JPH0584058B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【0001】

【産業上の利用分野】 この発明はIC、LSI等の
ような半導体素子の電気的性能を測定し、その結
果を判断して多分類に選別する半導体素子の選別
方法に係るものである。

【0002】

【従来の技術】 従来、これらの装置は測定しよ
うとする半導体素子（以下単に素子とする）を収
納する棒状のマガジンを装置の供給側に取付け、
これら素子を送り出して測定、選別して、収納側
に別に配置された多数本のマガジンの中に分類に
従つて収納するもので、マガジンの供給および選
別後の素子によつて満杯となつたマガジンの取出
しは人手によつて行つていた。ところが測定選別
の高速化に伴い一人の作業者の扱う選別装置の台
数には限りがあるため、これを何とか自動化して
高性能の装置を開発する試みがなされてきた。

【0003】 従来装置の一例としてマガジンを多数
本収容するカセツトを考え、これをもつて取扱う
ことによつて合理化しようとするものである。例
えば特開昭56−66767号であるが、これはマガジ
ンを複数本並列にカセツト中に収容し、カセツト
ごと装置に供給し、素子放出の終わつたカセツト
をそのまま分類収容部に移すもので、最終搬出も
カセツトによつて取扱うことができる。

【0004】

【発明が解決しようとする課題】 ところが、い
ま３分類する場合を考えると３つのカセツトを配
置して、この中のマガジンに選別された素子を送
り込む必要がある。さらに分類本数Ｎが多くなる
とカセツトをＮ個配置して、これに素子を送り込
まねばならなくなり、平面的にカセツトを配置し
た場合には大きあ面積をとり、従つて装置全体が
大きくならざるを得ない。そこで装置が小さくす
るためにはカセツト内に収容するマガジンの本数
を減少することが考えられるが、これではカセツ
トの交換の頻度が多くなり自動化の要請には充分
応えることができない。また、上記に示された例
ではカセツトが装置の中を移動するため必然的に
装置が大きく、かつ強固に作らねばならず取扱い
難い装置となる欠点があつた。

【0005】 本発明はこれらの点を改善し、半導体
素子の選別装置の全体を小さくかつ連続高速運転
を可能としたものであつて、そのため装置内を移
動するのはマガジンだけとし、カセツトは最初の
供給と最後の取出しに使用する。そしてマガジン
を縦積みの状態にカセツト内に収容することによ
つて立体的にコンパクトに構成することができる
半導体素子の選別方法を提供することを目的とす
る。

【0006】

【課題を解決するための手段】 本発明は、前記
目的を達成する為に、供給用カセツトに半導体素
子を収納するマガジンを縦積みに収容し、前記カ
セツトの下方より前記マガジンを１本づつ取出
し、取出されたマガジンから素子を放出し、放出
後のマガジンに素子が残存していることを検知し
た場合そのマガジンを系外に排出し、素子の放出
後のマガジンが空であることを検知した場合その
マガジンを一時ストツクし、、前記放出された素
子を測定すると共に測定結果に基づいてＮ個の種
類に分類し、該分類された素子を、傾斜して並列
配置されたＮ本のマガジンに対応する位置に位置
決めし、該位置決めされた素子に対応する前記マ
ガジンが素子を収納可能な場合、前記位置決めさ
れた素子をマガジン内に収納して素子をＮ個の種
類毎に選別し、前記位置決めされた素子に対応す
る前記マガジンが収納された素子で満杯の場合、
前記位置決めされた素子を待機させ、収納された
素子で満杯となつてマガジンを前記ストツクの空
マガジンと交換すると共に、交換された前記満杯
マガジンをその直上に待機する取出し用カセツト
に収容することを特徴とする。

【0007】

【作用】 本発明によれば、マガジンを縦積みに
収容した供給用カセツトの下方からマガジンを１
本づつ取出して、そのマガジンから半導体素子を
放出する。そして素子が放出されて空になつてマ
ガジンは所定位置にストツクされる。また、マガ
ジンから放出された素子は測定され、その結果に
基づいてＮ個の種類に分類される。分類された素
子は、所定の位置のＮ本のマガジンに対応する位
置に位置決めされる。

【0008】 そして、位置決めされた素子に対応す
るマガジンが収納された素子で満杯の場合、位置
決めされた素子を待機させ、一方、位置決めされ
た素子に対応するマガジンが素子を収納可能な場
合、位置決めされた素子はマガジン内に収納され
る。収納された素子で満杯となつてマガジンは、
所定位置にストツクされている空のマガジンと交
換されると共にマガジンの直上に待機する取出し
用カセツトに収容される。

【0009】 このように、マガジンを縦積みの状態
にカセツト内に収容することができ、更に、カセ
ツトは最初の供給と最後の取出し位置で使用され
るだけで装置内を移動しない。

【0010】

【実施例】 以下添付図面に従つて本発明に係る
半導体素子の選別方法について詳説する。図１は
本発明において使用するカセツトであつて、素子
１を多数個収納する棒状のマガジン２はカセツト
３の下から上に押し込まれ、かつ両側に設けられ
た爪４によつて保持され、爪４を開くことによつ
て下から取出すことができるものを使用する。

【0011】 次に図２、図３によつて本発明に係る
半導体素子の選別方法に使用する選別装置の全体
の構成を説明する。これから選定選別される素子
を満杯に収納したマガジン２を縦積みに入れた上
記のカセツト３をＡのカセツト供給位置にセツト
する。そしてその下はマガジン取出位置Ｂであつ
て、カセツト３からマガジン２を１本づつ取出し
て図の左方向に搬送する。送られたマガジンはＣ
のマガジン傾斜位置において素子の送り出し口を
下にして傾斜されて、収納されている素子を１個
づつ滑落させる。そして素子を送り出し終わつた
マガジンは、この位置で素子が残存しているか否
かの検査を受ける。そして素子の残存が検出され
た場合には振動を与えるとか空気噴射を行う等の
処置によつて素子送り出しの援助を所定回数行
う。次にマガジンは水平位置に戻されて、もし先
に素子送り出しの援助にもかかわらずマガジンに
素子が残存していた場合には、Ｄ位置においてそ
のマガジンのみを系外に排出する。そして完全に
空であると確認されたマガジンだけが降下位置Ｅ
において下降し、Ｆ位置のマガジン待機位置に入
つてストツクされる。

【0012】 一方Ｃのマガジン傾斜位置より送り出
された素子は従来装置と同様に、１個送り機構を
通つて測定位置Ｇに入り、電気的性能の測定・判
定が行われ、その素子の選別分類ａ，ｂ，ｃ，ｄ
…が決定され記憶される。素子はシユートを通り
Ｈ位置において方向変換機構により図の右方向の
傾斜シユートを通り、選別位置Ｉに入る。ここで
は搬送ベルト上に素子の保持装置を設け、これよ
つて素子を受け取る。そして、ベルトを指定され
ただけ移動させて素子を指定分類位置ａ，ｂ，
ｃ，ｄ…に対応する位置に位置決めし、各々の分
類位置ａ，ｂ，ｃ，ｄ…に放出する。すなわちａ
に分類されたとすれば、保持装置はａの収容位置
において停止して素子を放出する。なお選別装置
Ｉの次には素子の待機位置Ｊ、素子分類収容位置
Ｋを設けて、Ｎ本のマガジンとそれの導入部の待
機部とが傾斜した一平面上に等間隔に配列され
る。ここで素子の待機位置Ｊにおいては、通常は
素子が通過するだけであるが、収容位置Ｋのマガ
ジンの１本が満杯となり、そのマガジンの交換が
行われる間、素子の待機機構は通路の末端を一時
閉じて、送られてくる素子を一時ストツクして選
別作業の続行に支障をきたさないようにする。

【0013】 図３において、前述のマガジン待機位
置Ｆに入つた空マガジンは、後述するマガジン交
換機構によつて素子分類収容位置Ｋにあるマガジ
ンのうち満杯となつたものの位置に運ばれて交換
され、満杯マガジンは交換機構によつて押し上げ
られ、マガジン収容位置Ｌにあるカセツト３内に
下から押し込まれる。すなわち、いまＫ位置にお
いてｄは分類された素子を収納するｄ分類マガジ
ンが満杯になつたとすると、空マガジンは交換機
構によつてｄマガジンの下に移され、その位置に
セツトされ、満杯マガジンはその上Ｌに待機する
ｄマガジンを収容するカセツト３に下から押し込
まれる。

【0014】 以上の構成において、最初にマガジン
の待機位置Ｆに予備マガジンを入れ、素子分類収
容位置ＫにマガジンをＮ本装着して、Ａ位置にカ
セツト３を供給すると供給カセツト中のマガジン
は次々と送り出され、空マガジンとなつたものは
満杯マガジンの後に補充されてバランスよく連続
無人運転が可能となり、カセツトの供給、搬出の
みを行えばよい。なお素子の待機機構が設けられ
ているので、満杯マガジンの交換、カセツト内へ
の収容に関係なく素子の検査、選別の操作が続行
される。

【0015】 以下に本発明に係る半導体素子の選別
方法に使用する選別装置の各位置に設けられた機
構について説明する。図４にカセツトの両側面に
設けられる爪の構造の一例を示す。ここでは爪４
の下方に傾斜面６を設け、下からレバー７が傾斜
面６を押し付けることによつて爪４はスプリング
８を圧縮して時計方向に旋回し最下段のマガジン
２を下方に落とすように構成されている。図５は
カセツト供給位置Ａ及びマガジン取出位置Ｂにお
けるマガジンの取出機構の一例を示すもので、マ
ガジン２を縦１列に収容しているカセツト３は案
内９によつて所定位置にセツトされる。尚、この
カセツト３には両側面下部に爪４が取付けられ
る。ここで図の下のマガジン取出機構は左右対称
であるので、左側について説明する。レバー７は
旋回して爪４の傾斜面６に入つて、当たつて爪４
を左の董方に押し開きカセツトの下方を開放す
る。このときマガジン受け１２は上昇してマガジ
ン２を下から支えている。ついで第２の爪１０が
下から２番目のマガジンに入つて、２番目以上の
マガジンを支えて、受け１２上には１本のマガジ
ン２が置かれる。受け１２の下にはチエーン１４
が設けられ、チエーンには突出部１５が設けられ
ている。チエーン１４はチエーンホイール１３に
かけられて、指令によつてホイールは回転する。
受け１２はマガジン２を受け取ると下降し、マガ
ジン２は突出部１５上に置かえ、チエーン１４に
よつて紙面に直角方向に搬送される。なおマガジ
ンの取出し搬送はＣ位置における傾斜マガジンが
空になつて、傾斜台が水平に復帰した時点におい
て行われる。

【0016】 傾斜台に送り込まれたマガジンは出口
を閉鎖して傾斜され、測定位置Ｇへのシユートと
の連結が完了したところで出口を開き、従来の自
動検査装置と同様の測定Ｇへの１個送り機構を経
て素子が送り出される。そして送り出しが完了し
たとき、マガジンに残留する素子があるか否かを
検査するが、これには光線をマガジンに通す方
法、フイーラーを挿入する方法等が用いられる。
そしてもし残存素子があることが判明すれば素子
の送り出しを助けるためにマガジンの振動、加圧
空気の噴射を行い、更にその後に再び残存検出を
行う。ここで残存ありと判断されたマガジンは次
の素子残存マガジン処理位置Ｄにおいてトラツプ
を開いて、そのマガジンのみを系外に排出する。
これは本発明においては素子の供給に使用された
マガジンがそのまま分類別素子収納用として転用
されるためである。

【0017】 次に、素子の選別に際しては、Ｊ位置
に素子の待機機構を設けるが、これはその下流末
端にストツパーを設けたシユートであつて、その
下のマガジンが満杯になると、そのマガジンが空
マガジンと交換される間、その系列の待機機構の
ストツパーを作動させて、選別されてくる素子を
一時ストツクし、マガジンの交換が完了したとき
ストツパーを開いて、待機機構Ｊに一時ストツク
された素子をマガジンに送り込む。

【0018】 次にマガジン交換機構について説明す
る。図３において、分類収容のマガジンｄが満杯
になつたとすると、マガジン交換機構はマガジン
待機位置Ｆから空マガジン１本を受け取つて、Ｋ
位置のマガジンｄの直下にきて満杯のマガジンｄ
を旋回して押し上げると共に、ここに新マガジン
を装填し、更にマガジンｄを押し上げてカセツト
ｄの中に下からこれを押し込み、マガジン交換機
構に復帰する。

【0019】 図６にマガジン交換機構の一例を示
す。マガジン交換機構２０はＫ位置の素子分類収
容マガジン列と同じ傾斜角度を有する二つのレー
ル２３，２４上を移動台２５によつて指令に従つ
た紙面と直角方向に移動する。そして移動台２５
に設けられたエアシリンダ２６により、台２５に
平行に、かつ直角方向に移動する中間板２７を設
け、この中間板２７の上にマガジン受け２８，２
９を取付ける。中間板２７の図の右側には支点３
１を設け、これに旋回板３２を取付け、その中間
に長孔を設けて、これに軸３３を入れる。軸３３
を先端に有するロツドはエアシリンダ３４によつ
て移動し、旋回板３２を支点３１を中心として時
計方向に旋回させる。旋回板３２の左端にはマガ
ジン受け３５を上向きに設けると共に、中間板２
７の右端にマガジン受け３６を設けて、この二つ
のマガジン受け３５，３６の上面で後述するよう
に満杯となつた収容マガジン２１を旋回させて、
カセツト３内に押し込むように構成されている。
尚、Ｋ位置にある収容マガジン２１には各個にマ
ガジンクランパ２２が設けられ、かつマガジンの
移動の案内をするガイド板３７及び３８を設け
る。

【0020】 このような構造において素子分類収容
位置Ｋにセツトされているマガジン２１が測定選
別された素子によつて満杯となると、空マガジン
３０をマガジン受け２８，２９上に保持してカセ
ツト待機位置Ｆを待機しているマガジン交換機構
２０がレール２３，２４上を移動してきて、図６
に示すようにマガジン受け３５，３６が満杯マガ
ジンｎ２１に接した状態で停止する。次いでマガ
ジンクランパ２２が満杯マガジン２１のクランプ
を解除すると、同時にエアシリンダ３４が作動し
て旋回板３２が支点３１を中心に時計方向に旋回
し、マガジン受け３５は一点鎖線で示す３５′の
位置へ旋回移動して停止する。この時満杯マガジ
ン２１はマガジン受け３５，３６上に支持されて
いるためガイド板３７，３８に案内されながら旋
回移動して一点鎖線で示す２１′の位置で停止す
る。次いでエアシリンダ２６が作動して中間板２
７を押し上げると３５′で示す位置に停止してい
たマガジン受けは３５″の位置へ、支点は３１′の
位置へ、マガジン受け３６は３６′の位置へ押し
上げられ、従つて満杯マガジン２１′はカセツト
３の両側面の２つの爪４を押し広げて２１″に示
すようにカセツト３の下部から収容される。

【0021】 一方、空マガジン３０は先のエアシリ
ンダ２６の作動により、同時に素子分類収容位置
Ｋまで押し上げられて停止し、マガジンクランパ
２２によつてクランプされて新たな測定選別され
た素子を収納できる状態にセツトされる。このよ
うにして満杯マガジン２１はカセツト３内に収容
され、空マガジン３０が素子分類収容位置Ｋにセ
ツトされた後、マガジン交換機構２０は下降して
レール２３，２４上を移動してマガジン待機位置
Ｆに戻つて新たな空マガジンを保持して待機す
る。尚、先の説明において旋回板３２の二つの受
け３５，３６は下方復帰の際、Ｋ位置においてセ
ツトされたマガジンに接触しないための逃げ機構
が設けられている。

【0022】 尚、上記説明においては素子並びにマ
ガジンの搬送、移動機構、指令機構等公知のもの
は説明が複雑となるもので省略したが、本発明の
素子、マガジンの流れを確実に行う方法であれ
ば、そのいずれも採用することができる。また上
記説明においては供給カセツトを水平に入れ、こ
れによりマガジンを１本取出して後傾斜させて、
素子を送り出すものについて述べたが、供給する
カセツトを最初から傾斜させて装填し、これを傾
斜状態において素子の出口から閉鎖した状態でマ
ガジン１本を取り出し、素子送り出し位置におい
て開口して送り出し、次の工程に移すことも可能
である。

【0023】

【発明の効果】 以上説明したように本発明に係
る半導体素子の選別方法によれば、半導体素子の
選別装置の全体を小さくかつ連続高速運転を可能
としたものであつて、そのため装置内を移動する
のはマガジンだけとし、カセツトは最初の供給と
最後の供給の取出しに使用する。そしてマガジン
を縦積みの状態にカセツト内に収容することによ
つて立体的にコンパクトに構成することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 図１は本発明が取扱う半導体素子、マ
ガジン及びカセツトの説明図

【図２】 図２は本発明の半導体素子の選別方法
を実施する装置の構成を示す説明図

【図３】 図３は本発明の半導体素子の選別方法
を実施する装置の構成を示す説明図

【図４】 図４は本発明の半導体素子の選別方法
を実施する装置のカセツト下部の断面図

【図５】 図５は本発明の半導体素子の選別方法
を実施する装置のマガジン取出し搬送機構の側面
図

【図６】 図６は本発明の半導体素子の選別方法
を実施する装置のマガジン交換機構の側面図

【符号の説明】

１…半導体素子 ２…マガジン ３…カセツト。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 供給用カセツトに半導体素子を収
   納するマガジンを縦積みに収容し、 前記カセツトの下方より前記マガジンを１本づ
   つ取出し、 取出されたマガジンから素子を放出し、 放出後のマガジンに素子が残存していることを
   検知した場合そのマガジンを系外に排出し、 素子の放出後のマガジンが空であることを検知
   した場合そのマガジンを一時ストツクし、 前記放出された素子を測定すると共に測定結果
   に基づいてＮ個の種類に分類し、 該分類された素子を、傾斜して並列配置された
   Ｎ本のマガジンに対応する位置に位置決めし、 該位置決めされた素子に対応する前記マガジン
   が素子を収納可能な場合、前記位置決めされた素
   子をマガジン内に収納して素子をＮ個の種類毎に
   選別し、 前記位置決めされた素子に対応する前記マガジ
   ンが収納された素子で満杯の場合、前記位置決め
   された素子を待機させ、 収納された素子で満杯となつたマガジンを前記
   ストツク中の空マガジンと交換すると共に、交換
   された前記満杯マガジンをその直上に待機する取
   出し用カセツトに収容することを特徴とする半導
   体素子の選別方法。