JPH04355945A - 半導体素子の選別方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明はＩＣ、ＬＳＩ等のよう
な半導体素子の電気的性能を測定し、その結果を判断し
て多分類に選別する半導体素子の選別方法に係るもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】従来、これらの装置は測定しようとする
半導体素子（以下単に素子とする）を収納する棒状のマ
ガジンを装置の供給側に取付け、これから素子を送り出
して測定、選別して、収納側に別に配置された多数本の
マガジンの中に分類に従って収納するもので、マガジン
の供給および選別後の素子によって満杯となったマガジ
ンの取出しは人手によって行っていた。ところが測定選
別の高速化に伴い一人の作業者の扱う選別装置の台数に
は限りがあるため、これを何とか自動化して高性能の装
置を開発する試みがなされてきた。

【０００３】従来装置の一例としてマガジンを多数本収
容するカセットを考え、これをもって取扱うことによっ
て合理化しようとするものである。例えば特開昭５６−
６６７６７号であるが、これはマガジンを複数本並列に
カセット中に収容し、カセットごと装置に供給し、素子
放出の終わったカセットをそのまま分類収容部に移すも
ので、最終搬出もカセットによって取扱うことができる
。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、いま３分類
する場合を考えると３つのカセットを配置して、この中
のマガジンに選別された素子を送り込む必要がある。さ
らに分類本数Ｎが多くなるとカセットをＮ個配置して、
これに素子を送り込まねばならなくなり、平面的にカセ
ットを配置した場合には大きな面積をとり、従って装置
全体が大きくならざるを得ない。そこで装置を小さくす
るためにはカセット内に収容するマガジンの本数を減少
することが考えられるが、これではカセットの交換の頻
度が多くなり自動化の要請には充分応えることができな
い。また、上記に示された例ではカセットが装置の中を
移動するため必然的に装置が大きく、かつ強固に作らね
ばならず取扱い難い装置となる欠点があった。

【０００５】本発明はこれらの点を改善し、半導体素子
の選別装置の全体を小さくかつ連続高速運転を可能とし
たものであって、そのため装置内を移動するのはマガジ
ンだけとし、カセットは最初の供給と最後の取出しに使
用する。そしてマガジンを縦積みの状態にカセット内に
収容することによって立体的にコンパクトに構成するこ
とができる半導体素子の選別方法を提供することを目的
とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成する為に、供給用カセットに半導体素子を収納するマ
ガジンを縦積みに収容し、前記カセットの下方より前記
マガジンを１本づつ取出し、取出されたマガジンから素
子を放出し、放出後のマガジンに素子が残存しているこ
とを検知した場合そのマガジンを系外に排出し、素子の
放出後のマガジンが空であることを検知した場合そのマ
ガジンを一時ストックし、前記放出された素子を測定す
ると共に測定結果に基づいてＮ個の種類に分類し、該分
類された素子を、傾斜して並列配置されたＮ本のマガジ
ンに対応する位置に位置決めし、該位置決めされた素子
に対応する前記マガジンが素子を収納可能な場合、前記
位置決めされた素子をマガジン内に収納して素子をＮ個
の種類毎に選別し、前記位置決めされた素子に対応する
前記マガジンが収納された素子で満杯の場合、前記位置
決めされた素子を待機させ、収納された素子で満杯とな
ったマガジンを前記ストック中の空マガジンと交換する
と共に、交換された前記満杯マガジンをその直上に待機
する取出し用カセットに収容することを特徴とする。

【０００７】

【作用】本発明によれば、マガジンを縦積みに収容した
供給用カセットの下方からマガジンを１本づつ取出して
、そのマガジンから半導体素子を放出する。そして素子
が放出されて空になったマガジンは所定位置にストック
される。また、マガジンから放出された素子は測定され
、その結果に基づいてＮ個の種類に分類される。分類さ
れた素子は、所定の位置のＮ本のマガジンに対応する位
置に位置決めされる。

【０００８】そして、位置決めされた素子に対応するマ
ガジンが収納された素子で満杯の場合、位置決めされた
素子を待機させ、一方、位置決めされた素子に対応する
マガジンが素子を収納可能な場合、位置決めされた素子
はマガジン内に収納される。収納された素子で満杯とな
ったマガジンは、所定位置にストックされている空のマ
ガジンと交換されると共にマガジンの直上に待機する取
出し用カセットに収容される。

【０００９】このように、マガジンを縦積みの状態にカ
セット内に収容することができ、更に、カセットは最初
の供給と最後の取出し位置で使用されるだけで装置内を
移動しない。

【００１０】

【実施例】以下添付図面に従って本発明に係る半導体素
子の選別方法について詳説する。図１は本発明において
使用するカセットであって、素子１を多数個収納する棒
状のマガジン２はカセット３の下から上に押し込まれ、
かつ両側に設けられた爪４によって保持され、爪４を開
くことによって下から取出すことができるものを使用す
る。

【００１１】次に図２、図３によって本発明に係る半導
体素子の選別方法に使用する選別装置の全体の構成を説
明する。これから選定選別される素子を満杯に収納した
マガジン２を縦積みに入れた上記のカセット３をＡのカ
セット供給位置にセットする。そしてその下はマガジン
取出位置Ｂであって、カセット３からマガジン２を１本
づつ取出して図の左方向に搬送する。送られたマガジン
はＣのマガジン傾斜位置において素子の送り出し口を下
にして傾斜されて、収納されている素子を１個づつ滑落
させる。そして素子を送り出し終わったマガジンは、こ
の位置で素子が残存しているか否かの検査を受ける。そ
して素子の残存が検出された場合には振動を与えるとか
空気噴射を行う等の処置によって素子送り出しの援助を
所定回数行う。次にマガジンは水平位置に戻されて、も
し先の素子送り出しの援助にもかかわらずマガジンに素
子が残存していた場合には、Ｄ位置においてそのマガジ
ンのみを系外に排出する。そして完全に空であると確認
されたマガジンだけが降下位置Ｅにおいて下降し、Ｆ位
置のマガジン待機位置に入ってストックされる。

【００１２】一方Ｃのマガジン傾斜位置より送り出され
た素子は従来装置と同様に、１個送り機構を通って測定
位置Ｇに入り、電気的性能の測定・判定が行われ、その
素子の選別分類ａ、ｂ、ｃ、ｄ…が決定され記憶される
。素子はシュートを通りＨ位置において方向変換機構に
より図の右方向の傾斜シュートを通り、選別位置Ｉに入
る。ここでは搬送ベルト上に素子の保持装置を設け、こ
れによって素子を受け取る。そして、ベルトを指定され
ただけ移動させて素子を指定分類位置ａ、ｂ、ｃ、ｄ…
に対応する位置に位置決めし、各々の分類位置ａ、ｂ、
ｃ、ｄ…に放出する。すなわちａに分類されたとすれば
、保持装置はａの収容位置において停止して素子を放出
する。なお選別装置Ｉの次には素子の待機位置Ｊ、素子
分類収容位置Ｋを設けて、Ｎ本のマガジンとそれの導入
部の待機部とが傾斜した一平面上に等間隔に配列される
。ここで素子の待機位置Ｊにおいては、通常は素子が通
過するだけであるが、収容位置Ｋのマガジンの１本が満
杯となり、そのマガジンの交換が行われる間、素子の待
機機構は通路の末端を一時閉じて、送られてくる素子を
一時ストックして選別作業の続行に支障をきたさないよ
うにする。

【００１３】図３において、前述のマガジン待機位置Ｆ
に入った空マガジンは、後述するマガジン交換機構によ
って素子分類収容位置Ｋにあるマガジンのうち満杯とな
ったものの位置に運ばれて交換され、満杯マガジンは交
換機構によって押し上げられ、マガジン収容位置Ｌにあ
るカセット３内に下から押し込まれる。すなわち、いま
Ｋ位置においてｄに分類された素子を収納するｄ分類マ
ガジンが満杯になったとすると、空マガジンは交換機構
によってｄマガジンの下に移され、その位置にセットさ
れ、満杯マガジンはその上Ｌに待機するｄマガジンを収
容するカセット３に下から押し込まれる。

【００１４】以上の構成において、最初にマガジンの待
機位置Ｆに予備マガジンを入れ、素子分類収容位置Ｋに
マガジンをＮ本装着して、Ａ位置にカセット３を供給す
ると供給カセット中のマガジンは次々と送り出され、空
マガジンとなったものは満杯マガジンの後に補充されて
バランスよく連続無人運転が可能となり、カセットの供
給、搬出のみを行えばよい。なお素子の待機機構が設け
られているので、満杯マガジンの交換、カセット内への
収容に関係なく素子の検査、選別の操作が続行される。

【００１５】以下に本発明に係る半導体素子の選別方法
に使用する選別装置の各位置に設けられた機構について
説明する。図４にカセットの両側面に設けられる爪の構
造の一例を示す。ここでは爪４の下方に傾斜面６を設け
、下からレバー７が傾斜面６を押し付けることによって
爪４はスプリング８を圧縮して時計方向に旋回し最下段
のマガジン２を下方に落とすように構成されている。 図５はカセット供給位置Ａ及びマガジン取出位置Ｂにお
けるマガジンの取出機構の一例を示すもので、マガジン
２を縦１列に収容しているカセット３は案内９によって
所定位置にセットされる。尚、このカセット３には両側
面下部に爪４が取付けられる。ここで図の下のマガジン
取出機構は左右対称であるので、左側について説明する
。レバー７は旋回して爪４の傾斜面６に入って、当たっ
て爪４を左の方に押し開きカセットの下方を開放する。 このときマガジン受け１２は上昇してマガジン２を下か
ら支えている。ついで第２の爪１０が下から２番目のマ
ガジンに入って、２番目以上のマガジンを支えて、受け
１２上には１本のマガジン２が置かれる。受け１２の下
にはチェーン１４が設けられ、チェーンには突出部１５
が設けられている。チェーン１４はチェーンホイール１
３にかけられて、指令によってホイールは回転する。受
け１２はマガジン２を受け取ると下降し、マガジン２は
突出部１５上に置かれ、チェーン１４によって紙面に直
角方向に搬送される。なおマガジンの取出し搬送はＣ位
置における傾斜マガジンが空になって、傾斜台が水平に
復帰した時点において行われる。

【００１６】傾斜台に送り込まれたマガジンは出口を閉
鎖して傾斜され、測定位置Ｇへのシュートとの連結が完
了したところで出口を開き、従来の自動検査装置と同様
の測定部Ｇへの１個送り機構を経て素子が送り出される
。そして送り出しが完了したとき、マガジンに残留する
素子があるか否かを検査するが、これには光線をマガジ
ンに通す方法、フィーラーを挿入する方法等が用いられ
る。そしてもし残存素子があることが判明すれば素子の
送り出しを助けるためにマガジンの振動、加圧空気の噴
射を行い、更にその後に再び残存検出を行う。ここで残
存ありと判断されたマガジンは次の素子残存マガジン処
理位置Ｄにおいてトラップを開いて、そのマガジンのみ
を系外に排出する。これは本発明においては素子の供給
に使用されたマガジンがそのまま分類別素子収納用とし
て転用されるためである。

【００１７】次に素子の選別に際しては、Ｊ位置に素子
の待機機構を設けるが、これはその下流末端にストッパ
ーを設けたシュートであって、その下のマガジンが満杯
になると、そのマガジンが空マガジンと交換される間、
その系列の待機機構のストッパーを作動させて、選別さ
れてくる素子を一時ストックし、マガジンの交換が完了
したときストッパーを開いて、待機機構Ｊに一時ストッ
クされた素子をマガジンに送り込む。

【００１８】次にマガジン交換機構について説明する。 図３において、分類収容のマガジンｄが満杯になったと
すると、マガジン交換機構はマガジン待機位置Ｆから空
マガジン１本を受け取って、Ｋ位置のマガジンｄの直下
にきて満杯のマガジンｄを旋回して押し上げると共に、
ここに新マガジンを装填し、更にマガジンｄを押し上げ
てカセットｄの中に下からこれを押し込み、マガジン交
換機構は復帰する。

【００１９】図６にマガジン交換機構の一例を示す。マ
ガジン交換機構２０はＫ位置の素子分類収容マガジン列
と同じ傾斜角度を有する二つのレール２３、２４上を移
動台２５によって指令に従って紙面と直角方向に移動す
る。そして移動台２５に設けられたエアシリンダ２６に
より、台２５に平行に、かつ直角方向に移動する中間板
２７を設け、この中間板２７の上にマガジン受け２８、
２９を取付ける。中間板２７の図の右側には支点３１を
設け、これに旋回板３２を取付け、その中間に長孔を設
けて、これに軸３３を入れる。軸３３を先端に有するロ
ッドはエアシリンダ３４によって移動し、旋回板３２を
支点３１を中心として時計方向に旋回させる。旋回板３
２の左端にはマガジン受け３５を上向きに設けると共に
、中間板２７の右端にマガジン受け３６を設けて、この
二つのマガジン受け３５、３６の上面で後述するように
満杯となった収容マガジン２１を旋回させて、カセット
３内に押し込むように構成されている。尚、Ｋ位置にあ
る収容マガジン２１には各個にマガジンクランパ２２が
設けられ、かつマガジンの移動の案内をするガイド板３
７及び３８を設ける。

【００２０】このような構造において素子分類収容位置
Ｋにセットされているマガジン２１が測定選別された素
子によって満杯となると、空マガジン３０をマガジン受
け２８、２９上に保持してマガジン待機位置Ｆで待機し
ているマガジン交換機構２０がレール２３、２４上を移
動してきて、図６に示すようにマガジン受け３５、３６
が満杯マガジン２１に接した状態で停止する。次いでマ
ガジンクランパ２２が満杯マガジン２１のクランプを解
除すると、同時にエアシリンダ３４が作動して旋回板３
２が支点３１を中心に時計方向に旋回し、マガジン受け
３５は一点鎖線で示す３５′の位置へ旋回移動して停止
する。この時満杯マガジン２１はマガジン受け３５、３
６上に支持されているためガイド板３７、３８に案内さ
れながら旋回移動して一点鎖線で示す２１′の位置で停
止する。次いでエアシリンダ２６が作動して中間板２７
を押し上げると３５′で示す位置に停止していたマガジ
ン受けは３５″の位置へ、支点は３１′の位置へ、マガ
ジン受け３６は３６′の位置へ押し上げられ、従って満
杯マガジン２１′はカセット３の両側面の２つの爪４を
押し広げて２１″に示すようにカセット３の下部から収
容される。

【００２１】一方、空マガジン３０は先のエアシリンダ
２６の作動により、同時に素子分類収容位置Ｋまで押し
上げられて停止し、マガジンクランパ２２によってクラ
ンプされて新たな測定選別された素子を収納できる状態
にセットされる。このようにして満杯マガジン２１はカ
セット３内に収容され、空マガジン３０が素子分類収容
位置Ｋにセットされた後、マガジン交換機構２０は下降
してレール２３、２４上を移動してマガジン待機位置Ｆ
に戻って新たな空マガジンを保持して待機する。尚、先
の説明において旋回板３２の二つの受け３５、３６は下
方復帰の際、Ｋ位置においてセットされたマガジンに接
触しないための逃げ機構が設けられている。

【００２２】尚、上記説明においては素子並びにマガジ
ンの搬送、移動機構、指令機構等公知のものは説明が複
雑となるので省略したが、本発明の素子、マガジンの流
れを確実に行う方法であれば、そのいずれをも採用する
ことができる。また上記説明においては供給カセットを
水平に入れ、これよりマガジンを１本取出して後傾斜さ
せて、素子を送り出すものについて述べたが、供給する
カセットを最初から傾斜させて装填し、これを傾斜状態
において素子の出口を閉鎖した状態でマガジン１本を取
り出し、素子送り出し位置において開口して送り出し、
次の工程に移すことも可能である。

【００２３】

【発明の効果】以上説明したように本発明に係る半導体
素子の選別方法によれば、半導体素子の選別装置の全体
を小さくかつ連続高速運転を可能としたものであって、
そのため装置内を移動するのはマガジンだけとし、カセ
ットは最初の供給と最後の取出しに使用する。そしてマ
ガジンを縦積みの状態にカセット内に収容することによ
って立体的にコンパクトに構成することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は本発明が取扱う半導体素子、マガジン及
びカセットの説明図

【図２】図２は本発明の半導体素子の選別方法を実施す
る装置の構成を示す説明図

【図３】図３は本発明の半導体素子の選別方法を実施す
る装置の構成を示す説明図

【図４】図４は本発明の半導体素子の選別方法を実施す
る装置のカセット下部の断面図

【図５】図５は本発明の半導体素子の選別方法を実施す
る装置のマガジン取出し搬送機構の側面図

【図６】図６
は本発明の半導体素子の選別方法を実施する装置のマガ
ジン交換機構の側面図

【符号の説明】

１…半導体素子 ２…マガジン ３…カセット

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　供給用カセットに半導体素子を収納す
   るマガジンを縦積みに収容し、前記カセットの下方より
   前記マガジンを１本づつ取出し、取出されたマガジンか
   ら素子を放出し、放出後のマガジンに素子が残存してい
   ることを検知した場合そのマガジンを系外に排出し、素
   子の放出後のマガジンが空であることを検知した場合そ
   のマガジンを一時ストックし、前記放出された素子を測
   定すると共に測定結果に基づいてＮ個の種類に分類し、
   該分類された素子を、傾斜して並列配置されたＮ本のマ
   ガジンに対応する位置に位置決めし、該位置決めされた
   素子に対応する前記マガジンが素子を収納可能な場合、
   前記位置決めされた素子をマガジン内に収納して素子を
   Ｎ個の種類毎に選別し、前記位置決めされた素子に対応
   する前記マガジンが収納された素子で満杯の場合、前記
   位置決めされた素子を待機させ、収納された素子で満杯
   となったマガジンを前記ストック中の空マガジンと交換
   すると共に、交換された前記満杯マガジンをその直上に
   待機する取出し用カセットに収容することを特徴とする
   半導体素子の選別方法。