはコンピユータで演算可能である。
ら線形演算で得ることができる。つまり、オペア
ンプ或いはコンピユータで演算可能である。
そして、前記k11,k12,k21,k22の値を上記
乃至を満たすように決定することができる。
乃至を満たすように決定することができる。
〔1〕 今、Fz=0の場合を考える。つまり、
Fbだけ働いたとすると、上記及びより、 f1+f2=Fb …… l11f1+l21f2=0 …… 上記及びより、 xb1=xb2=kb・Fb …… xZ1=xZ2・(l11/l21)=0 …… 上記と上記より、 x1=xb1=kb・Fb …… 上記と上記より、 x2=xb2=kb・Fb …… 上記に上記及びを代入し、 f1+f2=(k11+k21)x1 +(k12+k22)x2 ……〓 これに更に上記,を代入して、 ∴Fb=(k11+k21)kb・Fb +(k12+k22)kb・Fb …… ∴1=(k11+k21+k12+k22)kb ……(i) また、上記と,、更に、及びより、 l11f1+l21f2=(l11k11+l21k21)x1 +(l11k12+l21k22)x2 =(l11k11+l21k21+l11k12+l21k22) ・kb・Fb …… 0=l11k11+l21k21+l11k12+l21k22 ……() 〔2〕 Fb=0の場合、つまり、Fzだけが働い
た場合。
Fbだけ働いたとすると、上記及びより、 f1+f2=Fb …… l11f1+l21f2=0 …… 上記及びより、 xb1=xb2=kb・Fb …… xZ1=xZ2・(l11/l21)=0 …… 上記と上記より、 x1=xb1=kb・Fb …… 上記と上記より、 x2=xb2=kb・Fb …… 上記に上記及びを代入し、 f1+f2=(k11+k21)x1 +(k12+k22)x2 ……〓 これに更に上記,を代入して、 ∴Fb=(k11+k21)kb・Fb +(k12+k22)kb・Fb …… ∴1=(k11+k21+k12+k22)kb ……(i) また、上記と,、更に、及びより、 l11f1+l21f2=(l11k11+l21k21)x1 +(l11k12+l21k22)x2 =(l11k11+l21k21+l11k12+l21k22) ・kb・Fb …… 0=l11k11+l21k21+l11k12+l21k22 ……() 〔2〕 Fb=0の場合、つまり、Fzだけが働い
た場合。
上記及びより、
f1+f2=0 ……
l11f1+l21f2=a・Fz ……
また、上記,,及びより、
x1=0+xz1=kz・a・Fz ……
x2=0+xz2=(l21/l11)・kz・a・Fz ……
上記及びより、
f1+f2=(k11+k21)x1
+(k12+k22)x2 ……
上記と,及びk11+k21)・kz・a・Fz
+(k12+k22)(l21/l11)・kz・a・Fz……〓〓
故に、
l11k11+l11k21+l21k12+l21k22=0 ……()
上記と及びより、
l11f1+l21f2=(l11k11+l21k21)・x1+(l11k12+
l21
k22)x2 …… 更に、上記及びより、 a・Fz=(l11k11+l21k21)・kz・a・Fz+(l11k12
+l21k22)(l21/l11)・kz・a・Fz ……〓〓 ∴1=〔l11k11+l21k21+l21k12 +(l21 2/l11)k22〕kz ……() FbとFzの両方の力が働いた場合においても重
ね合わせできることから、 上記()()()()式から k11,k12,k21,k22を決定することができる。
l21
k22)x2 …… 更に、上記及びより、 a・Fz=(l11k11+l21k21)・kz・a・Fz+(l11k12
+l21k22)(l21/l11)・kz・a・Fz ……〓〓 ∴1=〔l11k11+l21k21+l21k12 +(l21 2/l11)k22〕kz ……() FbとFzの両方の力が働いた場合においても重
ね合わせできることから、 上記()()()()式から k11,k12,k21,k22を決定することができる。
即ち、
k11+k21+k12+k22=1/kb ……()′
l11k11+l21k21+l11k12+l21k22=0 ……()′
l11k11+l11k21+l21k12+l21k22=0 ……()′
l11k11+l21k21+l21k12
+(l21 2/l11)・k22=1/kz ……()′
上記()′〜()′の連立方程式は、4個の
未知数k11,k21,k12,k22に対して、一般に独立
な4個の式が存在することにより、解を求めるこ
とができる。
未知数k11,k21,k12,k22に対して、一般に独立
な4個の式が存在することにより、解を求めるこ
とができる。
即ち、前記連立方程式を解くと、
()′と()′より
(l21−l11)k21+(l11−l21)k12=0
∴k21−k12=0
∴k21=k12
従つて、
k11+2k12+k22=1/Kb ……()″
l11k11+(l11+l21)k12+l21k22=0 ……()″
l11k11+2l21k12+(l21 2/l11)・k22=1/kz
故に、
l11 2k11+2l11・l21k12+l21 2k22
=l11/kz ……()″
この3元1次方程式を解くと、
結局、解は、次のようになる。
k11=〔(l21 2/kb)+(l11/kz)〕
/(l11−l21)2
k12=k21
=〔−(l11l21/kb)−(l11/kz)〕
/(l11−l21)2
k22=〔(l11 2/kb)+(l11/kz)〕
/(l11−l21)2
このような関係を満足するようにk11,k21,
k12,k22を決定すればよい。
k12,k22を決定すればよい。
つまり、Fbによる並進運動に対する剛性kb及
びFzによるRCC点まわりの回転運動に対する剛
性係数kzを設定した場合に対して、k11,k21,
k12,k22を決定することができる。
びFzによるRCC点まわりの回転運動に対する剛
性係数kzを設定した場合に対して、k11,k21,
k12,k22を決定することができる。
そこで、第24図に示されるように嵌め合いを
行うピン103が装着された空芯コイル104を
有する可動体102に固定磁極108,109及
びギヤツプセンサ106,107を対向させ、可
動体102を第25図に示されるように制御す
る。つまり、ギヤツプセンサ106及び107に
より、ギヤツプ信号g1及びg2を得手、線形演算回
路111により、x1及びx2を得る。そのx1及びx2
に基づいて、線形演算回路112により、電磁吸
引力f1及びf2の指令値fc1,fc2を得る。その指令
値fc1,fc2を演算アンプ113及び114に与え
て、現在の空芯コイル104及び空芯コイル10
5の励磁電流とを比較し、電磁吸引力f1及びf2を
発生させるようにすることができる。
行うピン103が装着された空芯コイル104を
有する可動体102に固定磁極108,109及
びギヤツプセンサ106,107を対向させ、可
動体102を第25図に示されるように制御す
る。つまり、ギヤツプセンサ106及び107に
より、ギヤツプ信号g1及びg2を得手、線形演算回
路111により、x1及びx2を得る。そのx1及びx2
に基づいて、線形演算回路112により、電磁吸
引力f1及びf2の指令値fc1,fc2を得る。その指令
値fc1,fc2を演算アンプ113及び114に与え
て、現在の空芯コイル104及び空芯コイル10
5の励磁電流とを比較し、電磁吸引力f1及びf2を
発生させるようにすることができる。
なお、一般には、第1図に示されるように、ギ
ヤツプセンサからの出力信号を制御装置60に読
み込み、制御装置60内において、上記した各演
算処理を行い、電磁吸引力f1及びf2を発生させる
ようにすることができる。
ヤツプセンサからの出力信号を制御装置60に読
み込み、制御装置60内において、上記した各演
算処理を行い、電磁吸引力f1及びf2を発生させる
ようにすることができる。
また、非接触で支持した場合及びピンの先端で
接触した場合の安定性を増すために、ダンピング
を加える必要があるが、この場合には、 f1 f2=k11,k12 k21,k22 x1 x1+D11,D12 D21,D22 x1 x2 となるように、x1,x2に対して、f1,f2を発生す
るように制御系を構成することにより、任意のダ
ンピング特性を設定することができる。
接触した場合の安定性を増すために、ダンピング
を加える必要があるが、この場合には、 f1 f2=k11,k12 k21,k22 x1 x1+D11,D12 D21,D22 x1 x2 となるように、x1,x2に対して、f1,f2を発生す
るように制御系を構成することにより、任意のダ
ンピング特性を設定することができる。
ここで、x・1,x・2はx1,x2の時間微分を表し、
一般には、 D11,D12 D21,D22=Ck11,k12 k21,k22 の関係で求めて良い。
一般には、 D11,D12 D21,D22=Ck11,k12 k21,k22 の関係で求めて良い。
この場合は、Z軸方向に関しては、特に、非接
触支持である場合はなく、バネなどで支持するよ
うにしても良い。このように構成すると、f1をx1
からだけでなく、x1とx2とから、f2をx2からだけ
でなく、x1とx2とから決めることができる。
触支持である場合はなく、バネなどで支持するよ
うにしても良い。このように構成すると、f1をx1
からだけでなく、x1とx2とから、f2をx2からだけ
でなく、x1とx2とから決めることができる。
このようにして、RCCハンドと等価又は更に
機能が付加された組立ハンドを構成することがで
きる。
機能が付加された組立ハンドを構成することがで
きる。
次に、第26図及び第27図は本発明の第3の
実施例を示す角形ピンの自動組立ハンドの構成図
である。
実施例を示す角形ピンの自動組立ハンドの構成図
である。
図中、120はロボツト或いは組立機の位置決
め機構、121はハンドの外枠、122乃至12
5はリニア直流アクチユエータの固定磁極、12
6乃至130はギヤツプセンサ、131はバネ、
132は被支持可動体、133はチヤツク、13
4は角形の挿入部品、135は凹部を有する部
品、136は空気軸受、137は基台である。
め機構、121はハンドの外枠、122乃至12
5はリニア直流アクチユエータの固定磁極、12
6乃至130はギヤツプセンサ、131はバネ、
132は被支持可動体、133はチヤツク、13
4は角形の挿入部品、135は凹部を有する部
品、136は空気軸受、137は基台である。
この図に示されるように、基台137上に置か
れた嵌め合いが行われる凹部を有する部品135
へ角形の挿入部品134を挿入する作業の場合、
XZ面内でのリニア直流アクチユエータによる制
御が重要となり、Y方向に関しては、可動体13
2へのXZ面成分の力を極力発生しないような支
持機構、例えば、空気軸受を用いるようにすれば
良い。ボールベアリングのボールを介して可動体
を支持しても良い。
れた嵌め合いが行われる凹部を有する部品135
へ角形の挿入部品134を挿入する作業の場合、
XZ面内でのリニア直流アクチユエータによる制
御が重要となり、Y方向に関しては、可動体13
2へのXZ面成分の力を極力発生しないような支
持機構、例えば、空気軸受を用いるようにすれば
良い。ボールベアリングのボールを介して可動体
を支持しても良い。
また、Z軸方向に関しては、バネを用いて支持
しても良く、この場合のバネ力は極力Z軸方向と
一致することが望ましい。
しても良く、この場合のバネ力は極力Z軸方向と
一致することが望ましい。
このように本発明は2次元平面上での組み立て
へも適用することができる。組立作業に直接関与
するXZ面内での支持力の制御以外は、バネ、ボ
ール、ころ、空気軸受等の支持機構を用いてもよ
い。
へも適用することができる。組立作業に直接関与
するXZ面内での支持力の制御以外は、バネ、ボ
ール、ころ、空気軸受等の支持機構を用いてもよ
い。
なお、本発明は上記実施例に限定されるもので
はなく、本発明の趣旨を基づいて種々の変形が可
能であり、これらを本発明の範囲から排除するも
のではない。
はなく、本発明の趣旨を基づいて種々の変形が可
能であり、これらを本発明の範囲から排除するも
のではない。
(発明の効果)
以上、詳細に説明したように本発明によれば、
リニア直流アクチユエータ形手首機構を具備し、
該手首機構によつて挿入部品を支持すると共に、
姿勢を制御可能にし、挿入部品の挿入過程での状
態の判別と接触点の位置の推定を手首機構に組み
込まれている空芯コイルの電流信号に基づいて行
い、前記挿入部品の挿入作業を行うための挿入部
品の位置、姿勢の調整を前記手首機構によつて能
動的に行うようにしたので、 (1) 力の推定を簡単な装置で、しかも正確に行う
ことができる。
リニア直流アクチユエータ形手首機構を具備し、
該手首機構によつて挿入部品を支持すると共に、
姿勢を制御可能にし、挿入部品の挿入過程での状
態の判別と接触点の位置の推定を手首機構に組み
込まれている空芯コイルの電流信号に基づいて行
い、前記挿入部品の挿入作業を行うための挿入部
品の位置、姿勢の調整を前記手首機構によつて能
動的に行うようにしたので、 (1) 力の推定を簡単な装置で、しかも正確に行う
ことができる。
(2) 制御系の線形化のためのバイアス電流が不要
である。
である。
(3) 一自由度の位置の制御を一個のリニア直流ア
クチユエータ要素で行うことができる。これに
対し、電磁石による吸引力を利用したものは、
吸引力のみしか発生しないので、通常一対の電
磁石を必要とするのに対して、このリニア直流
アクチユエータでは電流の流れる向きが変われ
ば、力の方向も変わることにより、一個の要素
で制御することができる。
クチユエータ要素で行うことができる。これに
対し、電磁石による吸引力を利用したものは、
吸引力のみしか発生しないので、通常一対の電
磁石を必要とするのに対して、このリニア直流
アクチユエータでは電流の流れる向きが変われ
ば、力の方向も変わることにより、一個の要素
で制御することができる。
(4) 更に、数mm〜数cmの移動距離を容易に実現で
きることにより、組立用ハンドとして利用した
場合、位置、姿勢の修正可能範囲が通常の磁気
軸受に比べて拡大する。
きることにより、組立用ハンドとして利用した
場合、位置、姿勢の修正可能範囲が通常の磁気
軸受に比べて拡大する。
(5) 挿入作業の対象となる挿入部品の長さが変化
しても、これに伴う機械的な変更を伴うことな
く、直ぐに対応でき、弾力的に運用することが
できる。
しても、これに伴う機械的な変更を伴うことな
く、直ぐに対応でき、弾力的に運用することが
できる。
(6) 手首機構に連結されるハンドの移動時には手
首機構の剛性を高くして振動を抑えることがで
き、作業能率の向上を図ることができる。
首機構の剛性を高くして振動を抑えることがで
き、作業能率の向上を図ることができる。
(7) 手首機構で非接触、かつ、バネを介したよう
にしてピンを支持しているため、従来のよう
に、剛体でピンを把持して穴の面に衝突させる
場合に比べてシヨツクをやわらげることができ
る。
にしてピンを支持しているため、従来のよう
に、剛体でピンを把持して穴の面に衝突させる
場合に比べてシヨツクをやわらげることができ
る。
(8) 装置を簡素化すると共に、コンパクトに構成
することができる。
することができる。
(9) RCCハンドと等価或いは更に機能が付加さ
れたハンドを構成することができる。
れたハンドを構成することができる。
第1図は本発明の自動組立ハンドの断面図、第
2図は本発明の自動組立システムを示す全体構成
図、第3図は本発明のリニア直流アクチユエータ
(ボイスコイル形アクチユエータ)要素の断面図、
第4図はそのアクチユエータ要素の固定磁極の断
面図、第5図は第4図のA−A線矢視図、第6図
は固定磁極へ筒状に巻回された空芯コイルを組み
合わせた断面図、第7図はその空芯コイルの断面
図、第8図は本発明の第2実施例を示すリニア直
流アクチユエータの断面図、第9図は第8図のB
−B線矢視図、第10図は本発明の第3実施例を
示すリニア直流アクチユエータの断面図、第11
図は第10図のC−C線矢視図、第12図は本発
明の第4実施例を示すリニア直流アクチユエータ
の固定磁極の斜視図、第13図はそのアクチユエ
ータのコイルの斜視図、第14図はそのリニア直
流アクチユエータの断面図、第15図は第14図
のD−D線矢視図、第16図はそのアクチユエー
タを具備する自動組立ハンドの断面図、第17図
は本発明のピンの挿入作業工程図、第18図は本
発明の自動組立作業のフローチヤート、第19図
は本発明の面取りがある穴へのピンの挿入作業説
明図、第20図はリニア直流アクチユエータの模
式図、第21図はピンの状態の判別とピンの接触
点の位置の推定手法の説明図、第22図乃至第2
4図は本発明の磁気形RCC機構の説明図、第2
5図は本発明の磁気形RCC機構の回路図、第2
6図は本発明の第5実施例を示す自動組立ハンド
の断面図、第27図はその自動組立ハンドのE−
E線矢視図、第28図は第1の従来例を示す
RCC機構の構成図、第29図はそのRCC機構の
動作説明図、第30図は第2の従来例の動作説明
図、第31図はその手首機構の斜視図である。 20,80,121……ハンドの外枠、21,
22,23,24,25,60,68,72,8
1,82,83,108,109,122,12
3,125……固定磁極、26,27,28,2
9,30,63,104,105……空心コイ
ル、31,32,33,34,35,36,3
7,106,107,126〜130……位置検
出器(ギヤツプセンサ)、40,74,102,
95,98,132……可動体、41,75,1
33……チヤツク、42,76,100,10
3,91,99……ピン、43,92……部材、
44,93……穴、50……リニア直流アクチユ
エータ形手首機構の制御装置、51……CPU(中
央制御装置)、52……メモリ、53……入出力
インターフエース、54……デイスプレイ付入出
力装置、55……電源、56……パワー制御部、
58……ハンドを制御するロボツト本体制御装
置、61……円柱、62……円筒体、67,71
……角形空芯コイル、69……角柱、70……山
形部材、86,87,88……矩形状のコイル、
94……面取り部、101……RCC点、111,
112……線形演算回路、113,114……演
算アンプ、120……位置決め機構、131……
バネ、134……角形の挿入部品、135……凹
部を有する部品、136……空気軸受、137…
…基台。
2図は本発明の自動組立システムを示す全体構成
図、第3図は本発明のリニア直流アクチユエータ
(ボイスコイル形アクチユエータ)要素の断面図、
第4図はそのアクチユエータ要素の固定磁極の断
面図、第5図は第4図のA−A線矢視図、第6図
は固定磁極へ筒状に巻回された空芯コイルを組み
合わせた断面図、第7図はその空芯コイルの断面
図、第8図は本発明の第2実施例を示すリニア直
流アクチユエータの断面図、第9図は第8図のB
−B線矢視図、第10図は本発明の第3実施例を
示すリニア直流アクチユエータの断面図、第11
図は第10図のC−C線矢視図、第12図は本発
明の第4実施例を示すリニア直流アクチユエータ
の固定磁極の斜視図、第13図はそのアクチユエ
ータのコイルの斜視図、第14図はそのリニア直
流アクチユエータの断面図、第15図は第14図
のD−D線矢視図、第16図はそのアクチユエー
タを具備する自動組立ハンドの断面図、第17図
は本発明のピンの挿入作業工程図、第18図は本
発明の自動組立作業のフローチヤート、第19図
は本発明の面取りがある穴へのピンの挿入作業説
明図、第20図はリニア直流アクチユエータの模
式図、第21図はピンの状態の判別とピンの接触
点の位置の推定手法の説明図、第22図乃至第2
4図は本発明の磁気形RCC機構の説明図、第2
5図は本発明の磁気形RCC機構の回路図、第2
6図は本発明の第5実施例を示す自動組立ハンド
の断面図、第27図はその自動組立ハンドのE−
E線矢視図、第28図は第1の従来例を示す
RCC機構の構成図、第29図はそのRCC機構の
動作説明図、第30図は第2の従来例の動作説明
図、第31図はその手首機構の斜視図である。 20,80,121……ハンドの外枠、21,
22,23,24,25,60,68,72,8
1,82,83,108,109,122,12
3,125……固定磁極、26,27,28,2
9,30,63,104,105……空心コイ
ル、31,32,33,34,35,36,3
7,106,107,126〜130……位置検
出器(ギヤツプセンサ)、40,74,102,
95,98,132……可動体、41,75,1
33……チヤツク、42,76,100,10
3,91,99……ピン、43,92……部材、
44,93……穴、50……リニア直流アクチユ
エータ形手首機構の制御装置、51……CPU(中
央制御装置)、52……メモリ、53……入出力
インターフエース、54……デイスプレイ付入出
力装置、55……電源、56……パワー制御部、
58……ハンドを制御するロボツト本体制御装
置、61……円柱、62……円筒体、67,71
……角形空芯コイル、69……角柱、70……山
形部材、86,87,88……矩形状のコイル、
94……面取り部、101……RCC点、111,
112……線形演算回路、113,114……演
算アンプ、120……位置決め機構、131……
バネ、134……角形の挿入部品、135……凹
部を有する部品、136……空気軸受、137…
…基台。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 (a) ハンドに組み込まれる可動体を支持する
と共に、該可動体の姿勢を調整可能なリニア直
流アクチユエータ要素と、 (b) 前記可動体の先端部に装着される挿入部品
と、 (c) 前記挿入部品の嵌め合い穴への挿入過程での
該挿入部品の状態の判別と該挿入部品の接触点
の位置を前記リニア直流アクチユエータ要素の
空芯コイルの電流値に基づいて推定し、前記挿
入部品の姿勢の調整を行い、該挿入部品の嵌め
合い穴への挿入を行うようにしたことを特徴と
する自動組立ハンド。 2 前記可動体のZ軸方向支持を行うバネを具備
するようにしたことを特徴とする特許請求の範囲
第1項記載の自動組立ハンド。 3 前記各リニア直流アクチユエータ要素のゲイ
ンを調整可能にして前記リニア直流アクチユエー
タ要素の剛性を安定範囲内で任意に設定するよう
にしたことを特徴とする特許請求の範囲第1項記
載の自動組立ハンド。 4 前記挿入部品の姿勢の調整は、該挿入部品の
穴への挿入移動距離と、前記挿入部品と穴とのク
リアランス量とに基づいて行うようにしたことを
特徴とする特許請求の範囲第1項記載の自動組立
ハンド。 5 (a) 移動可能なハンドと、 (b) 該ハンドに組み込まれる可動体を支持すると
共に、該可動体の姿勢を調整可能なリニア直流
アクチユエータ要素と、 (c) 前記可動体の先端に装着される挿入部品と、 (d) 該挿入部品の端部に水平方向の力が印加され
た場合、前記リニア直流アクチユエータ要素に
より、該挿入部品を並進させる手段と、 (e) 該挿入部品の端部に該挿入部品を回転させる
力が印加された場合、前記リニア直流アクチユ
エータ要素により、該挿入部品をそのコンプラ
イアンスセンタを中心に回転させる手段とを具
備してなる自動組立ハンド。 6 前記挿入部品は円柱状のピンであることを特
徴とする特許請求の範囲第1項乃至第5項のいず
れか1項に記載の自動組立ハンド。 7 前記挿入部品は角柱状のピンであることを特
徴とする特許請求の範囲第1項乃至第5項のいず
れか1項に記載の自動組立ハンド。 8 前記穴の形状は円柱状であることを特徴とす
る特許請求の範囲第1項乃至第5項のいずれか1
項に記載の自動組立ハンド。 9 前記穴の形状は角柱状であることを特徴とす
る特許請求の範囲第1項乃至第5項のいずれか1
項に記載の自動組立ハンド。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62035902A JPS63207531A (ja) | 1987-02-20 | 1987-02-20 | 自動組立ハンド |
| US07/037,919 US4884329A (en) | 1987-02-20 | 1987-04-13 | Precision automatic assembly apparatus, with electromagnetically supported member and assembly method using same |
| DE87105880T DE3787092T2 (de) | 1987-02-20 | 1987-04-22 | Präzisionsgerät zum automatischen Zusammenbau und dafür anwendbares Zusammenbauverfahren. |
| EP87105880A EP0283547B1 (en) | 1987-02-20 | 1987-04-22 | Precision automatic assembly apparatus, and assembly method using same |
| KR1019870004974A KR920006486B1 (ko) | 1987-02-20 | 1987-05-19 | 정밀자동조립장치 및 이를 이용한 조립방법 |
| US07/185,019 US4882837A (en) | 1987-02-20 | 1988-04-22 | Precision automatic assembly apparatus including face to face magnets and an air core coil therebetween |
| US07/184,744 US4882836A (en) | 1987-02-20 | 1988-04-22 | Precision automatic assembly apparatus including air core coils and corresponding magnetic poles |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62035902A JPS63207531A (ja) | 1987-02-20 | 1987-02-20 | 自動組立ハンド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63207531A JPS63207531A (ja) | 1988-08-26 |
| JPH0435294B2 true JPH0435294B2 (ja) | 1992-06-10 |
Family
ID=12454958
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62035902A Granted JPS63207531A (ja) | 1987-02-20 | 1987-02-20 | 自動組立ハンド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63207531A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2642797B2 (ja) * | 1991-05-28 | 1997-08-20 | 松下電工株式会社 | 穴加工方法およびその装置 |
-
1987
- 1987-02-20 JP JP62035902A patent/JPS63207531A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63207531A (ja) | 1988-08-26 |
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