JPH04358105A - 光平面導波路と光ファイバの接続構造 - Google Patents

光平面導波路と光ファイバの接続構造

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JPH04358105A
JPH04358105A JP13294191A JP13294191A JPH04358105A JP H04358105 A JPH04358105 A JP H04358105A JP 13294191 A JP13294191 A JP 13294191A JP 13294191 A JP13294191 A JP 13294191A JP H04358105 A JPH04358105 A JP H04358105A
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JP
Japan
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optical
optical fiber
waveguide
fiber
substrate
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP13294191A
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English (en)
Inventor
Hisashi Takamatsu
高松 久志
Hironao Hakogi
箱木 浩尚
Junko Watanabe
順子 渡邉
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は光平面導波路と光ファイ
バの接続構造に関する。
【0002】光通信又は光伝送の分野においては、送信
装置、受信装置及び光伝送路の他に、光スイッチ及び光
カプラ等の種々の光デバイスが使用されている。光デバ
イスの形態の一つとして、導波路型のものを挙げること
ができる。
【0003】導波路型光デバイスは、導波路基板上にそ
れよりも屈折率の高い光導波路を形成し、この光導波路
内に光ビームを閉じ込めた状態で制御するように構成さ
れており、構造上小型化が容易で、プレーナ技術等を用
いて量産することができるという利点の他、電界や磁界
を効果的に印加することができ消費電力を飛躍的に軽減
することが可能であるという利点を有している。
【0004】このような導波路型光デバイスを実用する
に際して、光導波路と光ファイバの接続構造の最適化が
模索されている。
【0005】
【従来の技術】図4は従来の光平面導波路と光ファイバ
の接続構造を示す図である。ベース1上にスペーサ2を
介して光平面導波路4の形成された導波路基板3を載置
固定し、光導波路4の端面と光ファイバ5とを付き合わ
せて両者を接続したものである。
【0006】光ファイバ5はその根本部を被覆剤6を介
してファイバフォルダ7により保持されており、このフ
ァイバフォルダ7はベース1に固定されている。光ファ
イバ5の接続端部はリング8に挿入固定されており、接
着剤によりこのリング8を導波路基板3の端面に接着す
ることで、光導波路4と光ファイバ5との光学的及び機
械的な接続を図っている。なお、9は導波路基板3のエ
ッジ部に設けられた補強板である。
【0007】このように従来は導波路基板上に形成され
た光導波路の端面と光ファイバとを付き合わせて両者を
接続する構造が一般的であるが、特開昭55−1019
06号には光平面導波路の上面で光ファイバと光平面導
波路とを接続する構造が開示されている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】図4に示した従来の接
続構造であると、リング8を用いて接着面積を増大させ
ているから比較的強固な接続が可能になるが、光ファイ
バの保持等に比較的大きなスペースを要し、装置が大型
化するという問題があった。
【0009】また、通常金属から形成されるベース1の
熱膨張係数と光ファイバの熱膨張係数とが異なるために
、導波路型光デバイスの使用環境の温度変化により光導
波路と光ファイバの接続部に引張り応力が作用して、接
続部が剥離する恐れがあり、信頼性の面で問題があった
【0010】さらに、光導波路の光を導波する部分(コ
ア部分)が非常に小さく、光ファイバのコア径も小さい
ために、両者を正確に付き合わせ調整するために多大な
時間がかかるという問題もあった。
【0011】この接続の作業性が悪いという問題は上述
した特開昭55−101906号記載の接続構造でも同
様であり、光平面導波路の上方から光ファイバを正確に
位置決めして固定するのに多大な時間を要するという問
題がある。
【0012】本発明はこのような点に鑑みてなされたも
のであり、その目的とするところは、光導波路と光ファ
イバの接続が無調整で行えるとともに、信頼性の高い光
平面導波路と光ファイバの接続構造を提供することであ
る。
【0013】
【課題を解決するための手段】基板に概略45°の傾斜
面を設け、この傾斜面部分で終端する光平面導波路を形
成してから基板全面にクラッド層を堆積し、前記光平面
導波路が終端する傾斜面上のクラッド層を除去して光フ
ァイバが位置決め挿入される大きさの穴を設ける。
【0014】そして、ファイバ支持部材に挿入固定され
た光ファイバの先端を前記穴中に挿入するとともに、該
ファイバ支持部材の底面及びファイバ支持部材が載置さ
れる基板のクラッド層上に同一パターンの複数個の金属
パッドを設け、これらの金属パッド同士を半田付固定す
ることにより、光平面導波路と光ファイバとを接続する
【0015】
【作用】光平面導波路が終端する傾斜面上のクラッド層
を除去して光ファイバが位置決め挿入される大きさの穴
を設けて、この穴中にファイバ支持部材に挿入固定され
た光ファイバの先端を挿入するようにしたので、光平面
導波路と光ファイバの接続が無調整で行える。
【0016】さらに、ファイバ支持部材の底面及び基板
のクラッド層上に設けた同一パターンの金属パッド同士
を半田付により接続固定するようにしたので、半田の表
面張力によるセルフ・アライメント機能により、接続作
業が効率化できるとともに、半田が凝固する際に収縮す
るので光ファイバに下向きの引張り力を加えることがで
き、光ファイバの先端を光平面導波路表面に密着させる
ことができる。
【0017】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して詳細
に説明する。図1は図2のA−A線に沿った本発明実施
例の断面図、図2は本発明実施例の光導波路基板平面図
である。
【0018】Si基板等の光導波路基板10にはエッチ
ング等により基板表面を削除して概略45°の傾斜面1
0aが形成されている。そして、光導波路基板10には
該傾斜面10a部分で終端するY分岐の光平面導波路1
2が形成されている。光平面導波路12は基板10上に
設けられたクラッド層14と、光が導波するコア層16
と、該コア層16を被覆するクラッド層18とから構成
されている。
【0019】光平面導波路12が終端する傾斜面10a
上のクラッド層18をエッチング等により除去して、光
ファイバ22の外径よりも僅かばかり大きな内径を有す
る穴20が形成されている。光ファイバ22はコア22
a及びクラッド22bから構成されており、光ファイバ
22を穴20中に挿入すると光ファイバ22のコア22
aが光平面導波路12のコア層16のの傾斜面10aで
終端する終端部分にくるように位置決めされる。
【0020】穴20の形状は一般的には円形が望ましい
が、光ファイバ22が位置決めできる大きさであれば三
角形、四角形等の形状でも構わない。光ファイバ22は
概略直方体形状のファイバ支持部材24に挿入されてお
り、光ファイバ22の先端が所定距離ファイバ支持部材
24から突出するようにして、その表面をメタライズし
た光ファイバ22が半田26によりファイバ支持部材2
4に固定されている。
【0021】図2から明らかなように、ファイバ支持部
材24が載置される基板10表面にはCr−Au等の複
数の金属パッド28がリフトオフ法等により形成されて
いる。光導波路基板10に接するファイバ支持部材24
の底面にも前記金属パッド28と同一パターンの金属パ
ッドが形成されている。
【0022】金属パッド28上にファイバ支持部材24
と光ファイバ22を固定した半田26よりも融点の低い
半田30を盛り、予めファイバ支持部材24が固定され
た光ファイバ22の先端を穴20中に挿入し、半田30
を溶融してファイバ支持部材24を光導波路基板10に
固定する。
【0023】半田による固定時に、半田30は金属パッ
ド28部分のみしか濡れないため、半田溶融時の表面張
力でファイバ支持部材24と光導波路基板10の位置合
わせが自動的に行われ、光ファイバ22のコア22aが
光平面導波路12のコア層16の終端部分に正確に位置
決めされる。また、半田30が凝固するときに光ファイ
バ22に下向きの引張り力が加わるため、光ファイバ2
2の先端が光平面導波路12の終端部分に密着させられ
る。
【0024】上述した実施例によれば、光平面導波路1
2のコア層16を伝播してきた光は、概略45°の傾斜
面10aで反射され、光ファイバ22のコア22a中に
導入される。傾斜面10aを反射面として作用させる必
要があるため、傾斜面10aは鏡面に形成される必要が
ある。
【0025】次に図3を参照して、光平面導波路12の
製造プロセスの一例について説明する。
【0026】まず、図3(a)に示すように光導波路基
板10にエッチング等により基板平面に対して45°の
鏡面状の傾斜面10aを形成する。次いで、図3(b)
に示すように光平面導波路のクラッド層14を傾斜面1
0aの途中まで堆積させる。
【0027】次いで、光が伝播するコア層16を基板1
0表面と同一平面になるまで堆積させ、Y分岐等の任意
のパターンに光平面導波路のコア層16をエッチング等
により形成する(図3(c))。
【0028】その上に図3(d)に示すようにクラッド
層18を一様に堆積し、ついで図3(e)に示すように
光平面導波路12の終端部分に対応するクラッド層18
をエッチング等により除去し、光ファイバの外径よりも
僅かばかり大きな内径を有する穴20を形成する。
【0029】
【発明の効果】本発明の接続構造によれば、光平面導波
路と光ファイバの接続が無調整で行えるとともに、光フ
ァイバの固定面積も大きくとれるため安定した信頼性の
高い接続が可能になるという効果をそうする。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明実施例の断面図である。
【図2】本発明実施例の光導波路基板平面図である。
【図3】光平面導波路の製造プロセスを示す図である。
【図4】従来例を示す図である。
【符号の説明】
10  光導波路基板 10a  傾斜面 12  光平面導波路 14、18  クラッド層 16  コア層 20  穴 22  光ファイバ 24  ファイバ固定部材 28  金属パッド

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  基板(10)上に形成された所定パタ
    ーンの光平面導波路(12)と光ファイバ(22)の接
    続構造において、前記基板(10)に概略45°の傾斜
    面(10a) を設け、該傾斜面(10a) 部分で終
    端する光平面導波路(12)を形成してから基板全面に
    クラッド層(18)を堆積し、前記光平面導波路(12
    )が終端する前記傾斜面(10a) 上のクラッド層(
    18)を除去して光ファイバ(22)が位置決め挿入さ
    れる大きさの穴(20)を設け、ファイバ支持部材(2
    4)に挿入固定された光ファイバ(22)の先端を前記
    穴(20)中に挿入するとともに、該ファイバ支持部材
    (24)の底面及び該ファイバ支持部材が載置される基
    板(10)のクラッド層(18)上に同一パターンの複
    数個の金属パッド(28)を設け、該金属パッド(28
    )同士をろう付又は半田付固定したことを特徴とする光
    平面導波路と光ファイバの接続構造。
JP13294191A 1991-06-04 1991-06-04 光平面導波路と光ファイバの接続構造 Withdrawn JPH04358105A (ja)

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004125854A (ja) * 2002-09-30 2004-04-22 Sumitomo Osaka Cement Co Ltd 光導波路素子及びその製造方法
US6885795B1 (en) 2002-05-31 2005-04-26 Kotusa, Inc. Waveguide tap monitor
US6947622B2 (en) 2002-06-27 2005-09-20 Kotura, Inc. Wafer level testing of optical components
US7308166B1 (en) 2002-10-08 2007-12-11 Kotura, Inc. Coupling a light sensor array with an optical component
US7805037B1 (en) 2003-08-19 2010-09-28 Kotura, Inc. Multiplexer having improved efficiency

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Effective date: 19980903