JPH04358129A - 薄膜トランジスタ型液晶表示装置 - Google Patents

薄膜トランジスタ型液晶表示装置

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JPH04358129A
JPH04358129A JP3116425A JP11642591A JPH04358129A JP H04358129 A JPH04358129 A JP H04358129A JP 3116425 A JP3116425 A JP 3116425A JP 11642591 A JP11642591 A JP 11642591A JP H04358129 A JPH04358129 A JP H04358129A
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JP
Japan
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electrode
gate
insulating film
liquid crystal
thin film
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Withdrawn
Application number
JP3116425A
Other languages
English (en)
Inventor
Shigeki Ogura
小椋 茂樹
Tamahiko Nishiki
玲彦 西木
▲よし▼澤 佳代
Yoshiyo Yoshizawa
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Oki Electric Industry Co Ltd
Original Assignee
Oki Electric Industry Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH04358129A publication Critical patent/JPH04358129A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/136Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
    • G02F1/1362Active matrix addressed cells
    • G02F1/136218Shield electrodes

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  • Liquid Crystal (AREA)
  • Thin Film Transistor (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、薄膜トランジスタ型液
晶表示装置における電極構造とパターンに関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】従来、この分野の技術としては例えば「
EID90−6,ED90−35,IE90−15,1
0.4型カラーTFT−LCDの開発」に記載されたも
のが知られている。図7は前記文献等に記載されている
薄膜トランジスタ(以下、「TFT」という)の構造を
示す一部断面図である。
【0003】従来、薄膜トランジスタ型液晶表示装置(
以下「TFT−LCD」という)におけるTFT構造は
、図7に示されるような逆スタガ型構造が主流であった
。すなわち、ゲート電極32は最も下に形成されており
、ゲート絶縁膜34、半導体層35、オーミック接合層
36と続いて形成された後、ドレイン−ソース電極電極
37,38が形成されるという構造である。また、画素
電極33は、この図のようにドレイン−ソース電極37
,38より後に形成されるものと、先に形成されるもの
とがあり、どちらかが採用されている。そして、最後に
パッシベーション膜39が設けられている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ようなTFT構造の場合、以下のような問題点があった
。第1に、ドレイン電極と液晶層との間には絶縁膜しか
なく、ドレイン電極上の信号が液晶層に入り込み、液晶
層を動作させてしまい、その結果ドレイン電極脇で光漏
れが発生し、コントラストが低下するという点である。
【0005】第2に、1フレームの期間の画素電圧の保
持特性を向上させるための補助容量を設ける場合、1本
前のゲート電極との間に形成するくらいしか方法はなく
、この方法は、ゲート電極に入力されるゲートパルスを
歪ませる原因となるゲート電極の容量負荷を大きくして
しまうという欠点があった。本発明は、以上述べたドレ
イン電極脇の光漏れ、及び補助容量を形成するとゲート
パルスが歪むという問題点を解決して、表示品質の優れ
たTFT−LCDを提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、複数のゲート
電極と、それらのゲート電極と交差する複数のドレイン
電極と、その交差部に設けられたTFTと、TFTのソ
ース電極に接続された画素電極とを有するTFT基板と
、液晶を挟んでTFT基板と対向する対向電極基板とを
備えたTFT−LCDにおいて、TFT基板は、ゲート
電極上に形成された第1絶縁膜と、第1絶縁膜上で、か
つ、ソース電極と画素電極との接続部以外の全面に形成
された第2絶縁膜と、第2絶縁膜上で、かつ、少なくと
もTFTのチャネル部を除いたゲート電極及びソース電
極と画素電極との接続部以外の全面に形成された遮蔽電
極と、遮蔽電極上で、かつ、少なくともソース電極と画
素電極との接続部以外の全面に形成された第3絶縁膜と
、第3絶縁膜上に形成された前記画素電極と、第2絶縁
膜又は第3絶縁膜上で、かつ、TFTのチャネル部を除
いたゲート電極上に形成され、ゲート電極と電気的に接
続されたゲート補助電極とを備え、かつ、遮蔽電極に入
力する電圧を対向電極基板の対向電極に入力する電圧と
同程度になるように構成した。
【0007】
【作用】本発明によれば、以上のようにTFT−LCD
を構成したので、ドレイン電極上の電圧信号は遮蔽電極
により遮蔽され、液晶層に入らなくなる。また、遮蔽電
極と画素電極との間に形成される蓄積容量がゲート−ソ
ース電極間寄生容量に起因する画素電極電圧のシフトダ
ウンを軽減させ、かつ画素電極電圧の保持特性を向上さ
せる。さらに、ゲート補助電極がゲート電極と接続され
ているので、ゲート電極の抵抗、容量が小さくなる。
【0008】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
ながら詳細に説明する。図1は本発明の実施例における
TFT基板の電極パターンを示す平面図、図2は本発明
の実施例におけるTFT基板のTFTのチャネル部(図
1のA−A′)断面図、図3は本発明の実施例における
TFT基板の一部(図1のB−B′)断面図、図4は本
発明の実施例におけるTFT基板の一部(図1のC−C
′)断面図である。以下、図1〜図4を参照して、本実
施例の構成を詳しく説明する。
【0009】まず図1及び図2に示すように、本実施例
におけるTFT基板の電極パターンの基本構造は、ゲー
ト電極1とドレイン電極2の交差する場所において半導
体層5をチャネルとするソース電極3との間にトランジ
スタが形成され、ソース電極3と画素電極4は第1コン
タクトホール7により電気的に接続されている。そして
、図2〜図4に示すように、最も下に形成されているゲ
ート電極1の上には、ゲート絶縁膜として機能する第1
絶縁膜15が、第3コンタクトホール9の部分を除いて
全面に形成されている。なお、本実施例では、図2及び
図4に示すように、チャネル部及びゲート−ドレイン電
極1,2の交点部のゲート電極1の表面は陽極酸化され
、ゲート−ドレイン電極1,2間のショートを防ぐため
のゲート陽極酸化膜13が形成されている。
【0010】また、図3において、ゲート電極1上に陽
極酸化膜が形成されていないのは、第3コンタクトホー
ル9によりゲート電極1とゲート補助電極12とを電気
的に接続するからである。この第1絶縁膜15の上には
半導体層5が図1に示すパターンで形成されている。半
導体層5は、原理的にはトランジスタのチャネル部にの
みあればよいのであるが、このパターンとしたのはゲー
ト−ドレイン電極1,2間のショート低減等のためであ
る。
【0011】この半導体層5の上にはオーミック接合層
14があるが、トランジスタのチャネル部には少なくと
もあってはならないので、そのパターンはドレイン電極
2とソース電極3と半導体層4の重なる部分に形成され
ている。オーミック接合層14もこのパターンである必
要はなく、上記と同じ理由でこのパターンとなっている
【0012】このオーミック接合層14の上に、ドレイ
ン−ソース電極2,3が図1に示すようなパターンで形
成されている。このパターンはごく一般的なものである
。ドレイン−ソース電極2,3の上に第2絶縁膜16が
、図2〜図4に示すように、第1,第4コンタクトホー
ル7,10を除いて全面に形成されている。この第2絶
縁膜の上に遮蔽電極6が図1に示すパターンで形成され
ている。すなわち、ゲート電極1及び第1,第2コンタ
クトホール7,8以外に形成されるものであり、かつ、
ゲート電極1と平行方向に形成されているものである。 後で詳しく述べるように、これら遮蔽電極6はTFTア
レイの外部において、電気的に接続されているものであ
り、遮蔽電極6は一つの電極をなしている。この遮蔽電
極は透明でなければならない。
【0013】遮蔽電極6の上には第3絶縁膜17がある
。この第3絶縁膜17は、第2コンタクトホール8と第
5コンタクトホール11以外に形成されている。第3絶
縁膜17の上には、画素電極4とゲート補助電極12が
図1に示すパターンで同時に形成されている。この画素
電極4は、第2絶縁膜16の第1コンタクトホール7と
第3絶縁膜17の第2コンタクトホール8によって、ソ
ース電極3と電気的に接続されている。また、ゲート補
助電極12は第1絶縁膜15の第3コンタクトホール9
と第2絶縁膜16の第4コンタクトホール10と第3絶
縁膜17の第5コンタクトホール11によってゲート電
極1と電気的に接続されている。さらに、ゲート補助電
極12は、ゲート電極1とほぼ同一のパターンに形成さ
れているのであるが、ドレイン電極2との交差部におい
ては、図3に示すように第2,第3絶縁膜16,17が
あることにより、電気的に非接続となっている。なお、
ゲート補助電極12を画素電極4でなく、遮蔽電極6と
同時に形成しても得られる効果はほぼ同じである。 本実施例は、ドレイン電極2とゲート補助電極12のシ
ョートの起こりにくい構成にしてある。
【0014】図4から明らかなように、本実施例におい
ては画素電極4と遮蔽電極6の間に容量を作り込むこと
ができる。すなわち、画素電極4から見れば、下側は第
3絶縁膜17を介して遮蔽電極6があるので、これが画
素−遮蔽電極間容量を形成している。一方、上側は液晶
であるので液晶とは並列に容量が形成されていることが
分かる。なお、本実施例においては、図1に示すように
、遮蔽電極6のパターンが画素電極4のパターンとすべ
て重なるように形成しているが、画素−遮蔽電極間容量
をどの程度にするかに応じて、遮蔽電極6を小さくして
その一部が画素電極4と重なるようにすることもできる
【0015】図5は本発明の実施例におけるTFT−L
CDの1画素あたりの等価回路図である。図において、
ゲート電極1とドレイン電極2の交差部にトランジスタ
18があり、ゲート電極1がオンすると、ドレイン電極
2上のドレイン信号がソース−画素電極3,4に書き込
まれ、対向電極20との電位差により、液晶19が動作
する。ここで、遮蔽電極6は画素電極4からみて、液晶
と並列に容量を有するので、この図のように示され、ま
た、遮蔽電極6はドレイン電極2上にも形成されている
のでこの図のように示され、各々画素−遮蔽電極間容量
21、遮蔽−ドレイン電極間容量22のように示される
【0016】この図より、ゲート電極1がオンすると、
ドレイン電極2にある電圧信号がトランジスタ18を通
してソース−画素電極3,4に書き込まれることがわか
る。この時、遮蔽電極6と画素電極4の間の画素−遮蔽
電極間容量21が液晶19と並列に入っているので、液
晶19の電圧保持特性は良好となる。また、遮蔽電極6
はドレイン電極2上にもあるため、ドレイン電極信号は
遮蔽電極6によって遮蔽され、ドレイン電極2上の液晶
遮蔽電極6と対向電極20に挟まれているので対向−遮
蔽電極20,6間の電位差が液晶の閾値電圧Vth以下
ならば動作しない。したがって、ドレイン電極2上の液
晶は動作しないため、ドレイン電極脇の光漏れが起きる
ことはない。
【0017】さらに、ゲート−ソース電極間容量による
画素電圧のゲートオフ時のシフトダウンも画素−遮蔽電
極間容量21により軽減される。また、遮蔽電極6はゲ
ート電極1と重ならず、かつ、ゲート補助電極12がゲ
ート電極1と接続されていることから、ゲート電極の抵
抗、容量とも小さくてすみ、ゲート電圧の歪みはきわめ
て小さくなる。
【0018】図6は本発明の実施例によるTFT−LC
Dの電気的ブロック図である。ゲートドライバ23とド
レインドライバ24及び対向電極信号25は従来のTF
T−LCDにおいても設けられていたものであり、本実
施例においては遮蔽電極信号25を付加するのみなので
、回路が複雑化することはない。そして、この遮蔽電極
信号25はいかなるものにすればよいかであるが、これ
は対向電極と同じ信号にするのが好ましい。なぜなら、
ドレイン電極2上の遮蔽電極6は、液晶を介して対向電
極20と向き合っているのでここに液晶の閾値電圧Vt
h以上の電位差が生じれば、液晶が動作してしまうから
である。したがって、対向電極信号25と遮蔽電極信号
26とに印加する電圧の間に液晶を動作させない程度の
DC成分があってもよい。最も簡単な方法はTFT−L
CDパネル内のどこかで対向電極20と遮蔽電極6を電
気的に接続してしまうことである。
【0019】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の趣旨に基づき種々の変形が可能で
あり、それらを本発明の範囲から排除するものではない
【0020】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、ドレイン電極上に遮蔽電極を設け、対向電極と同
程度の電位を与えるようにしたので、ドレイン電極上の
液晶が動作することがなくなる。その結果、ドレイン電
極脇の光漏れをなくすことができる。
【0021】また、その遮蔽電極と画素電極との間に容
量を形成することができるので、1フレーム間の画素電
圧保持特性は良好となり、かつ、ゲート電圧オフ時の画
素電圧のシフトダウンが軽減される。その結果、コント
ラストが向上する。さらに、ゲート補助電極をゲート電
極上に配置したことによって、ゲート電極の抵抗値が小
さくなる。その結果、ゲート電圧パルスの歪みがなくな
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例におけるTFT基板の電極パタ
ーンを示す平面図である。
【図2】本発明の実施例におけるTFT基板のTFTの
チャネル部の断面図である。
【図3】本発明の実施例におけるTFT基板の一部(図
1のB−B′)断面図である。
【図4】本発明の実施例におけるTFT基板の一部(図
1のC−C′)断面図である。
【図5】本発明の実施例におけるTFT−LCDの1画
素あたりの等価回路図である。
【図6】本発明の実施例によるTFT−LCDの電気的
ブロック図である。
【図7】従来のTFT基板の一部断面図である。
【符号の説明】
1      ゲート電極 2      ドレイン電極 3      ソース電極 4      画素電極 5      半導体層 6      遮蔽電極 7      第1コンタクトホール 8      第2コンタクトホール 9      第3コンタクトホール 10    第4コンタクトホール 11    第5コンタクトホール 12    ゲート補助電極 13    ゲート陽極酸化膜 14    オーミック接合層 15    第1絶縁膜 16    第2絶縁膜 17    第3絶縁膜 20    対向電極

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  複数のゲート電極と、該ゲート電極と
    交差する複数のドレイン電極と、その交差部に設けられ
    た薄膜トランジスタと、該薄膜トランジスタのソース電
    極に接続された画素電極とを有する薄膜トランジスタ基
    板と、液晶を挟んで該薄膜トランジスタ基板と対向する
    対向電極基板とを備えた薄膜トランジスタ型液晶表示装
    置において、前記薄膜トランジスタ基板は、(a)前記
    ゲート電極上に形成された第1絶縁膜と、(b)該第1
    絶縁膜上で、かつ、前記ソース電極と前記画素電極との
    接続部以外の全面に形成された第2絶縁膜と、(c)該
    第2絶縁膜上で、かつ、少なくとも前記トランジスタの
    チャネル部を除いたゲート電極及び前記ソース電極と前
    記画素電極との接続部以外の全面に形成された遮蔽電極
    と、(d)該遮蔽電極上で、かつ、少なくとも前記ソー
    ス電極と前記画素電極との接続部以外の全面に形成され
    た第3絶縁膜と、(e)該第3絶縁膜上に形成された前
    記画素電極と、(f)該第2絶縁膜又は第3絶縁膜上で
    かつ前記トランジスタのチャネル部を除いた前記ゲート
    電極上に形成され、前記ゲート電極と電気的に接続され
    たゲート補助電極とを備え、かつ、前記遮蔽電極に入力
    する電圧を前記対向電極基板の対向電極に入力する電圧
    と同程度にしたことを特徴とする薄膜トランジスタ型液
    晶表示装置。
JP3116425A 1991-05-22 1991-05-22 薄膜トランジスタ型液晶表示装置 Withdrawn JPH04358129A (ja)

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