JPH04356051A - 感光性熱硬化性樹脂組成物およびパターン形成方法 - Google Patents
感光性熱硬化性樹脂組成物およびパターン形成方法Info
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- JPH04356051A JPH04356051A JP3035617A JP3561791A JPH04356051A JP H04356051 A JPH04356051 A JP H04356051A JP 3035617 A JP3035617 A JP 3035617A JP 3561791 A JP3561791 A JP 3561791A JP H04356051 A JPH04356051 A JP H04356051A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photosensitive
- epoxy resin
- thermosetting resin
- resin composition
- resistance
- Prior art date
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- Granted
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- Macromonomer-Based Addition Polymer (AREA)
- Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Epoxy Resins (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、プリント配線板の製造
や金属の精密加工等に使用され、特にプリント配線板用
ソルダーレジストとして有用な新規な感光性熱硬化性樹
脂組成物およびパターン形成方法に関する。さらに詳し
くは、 1)高い光硬化反応性と高い解像度、 2)良好な現像性、 3)長いポットライフ、 4)優れた密着性、 5)優れた電気絶縁性および耐電蝕性、6)優れたはん
だ耐熱性、 7)レベラー用水溶性フラックスに対する非白化性、8
)塩化メチレンのような溶剤に対する優れた耐性、9)
優れた耐酸および耐アルカリ性、 10)優れた耐メッキ性、 11)優れたPCT(Pressure Cook
Test)性、等の特徴をすべて兼備したソルダーレ
ジスト用感光性熱硬化性樹脂組成物およびソルダーレジ
ストパターンの形成方法に関する。
や金属の精密加工等に使用され、特にプリント配線板用
ソルダーレジストとして有用な新規な感光性熱硬化性樹
脂組成物およびパターン形成方法に関する。さらに詳し
くは、 1)高い光硬化反応性と高い解像度、 2)良好な現像性、 3)長いポットライフ、 4)優れた密着性、 5)優れた電気絶縁性および耐電蝕性、6)優れたはん
だ耐熱性、 7)レベラー用水溶性フラックスに対する非白化性、8
)塩化メチレンのような溶剤に対する優れた耐性、9)
優れた耐酸および耐アルカリ性、 10)優れた耐メッキ性、 11)優れたPCT(Pressure Cook
Test)性、等の特徴をすべて兼備したソルダーレ
ジスト用感光性熱硬化性樹脂組成物およびソルダーレジ
ストパターンの形成方法に関する。
【0002】
【従来の技術】ソルダーレジストは、プリント配線板に
電子部品をはんだ付けするときに、はんだ付け部分以外
にはんだが付着するのを防止すると同時に配線回路を保
護する目的で被覆される材料である。そのため、はんだ
耐熱性、耐水溶性フラックス性、電気絶縁性、密着性、
良好なPCT特性等が要求される。また、ソルダーレジ
ストはメッキレジストとしてそのまま用いられることも
多く、その場合には耐アルカリ性、耐酸性および耐メッ
キ性等が要求される。
電子部品をはんだ付けするときに、はんだ付け部分以外
にはんだが付着するのを防止すると同時に配線回路を保
護する目的で被覆される材料である。そのため、はんだ
耐熱性、耐水溶性フラックス性、電気絶縁性、密着性、
良好なPCT特性等が要求される。また、ソルダーレジ
ストはメッキレジストとしてそのまま用いられることも
多く、その場合には耐アルカリ性、耐酸性および耐メッ
キ性等が要求される。
【0003】ソルダーレジストとして、産業用プリント
基板では、エポキシ系の熱硬化型インクが主流となって
おり、民生用プリント基板では、紫外線熱硬化型のもの
が主流となっている。ソルダーレジスト被膜の形成方法
としてはスクリーン印刷が従来から主として用いられて
きたが、スクリーン印刷ではレジストパターンの精度が
十分に確保できないという問題があり、最近のエレクト
ロニクス機器の軽薄短小化に伴うプリント配線板の高密
度化および小型部品の表面実装化に対応できないという
状況にある。
基板では、エポキシ系の熱硬化型インクが主流となって
おり、民生用プリント基板では、紫外線熱硬化型のもの
が主流となっている。ソルダーレジスト被膜の形成方法
としてはスクリーン印刷が従来から主として用いられて
きたが、スクリーン印刷ではレジストパターンの精度が
十分に確保できないという問題があり、最近のエレクト
ロニクス機器の軽薄短小化に伴うプリント配線板の高密
度化および小型部品の表面実装化に対応できないという
状況にある。
【0004】この問題を解決するために、レジストを感
光性フィルムの形にしたドライフィルム型ソルダーレジ
ストが開発され実用化されている。ドライフィルムでは
精度の良いレジストパターンを得ることができる反面、
配線回路間へのレジストの埋め込み性が悪いという問題
がある。
光性フィルムの形にしたドライフィルム型ソルダーレジ
ストが開発され実用化されている。ドライフィルムでは
精度の良いレジストパターンを得ることができる反面、
配線回路間へのレジストの埋め込み性が悪いという問題
がある。
【0005】この問題を解決するために、液状の感光性
ソルダーレジストが提案された。このタイプの例を幾つ
か以下に示す。
ソルダーレジストが提案された。このタイプの例を幾つ
か以下に示す。
【0006】英国特許出願公開GB−2032939A
号公報にはポリエポキシ化合物とエチレン性不飽和カル
ボン酸の反応生成物、無機フィラー、光重合開始剤、揮
発性有機溶剤等からなる光重合性塗装用組成物が記載さ
れている。これは、光硬化のみの例であり、十分なはん
だ耐熱性がないことから、以下のような感光性樹脂を利
用して精度のよいパターンをつくり、これに熱硬化性を
併せ持たせることにより耐熱性を向上させる考えが一般
的になってきている。
号公報にはポリエポキシ化合物とエチレン性不飽和カル
ボン酸の反応生成物、無機フィラー、光重合開始剤、揮
発性有機溶剤等からなる光重合性塗装用組成物が記載さ
れている。これは、光硬化のみの例であり、十分なはん
だ耐熱性がないことから、以下のような感光性樹脂を利
用して精度のよいパターンをつくり、これに熱硬化性を
併せ持たせることにより耐熱性を向上させる考えが一般
的になってきている。
【0007】その例として、特開昭60−208377
号公報にはフェノールノボラック型エポキシ樹脂と不飽
和一塩基酸との反応物、クレゾールノボラック型エポキ
シ樹脂と不飽和一塩基酸との部分反応物、光重合開始剤
、有機溶剤およびアミン系熱硬化剤等からなるソルダー
レジストが記載されている。これは、クレゾールノボラ
ック型エポキシ樹脂と不飽和一塩基酸との部分反応物が
エポキシ基を残留しているのでこれをアミン系熱硬化剤
で架橋させる考えで熱硬化を行っている。
号公報にはフェノールノボラック型エポキシ樹脂と不飽
和一塩基酸との反応物、クレゾールノボラック型エポキ
シ樹脂と不飽和一塩基酸との部分反応物、光重合開始剤
、有機溶剤およびアミン系熱硬化剤等からなるソルダー
レジストが記載されている。これは、クレゾールノボラ
ック型エポキシ樹脂と不飽和一塩基酸との部分反応物が
エポキシ基を残留しているのでこれをアミン系熱硬化剤
で架橋させる考えで熱硬化を行っている。
【0008】また、熱硬化成分としてエポキシ樹脂を用
いる例として特開昭61−243869号公報にはノボ
ラック型エポキシ樹脂と不飽和モノカルボン酸との反応
生成物に多塩基酸を反応させたもの、光重合開始剤、希
釈剤等からなる感光性成分にエポキシ樹脂を併用する方
法が開示されている。
いる例として特開昭61−243869号公報にはノボ
ラック型エポキシ樹脂と不飽和モノカルボン酸との反応
生成物に多塩基酸を反応させたもの、光重合開始剤、希
釈剤等からなる感光性成分にエポキシ樹脂を併用する方
法が開示されている。
【0009】さらにまた、特開平2−99504号公報
にはマレイン化ブタジエン重合体とヒドロキシアルキル
(メタ)アクリレートとの反応物という特殊な感光性成
分に、エポキシ樹脂を併用した感光性熱硬化性樹脂組成
物が本発明者等らにって開示されている。
にはマレイン化ブタジエン重合体とヒドロキシアルキル
(メタ)アクリレートとの反応物という特殊な感光性成
分に、エポキシ樹脂を併用した感光性熱硬化性樹脂組成
物が本発明者等らにって開示されている。
【0010】このように感光性成分に熱硬化性成分のエ
ポキシ樹脂を配合してはんだ耐熱性や密着性、耐薬品性
、耐メッキ性等を改良する試みが幾つかなされているが
、この場合エポキシ樹脂の比率を高めると、光硬化反応
性が低下して未露光部分の現像性が低下し良好なレジス
トパターンが形成できにくいといった問題や耐メッキ性
に劣るといった欠点が指摘されている。
ポキシ樹脂を配合してはんだ耐熱性や密着性、耐薬品性
、耐メッキ性等を改良する試みが幾つかなされているが
、この場合エポキシ樹脂の比率を高めると、光硬化反応
性が低下して未露光部分の現像性が低下し良好なレジス
トパターンが形成できにくいといった問題や耐メッキ性
に劣るといった欠点が指摘されている。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】上記したようにソルダ
ーレジストとして種々の材料系が提案されてきているが
、ソルダーレジストに要求される特性が、密着性、はん
だ耐熱性、電気絶縁性等が良ければよいといった段階か
ら、最近ではエレクトロニクス機器の軽薄短小化に伴う
プリント配線板の高密度化および小型部品の表面実装化
に対応して、より詳細なパターンが形成できることに加
えて、 1)高い光硬化反応性と高い解像度、 2)良好な現像性、 3)長いポットライフ、 4)優れた密着性、 5)優れた電気絶縁性および耐電蝕性、6)優れたはん
だ耐熱性、 7)レベラー用水溶性フラックスに対する非白化性、8
)塩化メチレンのような溶剤に対する優れた耐性、9)
優れた耐酸および耐アルカリ性、 10)優れた耐メッキ性、 11)優れたPCT(Pressure Cook T
est)性、等の特徴をすべて兼備したソルダーレジス
ト用材料およびソルダーレジストパターンの形成方法が
要求されるようになってきている。
ーレジストとして種々の材料系が提案されてきているが
、ソルダーレジストに要求される特性が、密着性、はん
だ耐熱性、電気絶縁性等が良ければよいといった段階か
ら、最近ではエレクトロニクス機器の軽薄短小化に伴う
プリント配線板の高密度化および小型部品の表面実装化
に対応して、より詳細なパターンが形成できることに加
えて、 1)高い光硬化反応性と高い解像度、 2)良好な現像性、 3)長いポットライフ、 4)優れた密着性、 5)優れた電気絶縁性および耐電蝕性、6)優れたはん
だ耐熱性、 7)レベラー用水溶性フラックスに対する非白化性、8
)塩化メチレンのような溶剤に対する優れた耐性、9)
優れた耐酸および耐アルカリ性、 10)優れた耐メッキ性、 11)優れたPCT(Pressure Cook T
est)性、等の特徴をすべて兼備したソルダーレジス
ト用材料およびソルダーレジストパターンの形成方法が
要求されるようになってきている。
【0012】エポキシ系やエポキシメラミン系の熱硬化
型スクリーン印刷インクは、精細なパターンを形成する
ことが困難であるという致命的欠点がある上、前者が耐
メッキ性に劣り、後者ははんだ耐熱性、耐薬品性、耐メ
ッキ性に問題がある。紫外線熱硬化型スクリーン印刷イ
ンクは、精細なパターンを形成することが容易である反
面、はんだ耐熱性、耐薬品性、耐メッキ性等に問題があ
る。
型スクリーン印刷インクは、精細なパターンを形成する
ことが困難であるという致命的欠点がある上、前者が耐
メッキ性に劣り、後者ははんだ耐熱性、耐薬品性、耐メ
ッキ性に問題がある。紫外線熱硬化型スクリーン印刷イ
ンクは、精細なパターンを形成することが容易である反
面、はんだ耐熱性、耐薬品性、耐メッキ性等に問題があ
る。
【0013】ドライフィルム型ソルダーレジストでは精
度の良いレジストパターンを得ることができる反面、は
んだ耐熱性や密着性、耐薬品性、耐メッキ性等が不十分
であるばかりでなく、配線回路間へのレジストの埋め込
み性が悪いという問題がある。
度の良いレジストパターンを得ることができる反面、は
んだ耐熱性や密着性、耐薬品性、耐メッキ性等が不十分
であるばかりでなく、配線回路間へのレジストの埋め込
み性が悪いという問題がある。
【0014】液状の感光性ソルダーレジストでは、精度
の良いレジストパターンを得ることができ、配線回路間
へのレジストの埋め込み性が良い反面、はんだ耐熱性や
密着性、耐薬品性、耐メッキ性等が不十分であるという
問題がある。液状の感光性ソルダーレジストに熱硬化性
成分のエポキシ樹脂を配合してはんだ耐熱性や密着性、
耐薬品性、耐メッキ性等を改良する試みがなされている
が、この場合エポキシ樹脂の比率を高めると耐熱性、密
着性等が向上する反面、光硬化反応性が低下して未露光
部分の現像性が低下し良好なレジストパターンが形成で
きにくいという欠点がある。また、一般にエポキシ樹脂
は耐アルカリ性が良好な反面、耐酸性に劣るので、酸性
浴のメッキ液に対する耐性が低い欠点がある。例えば、
無電解ニッケルメッキ液や無電解金メッキ液はpH4〜
5の酸性浴であり、しかも90℃で15〜30分間浸漬
するので、耐メッキレジストとしては十分な耐薬品性が
要求される。さらに、メッキ処理中に金属析出部に水素
ガスが発生するため、ソルダーレジストとプリント配線
板の電極との界面にメッキ液が浸入したりしてソルダー
レジストを剥す力が働くので、ソルダーレジストには基
材に対して強い密着性が要求される。
の良いレジストパターンを得ることができ、配線回路間
へのレジストの埋め込み性が良い反面、はんだ耐熱性や
密着性、耐薬品性、耐メッキ性等が不十分であるという
問題がある。液状の感光性ソルダーレジストに熱硬化性
成分のエポキシ樹脂を配合してはんだ耐熱性や密着性、
耐薬品性、耐メッキ性等を改良する試みがなされている
が、この場合エポキシ樹脂の比率を高めると耐熱性、密
着性等が向上する反面、光硬化反応性が低下して未露光
部分の現像性が低下し良好なレジストパターンが形成で
きにくいという欠点がある。また、一般にエポキシ樹脂
は耐アルカリ性が良好な反面、耐酸性に劣るので、酸性
浴のメッキ液に対する耐性が低い欠点がある。例えば、
無電解ニッケルメッキ液や無電解金メッキ液はpH4〜
5の酸性浴であり、しかも90℃で15〜30分間浸漬
するので、耐メッキレジストとしては十分な耐薬品性が
要求される。さらに、メッキ処理中に金属析出部に水素
ガスが発生するため、ソルダーレジストとプリント配線
板の電極との界面にメッキ液が浸入したりしてソルダー
レジストを剥す力が働くので、ソルダーレジストには基
材に対して強い密着性が要求される。
【0015】特開平2−99504号公報記載のマイレ
ン化ポリブタジエンとヒドロキシアルキル(メタ)アク
リレートとの反応物を用いた感光性熱硬化性の液状レジ
ストは、従来のノボラック型エポキシ樹脂と不飽和モノ
カルボン酸との反応生成物に多塩基酸を反応させたもの
に比べ、耐メッキ性、耐薬品性等が優れているもののま
だ十分な性能には至っていない。
ン化ポリブタジエンとヒドロキシアルキル(メタ)アク
リレートとの反応物を用いた感光性熱硬化性の液状レジ
ストは、従来のノボラック型エポキシ樹脂と不飽和モノ
カルボン酸との反応生成物に多塩基酸を反応させたもの
に比べ、耐メッキ性、耐薬品性等が優れているもののま
だ十分な性能には至っていない。
【0016】本発明は、上記のような種々の欠点がなく
、感光性および現像性が共に優れ、かつポットライフの
長い感光性熱硬化性樹脂組成物を提供ことを目的とする
ものである。
、感光性および現像性が共に優れ、かつポットライフの
長い感光性熱硬化性樹脂組成物を提供ことを目的とする
ものである。
【0017】さらに、本発明は、上記のような優れた特
性のほか、ソルダーレジストに要求される密着性、電気
絶縁性および耐電蝕性、はんだ耐熱性、レベラー用水溶
性フラックスに対する非白化性、塩化メチレンのような
溶剤に対する優れた耐性、耐酸および耐アルカリ性、耐
メッキ性、PCT性等に優れた硬化塗膜が得られ、民生
用や産業用プリント配線板等の製造に適した感光性熱硬
化性樹脂組成物およびパターンの形成方法を提供するこ
とを目的とするものである。
性のほか、ソルダーレジストに要求される密着性、電気
絶縁性および耐電蝕性、はんだ耐熱性、レベラー用水溶
性フラックスに対する非白化性、塩化メチレンのような
溶剤に対する優れた耐性、耐酸および耐アルカリ性、耐
メッキ性、PCT性等に優れた硬化塗膜が得られ、民生
用や産業用プリント配線板等の製造に適した感光性熱硬
化性樹脂組成物およびパターンの形成方法を提供するこ
とを目的とするものである。
【0018】
【課題を解決するための手段】本発明者らはこれらの課
題を解決するための種々検討の結果、特定の感光性熱硬
化性樹脂組成物に特定の化合物を添加することにより上
記の課題をすべて満たすことに成功し、本発明を完成す
るに至った。
題を解決するための種々検討の結果、特定の感光性熱硬
化性樹脂組成物に特定の化合物を添加することにより上
記の課題をすべて満たすことに成功し、本発明を完成す
るに至った。
【0019】すなわち、本発明は、(a)数平均分子量
が500〜5000の共役ジエンの重合体および/また
は共重合体にα,β−不飽和ジカルボン酸無水物を付加
して得られる酸無水物基含有の共役ジエンの重合体およ
び/または共重合体に、一般式
が500〜5000の共役ジエンの重合体および/また
は共重合体にα,β−不飽和ジカルボン酸無水物を付加
して得られる酸無水物基含有の共役ジエンの重合体およ
び/または共重合体に、一般式
【0020】
【化5】
【0021】[式中、R1 およびR2 は水素原子ま
たは炭素数1〜6の有機残基、R3 は炭素数2〜12
のアルキレン基を示す]で表されるアルコール性水酸基
を有するα,β−不飽和モノカルボン酸エステルを反応
させ、該付加物の酸無水物基の少なくとも80モル%を
開環させて得られる感光性オリゴマー、(b)光重合開
始剤、(c)分子内に2個以上のエポキシ基を有するエ
ポキシ樹脂、および(d)2,4−ジアミノ−6−ビニ
ル−S−トリアジンおよび/または2,4−ジアミノ−
6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン、を
必須成分とする感光性熱硬化性樹脂組成物に関する。
たは炭素数1〜6の有機残基、R3 は炭素数2〜12
のアルキレン基を示す]で表されるアルコール性水酸基
を有するα,β−不飽和モノカルボン酸エステルを反応
させ、該付加物の酸無水物基の少なくとも80モル%を
開環させて得られる感光性オリゴマー、(b)光重合開
始剤、(c)分子内に2個以上のエポキシ基を有するエ
ポキシ樹脂、および(d)2,4−ジアミノ−6−ビニ
ル−S−トリアジンおよび/または2,4−ジアミノ−
6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン、を
必須成分とする感光性熱硬化性樹脂組成物に関する。
【0022】さらに本発明は、上記の感光性熱硬化性樹
脂組成物をプリント配線板に塗布し、フォトマスクを介
して露光し、未露光部を現像してパターンを形成し、そ
の後、熱硬化させることを特徴とするソルダーレジスト
パターンの形成方法に関する。
脂組成物をプリント配線板に塗布し、フォトマスクを介
して露光し、未露光部を現像してパターンを形成し、そ
の後、熱硬化させることを特徴とするソルダーレジスト
パターンの形成方法に関する。
【0023】以下、本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物
の各構成成分について説明する。
の各構成成分について説明する。
【0024】(a)成分の感光性オリゴマーとしては、
数平均分子量が500〜5000の共役ジエンの重合体
および/または共重合体にα,β−不飽和ジカルボン酸
無水物を付加して得られる酸無水物基含有の共役ジエン
の重合体および/または共重合体に、一般式
数平均分子量が500〜5000の共役ジエンの重合体
および/または共重合体にα,β−不飽和ジカルボン酸
無水物を付加して得られる酸無水物基含有の共役ジエン
の重合体および/または共重合体に、一般式
【0025
】
】
【化6】
【0026】[式中、R1 およびR2 は水素原子ま
たは炭素数1〜6の有機残基、R3 は炭素数2〜12
のアルキレン基を示す]で表わされるアルコール性水酸
基を有するα,β−不飽和モノカルボン酸エステル(A
)、またはα,β−不飽和モノカルボン酸エステル(A
)と一般式(B) R4 −OH [式中、R4 は炭素数1〜20の有機残基を示す]で
表わされるアルコールとの混合物を反応させ、該付加物
の酸無水物基の少なくとも80モル%を開環させて得ら
れるものが用いられる。
たは炭素数1〜6の有機残基、R3 は炭素数2〜12
のアルキレン基を示す]で表わされるアルコール性水酸
基を有するα,β−不飽和モノカルボン酸エステル(A
)、またはα,β−不飽和モノカルボン酸エステル(A
)と一般式(B) R4 −OH [式中、R4 は炭素数1〜20の有機残基を示す]で
表わされるアルコールとの混合物を反応させ、該付加物
の酸無水物基の少なくとも80モル%を開環させて得ら
れるものが用いられる。
【0027】ここで用いる共役ジエン重合体および/ま
たは共重合体とは、ブタジエン、イソプレン等の炭素数
4〜5の共役ジオレフィンの低重合体、またはこれらの
共役ジオレフィンの一種または二種以上とエチレン性不
飽和二重結合を有するこれらの共役ジオレフィン以外の
モノマー、特にイソブチレン、スチレン、α−メチルス
チレン、ビニルトルエン、ジビニルトルエンのような脂
肪族または芳香族モノマーとの低重合度共重合体である
。またこれらの二種以上の混合物も利用することができ
る。
たは共重合体とは、ブタジエン、イソプレン等の炭素数
4〜5の共役ジオレフィンの低重合体、またはこれらの
共役ジオレフィンの一種または二種以上とエチレン性不
飽和二重結合を有するこれらの共役ジオレフィン以外の
モノマー、特にイソブチレン、スチレン、α−メチルス
チレン、ビニルトルエン、ジビニルトルエンのような脂
肪族または芳香族モノマーとの低重合度共重合体である
。またこれらの二種以上の混合物も利用することができ
る。
【0028】上記共役ジエン重合体および/または共重
合体の数平均分子量は500〜5000の範囲のものが
好ましい。分子量が500未満では光硬化後の塗膜強度
が十分でないし、5000を越えると塗膜の平滑性が悪
くなるのでいずれも好ましくない。
合体の数平均分子量は500〜5000の範囲のものが
好ましい。分子量が500未満では光硬化後の塗膜強度
が十分でないし、5000を越えると塗膜の平滑性が悪
くなるのでいずれも好ましくない。
【0029】これらの低重合体は、従来の公知の方法で
製造される。すなわちアルカリ金属または有機アルカリ
金属化合物を触媒として炭素数4〜5の共役ジオレフィ
ン単独、あるいはこれらの共役ジオレフィン混合物、あ
るいは共役ジオレフィンに対して好ましくは50モル%
以下の量の芳香族ビニルモノマーとを0〜100℃の温
度でアニオン重合させることにより製造することができ
る。この場合、分子量を制御し、ゲル分等の少ない、淡
色の低重合体を得るためには、ベンジルナトリウムのよ
うな有機アルカリ金属化合物を触媒とし、アルキルアリ
ール基を有する化合物、例えばトルエン等を連鎖移動剤
とする連鎖移動重合法(特公昭54−15586号公報
)、テトラヒドロフラン溶媒中でナフタレン等の多環芳
香族化合物を活性剤とし、ナトリウム等のアルカリ金属
を触媒とするリビング重合法(特公昭43−27432
号公報)、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素を溶
媒とし、ナトリウム等のアルカリ金属の分散体を触媒と
し、ジオキサン等のエーテル類を添加して分子量を制御
する重合法(特公昭32−7446号公報、特公昭34
−10188号公報、特公昭38−1245号公報)ま
たはコバルト、ニッケル等の第8族金属のアセチルアセ
トナート化合部およびアルキルアルミニウムハロゲニド
を触媒とする配位アニオン重合法(特公昭45−507
号公報、特公昭46−80300号公報)等の方法が好
ましい。
製造される。すなわちアルカリ金属または有機アルカリ
金属化合物を触媒として炭素数4〜5の共役ジオレフィ
ン単独、あるいはこれらの共役ジオレフィン混合物、あ
るいは共役ジオレフィンに対して好ましくは50モル%
以下の量の芳香族ビニルモノマーとを0〜100℃の温
度でアニオン重合させることにより製造することができ
る。この場合、分子量を制御し、ゲル分等の少ない、淡
色の低重合体を得るためには、ベンジルナトリウムのよ
うな有機アルカリ金属化合物を触媒とし、アルキルアリ
ール基を有する化合物、例えばトルエン等を連鎖移動剤
とする連鎖移動重合法(特公昭54−15586号公報
)、テトラヒドロフラン溶媒中でナフタレン等の多環芳
香族化合物を活性剤とし、ナトリウム等のアルカリ金属
を触媒とするリビング重合法(特公昭43−27432
号公報)、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素を溶
媒とし、ナトリウム等のアルカリ金属の分散体を触媒と
し、ジオキサン等のエーテル類を添加して分子量を制御
する重合法(特公昭32−7446号公報、特公昭34
−10188号公報、特公昭38−1245号公報)ま
たはコバルト、ニッケル等の第8族金属のアセチルアセ
トナート化合部およびアルキルアルミニウムハロゲニド
を触媒とする配位アニオン重合法(特公昭45−507
号公報、特公昭46−80300号公報)等の方法が好
ましい。
【0030】これら共役ジエンの重合体および/または
共重合体にα,β−不飽和ジカルボン酸無水物を付加す
ることにより酸無水基の付加物を製造することができる
。
共重合体にα,β−不飽和ジカルボン酸無水物を付加す
ることにより酸無水基の付加物を製造することができる
。
【0031】本発明におけるα,β−不飽和ジカルボン
酸無水物とは、無水マレイン酸、無水シトラコン酸、ク
ロル無水マレイン酸等が挙げられる。
酸無水物とは、無水マレイン酸、無水シトラコン酸、ク
ロル無水マレイン酸等が挙げられる。
【0032】この付加反応は、これらの単独もしくはこ
れらの両者を溶解する不活性溶媒中で、通常100〜2
20℃の温度で行なわれる。この際、ゲル化防止剤とし
て、ヒドロキノン、カテコール類、p−フェニレンジア
ミン誘導体等を0.1〜0.5重合部添加することが望
ましい。
れらの両者を溶解する不活性溶媒中で、通常100〜2
20℃の温度で行なわれる。この際、ゲル化防止剤とし
て、ヒドロキノン、カテコール類、p−フェニレンジア
ミン誘導体等を0.1〜0.5重合部添加することが望
ましい。
【0033】本発明においては、得られる酸無水物の付
加体の軟化点(JIS−K−2531−60の乾球式軟
化点の測定方法による)が70℃以上となるようにα,
β−不飽和ジカルボン酸無水物を付加することが望まし
い。この軟化点は主に原料の共役ジエン重合体あるいは
共重合体の不飽和結合の含有量、分子量およびα,β−
不飽和ジカルボン酸無水物の付加量に依存する。例えば
数平均分子量1000の液状ブタジエン重合体を用いた
場合は、全酸価として400以上の値が必要である。
加体の軟化点(JIS−K−2531−60の乾球式軟
化点の測定方法による)が70℃以上となるようにα,
β−不飽和ジカルボン酸無水物を付加することが望まし
い。この軟化点は主に原料の共役ジエン重合体あるいは
共重合体の不飽和結合の含有量、分子量およびα,β−
不飽和ジカルボン酸無水物の付加量に依存する。例えば
数平均分子量1000の液状ブタジエン重合体を用いた
場合は、全酸価として400以上の値が必要である。
【0034】軟化点がこれより低いと最終生成物である
水酸基を有するα,β−不飽和モノカルボン酸エステル
との反応物に粘着性が残って光硬化時にフォトマスクが
塗膜に張り付いてしまうため、フォトマスクと密着露光
ができない。
水酸基を有するα,β−不飽和モノカルボン酸エステル
との反応物に粘着性が残って光硬化時にフォトマスクが
塗膜に張り付いてしまうため、フォトマスクと密着露光
ができない。
【0035】次に、上記のようにして得られた酸無水物
の付加物にα,β−不飽和モノカルボン酸エステル(A
)、またはα,β−不飽和モノカルボン酸エステル(A
)とアルコール(B)の混合物を反応させ、該付加物の
酸無水物基の少なくとも80%を開環させて感光性オリ
ゴマーを製造する。
の付加物にα,β−不飽和モノカルボン酸エステル(A
)、またはα,β−不飽和モノカルボン酸エステル(A
)とアルコール(B)の混合物を反応させ、該付加物の
酸無水物基の少なくとも80%を開環させて感光性オリ
ゴマーを製造する。
【0036】ここで前記(A)式で表わされるアルコー
ル性水酸基を有するα,β−不飽和モノカルボン酸エス
テルとしては、具体的には例えば2−ヒドロキシエチル
アクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、
2−ヒドロキシプロピルアクリレート、2−ヒドロキシ
−3−フェノキシプロピルアクリレート等があり、これ
らは単独、または混合して用いることができる。
ル性水酸基を有するα,β−不飽和モノカルボン酸エス
テルとしては、具体的には例えば2−ヒドロキシエチル
アクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、
2−ヒドロキシプロピルアクリレート、2−ヒドロキシ
−3−フェノキシプロピルアクリレート等があり、これ
らは単独、または混合して用いることができる。
【0037】またアルコール(B)としては具体的には
、エチルアルコール、ブチルアルコール、エチルセロソ
ルブ、ブチルセロソルブ、シクロヘキサノール、ベンジ
ルアルコール、フェノール等が挙げられる。
、エチルアルコール、ブチルアルコール、エチルセロソ
ルブ、ブチルセロソルブ、シクロヘキサノール、ベンジ
ルアルコール、フェノール等が挙げられる。
【0038】この開環反応において、光感光性の二重結
合を有するエステル(A)は必須であり、α,β−不飽
和モノカルボン酸エステル(A)とアルコール(B)の
割合はモル比で(A):(B)=1:0〜4の範囲で用
いられ、好ましくは(A):(B)=1:0〜1である
。アルコール(B)はレジスト塗膜の粘着性あるいは溶
解性を制御するために用いられるが、α,β−不飽和モ
ノカルボン酸エステル(A)の付加量がこの範囲より少
ないと微細な配線が形成できなくなる。
合を有するエステル(A)は必須であり、α,β−不飽
和モノカルボン酸エステル(A)とアルコール(B)の
割合はモル比で(A):(B)=1:0〜4の範囲で用
いられ、好ましくは(A):(B)=1:0〜1である
。アルコール(B)はレジスト塗膜の粘着性あるいは溶
解性を制御するために用いられるが、α,β−不飽和モ
ノカルボン酸エステル(A)の付加量がこの範囲より少
ないと微細な配線が形成できなくなる。
【0039】これらによる酸無水基の開環反応は通常塩
基触媒の存在下、100℃以下、例えば50〜100℃
の比較的低温で行われる。開環させる割合は酸無水基の
80モル%以上、好ましくは90モル%以上であること
が光硬化性および塗膜の長期的安定性の点から適当であ
る。開環反応は溶媒の存在下に行なうことが好ましい。 溶媒としてはこれらに対して反応性を持たず、かつ両者
を溶解するものが好ましく用いられる。この例としてト
ルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類、メチルエチル
ケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン類、2−メ
トキシプロピルアセテート、酢酸エチル等のエステル類
、ジエチレングリコールジメチルエーテル、トリエチレ
ングリコールジメチルエーテル等のエーテル類、および
ジアセトンアルコール等の三級アルコール類が挙げられ
る。このようにして前記の感光性オリゴマーが製造され
る。
基触媒の存在下、100℃以下、例えば50〜100℃
の比較的低温で行われる。開環させる割合は酸無水基の
80モル%以上、好ましくは90モル%以上であること
が光硬化性および塗膜の長期的安定性の点から適当であ
る。開環反応は溶媒の存在下に行なうことが好ましい。 溶媒としてはこれらに対して反応性を持たず、かつ両者
を溶解するものが好ましく用いられる。この例としてト
ルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類、メチルエチル
ケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン類、2−メ
トキシプロピルアセテート、酢酸エチル等のエステル類
、ジエチレングリコールジメチルエーテル、トリエチレ
ングリコールジメチルエーテル等のエーテル類、および
ジアセトンアルコール等の三級アルコール類が挙げられ
る。このようにして前記の感光性オリゴマーが製造され
る。
【0040】この感光性オリゴマーの残存酸無水基の一
部をさらに一級アミンでイミド化したり、あるいはこの
感光性オリゴマーのカルボン酸基の一部をモノエポキシ
化合物で予めエステル化したオリゴマーも使用すること
ができる。
部をさらに一級アミンでイミド化したり、あるいはこの
感光性オリゴマーのカルボン酸基の一部をモノエポキシ
化合物で予めエステル化したオリゴマーも使用すること
ができる。
【0041】本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物におい
ては、必要に応じ感光性モノマーを配合することができ
る。感光性モノマーとしては、2−ヒドロキシエチルア
クリレート、2−ヒドロキシブチルアクリレート、トリ
メチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリ
トールトリアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキ
サアクリレート、2−ヒドロキシエチルメタアクリレー
ト、トリメチロールプロパントリメタアクリレート、ペ
ンタエリスリトールトリメタアクリレート等の公知の光
重合性モノマーが使用できる。感光性モノマーの添加量
は感光性オリゴマー100重量部に対して0〜20重量
部の範囲で、塗膜にタックを与えない範囲が選ばれる。
ては、必要に応じ感光性モノマーを配合することができ
る。感光性モノマーとしては、2−ヒドロキシエチルア
クリレート、2−ヒドロキシブチルアクリレート、トリ
メチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリ
トールトリアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキ
サアクリレート、2−ヒドロキシエチルメタアクリレー
ト、トリメチロールプロパントリメタアクリレート、ペ
ンタエリスリトールトリメタアクリレート等の公知の光
重合性モノマーが使用できる。感光性モノマーの添加量
は感光性オリゴマー100重量部に対して0〜20重量
部の範囲で、塗膜にタックを与えない範囲が選ばれる。
【0042】本発明の(b)成分の光重合開始剤として
は、従来公知のものを用いることができる。例えばベイ
ゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンジル、ミヒラ
ーケトン、ジエチルチオキサントン、等のほか、イルガ
キュア−184、イルガキュア−651、イルガキュア
−907(以上、チバガイギー社製)、ダロキュア−1
173(メルク社製)等の商品名で市販されている光重
合開始剤が例示できる。これらの使用量は、感光性オリ
ゴマー100重量部に対して通常1〜15重量部の範囲
である。この量が1重量部より少ないと光硬化性が低下
し、15重量部より多いと感光塗膜の強度が低下するの
で好ましくない。
は、従来公知のものを用いることができる。例えばベイ
ゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンジル、ミヒラ
ーケトン、ジエチルチオキサントン、等のほか、イルガ
キュア−184、イルガキュア−651、イルガキュア
−907(以上、チバガイギー社製)、ダロキュア−1
173(メルク社製)等の商品名で市販されている光重
合開始剤が例示できる。これらの使用量は、感光性オリ
ゴマー100重量部に対して通常1〜15重量部の範囲
である。この量が1重量部より少ないと光硬化性が低下
し、15重量部より多いと感光塗膜の強度が低下するの
で好ましくない。
【0043】本発明の(c)成分の熱硬化性成分として
用いる分子内に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ
樹脂としては、以下のように分類されるエポキシ樹脂の
いずれも用いることができる。
用いる分子内に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ
樹脂としては、以下のように分類されるエポキシ樹脂の
いずれも用いることができる。
【0044】1)グリシジルエーテル系エポキシ樹脂a
)ビスフェノールA型エポキシ樹脂およびその誘導体b
)ビスフェノールF型エポキシ樹脂 c)ビスフェノールS型エポキシ樹脂 d)ビスフェノール型特殊エポキシ樹脂e)ノボラック
型エポキシ樹脂 e−1)フェノールノボラック型エポキシ樹脂e−2)
クレゾールノボラック型エポキシ樹脂e−3)特殊ノボ
ラック型エポキシ樹脂f)ビフェニル型エポキシ樹脂 g)特殊グリシジルエーテル系エポキシ樹脂2)特殊エ
ポキシ樹脂 h)グリシジルエステル系エポキシ樹脂i)グリシジル
アミン系エポキシ樹脂 j)環式脂肪族エポキシ樹脂 k)複素環式エポキシ樹脂 k−1)ヒダントイン型エポキシ樹脂 k−2)トリグリシジルイソシアヌレート
)ビスフェノールA型エポキシ樹脂およびその誘導体b
)ビスフェノールF型エポキシ樹脂 c)ビスフェノールS型エポキシ樹脂 d)ビスフェノール型特殊エポキシ樹脂e)ノボラック
型エポキシ樹脂 e−1)フェノールノボラック型エポキシ樹脂e−2)
クレゾールノボラック型エポキシ樹脂e−3)特殊ノボ
ラック型エポキシ樹脂f)ビフェニル型エポキシ樹脂 g)特殊グリシジルエーテル系エポキシ樹脂2)特殊エ
ポキシ樹脂 h)グリシジルエステル系エポキシ樹脂i)グリシジル
アミン系エポキシ樹脂 j)環式脂肪族エポキシ樹脂 k)複素環式エポキシ樹脂 k−1)ヒダントイン型エポキシ樹脂 k−2)トリグリシジルイソシアヌレート
【0045】
これらのエポキシ樹脂のうち好ましくは、フェノールノ
ボラック型エポキシ樹脂、例えば大日本インキ化学工業
社製のエピクロンEXA−4506;クレゾールノボラ
ックエポキシ樹脂、例えば大日本インキ化学工業社製の
エピクロンN−695、EXA−4621等;特殊ノボ
ラック型エポキシ樹脂、例えば大日本インキ化学工業社
製のエピクロンN−510;ビフェニル型エポキシ樹脂
、例えば油化シェルエポキシ社製のYX−4000;特
殊グリシジルエーテル系エポキシ樹脂、例えば日本化薬
社製のEPPN−500シリーズや大日本インキ化学工
業社製のエピクロンHP−4032等;および複素環式
エポキシ樹脂のトリグリシジルイソシアヌレートが好ま
しく用いられるが、下記式(I)、(II)および(I
II)からなる群より選ばれる一種または二種以上のエ
ポキシ樹脂を用いるのが最も好ましい。
これらのエポキシ樹脂のうち好ましくは、フェノールノ
ボラック型エポキシ樹脂、例えば大日本インキ化学工業
社製のエピクロンEXA−4506;クレゾールノボラ
ックエポキシ樹脂、例えば大日本インキ化学工業社製の
エピクロンN−695、EXA−4621等;特殊ノボ
ラック型エポキシ樹脂、例えば大日本インキ化学工業社
製のエピクロンN−510;ビフェニル型エポキシ樹脂
、例えば油化シェルエポキシ社製のYX−4000;特
殊グリシジルエーテル系エポキシ樹脂、例えば日本化薬
社製のEPPN−500シリーズや大日本インキ化学工
業社製のエピクロンHP−4032等;および複素環式
エポキシ樹脂のトリグリシジルイソシアヌレートが好ま
しく用いられるが、下記式(I)、(II)および(I
II)からなる群より選ばれる一種または二種以上のエ
ポキシ樹脂を用いるのが最も好ましい。
【0046】
【化7】
【0047】YX−4000(油化シェルエポキシ(株
)製)
)製)
【0048】
【化8】
【0049】EPPN−500シリーズ(日本化薬(株
)製、非ノボラック型多官能エポキシ樹脂)EPPN−
501H、EPPN−502H、EOCN−1020、
)製、非ノボラック型多官能エポキシ樹脂)EPPN−
501H、EPPN−502H、EOCN−1020、
【0050】
【化9】
【0051】エピクロンN−510(大日本インキ化学
(株)製、変性ノボラック型多官能エポキシ樹脂)[各
式中、Gはいずれもグリシジル基を示す]
(株)製、変性ノボラック型多官能エポキシ樹脂)[各
式中、Gはいずれもグリシジル基を示す]
【0052】
特に式(I)〜(III)の特定のエポキシ樹脂を単独
またはこれらを組み合わせるか、これらを主体として上
記の他のエポキシ樹脂(ビスフェノールA型エポキシ樹
脂およびその誘導体、ビスフェノールF型エポキシ樹脂
、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノール型
特殊エポキシ樹脂、グリシジルエステル系エポキシ樹脂
、グリシジルアミン系エポキシ樹脂、環式脂肪族エポキ
シ樹脂、複素環式エポキシ樹脂のヒダントイン型エポキ
シ樹脂等)と混合して用いることによって、感光性およ
び現像性共に優れ、かつポットライフの長い感光性熱硬
化性樹脂組成物で、ソルダーレジストに要求される密着
性、電気絶縁性および耐電蝕性、はんだ耐熱性、レベラ
ー用水溶性フラックスに対する非白化性、塩化メチレン
のような溶剤に対する優れた耐性、耐酸および耐アルカ
リ性、耐メッキ性、PCT性等に優れた硬化塗膜が得ら
れ、民生用や産業用プリント配線板等の製造に適した感
光性熱硬化性樹脂組成物およびソルダーレジストパター
ンの形成方法を提供することができる。
特に式(I)〜(III)の特定のエポキシ樹脂を単独
またはこれらを組み合わせるか、これらを主体として上
記の他のエポキシ樹脂(ビスフェノールA型エポキシ樹
脂およびその誘導体、ビスフェノールF型エポキシ樹脂
、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノール型
特殊エポキシ樹脂、グリシジルエステル系エポキシ樹脂
、グリシジルアミン系エポキシ樹脂、環式脂肪族エポキ
シ樹脂、複素環式エポキシ樹脂のヒダントイン型エポキ
シ樹脂等)と混合して用いることによって、感光性およ
び現像性共に優れ、かつポットライフの長い感光性熱硬
化性樹脂組成物で、ソルダーレジストに要求される密着
性、電気絶縁性および耐電蝕性、はんだ耐熱性、レベラ
ー用水溶性フラックスに対する非白化性、塩化メチレン
のような溶剤に対する優れた耐性、耐酸および耐アルカ
リ性、耐メッキ性、PCT性等に優れた硬化塗膜が得ら
れ、民生用や産業用プリント配線板等の製造に適した感
光性熱硬化性樹脂組成物およびソルダーレジストパター
ンの形成方法を提供することができる。
【0053】これらのエポキシ樹脂の添加量は、用いる
エポキシ樹脂の種類によって異なるが、感光性オリゴマ
ー100重量部に対して20〜145重量部の範囲が好
ましい。この範囲未満でも越えても、耐熱性が低く、P
CT性、電気絶縁性および耐電蝕性に劣る。
エポキシ樹脂の種類によって異なるが、感光性オリゴマ
ー100重量部に対して20〜145重量部の範囲が好
ましい。この範囲未満でも越えても、耐熱性が低く、P
CT性、電気絶縁性および耐電蝕性に劣る。
【0054】本発明の(d)成分としては、2,4−ジ
アミノ−6−ビニル−S−トリアジン、2,4−ジアミ
ノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン
を用いる。(a)成分の感光性成分と(c)エポキシ樹
脂を単に組み合わせただけでは耐熱性、耐メッキ性が不
十分であるが、上記の特定の化合物を配合した場合のみ
、これらの性能が著しく向上する。これらの添加量は感
光性オリゴマー100重量部に対して通常1〜10重量
部の範囲である。この量が1重量部より少ないと耐メッ
キ性が十分でなく、10重量部より多いとその硬化が飽
和してしまうので必要がない。
アミノ−6−ビニル−S−トリアジン、2,4−ジアミ
ノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン
を用いる。(a)成分の感光性成分と(c)エポキシ樹
脂を単に組み合わせただけでは耐熱性、耐メッキ性が不
十分であるが、上記の特定の化合物を配合した場合のみ
、これらの性能が著しく向上する。これらの添加量は感
光性オリゴマー100重量部に対して通常1〜10重量
部の範囲である。この量が1重量部より少ないと耐メッ
キ性が十分でなく、10重量部より多いとその硬化が飽
和してしまうので必要がない。
【0055】本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物におい
てはフィラーを添加することができる。フィラーとして
は、タルク、石英、アルミナ、硫酸バリウム等の公知の
ものである。これらの添加量は感光性オリゴマー100
重量部に対して0〜150重量部の範囲である。また、
必要に応じフタロシアニンブルー、シアニングリーン、
ハンザイエローのような着色顔料や各種蛍光顔料、また
、エロジルのようなチクソトロピー性コントロールのた
めの微粒子も配合される。
てはフィラーを添加することができる。フィラーとして
は、タルク、石英、アルミナ、硫酸バリウム等の公知の
ものである。これらの添加量は感光性オリゴマー100
重量部に対して0〜150重量部の範囲である。また、
必要に応じフタロシアニンブルー、シアニングリーン、
ハンザイエローのような着色顔料や各種蛍光顔料、また
、エロジルのようなチクソトロピー性コントロールのた
めの微粒子も配合される。
【0056】本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物は、必
要に応じ有機溶剤で希釈して混合・錬磨して、常温での
粘度が1〜500ポイズに調整してインクとされる。こ
こで用いられる有機溶剤としては、通常用いられるジア
セトンアルコール、エチルセロソルブ、ブチルセロソル
ブ、ブチルセロソルブアセテート、ソルフィトアセテー
ト、プロピレングリコールモノメチルアセテート、ジグ
ライム等が用いられる。粘度は塗布方法によって異なり
、静電塗装では1〜100ポイズ、スクリーン印刷やカ
ーテン塗布では100〜500ポイズの範囲が一般的で
ある。この樹脂組成物は、感光性を有するために塗膜に
フォトマスクを介して露光することによりパターン形成
が可能であり、しかもパターン形成の後、その塗膜を熱
によりさらに硬化させることのできる感光性熱硬化性樹
脂組成物である。
要に応じ有機溶剤で希釈して混合・錬磨して、常温での
粘度が1〜500ポイズに調整してインクとされる。こ
こで用いられる有機溶剤としては、通常用いられるジア
セトンアルコール、エチルセロソルブ、ブチルセロソル
ブ、ブチルセロソルブアセテート、ソルフィトアセテー
ト、プロピレングリコールモノメチルアセテート、ジグ
ライム等が用いられる。粘度は塗布方法によって異なり
、静電塗装では1〜100ポイズ、スクリーン印刷やカ
ーテン塗布では100〜500ポイズの範囲が一般的で
ある。この樹脂組成物は、感光性を有するために塗膜に
フォトマスクを介して露光することによりパターン形成
が可能であり、しかもパターン形成の後、その塗膜を熱
によりさらに硬化させることのできる感光性熱硬化性樹
脂組成物である。
【0057】本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物は、ソ
ルダーレジストとして特に好ましく用いられる。
ルダーレジストとして特に好ましく用いられる。
【0058】本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物を用い
てソルダーレジストパターンを形成するには、まず本発
明の感光性熱硬化性樹脂組成物を、導体回路の形成され
たプリント基板に塗布することによって塗膜を作成する
。
てソルダーレジストパターンを形成するには、まず本発
明の感光性熱硬化性樹脂組成物を、導体回路の形成され
たプリント基板に塗布することによって塗膜を作成する
。
【0059】基材への塗布は通常、スクリーン印刷、ス
プレーコート、カーテンコート等の方法で行う。塗膜の
乾燥は、熱風乾燥、遠赤外線等により通常120℃以下
、好ましくは60〜100℃の範囲で10〜60分行う
。この時の温度と時間は用いる溶剤の種類と希釈率、塗
膜厚等によって異なるので、最適条件を選んで設定する
必要がある。但し、硬化温度が120℃を越えると、熱
硬化反応が始まり、露光・現像後パターンが形成されな
くなるので好ましくない。
プレーコート、カーテンコート等の方法で行う。塗膜の
乾燥は、熱風乾燥、遠赤外線等により通常120℃以下
、好ましくは60〜100℃の範囲で10〜60分行う
。この時の温度と時間は用いる溶剤の種類と希釈率、塗
膜厚等によって異なるので、最適条件を選んで設定する
必要がある。但し、硬化温度が120℃を越えると、熱
硬化反応が始まり、露光・現像後パターンが形成されな
くなるので好ましくない。
【0060】こうして得られた塗膜は、常温で表面タッ
クがなく、フォトマスクと接触してもフォトマスクに粘
着することがない。
クがなく、フォトマスクと接触してもフォトマスクに粘
着することがない。
【0061】乾燥後、レーザーを直接照射するかあるい
は塗膜とネガ型のフォトマスクを密着させて、例えば水
銀灯、キセノンランプ、メタルハライドランプ等を用い
て紫外線で露光する。次いで、未露光部をアルカリ性水
溶液で現像しパターンを形成する。この感光被膜はさら
に熱硬化(アフターキュア)を行なうことによって、耐
熱性、密着性に優れ、電気絶縁性の良い高信頼性の被膜
となり、ソルダーレジスト、メッキレジスト等として極
めて有用となる。アルカリ性現像液としては、一般に1
〜5重量%程度の炭酸ナトリウム等の水溶液を用いるこ
とができる。
は塗膜とネガ型のフォトマスクを密着させて、例えば水
銀灯、キセノンランプ、メタルハライドランプ等を用い
て紫外線で露光する。次いで、未露光部をアルカリ性水
溶液で現像しパターンを形成する。この感光被膜はさら
に熱硬化(アフターキュア)を行なうことによって、耐
熱性、密着性に優れ、電気絶縁性の良い高信頼性の被膜
となり、ソルダーレジスト、メッキレジスト等として極
めて有用となる。アルカリ性現像液としては、一般に1
〜5重量%程度の炭酸ナトリウム等の水溶液を用いるこ
とができる。
【0062】アフターキュアは熱風乾燥、遠赤外線等を
用い、120〜180℃で、通常10〜60分間行う、
アフタ−キュアが十分でないと塗膜物性が十分にでない
し、これより過度に硬化させると塗膜が劣化する恐れが
ある。
用い、120〜180℃で、通常10〜60分間行う、
アフタ−キュアが十分でないと塗膜物性が十分にでない
し、これより過度に硬化させると塗膜が劣化する恐れが
ある。
【0063】
【作用】感光性樹脂成分の主成分に用いる感光性オリゴ
マーとして、共役ジエンの重合体および/または共重合
体のα,β−不飽和ジカルボン酸無水物付加体にアルコ
ール性水酸基を有するα,β−不飽和モノカルボン酸エ
ステルで半エステル化して得られるオリゴマーを採用す
ることによって、従来のノボラック型エポキシ樹脂と不
飽和モノカルボン酸との反応生成物に多塩基酸を反応さ
せたものと同様、アルカリ性水溶液による現像が可能な
ばかりでなく、従来のものより耐薬品性に優れた硬化塗
膜が得られるという効果を有する。
マーとして、共役ジエンの重合体および/または共重合
体のα,β−不飽和ジカルボン酸無水物付加体にアルコ
ール性水酸基を有するα,β−不飽和モノカルボン酸エ
ステルで半エステル化して得られるオリゴマーを採用す
ることによって、従来のノボラック型エポキシ樹脂と不
飽和モノカルボン酸との反応生成物に多塩基酸を反応さ
せたものと同様、アルカリ性水溶液による現像が可能な
ばかりでなく、従来のものより耐薬品性に優れた硬化塗
膜が得られるという効果を有する。
【0064】また、感光性熱硬化性樹脂組成物の一成分
として、2,4−ジアミノ−6−ビニル−S−トリアジ
ンおよび/または2,4−ジアミノ−6−メタクリロイ
ルオキシエチル−S−トリアジンを添加することによっ
て耐メッキ性が著しく向上させる効果がある。
として、2,4−ジアミノ−6−ビニル−S−トリアジ
ンおよび/または2,4−ジアミノ−6−メタクリロイ
ルオキシエチル−S−トリアジンを添加することによっ
て耐メッキ性が著しく向上させる効果がある。
【0065】さらにまた、熱硬化性樹脂成分として前記
の特定の構造を有するエポキシ樹脂(I)〜(III)
を用いることによって、耐熱性、耐薬品性、耐メッキ
性等が著しく向上する。
の特定の構造を有するエポキシ樹脂(I)〜(III)
を用いることによって、耐熱性、耐薬品性、耐メッキ
性等が著しく向上する。
【0066】これらの構成成分を配合することによって
、感光性および現像性が共に優れ、かつポットライフの
長い感光性熱硬化性樹脂組成物を提供し、ソルダーレジ
ストに要求される密着性、電気絶縁性および耐電蝕性、
はんだ耐熱性、レベラー用水溶性フラックスに対する非
白化性、塩化メチレンのような溶剤に対する優れた耐性
、耐酸および耐アルカリ性、耐メッキ性、PCT性等に
優れた硬化塗膜が得られ、民生用や産業用プリント配線
板等の製造に適した感光性熱硬化性樹脂組成物およびソ
ルダーレジストパターンの形成方法を提供することが可
能となった。
、感光性および現像性が共に優れ、かつポットライフの
長い感光性熱硬化性樹脂組成物を提供し、ソルダーレジ
ストに要求される密着性、電気絶縁性および耐電蝕性、
はんだ耐熱性、レベラー用水溶性フラックスに対する非
白化性、塩化メチレンのような溶剤に対する優れた耐性
、耐酸および耐アルカリ性、耐メッキ性、PCT性等に
優れた硬化塗膜が得られ、民生用や産業用プリント配線
板等の製造に適した感光性熱硬化性樹脂組成物およびソ
ルダーレジストパターンの形成方法を提供することが可
能となった。
【0067】
【発明の効果】本発明の感光性熱硬化性樹脂組成物は紫
外線硬化型でアルカリ現像ができるため、作業性が良く
、精度の良いレジストパターンを得ることができる。 しかも、熱硬化型でもあるため密着性、電気絶縁性およ
び耐電蝕性、はんだ耐熱性、レベラー用水溶性フラック
スに対する非白化性、塩化メチレンのような溶剤に対す
る優れた耐性、耐酸および耐アルカリ性、耐メッキ性、
PCT性等がさらに優れた硬化塗膜が得られる。従って
、民生用や産業用プリント配線板等の製造に適したソル
ダーレジスト、エッチングレジスト、メッキレジストと
して用いることができる。
外線硬化型でアルカリ現像ができるため、作業性が良く
、精度の良いレジストパターンを得ることができる。 しかも、熱硬化型でもあるため密着性、電気絶縁性およ
び耐電蝕性、はんだ耐熱性、レベラー用水溶性フラック
スに対する非白化性、塩化メチレンのような溶剤に対す
る優れた耐性、耐酸および耐アルカリ性、耐メッキ性、
PCT性等がさらに優れた硬化塗膜が得られる。従って
、民生用や産業用プリント配線板等の製造に適したソル
ダーレジスト、エッチングレジスト、メッキレジストと
して用いることができる。
【0068】
【実施例】以下に本発明を実施例等により具体的に説明
するが、本発明は以下の実施例等に限定されるものでは
ない。なお、「部」および「%」とあるのは、特に断り
のない限り重量基準である。
するが、本発明は以下の実施例等に限定されるものでは
ない。なお、「部」および「%」とあるのは、特に断り
のない限り重量基準である。
【0069】合成例1
ベンジルナトリウムを触媒とし、連鎖移動剤のトル
エンの存在下に30℃でブタジエンを重合させて得られ
る数平均分子量1000、25℃における粘度13ポイ
ズ、1、2結合65%の液状ブタジエン重合体258g
、無水マレイン酸194g、トリエチレングリコールジ
メチルエーテル10gおよびトリメチルヒドロイキノン
2gを環流冷却管および窒素吹き込み管付の1リットル
のセパラブルフラスコに仕込み、窒素気流下に190℃
で5時間反応させた。反応後、未反応無水マレイン酸、
トリエチレングリコールジメチルエーテルを留去させ、
全酸価480mgKOH/gのマレイン化ブタジエン重
合体442gを得た。このものの軟化点(環球式軟化点
JIS−K−2531−60)は129℃であった。
エンの存在下に30℃でブタジエンを重合させて得られ
る数平均分子量1000、25℃における粘度13ポイ
ズ、1、2結合65%の液状ブタジエン重合体258g
、無水マレイン酸194g、トリエチレングリコールジ
メチルエーテル10gおよびトリメチルヒドロイキノン
2gを環流冷却管および窒素吹き込み管付の1リットル
のセパラブルフラスコに仕込み、窒素気流下に190℃
で5時間反応させた。反応後、未反応無水マレイン酸、
トリエチレングリコールジメチルエーテルを留去させ、
全酸価480mgKOH/gのマレイン化ブタジエン重
合体442gを得た。このものの軟化点(環球式軟化点
JIS−K−2531−60)は129℃であった。
【0070】得られたマレイン化ブタジエン重合体30
0g、ジエチレングリコールジメチルエーテル189g
を環流冷却管および窒素吹き込み管付の2リットルのセ
パラブルフラスコに入れ125℃で溶解した。溶解後、
65℃まで冷却したのち2−ヒドロキシエチルアクリレ
ート149.0gとヒドロキノン0.6gを添加し、続
いてトリエチルアミン3gを加え半エステル化を開始し
た。トリエチルアミンの添加とともに反応熱により系内
の温度が上昇したが、反応温度が85℃になるように制
御しながら、3時間反応を行ない、マレイン化ブタジエ
ン重合体の2−ヒドロキシエチルアクリレートの70w
t%ジエチレングリコールジメチルエーテル溶液を得た
。
0g、ジエチレングリコールジメチルエーテル189g
を環流冷却管および窒素吹き込み管付の2リットルのセ
パラブルフラスコに入れ125℃で溶解した。溶解後、
65℃まで冷却したのち2−ヒドロキシエチルアクリレ
ート149.0gとヒドロキノン0.6gを添加し、続
いてトリエチルアミン3gを加え半エステル化を開始し
た。トリエチルアミンの添加とともに反応熱により系内
の温度が上昇したが、反応温度が85℃になるように制
御しながら、3時間反応を行ない、マレイン化ブタジエ
ン重合体の2−ヒドロキシエチルアクリレートの70w
t%ジエチレングリコールジメチルエーテル溶液を得た
。
【0071】合成例2
合成例1で合成した全酸価480mgKOH/gの
マレイン化ブタジエン重合体を用い、2−ヒドロキシエ
チルメタクリレートによる半エステル化物を以下のよう
にして得た。
マレイン化ブタジエン重合体を用い、2−ヒドロキシエ
チルメタクリレートによる半エステル化物を以下のよう
にして得た。
【0072】マレイン化ブタジエン重合体300g、ジ
エチレングリコールジメチルエーテル194gを環流冷
却管付の2リットルのセパラブルフラスコに入れ125
℃で溶解した。溶解後、65℃まで冷却したのち2−ヒ
ドロキシエチルメタクリレート167gとヒドロキノン
0.6gを添加し、続いてトリエチルアミン6gを加え
半エステル化を開始した。トリエチルアミンの添加とと
もに反応熱により、系内の温度が上昇したが、反応温度
が95℃になるように制御しながら、3時間反応を行な
い、マレイン化ブタジエン重合体の2−ヒドロキシエチ
ルメタクリレートの70wt%ジエチレングリコールジ
メチルエーテル溶液を得た。
エチレングリコールジメチルエーテル194gを環流冷
却管付の2リットルのセパラブルフラスコに入れ125
℃で溶解した。溶解後、65℃まで冷却したのち2−ヒ
ドロキシエチルメタクリレート167gとヒドロキノン
0.6gを添加し、続いてトリエチルアミン6gを加え
半エステル化を開始した。トリエチルアミンの添加とと
もに反応熱により、系内の温度が上昇したが、反応温度
が95℃になるように制御しながら、3時間反応を行な
い、マレイン化ブタジエン重合体の2−ヒドロキシエチ
ルメタクリレートの70wt%ジエチレングリコールジ
メチルエーテル溶液を得た。
【0073】実施例1〜3および比較例1〜2 表1
に示す配合(単位は、重量部)の主剤1〜4を三本ロー
ルにより調製した。
に示す配合(単位は、重量部)の主剤1〜4を三本ロー
ルにより調製した。
【0074】主剤100gに対して、添加剤1(油化シ
ェルエポキシ社製、ビフェニル型エポキシ樹脂、YX−
4000 60部とプロピレングリコールモノメチル
アセテート 40部とからなる)を35g加え、実施
例1〜3、比較例1〜2の感光性熱硬化性樹脂組成物と
した。
ェルエポキシ社製、ビフェニル型エポキシ樹脂、YX−
4000 60部とプロピレングリコールモノメチル
アセテート 40部とからなる)を35g加え、実施
例1〜3、比較例1〜2の感光性熱硬化性樹脂組成物と
した。
【0075】
【表1】
【0076】1)合成例1で合成したマレイン化ブタジ
エン重合体の2−ヒドロキシエチルアクリレートによる
半エステル化物の70%ジエチレングリコールジメチル
エーテル溶液
エン重合体の2−ヒドロキシエチルアクリレートによる
半エステル化物の70%ジエチレングリコールジメチル
エーテル溶液
【0077】2)合成例2で合成したマレイン化ブタジ
エン重合体の2−ヒドロキシエチルメタクリレートによ
る半エステル化物の70%ジエチレングリコールジメチ
ルエーテル溶液
エン重合体の2−ヒドロキシエチルメタクリレートによ
る半エステル化物の70%ジエチレングリコールジメチ
ルエーテル溶液
【0078】3)チバ・ガイギー社製、2−メチル−1
−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノ
プロパン−1−オン
−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノ
プロパン−1−オン
【0079】4)日本化薬社製、2,4−ジエチルチオ
キサントン
キサントン
【0080】5)四国化成工業社製、2,4−ジアミノ
−6−ビニル−s−トリアジン
−6−ビニル−s−トリアジン
【0081】6)四国化成工業社製、2.4−ジアミノ
−6−メタクリロイルオキシエチル−s−トリアジン
−6−メタクリロイルオキシエチル−s−トリアジン
【
0082】7)日本アエロジル社製、シリカ
0082】7)日本アエロジル社製、シリカ
【0083
】8)東芝シリコーン社製、シリコーン系消泡剤
】8)東芝シリコーン社製、シリコーン系消泡剤
【0084】各々の感光性熱硬化性樹脂組成物を、スク
リーン印刷法によりガラス/エポキシのプリント基板全
面に、乾燥膜厚20μmになるように塗布し、熱風乾燥
器で75℃、30分間乾燥した。
リーン印刷法によりガラス/エポキシのプリント基板全
面に、乾燥膜厚20μmになるように塗布し、熱風乾燥
器で75℃、30分間乾燥した。
【0085】次に、ネガパターンのフォトマスクをこの
乾燥塗膜に密着させ、オーク社製メタルハライド灯露光
装置で、500mJ/cm2 の露光をし、ついで1%
炭酸ソーダ水溶液(30℃)を現像液として、2kg/
cm2 のスプレー圧で現像し、水洗・乾燥(75℃、
30分)した。
乾燥塗膜に密着させ、オーク社製メタルハライド灯露光
装置で、500mJ/cm2 の露光をし、ついで1%
炭酸ソーダ水溶液(30℃)を現像液として、2kg/
cm2 のスプレー圧で現像し、水洗・乾燥(75℃、
30分)した。
【0086】さらに、150℃の熱風循環炉で、30分
熱硬化反応を行った。
熱硬化反応を行った。
【0087】このようにして作成した各々の感光性熱硬
化性樹脂組成物硬化物の特性を表2にまとめた。また、
実施例1〜3の組成物においては、シェルフライフはい
ずれも1カ月以上と良好であり、また現像性も良好であ
った。
化性樹脂組成物硬化物の特性を表2にまとめた。また、
実施例1〜3の組成物においては、シェルフライフはい
ずれも1カ月以上と良好であり、また現像性も良好であ
った。
【0088】
【表2】
【0089】これらの実施例等に用いた試験方法および
評価判定基準は下記の通りである。
評価判定基準は下記の通りである。
【0090】1)シェルフライフ
ポリ容器にインク状の感光性熱硬化性樹脂組成物(エポ
キシ樹脂を添加していないもの)を入れ密栓して、40
℃の恒温槽に保管し、経時的に粘度を測定した。初期の
粘度が2倍となる時間をシェルフライフとした。
キシ樹脂を添加していないもの)を入れ密栓して、40
℃の恒温槽に保管し、経時的に粘度を測定した。初期の
粘度が2倍となる時間をシェルフライフとした。
【0091】2)現像性
エポキシ基板にスクリーン印刷により感光性熱硬化性樹
脂組成物のインクを塗布し(乾燥膜厚で約20μm)、
75℃、30分間乾燥の後、フォトマスクを塗膜面に接
触させ、オーク製作所製メタルハライド灯露光装置を用
いて500mJ/cm2 の露光をし、1%炭酸ソーダ
水溶液を現像液として2kg/cm2 のスプレー圧で
1分間現像し、水スプレーで水洗し、乾燥した時の状態
を、光照射された部分に脱落があったり、未照射部分に
インクが残っていないか、目視で判定した。
脂組成物のインクを塗布し(乾燥膜厚で約20μm)、
75℃、30分間乾燥の後、フォトマスクを塗膜面に接
触させ、オーク製作所製メタルハライド灯露光装置を用
いて500mJ/cm2 の露光をし、1%炭酸ソーダ
水溶液を現像液として2kg/cm2 のスプレー圧で
1分間現像し、水スプレーで水洗し、乾燥した時の状態
を、光照射された部分に脱落があったり、未照射部分に
インクが残っていないか、目視で判定した。
【0092】3)光硬化反応性および解像度エポキシ基
板にセロファンテープ2枚厚で感光性熱硬化性樹脂組成
物のインクを塗布し、75℃、30分間乾燥の後、ST
OUFFER社のステップタブレットおよび日立化成社
の解像度測定用テストパターンNo.1とを塗膜面に接
触させ、オーク製作所製メタルハライド灯露光装置を用
いて500mJ/cm2の露光をし、ついで1%炭酸ソ
ーダ水溶液を現像液として2kg/cm2 のスプレー
圧で1分間現像し、水スプレーで水洗し、乾燥した。次
に、150℃の熱風循環炉で30分間、熱硬化させた。
板にセロファンテープ2枚厚で感光性熱硬化性樹脂組成
物のインクを塗布し、75℃、30分間乾燥の後、ST
OUFFER社のステップタブレットおよび日立化成社
の解像度測定用テストパターンNo.1とを塗膜面に接
触させ、オーク製作所製メタルハライド灯露光装置を用
いて500mJ/cm2の露光をし、ついで1%炭酸ソ
ーダ水溶液を現像液として2kg/cm2 のスプレー
圧で1分間現像し、水スプレーで水洗し、乾燥した。次
に、150℃の熱風循環炉で30分間、熱硬化させた。
【0093】STOUFFER社のステップタブレット
により、パターンの残っている段数を読み、光硬化反応
性の目安(感度)とした。段数が多いほど光硬化反応が
早いものと考えられる。また、日立化成社の解像度測定
用テストパターンNo.1により解像度を評価した。
により、パターンの残っている段数を読み、光硬化反応
性の目安(感度)とした。段数が多いほど光硬化反応が
早いものと考えられる。また、日立化成社の解像度測定
用テストパターンNo.1により解像度を評価した。
【0094】4)密着性
エポキシ基板にスクリーン印刷により感光性熱硬化性樹
脂組成物のインクを塗布し(乾燥膜厚で約20μm)、
75℃、30分間乾燥の後、フォトマスクを塗膜面に接
触させ、オーク製作所製メタルハライド灯露光装置を用
いて500mJ/cm2 の露光をし、1%炭酸ソーダ
水溶液を現像液として2kg/cm2 のスプレー圧で
1分間現像し、水スプレーで水洗し、乾燥した。次に、
150℃の熱風循環炉で30分間、熱硬化させた(以下
、これを硬化塗膜という)。
脂組成物のインクを塗布し(乾燥膜厚で約20μm)、
75℃、30分間乾燥の後、フォトマスクを塗膜面に接
触させ、オーク製作所製メタルハライド灯露光装置を用
いて500mJ/cm2 の露光をし、1%炭酸ソーダ
水溶液を現像液として2kg/cm2 のスプレー圧で
1分間現像し、水スプレーで水洗し、乾燥した。次に、
150℃の熱風循環炉で30分間、熱硬化させた(以下
、これを硬化塗膜という)。
【0095】銅箔上の硬化塗膜を1mm×1mmの碁盤
目(100個)にクロスカットし、この上にセロファン
テープを張り付けて、引き剥し、剥がれ状態から目視判
定をした。
目(100個)にクロスカットし、この上にセロファン
テープを張り付けて、引き剥し、剥がれ状態から目視判
定をした。
【0096】◎;100/100で全く剥がれないもの
○;100/100でクロスカット部が少し剥がれたも
の △;99/100〜50/100 ×;49/100〜0/100
○;100/100でクロスカット部が少し剥がれたも
の △;99/100〜50/100 ×;49/100〜0/100
【0097】5)鉛筆硬度試験
銅箔上の硬化塗膜について、JIS K 5400
の試験方法に従って硬度を測定した。
の試験方法に従って硬度を測定した。
【0098】6)耐熱性
硬化塗膜にフラックス(アサヒ化学研究所製、アサヒス
ピディフラックスAGF−J3)を塗布し、それを26
0℃のはんだ浴上に15秒間置き、はんだ付けをしてか
ら、塗膜に異常がないか観察する。塗膜が剥離したり、
ふくれたり、塗膜の下にはんだが潜り込むような異常が
なければ、再びフラックスを塗布して260℃、15秒
はんだ付けしてから塗膜を観察する。塗膜に異常の出な
い最長時間を耐熱時間とする。
ピディフラックスAGF−J3)を塗布し、それを26
0℃のはんだ浴上に15秒間置き、はんだ付けをしてか
ら、塗膜に異常がないか観察する。塗膜が剥離したり、
ふくれたり、塗膜の下にはんだが潜り込むような異常が
なければ、再びフラックスを塗布して260℃、15秒
はんだ付けしてから塗膜を観察する。塗膜に異常の出な
い最長時間を耐熱時間とする。
【0099】7)レベラー用水溶性フラックスに対する
耐性 硬化塗膜にレベラー用水溶性フラックス(メック社製、
W−139)を塗布し、それを260℃のはんだ浴中に
15秒間浸漬した後、直ちにこれを70〜80℃の温水
中に投入し、1時間放置後水洗して乾燥し、塗膜にふく
れ、剥離、白化等の異常がないか観察する。本発明では
白化のレベルを以下のように評価した。
耐性 硬化塗膜にレベラー用水溶性フラックス(メック社製、
W−139)を塗布し、それを260℃のはんだ浴中に
15秒間浸漬した後、直ちにこれを70〜80℃の温水
中に投入し、1時間放置後水洗して乾燥し、塗膜にふく
れ、剥離、白化等の異常がないか観察する。本発明では
白化のレベルを以下のように評価した。
【0100】○;白化なし
△;やや白化
×;白化あり
【0101】なお、実施例および比較例では、塗膜のふ
くれや剥離は発生していない。また、セロファンテープ
を張り付けた後、それを引き剥して塗膜が剥離しないか
どうかピーリングテストし、次のように判定した。
くれや剥離は発生していない。また、セロファンテープ
を張り付けた後、それを引き剥して塗膜が剥離しないか
どうかピーリングテストし、次のように判定した。
【0102】◎;全く剥がれないもの
○;わずか少し剥がれたもの
△;剥がれが顕著なもの
×;塗膜が全体的に剥離してしまうもの
【0103】8
)塩化メチレン対する耐性硬化塗膜を常温の塩化メチレ
ン中に浸漬し、15分ごとに取り出し、塗膜にふくれが
ないかどうか、また、ガラス基材目が見えるかどうか観
察し、塗膜に欠陥が発生するまでの時間を測定した。
)塩化メチレン対する耐性硬化塗膜を常温の塩化メチレ
ン中に浸漬し、15分ごとに取り出し、塗膜にふくれが
ないかどうか、また、ガラス基材目が見えるかどうか観
察し、塗膜に欠陥が発生するまでの時間を測定した。
【0104】9)耐酸性
硬化塗膜を10vol%HCl水溶液、20vol%硫
酸水溶液および5wt%苛性ソーダ水溶液に、それぞれ
室温で3時間浸漬し、表面の白化と塗膜の密着性(ピー
リングテスト)を評価した。
酸水溶液および5wt%苛性ソーダ水溶液に、それぞれ
室温で3時間浸漬し、表面の白化と塗膜の密着性(ピー
リングテスト)を評価した。
【0105】10)耐メッキ性
奥野製薬製の無電解ニッケルメッキ用前処理液によって
、前処理の後、無電解ニッケルメッキ、続いて無電解金
メッキを施したテスト基板をピーリングテストし、剥が
れ状態を観察した。
、前処理の後、無電解ニッケルメッキ、続いて無電解金
メッキを施したテスト基板をピーリングテストし、剥が
れ状態を観察した。
【0106】耐メッキ性の程度は、セロファンテープを
張り付けた後、それを引き剥して塗膜が剥離しないかど
うかピーリングテストし、次のように判定した。
張り付けた後、それを引き剥して塗膜が剥離しないかど
うかピーリングテストし、次のように判定した。
【0107】◎;全く剥がれないもの
○;わずか少し剥がれたもの
△:剥がれが顕著なもの
×;塗膜が全体的に剥離してしまうもの
【0108】1
1)PCT(Pressure Cook Test)
性121℃、2気圧の蒸気中で5時間放置したあと、塗
膜にふくれ、剥離、変色等の異常がないものを合格とし
た。
1)PCT(Pressure Cook Test)
性121℃、2気圧の蒸気中で5時間放置したあと、塗
膜にふくれ、剥離、変色等の異常がないものを合格とし
た。
【0109】12)電気絶縁性および耐電蝕性電気絶縁
性はJIS C−6481に準拠しておこなった。ま
た、耐電蝕性は、くし状パターンを用いIPC SM
−840に準拠しておこなった。尚、IOCでは試験条
件として、以下の3つの異なった条件を規定しており、
これに合格するか否か評価した。
性はJIS C−6481に準拠しておこなった。ま
た、耐電蝕性は、くし状パターンを用いIPC SM
−840に準拠しておこなった。尚、IOCでは試験条
件として、以下の3つの異なった条件を規定しており、
これに合格するか否か評価した。
【0110】ClassI 温度 35±5℃
、温度90%、4日間 ClassII 温度 50±5℃、湿度90
%、7日間 ClassIII 温度 25±2℃〜65℃±
2℃サイクル、湿度90%、4日間
、温度90%、4日間 ClassII 温度 50±5℃、湿度90
%、7日間 ClassIII 温度 25±2℃〜65℃±
2℃サイクル、湿度90%、4日間
【0111】実施例4〜6および比較例3〜5 以下
に示す主剤5を作成した。
に示す主剤5を作成した。
【0112】
主剤5;
合成例1のアクリレート(70%固形分
66部 DPHA
7部 DETX
0.8部 イルガキュア−
907
3.8部 VT
2.8部 タルク
1.4部 硫酸バリウム
12.6部 フタロシアニングリーン
0.5
部 エロジルR−812
2.8部
消泡剤TSAー750S
1部
66部 DPHA
7部 DETX
0.8部 イルガキュア−
907
3.8部 VT
2.8部 タルク
1.4部 硫酸バリウム
12.6部 フタロシアニングリーン
0.5
部 エロジルR−812
2.8部
消泡剤TSAー750S
1部
【0113】主剤5
に、添加剤としてエポキシ樹脂YX−4000の微粉末
を加えて実施例4〜6および比較例3〜5の感光性熱硬
化性樹脂組成物を得た。これらの組成物を実施例1と同
様な方法で硬化物とし、それの特性を評価した。結果を
表3に示す。また、実施例4〜6の組成物においては、
シェルフライフはいずれも1カ月以上と良好であり、ま
た現像性も良好であった。
に、添加剤としてエポキシ樹脂YX−4000の微粉末
を加えて実施例4〜6および比較例3〜5の感光性熱硬
化性樹脂組成物を得た。これらの組成物を実施例1と同
様な方法で硬化物とし、それの特性を評価した。結果を
表3に示す。また、実施例4〜6の組成物においては、
シェルフライフはいずれも1カ月以上と良好であり、ま
た現像性も良好であった。
【0114】
【表3】
【0115】実施例7〜12および比較例6〜7 以
下に示す主剤6を作成した。
下に示す主剤6を作成した。
【0116】
主剤6;
合成例1で合成したアクリレート(70%固形
分) 47部 DPHA
4部 DETX
0.5部 イルガキュア−
907
3部 V
T
3部 タルク
19部
硫酸バリウム
19部 フタロシアニングリーン
0.5部 エロジルR−812
2部 消泡剤TSA
−750S
1部
分) 47部 DPHA
4部 DETX
0.5部 イルガキュア−
907
3部 V
T
3部 タルク
19部
硫酸バリウム
19部 フタロシアニングリーン
0.5部 エロジルR−812
2部 消泡剤TSA
−750S
1部
【0117
】主剤6に、添加剤として各種エポキシ樹脂を加えて実
施例7〜12および比較例6〜7の感光性熱硬化性樹脂
組成物を得た。これらの組成物を実施例1と同様な方法
で硬化物とし、それの特性を評価した。
】主剤6に、添加剤として各種エポキシ樹脂を加えて実
施例7〜12および比較例6〜7の感光性熱硬化性樹脂
組成物を得た。これらの組成物を実施例1と同様な方法
で硬化物とし、それの特性を評価した。
【0118】主剤6の100gに対して、以下の硬化剤
を固形分量で20g添加して感光性熱硬化性樹脂組成物
とした。硬化剤の種類は以下の通りである。
を固形分量で20g添加して感光性熱硬化性樹脂組成物
とした。硬化剤の種類は以下の通りである。
【0119】実施例7;YX−4000(油化シェルエ
ポキシ社製、ビフェニル型エポキシ樹脂)/エポクロン
HP4032(大日本インキ化学工業社製、ナフタレン
環をもつ特殊グリシジルエーテル系エポキシ樹脂)=5
0/50
ポキシ社製、ビフェニル型エポキシ樹脂)/エポクロン
HP4032(大日本インキ化学工業社製、ナフタレン
環をもつ特殊グリシジルエーテル系エポキシ樹脂)=5
0/50
【0120】実施例8;YX−4000/エポクロンE
XA4506(大日本インキ化学工業社製、フェノール
ノボラックエポキシ樹脂)=90/10
XA4506(大日本インキ化学工業社製、フェノール
ノボラックエポキシ樹脂)=90/10
【0121】実
施例9;YX−4000/エピクロンEXA4621(
大日本インキ化学工業社製、クレゾールノボラックエポ
キシ樹脂)=90/10
施例9;YX−4000/エピクロンEXA4621(
大日本インキ化学工業社製、クレゾールノボラックエポ
キシ樹脂)=90/10
【0122】実施例10;EP
PN−502(日本化薬社製、特殊グリシジルエーテル
系エポキシ樹脂
PN−502(日本化薬社製、特殊グリシジルエーテル
系エポキシ樹脂
【0123】実施例11;エピクロンN
−510(大日本インキ化学工業社製、ビスフェノール
Aノボラック型エポキシ樹脂)
−510(大日本インキ化学工業社製、ビスフェノール
Aノボラック型エポキシ樹脂)
【0124】実施例12;トリグリシジルイソシアヌレ
ート(油化シェルエポキシ社製、PF−810)
ート(油化シェルエポキシ社製、PF−810)
【01
25】比較例6;エピコート828(油化シェルエポキ
シ社製、ビスフェノールAジグシジルエーテル)
25】比較例6;エピコート828(油化シェルエポキ
シ社製、ビスフェノールAジグシジルエーテル)
【01
26】比較例7;エピコート1004(油化シェルエポ
キシ社製、ビスフェノールAジグジシジルエーテル)
26】比較例7;エピコート1004(油化シェルエポ
キシ社製、ビスフェノールAジグジシジルエーテル)
【0127】主要特性を評価し、結果を表4に示す。ま
た、実施例7〜12の組成物においては、シェルフライ
フはいずれも1カ月以上と良好であり、また現像性も良
好であった。
た、実施例7〜12の組成物においては、シェルフライ
フはいずれも1カ月以上と良好であり、また現像性も良
好であった。
【0128】
【表4】
Claims (2)
- 【請求項1】 (a)数平均分子量が500〜500
0の共役ジエンの重合体および/または共重合体にα,
βー不飽和ジカルボン酸無水物を付加して得られる酸無
水物基含有の共役ジエンの重合体および/または共重合
体に、一般式 【化1】 [式中、R1 およびR2 は水素原子または炭素数1
〜6の有機残基、R3 は炭素数2〜12のアルキレン
基を示す]で表わされるアルコール性水酸基を有するα
,β−不飽和モノカルボン酸エステルを反応させ、該付
加物の酸無水物基の少なくとも80モル%を開環させて
得られる感光性オリゴマー、(b)光重合開始剤、(c
)分子内に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂
、および(d)2,4−ジアミノ−6−ビニル−S−ト
リアジンおよび/または2,4−ジアミノ−6−メタク
リロイルオキシエチル−S−トリアジン、を必須成分と
する感光性熱硬化性樹脂組成物。 - 【請求項2】 前記(c)成分のエポキシ樹脂が式(
I),(II)および(III )から選ばれるエポキ
シ樹脂であることを特徴とするを請求項1項記載の感光
性熱硬化性樹脂組成物。 【化2】 【化3】 【化4】 [各式中、Gはいずれもグリシジル基を示す]【請求項
3】 請求項1に記載の感光性熱硬化性樹脂組成物を
プリント配線板に塗布し、フォトマスクを介して露光し
、未露光部を現像してパターンを形成し、その後、熱硬
化させることを特徴とすソルダーレジストパターンの形
成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3035617A JP2835539B2 (ja) | 1991-02-04 | 1991-02-04 | 感光性熱硬化性樹脂組成物およびパターン形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3035617A JP2835539B2 (ja) | 1991-02-04 | 1991-02-04 | 感光性熱硬化性樹脂組成物およびパターン形成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04356051A true JPH04356051A (ja) | 1992-12-09 |
| JP2835539B2 JP2835539B2 (ja) | 1998-12-14 |
Family
ID=12446813
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3035617A Expired - Lifetime JP2835539B2 (ja) | 1991-02-04 | 1991-02-04 | 感光性熱硬化性樹脂組成物およびパターン形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2835539B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999032936A1 (en) * | 1997-12-23 | 1999-07-01 | Bp Amoco Corporation | Photoimageable compositions and films for printed wiring board manufacture |
| WO2010053207A1 (ja) * | 2008-11-07 | 2010-05-14 | 住友ベークライト株式会社 | 感光性樹脂組成物、感光性接着フィルムおよび受光装置 |
| WO2011115100A1 (ja) * | 2010-03-18 | 2011-09-22 | 太陽ホールディングス株式会社 | 光硬化性熱硬化性樹脂組成物、そのドライフィルム及び硬化物並びにそれらを用いたプリント配線板 |
| WO2014141969A1 (ja) * | 2013-03-12 | 2014-09-18 | 日産化学工業株式会社 | めっきレジスト用樹脂組成物およびそれを用いた基板の製造方法 |
| JP2019133023A (ja) * | 2018-01-31 | 2019-08-08 | 株式会社タムラ製作所 | 感光性樹脂組成物 |
| WO2023210574A1 (ja) * | 2022-04-26 | 2023-11-02 | 株式会社トクヤマ | 剥離剤、半導体用剥離剤、半導体用溶剤、および半導体用処理液、並びに半導体素子の製造方法 |
| WO2025204593A1 (ja) * | 2024-03-28 | 2025-10-02 | 太陽ホールディングス株式会社 | 硬化性樹脂組成物、ドライフィルム、硬化物および電子部品 |
-
1991
- 1991-02-04 JP JP3035617A patent/JP2835539B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999032936A1 (en) * | 1997-12-23 | 1999-07-01 | Bp Amoco Corporation | Photoimageable compositions and films for printed wiring board manufacture |
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| CN102197339A (zh) * | 2008-11-07 | 2011-09-21 | 住友电木株式会社 | 感光性树脂组合物、感光性粘接膜以及光接收装置 |
| JPWO2010053207A1 (ja) * | 2008-11-07 | 2012-04-05 | 住友ベークライト株式会社 | 感光性樹脂組成物、感光性接着フィルムおよび受光装置 |
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| JP2011197269A (ja) * | 2010-03-18 | 2011-10-06 | Taiyo Holdings Co Ltd | 光硬化性熱硬化性樹脂組成物、そのドライフィルム及び硬化物並びにそれらを用いたプリント配線板 |
| CN102812401A (zh) * | 2010-03-18 | 2012-12-05 | 太阳控股株式会社 | 光固化性热固化性树脂组合物、其干膜及固化物以及使用它们的印刷电路板 |
| WO2014141969A1 (ja) * | 2013-03-12 | 2014-09-18 | 日産化学工業株式会社 | めっきレジスト用樹脂組成物およびそれを用いた基板の製造方法 |
| JP2019133023A (ja) * | 2018-01-31 | 2019-08-08 | 株式会社タムラ製作所 | 感光性樹脂組成物 |
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| WO2025204593A1 (ja) * | 2024-03-28 | 2025-10-02 | 太陽ホールディングス株式会社 | 硬化性樹脂組成物、ドライフィルム、硬化物および電子部品 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2835539B2 (ja) | 1998-12-14 |
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