JPH04356716A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、スライダに磁気変換素
子を備える浮上型の磁気ヘッドに関し、磁気ヘッド集合
体を治具上に取付けて、少なくとも１個の磁気変換素子
を含むように、基体を切断加工した後、磁気変換素子の
変換ギャップの位置する面を研磨加工することにより、
空気ベアリング面の平坦度を上げ、低浮上量においても
、ヘッド．クラッシュ等を生じにくい耐久性に優れた磁
気ヘッドが得られるようにしたものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、磁気ディスク装置には、磁気
記録媒体の回転によって生じる動圧を利用して、磁気記
録媒体との間に微小な空気ベアリングによる間隙を保っ
て浮上する磁気ヘッドが用いられている。従来、この種
の磁気ヘッドは、セラミック構造体でなるスライダの磁
気記録媒体と対向する媒体対向面側に、２本のレール部
を間隔を隔てて設け、このレール部の表面を空気ベアリ
ング面として作用させると共に、磁気記録媒体の回転に
よって生じる空気流の流入端となるレール部の一端部側
に、テーパ部を設けた構造となっていた。磁気変換素子
は、テーパ部とは反対側の空気流出端部側に備えられて
いた。

【０００３】この種の磁気ヘッドは、磁気記録の高密度
化及び高速化に対応するため、ますます、小型化される
傾向にある。小型化は、高密度記録を達成するのに必要
な浮上量低下及びスペーシングロス減少に有効である上
に、ヘッド．サスペンションとの組合せにおいて、共振
周波数を高め、クラッシュ防止及び耐久性向上に効果が
あり、しかも、動圧と支持バネ圧との間の適正なバラン
スを保ち、浮上姿勢を良好に保ち、安定な浮上特性が得
られるからである。更に、小型化によるヘッドの質量減
少は、ヘッド．サスペンションを支持するアームのアク
セス運動の高速化をもたらす。

【０００４】しかし、従来の浮上型磁気ヘッドは、媒体
対向面側にレール部及びテーパ部を有する複雑な構造と
なっており、小型化には限界がある。これを解決する手
段として特開昭６４ー２１７１３号公報のように、スラ
イダの媒体対向面を、レール部のない平面状とした磁気
ヘッドが提案されている。図５はかかる磁気ヘッドの一
例の斜視図であり、１はスライダ、２は磁気変換素子、
３、４は取出電極を示す。

【０００５】スライダ１は媒体対向面１１が平面状とな
っており、この面１１の全体を空気ベアリング面として
作用させるようになっている。

【０００６】磁気変換素子２は、磁気記録媒体の回転に
よって生じる空気流の流出端部側となる端面に備えられ
ている。磁気変換素子２は例えば幅方向の略中間部に配
置されている。

【０００７】磁気ディスク装置として使用する場合は、
面１１と対向する面１２を、図示しないヘッド．サスペ
ンションに接着し、面１１を磁気ディスクの表面にバネ
接触させ、この状態で起動及び停止を行なう、いわゆる
、コンタクト．スタート．ストップ方式によって駆動さ
れる。磁気ディスクが静止しているときは、ヘッド支持
装置のバネ圧により面１１が磁気ディスクの表面に押付
けられているが、磁気ディスクが回転すると、スライダ
１の面１１に揚力動圧が発生し、この動圧とヘッド支持
装置のバネ圧と釣り合う浮上量で動作する。

【０００８】図５に示す磁気ヘッドは、スライダ１の面
１１がレール部のない単純な平面状となっているため、
小型化が容易であり、小型化による上記利点を確保でき
る。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た磁気ヘッドは、加工歪等の影響を受けて、面１１が、
図６に誇張して示すように、幅方向の両端側で凸となり
、中間部で凹となる。凸部のピークと凹部の底部との間
の差△ｈを平坦度と定義すると、平坦度△ｈは０．０５
μｍ　以下にすることが極めて困難であった。面１１が
凹面になると、磁気ディスクとの組合せにおいて、浮上
特性が劣化し、ヘッドクラッシュを生じ易くなり、耐久
性が低下する。

【００１０】上述の媒体対向面の凹面化は、従来の製造
工程に深く結びついている。薄膜磁気ヘッドを製造する
場合を例にとって説明すると、スライダとなるウエハ上
に、ＩＣ製造テクノロジと同様のプロセスにしたがって
、多数の磁気変換素子を整列して形成した後、ウエハに
切断、研削、研磨等の加工を施して個々の磁気ヘッド素
子を取出す。図７は上述の工程中、ウエハから列単位の
磁気ヘッド集合体を取出した後の工程を示している。

【００１１】図７（ａ）は列単位で取出された磁気ヘッ
ド集合体を治具に取付けた状態を示す斜視図であり、磁
気ヘッド集合体は、スライダとなる基体１の同一面上に
、磁気変換素子２を間隔を隔てて配列してある。図示で
は、５個の磁気ヘッドＱ１　〜Ｑ５　を示してあるが、
実際にはもっと多くなる。上述の磁気ヘッド集合体を治
具５上に、ホットメルト樹脂等の接着剤６を用いて取付
け、この状態で、磁気変換素子２の変換ギャップＧが位
置する面１１に研磨加工を施してその表面性を上げる。

【００１２】次に、図７（ｂ）に示すように、磁気ヘッ
ドのそれぞれを個別に分離するように、切断ブレードを
用いて切断加工する。

【００１３】上述のように、従来の製造方法は、変換ギ
ャップの位置する面１１を研磨加工してから切断加工し
ていたために、面１１に切断ブレードが直接当り、加工
歪を残す。このため、図６に示すような凹面形状の発生
を防止することができなかった。

【００１４】そこで、本発明の課題は、上述した従来の
問題点を解決し、空気ベアリング面の平坦度を上げ、低
浮上量においても、優れた耐久性を示す磁気ヘッドを製
造し得る製造方法を提供することである。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上述した課題解決のため
、本発明は、スライダとなる基体の同一面上に磁気変換
素子を配列した磁気ヘッド集合体から磁気ヘッドを取出
す工程を含む磁気ヘッド製造方法であって、前記磁気ヘ
ッド集合体を治具上に取付け、前記治具上で、少なくと
も１個の前記磁気変換素子を含むように、前記基体を切
断加工する工程と、前記切断加工工程の後、前記磁気変
換素子の変換ギャップの位置する面を研磨加工する工程
と、前記研磨加工工程後に各磁気ヘッドを前記治具から
取外す工程とを含むことを特徴とする。

【００１６】

【作用】磁気ヘッド集合体を治具上に取付け、少なくと
も１個の磁気変換素子を含むように、基体を切断加工し
た後、磁気変換素子の変換ギャップの位置する面を研磨
加工するので、端縁に残る切断加工歪による凸部が、研
磨加工工程によって削除され、高度の平面度を有するよ
うになる。

【００１７】この後、各磁気ヘッドを治具から取外すこ
とにより、ヘッドクラッシュ等を生じにくい耐久性の高
い磁気ヘッドが得られる。

【００１８】上述の切断加工に続く研磨加工は、磁気ヘ
ッド集合体を治具に取付けた状態で行ない、その後に各
磁気ヘッドを治具から取外すので、切断加工をした後、
研磨加工前に各磁気ヘッドを治具から取外し、その後に
、個々の磁気ヘッドに対して研磨加工を施す工程をとっ
た場合よりも、研磨作業能率が著しく向上する。

【００１９】切断加工歪を残さないための別の手段とし
て、磁気変換素子の変換ギャップが位置する面側におい
て、隣接する磁気ヘッド間に浅溝を形成しておき、ギャ
ップ面側を研磨加工した後、浅溝内でその幅よりも狭い
幅で、基体を切断加工する技術が提案されている（特願
平２ー４８５４１号）。この先行技術との比較では、本
発明では、この先行技術と同等以上の平坦度が得られる
とともに、浅溝形成工程が不要であるので、工程短縮の
メリットが得られる。

【００２０】

【実施例】図１は本発明に係る製造方法を示す斜視図で
ある。まず、図１（ａ）に示すように、ウエハから取り
出された磁気ヘッド集合体を、ホットメルト樹脂等の接
着剤６を用いて、治具５上に取付ける。磁気ヘッド集合
体はスライダとなる基体１の同一面上に、磁気変換素子
２を間隔を隔てて配列してある。

【００２１】次に、図１（ｂ）に示すように、磁気ヘッ
ド集合体を治具５上に取付けた状態で、１個の磁気変換
素子２を含むように、各磁気変換素子２ー２間で基体１
を切断する。

【００２２】次に、図１（ｃ）に示すように、変換ギャ
ップＧの位置する１１を研磨加工する。この研磨加工に
より、図１（ｂ）で生じた切断加工歪及び磁気ヘッド集
合体を取出すたに行なわれた切断加工歪が除去され、面
１１が高度の平坦度を有するようになる。この後、磁気
ヘッドを治具５から取外す。

【００２３】図７に示した従来の製造方法の場合、平坦
度０．０５μｍ　が限界であったが、本発明によれば、
０．００１〜０．００２μｍ　の平坦度を得ることがで
きた。このため、ヘッドクラッシュ等を生じにくい耐久
性の高い磁気ヘッドが得られる。第２図は平坦度と浮上
開始相対速度との関係をグラフ化して示す図である。浮
上開始相対速度は磁気ヘッドを磁気ディスクと組合せて
磁気ディスク装置を構成した場合において、磁気ヘッド
が浮上を開始する場合の両者の相対速度である。第２図
に示すように、平坦度が増す（数値が小さくなる）と、
それにつれて浮上開始相対速度が低下する。浮上開始相
対速度が低いほど、磁気ヘッドと磁気ディスクとの間で
発生するダメージが小さくて済み、耐久性が向上する。 本発明によれば、平坦度△ｈが従来の０．０５μｍ　か
ら０．００１〜０．００２μｍ　程度に改善できるので
、耐久性が向上する。ＣＳＳ方式で駆動する場合は、浮
上停止着地相対速度も低下するので、浮上停止時のダメ
ージを減少させ、耐久性を向上させることができる。

【００２４】図３は相対速度と摩擦係数との関係をグラ
フ化して示す図である。曲線Ｌ１　は従来の製造方法に
よって得られた磁気ヘッドを用いた場合の特性、曲線Ｌ
２　は本発明に係る製造方法によって得られた磁気ヘッ
ドを用いた場合の特性である。図示するように、本発明
に係る製造方法によって得られた磁気ヘッドは、従来製
造方法による磁気ヘッドの場合よりも、相対速度の小さ
い領域で、摩擦係数が急激に低下している。これは、本
発明によって得られた磁気ヘッドは、従来よりも低速度
で浮上を開始し、耐久性に優れていることを示している
。

【００２５】磁気変換素子２は、モノ．リシック型、コ
ンポジット型または薄膜素子の何れでもよい。本実施例
では薄膜素子を使用した薄膜磁気ヘッドの例を示す。図
４は磁気変換素子２を中心とした拡大断面図である。図
において、２１は下部磁性膜、２２はアルミナ等でなる
ギャップ膜、２３は上部磁性膜、２４はコイル膜、２５
はノボラック樹脂等の有機樹脂で構成された絶縁膜、２
６、２７はリード電極、２８は保護膜である。

【００２６】下部磁性膜２１及び上部磁性膜２３の先端
部は微小厚みのギャップ膜２２を隔てて対向するポール
部２１１、２３１となっており、ポール部２１１、２３
１において読み書きを行なう。２１２、２３２はヨーク
部であり、ポール部２１１、２３１とは反対側にあるバ
ックギャップ部において、磁気回路を完成するように互
いに結合されている。

【００２７】絶縁膜２５は複数層の絶縁膜２５１〜２５
３から構成されていて、絶縁膜２５１、２５２の上に、
ヨーク部２１２、２３２の結合部のまわりを渦巻状にま
わるように、コイル膜２４を形成してある。リード電極
２６、２７は、一端側がコイル膜２４の両端にそれぞれ
導通接続されており、他端側に取出電極３、４が形成さ
れている。

【００２８】上記各実施例では、面内記録再生用の磁気
ヘッドを示したが、垂直磁気記録再生用の磁気ヘッドに
も、本発明は適用できるし、実施例に示す２端子型の磁
気ヘッドに限らず、センタータップを有する３端子型の
磁気ヘッド、モノ．リシック型磁気ヘッドまたはコンポ
ジット型磁気ヘッドにも適用できる。また、磁気変換素
子の個数、位置または取出電極の導出方向または位置等
は、任意に選定でき、図示の状態に限定されない。

【００２９】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、次
のような効果が得られる。 （ａ）磁気ヘッド集合体を治具上に取付け、治具上で、
少なくとも１個の磁気変換素子を含むように、基体を切
断加工する工程と、切断加工工程の後、磁気変換素子の
変換ギャップの位置する面を研磨加工する工程と、研磨
加工工程後に各磁気ヘッドを治具から取外す工程とを含
むので、高度の平坦度を有し、ヘッドクラッシュ等を生
じにくい耐久性の高い磁気ヘッドが得られる。 （ｂ）研磨加工は、磁気ヘッド集合体を治具に取付けた
状態で行ない、その後に各磁気ヘッドを治具から取外す
ので、研磨作業能率が著しく向上する。 （ｃ）浅溝形成工程が不要であるので、工程短縮のメリ
ットが得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る磁気ヘッドの製造方法を示す斜視
図である。

【図２】平坦度と浮上開始相対速度との関係をグラフ化
して示す図である。

【図３】相対速度と摩擦係数との関係をグラフ化して示
す図である。

【図４】磁気変換素子の構成を示す断面図である。

【図５】磁気ヘッドの斜視図である。

【図６】従来の磁気ヘッドの問題点を示す図である。

【図７】従来の磁気ヘッド製造方法を示す図である。

【符号の説明】

１　　　　　　　　基体 ２　　　　　　　　磁気変換素子 １１　　　　　　媒体対向面

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　スライダとなる基体の同一面上に磁気
   変換素子を配列した磁気ヘッド集合体から磁気ヘッドを
   取出す工程を含む磁気ヘッド製造方法であって、前記磁
   気ヘッド集合体を治具上に取付け、前記治具上で、少な
   くとも１個の前記磁気変換素子を含むように、前記基体
   を切断加工する工程と、前記切断加工工程の後、前記磁
   気変換素子の変換ギャップの位置する面を研磨加工する
   工程と、前記研磨加工工程後に各磁気ヘッドを前記治具
   から取外す工程と を含むことを特徴とする磁気ヘッド製造方法。