JPH04359109A - 円板状ディスクワークの両面同時式外観検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、例えばアルミニウム
（その合金を含む）磁気ディスク基板等のワークの表面
欠陥の有無等を検査するワークの外観検査装置、特にワ
ークの表裏両面を同時に検査する両面同時式外観検査装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】アルミニウム磁気ディスク基板等のワー
クには、その品質上鏡面ないしそれに近い状態の高度な
表面精度が要求され、局部的にもキズ、ピンホール、ふ
くれ等の表面欠陥のないことが要求される。このため、
精密切削、研磨、洗浄乾燥等の各工程を経て一般に製作
されるアルミニウム磁気ディスク基板の製造工程におい
ては、所定の工程の終了後あるいは全工程の終了後に表
面欠陥の有無等を検査する外観検査が行われている。

【０００３】従来、かかる外観検査工程は次のような手
順で行われていた。即ち、前工程からケースに入れられ
送られてきたワークを外観検査機の保持部にチャッキン
グしたのち、ワークを回転させて片面の外観検査を行い
、次いでワークを反転して他面の外観検査を行い、検査
が終了すると該ワークを取外すとともに次のワークを該
保持部に装着して検査を行い、以後１枚ずつこの動作を
繰返すことにより行われていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記のよう
な方法では、ワークの着脱作業に時間を要するとともに
、１のワークの検査工程が終了するまで次のワークの外
観検査を行うことができないことから、単位時間あたり
のワークの検査処理数が少なく検査効率が悪いという欠
点があった。

【０００５】この発明はかかる欠点を解消し、ワークの
外観検査の効率向上を図ることを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
にこの発明は、図面の符号を参照して示すと、複数のワ
ーク（Ａ）を平面内において着脱自在に保持するワーク
保持部（２）を回転軸の周囲に有するターンテーブル（
１）が、回転、停止自在に配置されるとともに、該ター
ンテーブル（１）の回転まわりに少なくともワークの受
取ステージ（Ｉ）、両面外観検査ステージ（ＩＩ）、取
出ステージ（ＩＶ）の各ステージが設定され、前記ワー
ク受取ステージ（Ｉ）で前記ワーク保持部（２）に保持
されたワーク（Ａ）が、ターンテーブル（１）の間欠的
な回転送りにより各ステージを巡って前記ワーク取出ス
テージ（ＩＶ）へと移送される過程において、前記両面
外観検査ステージ（ＩＩ）で表裏両面同時に外観検査さ
れるものとなされていることを特徴とするワークの外観
検査装置を提供するものである。

【０００７】

【作用】図２において、前工程から搬送装置（３）によ
ってワーク受取ステージ（Ｉ）に搬送されてきたワーク
（Ａ）は、ターンテーブル（１）上の保持部（２）に渡
され、チャック部（２ａ）に装着される。次に、ターン
テーブル（１）が反時計方向に１／４回転して停止する
。 これにより受取ステージ（Ｉ）のワーク（Ａ）は両面外
観検査ステージ（ＩＩ）に移送される。両面外観検査ス
テージ（ＩＩ）では、移行されてきたワーク（Ａ）の表
裏両面に対して同時に表面検査が実施される。この間、
受取ステージ（Ｉ）では、搬送装置（３）により次のワ
ークが前工程から搬送され、受取ステージ（Ｉ）に待機
している次段の保持部（２）に装着される。外観検査終
了後、さらにターンテーブル（１）が１／４回転し、受
取ステージ（Ｉ）の次のワーク（Ａ）が両面外観検査ス
テージ（ＩＩ）へと移送され、外観検査が行われる。こ
うして、ターンテーブル（１）の間欠的な回転送りによ
りワークが次々と両面外観検査ステージ（ＩＩ）へ移送
され両面外観検査に供される。外観検査されたワーク（
Ａ）はワーク取出ステージ（ＩＶ）へと送られ、待機し
ている搬送装置（７）によって取出され次工程に送られ
る。

【０００８】

【実施例】以下、この発明を、図５に示すようなワーク
としてのアルミニウム磁気ディスク基板（Ａ）の外観検
査を行う装置に適用した実施例に基いて説明する。

【０００９】図１は縦型の外観検査装置を示している。 この外観検査装置において、（１）は回転軸を前後水平
方向に向けて配置された円板状の縦型ターンテーブルで
ある。このターンテーブル（１）の前面には周方向の４
等分位置に４個のワーク保持部（２）が設けられている
。各ワーク保持部（２）は、径方向に同期的に変位可能
な前方突出状の４つのチャックピン（２ａ）の組合わせ
からなる。各チャックピン（２ａ）はその先端にワーク
支持用回転ローラ（２ｂ）（図３に示す）を有する。そ
して、各チャックピン（２ａ）が縮径方向に変位するこ
とにより、前記回転ローラ（２ｂ）を介して磁気ディス
ク基板（Ａ）の外周部を回転可能にチャックする一方、
拡径方向に変位することにより基板（Ａ）のチャックを
解除可能となされている。また、ワーク保持部（２）に
は、チャックピン（２ａ）でチャックした磁気ディスク
基板（Ａ）の外周部に圧接可能な位置に、回転駆動軸（
２ｃ）が設けられており、この回転駆動軸（２ｃ）の回
転によりこれと接した磁気ディスク基板（Ａ）が必要に
応じて回転させられるものとなされている。

【００１０】前記ターンテーブル（１）の回転まわりの
４等分位置には、左上から反時計方向へ順にワーク受取
ステージ（Ｉ）、両面外観検査ステージ（ＩＩ）、待機
ステージ（ＩＩＩ　）、ワーク取出ステージ（ＩＶ）の
４つのステージが設定されている。そして、前記ターン
テーブル（１）は、図示しない駆動装置によって鉛直面
内で回転停止自在に制御可能となされるとともに、反時
計方向に１／４回転ごとに回転送りと停止を繰返し、ワ
ーク保持部（２）に装着した基板（Ａ）を各ステージを
巡って移送するものとなされている。

【００１１】上記各ステージについて説明すると次のと
おりである。即ち、前記ワーク受取ステージ（Ｉ）は、
搬送装置（３）によって前工程から搬送されてきた磁気
ディスク基板（Ａ）を保持部（２）に装着するステージ
である。なお、搬送装置（３）から保持部（２）へのデ
ィスク基板（Ａ）の装着は搬送装置に設けられた内周チ
ャック方式のチャッカーを介して行われるものとなされ
ている。

【００１２】前記両面外観検査ステージ（ＩＩ）は、磁
気ディスク基板（Ａ）の表面のキズやピンホール等の表
面欠陥の有無の検査を表裏両面同時に行うものであり、
このためにターンテーブル（１）を挟んでその前後に一
対の外観検査装置（４）が設置されている。そして、磁
気ディスク基板の後側の外観検査装置によって磁気ディ
スク基板（Ａ）の裏面を外観検査できるように、ターン
テーブル（１）の各保持部（２）には図３に詳しく示す
ように、その中央部に所定の大きさの円形の透孔（５）
が設けられている。前記外観検査装置（４）の構成は特
に限定されることはないが、この実施例では図５に示す
ように、磁気ディスク基板表面に向けて光を間欠的に照
射する光源（４１）と、該照射光に同期して磁気ディス
ク基板からの反射光を受領するＣＣＤカメラ等の撮像装
置（４２）と、該撮像装置によって撮影された画像の濃
淡から表面欠陥の有無を電気的に検出する表面欠陥検出
装置（４３）を備えたものが用いられている。そして、
回転駆動軸（２ｃ）の回転駆動による磁気ディスク基板
（Ａ）の回転と要すれば光源及び撮像装置の半径方向へ
の移動とによって、磁気ディスク基板（Ａ）の表裏両面
の同時外観検査を行うものとなされている。

【００１３】前記待機ステージ（ＩＩＩ　）はワーク取
出ステージ（ＩＶ）に移送する前に、磁気ディスク基板
（Ａ）を一時待機させるもので、磁気ディスクの外周端
面および／または内周端面の外観検査が必要とされる場
合には、この待機ステージで行えば良い。なお、この待
機ステージ（ＩＩＩ　）は必ずしも必要なものではなく
、ワーク受取ステージ（Ｉ）、両面外観検査ステージ（
ＩＩ）、ワーク取出ステージ（ＩＶ）の３ステージのみ
を設け、前記ターンテーブルの保持部（２）もこれに応
じて３個のみ設けるものとしても良い。

【００１４】前記ワーク取出ステージ（Ｖ）は、外観検
査を終えて該ステージへ移送されてきた磁気ディスク基
板（Ａ）をワーク保持部（２）から取出すとともに、取
出した磁気ディスク基板を搬送装置（６）によって次工
程へ搬送するものである。かかる磁気ディスク基板（Ａ
）の取外しも搬送装置（６）に設けた図示しない内周チ
ャック式のチャッカーを介して行われるものとなされて
いる。

【００１５】次に、図１に示す外観検査装置の動作をそ
の制御方式と併せて図２に基いて説明する。

【００１６】前工程例えば洗浄乾燥工程から搬送装置（
３）によってワーク受取ステージ（Ｉ）に移送されてき
た磁気ディスク基板（Ａ）は、搬送装置（３）のチャッ
カーからターンテーブル（１）上のワーク保持部（２）
に渡され、チャック部（２ａ）に外周チャック方式によ
り装着される。

【００１７】次に、搬送装置（３）は次の磁気ディスク
基板を搬送すべく前工程側に移動する一方、ターンテー
ブル（１）が反時計方向に１／４回転して停止する。こ
のターンテーブル（１）の回転送りにより、前段のステ
ージに位置していた各ワーク保持部（２）は次段のステ
ージへと移行する。即ち、受取ステージ（Ｉ）で磁気デ
ィスク基板（Ａ）を装着された保持部（２）は両面外観
検査ステージ（ＩＩ）に移行し、取出ステージ（ＩＶ）
に位置していた保持部（２）は受取ステージ（Ｉ）へと
移行し、そこで停止する。

【００１８】両面外観検査ステージ（ＩＩ）では、移送
されてきた磁気ディスク基板（Ａ）に表裏両面の表面検
査が同時に実施され、キズ、ピンホール等の表面欠陥の
有無や個数が判定される。この間、受取ステージ（Ｉ）
では、搬送装置（３）により次の磁気ディスク基板が前
工程から搬送され、受取ステージ（Ｉ）に待機している
次段の保持部（２）に装着される。

【００１９】上記の両面外観検査終了後、さらにターン
テーブル（１）が１／４回転する。これにより両面外観
検査ステージ（ＩＩ）の磁気ディスク基板（Ａ）は待機
ステージ（ＩＩＩ　）へ、受取ステージ（Ｉ）の磁気デ
ィスク基板（Ａ）は両面外観検査ステージ（ＩＩ）へと
移送され、取出ステージ（ＩＶ）に位置していたワーク
保持部（２）は受取ステージ（Ｉ）へと移行する。待機
ステージ（ＩＩＩ　）へ移送された磁気ディスク基板は
、要すれば端面の外観検査を実施される。この間に、両
面外観検査ステージ（ＩＩ）では２番目の磁気ディスク
基板の外観検査が行われ、受取ステージ（Ｉ）では３番
目の磁気ディスク基板の装着が行われる。

【００２０】次に、ターンテーブル（１）がさらに１／
４回転し、各磁気ディスク基板（Ａ）はそれぞれ次段の
ステージへと移送されるとともに、取出ステージ（ＩＶ
）に位置していたワーク保持部（２）は受取ステージ（
Ｉ）へ移行する。取出ステージ（ＩＶ）へ移送された磁
気ディスク基板は、搬送装置（６）のチャッカーによっ
てワーク保持部（２）から取出される。この間に、両面
外観検査ステージ（ＩＩ）、受取ステージ（Ｉ）では、
それぞれ磁気ディスク基板の両面外観検査、受取動作が
行われる。

【００２１】取出ステージ（ＩＶ）での磁気ディスク基
板（Ａ）の取出し終了後、ターンテーブル（１）がさら
に１／４回転し、各磁気ディスク基板は次段のステージ
へと移送されるとともに、取出ステージ（ＩＶ）の空き
状態となったワーク保持部（２）は受取ステージ（Ｉ）
へと移行し、以下同様の動作が繰返される。

【００２２】このように、ターンテーブル（１）の１／
４回転ずつの送りと停止により、各ステージを順次的に
巡らせながら磁気ディスク基板を移送していくから、多
数の磁気ディスク基板を次々と連続的かつ自動的に外観
検査に供することができる。なお、取出ステージ（ＩＶ
）で取出された磁気ディスク基板（Ａ）は、搬送装置（
６）によって例えば良否選別工程等に送られ、両面外観
検査ステージ（ＩＩ）での外観検査結果に基いて、良品
、不良品、再加工品の別に仕分けされる。

【００２３】なお、図示実施例に係る外観検査装置は、
ターンテーブル（１）が垂直に配置されかつ鉛直面内に
おいて回転する縦型のものとしてこれを示したが、ター
ンテーブル（１）が水平に配置されかつ水平面内におい
て回転する横型のものとして構成しても良いし、またタ
ーンテーブルを任意角度に傾斜させて配置しても良い。 而して、縦型の装置として構成した場合には、ターンテ
ーブル（１）上で磁気ディスク基板（Ａ）の表面にほこ
りやごみが付着しにくく、また付着した場合も容易に落
下し易いため、確度の高い検査結果を得ることができる
利点がある。しかも、装置の設置に必要な床面積を少な
くすることができ、設置空間の有効利用を図りうるとい
う利点もある。ただし、ワークが前工程で水平状態で処
理される場合には、横型のものを用いた方が前工程から
本装置へのワークの移送が容易となる点で好ましい。

【００２４】

【発明の効果】この発明は上述の次第で、複数のワーク
を平面内において着脱自在に保持するワーク保持部を回
転軸の周囲に有するターンテーブルが、回転、停止自在
に配置されるとともに、該ターンテーブルの回転まわり
に少なくともワークの受取ステージ、両面外観検査ステ
ージ、取出ステージの各ステージが設定され、前記ワー
ク受取ステージで前記ワーク保持部に保持されたワーク
が、ターンテーブルの間欠的な回転送りにより各ステー
ジを巡って前記ワーク取出ステージへと至る過程におい
て、前記両面外観検査ステージで両面同時に外観検査さ
れるものとなされていることを特徴とするものである。 従って、１のワークの外観検査工程の終了を待つことな
く、多数のワークを次々と連続的に外観検査できること
になり、従来のように、１のワークの検査工程終了を待
って次のワークの外観検査を行う場合に較べて、単位時
間に外観検査できるワークの数を各段に増加することが
でき、外観検査効率の著しい向上を図りうる。加えて、
両面外観検査ステージでワークの表裏両面を同時に外観
検査できるから、検査時間の短縮を図り得て益々検査効
率を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例に係る外観検査装置の正面
図である。

【図２】ワークの外観検査を実際に行っている状態の正
面図である。

【図３】図２の両面外観検査ステージにおける縦断面図
である。

【図４】外観検査装置の概略構成図である。

【図５】実施例に用いたワークとしてのアルミニウム磁
気ディスク基板を示す斜視図である。

【符号の説明】

Ａ…アルミニウム磁気ディスク基板（ワーク）１…ター
ンテーブル、 ２…ワーク保持部 Ｉ…ワークの受取ステージ ＩＩ…両面外観検査ステージ ＩＶ…ワーク取出ステージ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　複数のワーク（Ａ）を平面内において
   着脱自在に保持するワーク保持部（２）を回転軸の周囲
   に有するターンテーブル（１）が、回転、停止自在に配
   置されるとともに、該ターンテーブル（１）の回転まわ
   りに少なくともワークの受取ステージ（Ｉ）、両面外観
   検査ステージ（ＩＩ）、取出ステージ（ＩＶ）の各ステ
   ージが設定され、前記ワーク受取ステージ（Ｉ）で前記
   ワーク保持部（２）に保持されたワーク（Ａ）が、ター
   ンテーブル（１）の間欠的な回転送りにより各ステージ
   を巡って前記ワーク取出ステージ（ＩＶ）へと移送され
   る過程において、前記両面外観検査ステージ（ＩＩ）で
   表裏両面同時に外観検査されるものとなされていること
   を特徴とするワークの外観検査装置。