JPH04354854A - ガラス封着合金線 - Google Patents

ガラス封着合金線

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JPH04354854A
JPH04354854A JP15777491A JP15777491A JPH04354854A JP H04354854 A JPH04354854 A JP H04354854A JP 15777491 A JP15777491 A JP 15777491A JP 15777491 A JP15777491 A JP 15777491A JP H04354854 A JPH04354854 A JP H04354854A
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渡辺 幸良
Akio Hashimoto
彰夫 橋本
Toshiaki Fujita
敏明 藤田
Tadao Ogawa
小川 忠夫
Masakazu Ninomiya
正和 二宮
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体や表示管、水
晶発振子等に用いられるFe−Ni系及びFe−Ni−
Co系ガラス封着合金線の改良に係り、C及びSi、M
n、S、O、N含有量並びに結晶粒径を規制して、酸液
に浸漬する等の粗面化処理後の特定の寸法の表面凹み数
を低減し、表面を均一で特定の表面粗さにしたことによ
り、ガラスとの封着部寸法が極小寸法でも封着強度を低
下させないFe−Ni系及びFe−Ni−Co系ガラス
封着合金線に関する。
【0002】
【従来の技術】従来からNi40wt%〜55wt%、
残部Feを主成分とするFe−Ni系合金線や、Ni2
5wt%〜35wt%、Co13wt%〜20wt%、
残部Feを主成分とするFe−Ni−Co系合金線は、
ガラスとの熱膨張特性が近似することから、半導体や表
示管、水晶発振子等のガラス封着合金線として多用され
ている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】近年これらの電子機器
業界においては、従来にない小型軽量化の要求にともな
い、リード端子が細径化され、かつガラス封着部の寸法
が最小限に採られ、封着部の寸法が2mm以下、特に1
mm以下になると、いかに封着強度の大きな上記合金線
と言えども大幅に封着強度が低下し、要求されるガラス
封着強度を維持することが困難となり、重大欠陥である
リーク不良などの不具合につながる。
【0004】この発明は、ガラスとの封着部寸法が極小
寸法の場合でも封着強度が低下しないFe−Ni系合金
線およびFe−Ni−Co系合金線の提供を目的として
いる。
【0005】
【課題を解決するための手段】発明者らは、ガラスとの
封着部寸法が小寸法の場合でも封着強度を低下させない
構成を目的として、従来から知られるFe−Ni系合金
やFe−Ni−Co系合金の表面性状を種々検討した結
果、表面性状に影響を及ぼすC及びSi、Mn、S、O
、N含有量、結晶粒径を規制し特定の清浄度を得て、表
面の特定の寸法の表面凹み数を低減し、さらに特定の表
面粗さに規制することにより、封着部寸法が極小寸法の
場合でも満足する封着強度が得られることを知見し、こ
の発明を完成したものである。
【0006】すなわち、この発明は、Ni  40wt
%〜55wt%、残部Feを主成分とし、C  0.0
08wt%以下、Si  0.01wt%〜0.25w
t%、Mn  0.05wt%〜1.0wt%、S  
0.001wt%〜0.01wt%、Mn/S=10〜
300、O  50ppm以下、N  50ppm以下
の含有であるとともに、清浄度がA系介在物とB系介在
物及びC系介在物の合計で300ppm以下であり、結
晶粒径が5〜30μm、表面粗さRmaxが0.5μm
〜1.0μmでかつ軸方向長さが20μm以上、深さ1
μm以下の凹みの数が100ケ/cm2以下であること
を特徴とするFe−Ni系ガラス封着合金線である。
【0007】また、この発明は、Ni  25wt%〜
35wt%、Co  13wt%〜20wt%、残部F
eを主成分とし、C  0.008wt%以下、Si 
 0.01wt%〜0.25wt%、Mn  0.05
wt%〜1.0wt%、S  0.001wt%〜0.
01wt%、Mn/S=10〜300、O  50pp
m以下、N  50ppm以下の含有であるとともに、
清浄度がA系介在物とB系介在物及びC系介在物の合計
で300ppm以下であり、結晶粒径が5〜30μm、
表面粗さRmaxが0.5μm〜1.0μmでかつ軸方
向長さが20μm以上、深さ1μm以下の凹みの数が1
00ケ/cm2以下であることを特徴とするFe−Ni
−Co系ガラス封着合金線である。
【0008】
【作用】この発明は、Fe−Ni系またはFe−Ni−
Co系ガラス封着合金線において、表面性状に影響を及
ぼすC及びSi、Mn、S、O、N含有量を規制して特
定の清浄度となし、かつ結晶粒径を規制して、酸液に浸
漬する等の粗面化処理後の特定の寸法の表面凹み数を低
減され、表面が均一で特定の表面粗さになることにより
、ガラスとの密着性を向上させ高い封着強度を得ること
を特徴とし、例えば、特定の当該表面性状を有し所定外
径寸法に加工されたガラス封着合金線に、公知の方法に
てガラスと封着すると、封着部の寸法が2mm以下、特
に1mm程度と小さな場合であっても、従来品と比較し
てガラスとの食い付きが良好になり、実施例に示す如く
高い封着強度を得ることができる。
【0009】上述のこの発明によるガラス封着合金線の
主たる特徴である表面性状を量産規模にて得るためには
、後述する酸液に浸漬する粗面化処理を施すことが効果
的である。
【0010】組成限定理由 この発明のFe−Ni系ガラス封着合金線において、N
iは基本成分であり、40wt%未満では熱膨張係数の
変位点が低くなりすぎ、55wt%を超えると熱膨張係
数が大きくなりすぎ、いずれもガラスの熱膨張係数との
差が大きくなるので好ましくなく、Niの含有量を40
wt%〜55wt%に限定する。より好ましくは45w
t%〜55wt%であり、さらに好ましくは47wt%
〜53wt%である。Feも基本成分であり実質的に前
記Niを含有した残余の範囲とする。
【0011】一方、Fe−Ni−Co系ガラス封着合金
線において、Niは基本成分であり、Coの含有量を考
慮して適宜選定されるが、25wt%未満では熱膨張係
数が小さくなりすぎ、35wt%を超えると熱膨張係数
が大きくなりすぎ、いずれもガラスの熱膨張係数との差
が大きくなるので好ましくなく、Niの含有量を25w
t%〜35wt%に限定する。より好ましくは29wt
%〜32wt%である。
【0012】CoもNiと同様に基本成分であり、Ni
の含有量を考慮して適宜選定されるが、13wt%未満
では熱膨張係数が小さくなりすぎ、20wt%を超える
と熱膨張係数が大きくなりすぎ、いずれもガラスの熱膨
張係数との差が大きくなるので好ましくなく、Coの含
有量を13wt%〜20wt%に限定する。より好まし
くは14wt%〜18wt%である。Feも基本成分で
あり、実質的に前記Ni、Coを含有した残余の範囲と
する。
【0013】さらに上記Fe−Ni系、Fe−Ni−C
o系のいずれの合金線において、封着強度の向上、機械
加工性の向上等を目的にTi、Al等種々の添加元素を
含有させることも可能であるが、後述する清浄度への影
響、すなわち介在物の生成を考慮して上限値を選定する
必要がある。すなわち、製造の際に不可避的に含有され
る不純物が後述の介在物が形成されない範囲で含有され
ることを妨げないが、Ti、Al等の含有上限は、0.
02wt%以下とすることが望ましい。
【0014】Cは粗面化処理後の表面にスマットを形成
したり、ガラスとの封着時の加熱過程において表面から
ガスとして発生し、封着界面に内包される等の理由によ
りガラスとの封着強度を低下させることから、その上限
は0.008wt%以下とすることが必要であり、好ま
しくは0.005wt%以下、さらに好ましくは0.0
03wt%以下である。
【0015】Siは鋳塊中の気泡発生を防止する脱酸元
素であるとともに、ガラス封着時に重要な表面酸化被膜
の密着性を改善する効果があり、十分な該効果を得るに
は0.01wt%以上の含有が必要であるが、0.25
wt%を越えると表面酸化被膜生成時に内部酸化が深く
なりすぎるため、0.01wt%〜0.25wt%の含
有とする。さらに好ましい範囲は、0.05wt%〜0
.15wt%である。
【0016】Mnは脱酸元素であるとともに熱間加工性
を改善する効果があるが、0.05wt%未満ではかか
る効果が得られず、また1.0wt%を越えると線膨張
係数が大きくなり、ガラスの熱膨張係数との差が大きく
なり、さらにA系介在物の発生を招来して表面凹み数を
増大させて好ましくないため、0.05wt%〜1.0
wt%の含有とする。さらに好ましい範囲は、0.05
wt%〜0.5wt%である。
【0017】SはMnと結合して硫化物を形成し組織内
に微細に分散することによって、線材の切断加工性を向
上させるが、必要以上に含有されると硫化物の大きなも
の及び大きな集合体を形成し、線の酸洗後の表面にピッ
トを発生する要因となるばかりでなく、線の熱間加工性
を損なうため、0.001wt%〜0.01wt%の含
有とする。さらに好ましくは、0.003wt%以下で
ある。
【0018】MnとSとの含有比Mn/Sは、組織内に
Mnと結合しないSを残存すると熱間加工性を低下させ
、封着時の重大不良であるリーク不良の要因である割れ
疵を発生し易くなるのを防止するために限定する必要が
あり、割れ疵の発生を防止するには該含有比を10異常
とする必要があり、10未満では上記目的を達成するた
めの熱間加工性を確保するためには不十分となり、30
0以上ではその効果が飽和するため、Mn/S=10〜
300とする。好ましくはMn/S=35〜200であ
る。
【0019】O、Nは酸化物、窒化物として表面に存在
した場合、粗面化処理時に近傍が優先溶解しエッチピッ
トを作り、液残留による錆び発生やめっき不良となるた
め、50ppm以下の含有とする。
【0020】清浄度、表面粗さ、表面凹み等以上の組成
からなるガラス封着合金線において、要求される特性を
満足させるためには、以下の清浄度、表面粗さ並びに表
面凹み、結晶粒径が必要となる。
【0021】清浄度は、JIS  G0555「鋼の非
金属介在物の顕微鏡試験方法」に基づくもので、A系介
在物とB系介在物及びC系介在物の合計で300ppm
以下であることが必要である。線材中に介在物が存在す
ると、酸洗後の線材表面にエッチピットと呼ばれる表面
凹みが発生する。介在物が長手方向に連なっていると、
この表面凹みが長手方向に連なり、表面性状が損なわれ
、特に、軸方向の長さが20μm以上、深さ1μm以下
の表面凹みが100ケ/cm2を超えて存在すると、要
求される表面粗さを得ることができない。好ましくは上
記の表面凹み存在が50ケ/cm2以下であることが望
まれる。このため、線材中に存在する介在物はA系、B
系、C系を含めて300ppm以下とすることが必要と
なる。すなわち、清浄度が300ppmを超えると、表
面粗さを著しく大きくし要求される諸特性が得られなく
なるだけでなく、錆発生の要因ともなり、また保管方法
にも問題が生じるため300ppm以下とすることが必
要であり、好ましくは200ppm以下である。特に、
A系介在物の発生を防ぐためには、Mnの添加量を考慮
する必要があり、1.0wt%以下、好ましくは0.5
wt%以下とすることが望まれる。
【0022】表面粗さは、封着強度に大きな影響を与え
るものであり、表面粗さRmaxが0.5μm未満であ
ると所望の封着強度が得られず、高い密着性を確保でき
ない。また、Rmaxが1.0μmを超えるとNi等と
のめっき性が低下し、所謂見映えも悪く商品価値が低下
することから、表面粗さRmaxは0.5μm〜1.0
μm範囲とする。この発明における表面粗さは、JIS
  B0601「表面粗さ」に基づき測定するもので所
定の基準長さで複数箇所のRmaxを測定し、その平均
値をこの発明における表面粗さとする。
【0023】この発明において、結晶粒径が必要以上に
大きくなると目的とする表面粗さが得られなく、また小
さすぎると加工性が悪くなることから、5μm〜30μ
mとすることが好ましく、粗面化処理前の素線に適当な
熱処理を施すことが望まれる。
【0024】以上に詳述したした表面性状の合金線を工
業規模において効率良く量産するためには、酸液に浸漬
する粗面化処理を効果的に採用することが望ましい。粗
面化処理に使用する酸液としては、所定組成からなる塩
化第2鉄、塩酸、硝酸、塩酸と硝酸との混合液等が用い
られ、また、それらの液温、合金線の浸漬時間等は、合
金線の組成、線径、減径量、要求される表面性状等によ
って適宜選定することが望ましい。さらに、粗面化処理
後の合金線の錆発生を防止するためには十分な水洗、中
和処理、乾燥を行うとともに、還元性雰囲気である水素
雰囲気で熱処理を施すことが望ましく、また保管方法に
注意を払うことが必要である。
【0025】
【実施例】実施例1 Ni  49.95wt%、C  0.001wt%、
Si  0.15wt%、Mn0.5wt%、S  0
.003wt%、Mn/S=167、O  28ppm
、N5ppm、残部実質的にFeからなる外径0.45
mmのFe−Ni合金線に、下記の条件にて粗面化処理
を施した。 酸液の組成    HCl:HNO3:H2O=1.5
:1.5:7 液温          20℃ 浸漬時間      4分 上記粗面化処理にて得られたこの発明のFe−Ni合金
線の減径量は4μm〜5μmであった。
【0026】また、このFe−Ni合金線を使用時の長
さ30mmに切断し、清浄度、表面粗さ、表面凹み、結
晶粒径、封着強度を測定した。清浄度はJIS  G0
555に基づき測定した(測定視野数60、顕微鏡の倍
率400倍)。この結果、A系介在物  0ppm、B
系介在物  40ppm、C系介在物  40ppmで
あり、これら介在物合計の清浄度は80ppmであった
。また、結晶粒径は12μmであり、合金線長さ30m
mの範囲におけるRmaxは0.9μm、さらに軸方向
長さが20μm以上、深さ1μm以下の凹みの数50ケ
/cm2以下であった。
【0027】封着強度はフリットガラスとの封着部寸法
を2mmとした時、外径寸法が同寸法で、Ni  50
.38wt%、C  0.012wt%、残部実質的に
Feからなり、上記の粗面化処理を行わない従来のFe
−Ni合金線と上記のこの発明によるFe−Ni合金線
との封着強度を比較した。その結果、この発明のFe−
Ni合金線の封着強度は10〜11kg・f、従来のF
e−Ni合金線の封着強度は8〜9kg・fであり、こ
の発明によるFe−Ni合金線の封着強度が極めて優れ
ていることを確認できた。
【0028】実施例2 Ni  29.5wt%、Co  16.1wt%、C
  0.002wt%、Si0.05wt%、Mn  
0.35wt%、S  0.003wt%、Mn/S=
117、O  31ppm、N  9ppm、残部実質
的にFeからなる外径0.46mmのFe−Ni−Co
合金線に、下記の条件にて粗面化処理を施した。 酸液の組成    Fe2Cl3:H2O=3.4:6
.6液温          20℃ 浸漬時間      4分 上記粗面化処理にて得られたこの発明のFe−Ni−C
o合金線の減径量は4μm〜5μmであった。
【0029】また、このFe−Ni−Co合金線を使用
時の長さ30mmに切断し、清浄度、表面粗さ、表面凹
み、結晶粒径、封着強度を測定した。清浄度はJIS 
 G0555に基づき測定した(測定視野数60、顕微
鏡の倍率400倍)。この結果、A系介在物  0pp
m、B系介在物  80ppm、C系介在物  40p
pmであり、これら介在物合計の清浄度は120ppm
であった。また、結晶粒径は  10μmであり、合金
線長さ30mmの範囲におけるRmaxは0.9μm、
さらに軸方向長さが20μm以上、深さ1μm以下の凹
みの数  20ケ/cm2以下であった。
【0030】封着強度はフリットガラスとの封着部寸法
を2mmとした時、外径寸法が同寸法で、Ni29.8
2wt%、Co16.15wt%、C0.01wt%、
残部実質的にFeからなり、上記の粗面化処理を行わな
い従来のFe−Ni−Co合金線と上記のこの発明によ
るFe−Ni−Co合金線との封着強度を比較した。そ
の結果、この発明のFe−Ni−Co合金線の封着強度
は12〜14kg・f、従来のFe−Ni−Co合金線
の封着強度は9〜10kg・fであり、この発明による
Fe−Ni−Co合金線の封着強度が極めて優れている
ことを確認できた。
【0031】
【発明の効果】この発明は、以上に示す如く、この発明
によるFe−Ni合金線、Fe−Ni−Co合金線は、
C含有量及びSi、Mn、S、O、N含有量並びに結晶
粒径を規制して特定の清浄度となし、かつ結晶粒径を規
制して、酸液に浸漬する等の粗面化処理後の特定の寸法
の表面凹み数を低減され、表面が均一で特定の表面粗さ
になることにより、ガラスとの密着性を向上させ、ガラ
スとの封着部寸法が極小寸法でも高い封着強度を得るこ
とができ、小型軽量化が要求され電子機器用に最適なガ
ラス封着合金線の提供を可能にする。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  Ni  40wt%〜55wt%、残
    部Feを主成分とし、C0.008wt%以下、Si 
     0.01wt%〜0.25wt%、Mn  0.05
    wt%〜1.0wt%、S  0.001wt%〜0.
    01wt%、Mn/S=10〜300、O  50pp
    m以下、N  50ppm以下の含有であるとともに、
    清浄度がA系介在物とB系介在物及びC系介在物の合計
    で300ppm以下であり、結晶粒径が5〜30μm、
    表面粗さRmaxが0.5μm〜1.0μmでかつ軸方
    向長さが20μm以上、深さ1μm以下の凹みの数が1
    00ケ/cm2以下であることを特徴とするFe−Ni
    系ガラス封着合金線。
  2. 【請求項2】  Ni  25wt%〜35wt%、C
    o  13wt%〜20wt%、残部Feを主成分とし
    、C  0.008wt%以下、Si  0.01wt
    %〜0.25wt%、Mn  0.05wt%〜1.0
    wt%、S  0.001wt%〜0.01wt%、M
    n/S=10〜300、O  50ppm以下、N  
    50ppm以下の含有であるとともに、清浄度がA系介
    在物とB系介在物及びC系介在物の合計で300ppm
    以下であり、結晶粒径が5〜30μm、表面粗さRma
    xが0.5μm〜1.0μmでかつ軸方向長さが20μ
    m以上、深さ1μm以下の凹みの数が100ケ/cm2
    以下であることを特徴とするFe−Ni−Co系ガラス
    封着合金線。
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