JPH04359110A - 表面性状測定機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、物体の表面性状を検出
して表示する表面性状測定機に関し、特に本測定の開始
点を予備測定曲線上で指示できるようにした表面性状測
定機に関する。

【０００２】

【従来の技術】物体表面の性状は、変化の小さい順に、
粗さ、うねり、輪郭（形状）等と呼ばれる。表面性状測
定機は、このような物体表面の性状を、接触型又は非接
触型の検出器を用いて高精度に検出する。接触型の検出
器（触針）を用いる表面性状測定機には、フルストロー
ク０．５ｍｍを数１０００分の１の分解能で測定できる
タイプもある。このような高分解能の測定機は、倍率の
異なる複数の測定レンジを有し、測定対象とする範囲が
できるだけ大振幅で表示できるように、測定レンジを選
択可能にしている。

【０００３】この様な測定機では、倍率を順次上げなが
ら予備的な測定を繰り返して、最適な測定レンジを選択
する必要がある。特に、測定物が傾いて載置されていた
りすると、高い倍率のレンジでは全体を画面内に収める
ことが難しく、このため、低いレンジにおいて測定物を
載置したレベリングテーブルによる傾き補正や、零調整
機能による零調整を繰り返し、画面内への表示を適正化
する必要が生ずる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た予備測定を何回も繰り返すと測定物表面を損傷する原
因になる。しかも、仮に好ましい倍率や零調整値が選択
されたとしても、画面上に表示されている予備測定曲線
上の希望とする１点から本測定を開始することは難しい
。これは、従来の技術では、画面上の１点を測定物上で
目視確認し、その位置に検出器を移動させるという方法
しかないからである。ところが、測定物上の微小な領域
に対しこの様な検出器移動を手動操作で厳密に行うこと
は、熟練者といえども困難を伴う。この点を改善するた
めに顕微鏡等を併用すれば、検出器（測定子）の先端位
置をある程度正確に確認する事はできるが、この様にす
ると顕微鏡等の付加装置により全体が大型化し、高価に
なる。

【０００５】本発明は、画面に表示されている予備測定
曲線上で希望とする点をカーソル等で指示すると、実際
の本測定をその点から自動的に開始できるようにするこ
とを目的としている。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明では、測定物の表面性状を検出する手段と、この
検出手段を測定送り方向に移動させる手段と、前記検出
手段の出力を順次処理する手段と、この処理手段の処理
結果を二次元的に画面表示する表示手段と、前記画面上
の１点を指示する手段と、この指示手段により指示され
た点の位置情報を前記移動手段に与えて次の測定開始点
とする手段とを備えてなることを特徴としている。

【０００７】

【作用】画面上に表示された前回の測定結果（予備測定
曲線）を参照し、その画面上で希望とする１点をカーソ
ル等で指示する事は容易である。本発明では、この操作
だけで次の測定（本測定）の開始点を自動的に定めるこ
とができる。即ち、操作者による目視の位置確認が全く
不要であるため、非熟練者でも容易に測定を行うことが
でき、しかも顕微鏡等の補助機器も要しない。

【０００８】

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。図１および図２は、本発明の一実施例を示すＣＰ
Ｕ内蔵型表面粗さ測定機の分割されたブロック図である
。図１は主としてＣＰＵとその入出力回路を示す部分ブ
ロック図である。これに対し、図２は表面性状測定機特
有の構成を示す部分ブロック図である。これらの図を結
ぶ共通バス１０はアドレスバス、データバス、クロック
ライン等を含んでいる。

【０００９】図１において、１１は制御中枢となるＣＰ
Ｕ（中央処理装置）である。このＣＰＵ１１は定期的な
処理と非定期的な処理を行うが、リアルタイムクロック
発生器１１ａは出力クロックで一定時間（例えば５ｍｓ
）毎に割り込みをかけ、定期的な処理を繰り返し実行さ
せる。このＣＰＵ１１は共通バス１０を介してメモリ１
２を使用する。このメモリ１２にはＲＡＭ（ランダムア
クセスメモリ）とＲＯＭ（リードオンリメモリ）とが含
まれる。このうち、ＲＯＭには主としてＣＰＵ１１の動
作プログラムや各種処理用の定数テーブルが格納されて
いる。これに対し、ＲＡＭは各種測定条件や収集データ
等の格納に使用され、必要に応じて電源オフ後にもデー
タが消滅しないようにバッテリ等でバックアップされる
。

【００１０】このＣＰＵ１１の周辺にはプリンタ１３や
ＣＲＴディスプレイ１４等の出力機器、およびキーボー
ド１５、マウス１６、スイッチ１７等の入力機器が接続
される。プリンタ１３は各種の測定条件や収集データ等
を文字やグラフ等で印字出力するためのもので、このイ
ンターフェースには例えばセントロニクスタイプの出力
回路１２ａが使用される。ＣＲＴディスプレイ１４はビ
デオメモリ１４ｂに格納された測定条件や測定データ等
をＣＲＴ画面に表示する。ビデオ制御回路１４ａはディ
スプレイ１４の水平掃引および垂直掃引の同期制御、お
よびビデオメモリ１４ｂのリード、ライト制御を行う。 ビデオメモリ１４ｂには、例えばカラーグラフィックデ
ィスプレイの使用時には、ディスプレイ１４に表示され
る各画素の色情報が格納される。図３はディスプレイ画
面の一例を示したものである。この例では１つの画面を
複数に分割し、大面積のＡ部には表面粗さを示す拡大記
録図形を表示している。この拡大記録図形表示部Ａの縦
軸は凹凸の度合い（振幅）、横軸は距離（後述の検出器
送り位置）である。この他に触針ポジション表示部Ｂや
アイコン表示部Ｃ等もある。

【００１１】キーボード１５はアルファベットキー、数
字キー等を有し、各キーのオン情報をエンコード回路１
５ｂでコード化してＣＰＵ１１へ入力する。１５ａはこ
のとき使用されるキー入力回路である。マウス１６は２
軸のエンコーダとスイッチを内蔵し、エンコーダ出力は
計数器１６ｂで計数される。この計数器１６ｂの計数値
はマウス入力回路１６ａを介してＣＰＵ１１へ入力され
る。このとき、マウス１６のスイッチ信号もマウス入力
回路１６ａを介してＣＰＵ１１へ入力する。スイッチ１
７は各種の押ボタンスイッチ、選択スイッチ、リミット
スイッチ等からなり、各スイッチの信号はスイッチ入力
回路１７ａを介してＣＰＵ１１へ入力する。後述する例
で必要な信号には、検出器の上昇、下降、左行、右行等
の指示を与える手動操作信号や、測定スタート等の自動
操作信号、更には機構部分の動作ストロークオーバ信号
等がある。

【００１２】一方、図２の構成には粗さ検出器２１、記
録計２２、検出器送り位置スケール２３、検出器送りユ
ニット２４、コラム２５、傾斜補正用載物台２６が含ま
れる。粗さ検出器２１は、例えば機械的な触針を測定物
表面に接触させ、必要に応じて前記触針を移動させなが
ら測定物表面の凹凸を検出する。この検出器２１の出力
はレベルが低く雑音の影響を受け易いので、これをノイ
ズ除去用のブリッジ２１ａに入力し、さらにその出力（
正弦波信号）を同期整流器２１ｂに入力する。このブリ
ッジ２１ａと同期整流器２１ｂは共に発振器２１ｃから
の正弦波信号を入力されているので、この部分で同期整
流することにより触針の上下変位に応じた直流電圧だけ
が出力される。同期整流器２１ｂの出力は測定レンジ（
倍率）決定用の増幅器２１ｄで増幅された後、Ａ／Ｄ変
換器２１ｅでディジタル信号に変換され、検出器信号入
力回路２１ｆを通してＣＰＵ１１に取り込まれる。

【００１３】以上の基本的な構成に対し、加算器２７ａ
で零点調整用のオフセット電圧（零調整値）が加算され
る。このオフセット電圧は、触針の変位量とは独立して
零点を決定できるようにするもので、ＣＰＵ１１から出
力される。但し、ＣＰＵ１１の出力はディジタル量であ
るので、これをオフセット出力回路２７ｃを介してＤ／
Ａ変換器２７ｂに入力し、ここでアナログ電圧に変換し
てから使用する。一方、増幅器２１ｄの増幅度を切換え
るレンジ切替信号はＣＰＵ１１から出力され、レンジ切
替出力回路２８ａを介して増幅器２１ｄに与えられる。 このレンジ切替信号の値を変えると増幅器２１ｄの増幅
度を変化させることができるので、これにより測定デー
タに適した拡大倍率で表示或いは印字等を行うことがで
きる。

【００１４】記録計２２は主として触針変位を波形とし
て記録するものであるため、ＣＰＵ１１は触針変位値に
対し予め決められている定数値を乗算し、その結果を記
録計用出力回路２２ａを介して出力する。この出力回路
２２ａの出力はディジタル値であるので、これをＤ／Ａ
変換器２２ｂでアナログ値に変換して記録計２２へ入力
する。

【００１５】上述した粗さ検出器２１と記録計２２に関
係する部分は表面性状測定器の検出および記録に関する
ものであり、後述する検出器送り位置スケール２３から
傾斜補正用載物台２６までは測定対象とする測定物と触
針の位置関係を適正化したり、検出器を摺動させたりす
る機構部分に関する。

【００１６】検出器送り位置スケール２３は、粗さ検出
器２１（ここでは機械式の触針を想定する）を測定物の
表面と平行な方向に送った場合の平行方向位置、即ちデ
ィスプレイ１４や記録計２２における拡大記録図形の横
軸方向の位置を検出するためのスケールである。このス
ケール２３がインクリメンタル型である場合、所定の移
動量毎に１パルス発生するという出力形態をとるので、
後段の計数器２３ｂでこのパルスを計数してスタート位
置からの積算移動量（これを検出器の送り位置と呼ぶ）
を求める。ＣＰＵ１１はこの送り位置を表示や印字制御
上必要とするので、これを送り位置入力回路２３ａを介
してＣＰＵ１１へ転送する。

【００１７】尚、計数器２３ｂが所定の送り位置毎に距
離信号を発生する機能を有していると、この距離信号で
ＣＰＵ１１に割り込みをかけることができる。この割り
込みは、検出器２１の実際の位置に応じたものであるた
め、リアルタイムクロックによる時間割り込みとは別に
、表示或いは記録制御上便利な使い方ができる。

【００１８】検出器送りユニット２４は、図４に示すよ
うに検出器２１を水平方向（矢印Ｈ方向）に移動させる
機構である。上述のスケール２３はこの送りユニット２
４による検出器２１の移動量を計測する。送りユニット
２４はコラム機構２５によって上下動可能であり、これ
により測定物（ワーク）３０との垂直方向（矢印Ｖ方向
）の距離を任意に調整することができる。測定物３０は
傾斜補正用載物台（オートレベリングテーブル）２６上
に載置され、所定の範囲内で任意に水平度（角度θ）を
調整できる。３１は載物台３０や送りユニット２４等を
安定した位置関係に保つ定盤である。

【００１９】検出器送りユニット２４の駆動源には例え
ば直流電動モータを使用する。この場合、ＣＰＵ１１は
送り速度の指令信号を出力して送りユニット２４の送り
位置を制御する。この送り速度信号（ディジタル量）は
送り速度出力回路２４ａで取り込まれ、Ｄ／Ａ変換器２
４ｂでアナログ量に変換される。そして、このアナログ
電圧を駆動信号に変換するためパルス幅変調器２４ｃを
使用し、その出力を直流駆動モータの駆動増幅器２４ｄ
に入力する。

【００２０】検出器送りユニット２４を上下動作させる
コラム機構２５の駆動源に例えばパルスモータを使用し
た場合、ＣＰＵ１１が出力する上下移動データを上下移
動出力回路２５ａで取り込み、これをパルス発生器２５
ｂでパルス列に変換する。このパルスは単位移動量当た
り１パルスとなるように発生され、パルス計数器２５ｃ
で計数される。そして、この計数値を駆動増幅器２５ｄ
に入力することでコラム機構２５の上下移動量を制御で
きる。

【００２１】測定物３０の水平度を調整する傾斜補正用
載物台２６の駆動源にパルスモータを使用した場合は、
ＣＰＵ１１からの補正角度データを補正角度出力回路２
６ａで取り込む。あとはコラム２５の場合と同様にパル
ス発生器２６ｂ、パルス計数器２６ｃ、駆動増幅器２６
ｄを用いてパルスモータを駆動し、測定物３０を載置し
た載物台２６の傾きを調整する。

【００２２】以上のように構成された表面性状測定器に
おいて、本発明で必要な構成は主として図１および図２
で１点鎖線により囲まれた部分である。この構成により
処理された表示内容の特徴的な部分を示したものが図５
及び図６である。これらの図は、図３の拡大記録図形表
示部Ａの異なる表示態様を拡大して示している。

【００２３】図５は、表示部Ａ内で横方向（検出器送り
方向）に移動可能な位置決めカーソルＫを有し、このカ
ーソルＫで拡大記録図形（この場合は予備測定によるも
の）の希望とする１点（検出器送り方向に）を指示する
と、図２の検出器送りユニット２４がその点に検出器（
測定子）２１を自動的に戻す例を示している。更に、こ
の例では本測定開始用のスタートスイッチＳＳを画面内
に設け、これを押すことによりカーソルＫの指示する点
から本測定がスタートするようになっている。

【００２４】カーソルＫの移動は図１のマウス１６で行
うことができる。この他に、位置決めカーソルＫをダブ
ルクリックして座標値設定画面を出し、そこで座標値を
指定するとその座標へ直接カーソルＫをジャンプさせる
という方法もある。いずれの場合でも、位置決めカーソ
ル座標値は拡大記録図形表示部Ａの一部に設けられた座
標表示部Ｄ１に表示される。予備測定による拡大記録図
形は広範囲に表示されたものであるが、本測定による拡
大記録図形はカーソルＫで指示された点以降が部分的に
表示される。この場合、一般的には予備測定を低レンジ
で行い、本測定は可能な限り高レンジで行う。本測定に
おいてどの程度のレンジを選択できるかは、予備測定の
拡大記録図形から判断できる。

【００２５】図６は、図５と同様の方法で検出器送り方
向に移動できるカーソルＫを用いるが、スタートスイッ
チＳＳを画面内に設けないようにしている。即ち、この
例では、図１のスイッチ１７に含まれる通常の測定開始
スイッチを併用し、これで本測定を開始させる。本例の
カーソルＫは本測定開始カーソルと呼ばれ、また座標表
示部Ｄ２にはカーソルＫが指示する本測定開始座標値が
表示される。

【００２６】尚、以上の説明では、カーソルＫが指示し
た座標位置から本測定を開始する例を示したが、実際の
測定では与えらた測定条件により本測定区間に先行して
フィルタ処理用の前置データを収集する前置区間を必要
とする事がある。この様な場合は、カーソルＫが指示し
た座標位置から本測定を開始してしまうのではなく、そ
れより前置区間の分だけ先行した位置から測定を開始す
るように、検出器を戻しておくのが実際的である。但し
、この場合もデータ処理上は前置データと本測定データ
を区別して扱う。

【００２７】次に具体的な処理方法を説明する。尚、以
下の説明では、検出器送り方向をＸ軸方向、検出器の検
出方向（凹凸度合い）をＺ軸方向とする。先ず、予備測
定を行って図７（ａ）のような予備測定データのファイ
ルＦ１を作成（収集）する。このファイルＦ１はＺ軸座
標値をＸ軸方向に等間隔でＮｉ個分収集したものである
。即ち、予備測定による拡大記録図形の元になるもので
ある。但し、このファイルＦ１の全データを使用すると
は限らないので、使用するデータ範囲の１番目のデータ
のＸ軸座標値を同図（ｂ）のメモリＭ１に記憶し、また
使用するデータのＸ軸座標間隔を同図（ｃ）のメモリＭ
２に記憶しておく。

【００２８】Ｚ軸座標値は、図２の検出器信号入力回路
２１ｆから入力した値に、レンジ出力出力回路２８ａに
出力した選択レンジによって決まる定数を乗算した値を
用いる。このＺ軸座標値は、図１のＣＰＵ１１の書き込
み制御により、メモリ１２内に設定されたファイルＦ１
へ入力する。また、Ｘ軸座標値は、送り位置入力回路２
３ａから入力した値に、検出器送り位置スケール２３に
よって決まる定数を乗算した値であり、これをメモリ１
２内に設定した専用のメモリＭ１に記憶する。更に、測
定データのＸ軸座標間隔は適当な値を予め決定し、これ
をメモリ１２内に設定した専用のメモリＭ２に記憶する
。

【００２９】図８は不連続な予備測定データを基に、図
５に示したような連続したアナログ波形の拡大記録図形
を作成してＣＲＴディスプレイ１４等へ表示する処理を
示す概略フローチャートである。ステップＳ１１は表示
画面に適当な大きさのグラフ枠や必要な目盛等を描画す
る処理である。次のステップＳ１２は図７のファイルＦ
１内のＮｉ個の予備測定データから表示上必要なＸ軸座
標値を対応づけたＮｏ個の表示データを作成する処理で
ある。この表示データは、図９に示すように、Ｚ軸座標
値とＸ軸座標値を組み合わせたデータテーブルＴ１とし
て管理されるが、その詳細については後で説明する。最
後のステップＳ１３は作成された表示データをＣＲＴデ
ィスプレイ１４上へ順次プロットして波形表示する処理
である。これらのステップＳ１１〜Ｓ１３は、一般には
測定終了毎に繰り返し行われる。

【００３０】上述した予備測定の拡大記録図形を表示し
ている期間に、図５または図６のカーソルＫの表示選択
が行われたら、そのカーソルＫを同じ画面上に重ねて表
示する。このカーソルＫは前述したようにマウス１６に
よってＸ軸方向に移動させることが可能であるが、同様
のことをキーボード１５上のキー又はスイッチ１７等に
よっても行うことができる。このカーソルＫを希望とす
る位置にセットしたら、図５の例ではスタートスイッチ
ＳＳを、また図６の例では測定開始スイッチを押すこと
により本測定が開始される。

【００３１】図１０は本測定開始の位置決めから本測定
を行うまでの処理を示すフローチャートである。最初の
ステップＳ２１はスタートスイッチ等により本測定開始
が指示されたか否かを判定する処理である。ここでＮ（
ノー）と判定されたときはステップＳ２２で位置決めス
タートかを判定する。位置決めスタートスイッチは測定
スタートスイッチとは異なり、測定動作を伴わず、検出
器の位置決めのみを行なうスイッチである。ここでＮと
判定されたらステップＳ２１へ戻るが、Ｙ（イエス）と
判定されたときはステップＳ２３で図２の検出器２１の
Ｘ軸位置決めを行う。位置決めは検出器送りユニット２
４で行うが、その目標座標はカーソルＫが指示する座標
そのもの、又は測定条件を加味した座標である（詳細は
後述する）。

【００３２】一方、ステップＳ２１でＹと判定されたと
きは、ステップＳ２４で検出器のＸ軸位置決めを行う。 この処理はステップＳ２３と同じ機構を用いる。そして
、このステップＳ２４の位置決めを行った場合はステッ
プＳ２５で測定動作を行う。これは本測定である。図８
のステップＳ１２（予備測定データの表示データ作成）
は、図１１の詳細フローチャートのように具体化される
。尚、このフローチャートでは次のような変数を使用す
る。 １）　　Ｎｉ：予備測定データの個数（予めセットされ
ている） ２）　　Ｎｏ：表示データテーブルのデータ組数（予め
セットされている） ３）　　Ｎｐ：生成処理を行っている予備測定データの
番号変数 ４）　　Ｎｕ：生成処理を行っている表示データテーブ
ルの組番号変数 ５）　　Ｄｄ：分配積算変数 ６）　　Ｄｎ：出力積算数変数 ７）　　Ｄａ：出力積算変数

【００３３】先ず、ステップＳ３１では上述した各種の
変数を初期化する。具体的には、Ｎｐ＝１，Ｎｕ＝１，
Ｄｄ＝０，Ｄｎ＝０，Ｄａ＝０とし、またＸ＝（１番目
の予備測定データのＸ軸座標値）とする。次にステップ
Ｓ３２でＮｉとＮｏの大小比較を行う。そして、Ｎｉ＞
ＮｏのときはステップＳ３３を実行し、またＮｏ＝＜Ｎ
ｉのときはステップＳ４１へジャンプする。ステップＳ
３３では次の数１の演算を行う。

【００３４】

【数１】Ｄｄ＝Ｄｄ＋Ｎｏ Ｄｎ＝Ｄｎ＋１ Ｄａ＝Ｄａ＋データ（Ｎｐ）

【００３５】上記数１のデータ（Ｎｐ）はＮｐ番目の予
備測定データを示している。次にステップＳ３４でＤｄ
とＮｉの大小比較を行う。ここで、Ｄｄ＞＝Ｎｉのとき
はステップＳ３５でＮｕ番目の表示データテーブルをセ
ットする。即ち、図９の表示データテーブルＴ１のＮｕ
番目のＺ軸座標値としてＤａ／Ｄｎの値を、また、Ｘ座
標値としてＸの値をセットする。これに対し、ステップ
Ｓ３４でＤｄ＜Ｎｉと判定されたときはステップＳ３８
へジャンプして下記数２の演算を行う。

【００３６】

【数２】Ｘ＝Ｘ＋ｄｘ Ｎｐ＝Ｎｐ＋１

【００３７】上記の数２において、ｄｘは予備測定デー
タの測定データＸ軸座標間隔を示している。ステップＳ
３５を実行したらステップＳ３６において下記数３の演
算を行う。

【００３８】

【数３】Ｄｄ＝Ｄｄ−Ｎｉ Ｄｎ＝０ Ｄａ＝０ Ｎｕ＝Ｎｕ＋１

【００３９】次にステップＳ３７でＮｕとＮｏの大小比
較を行う。ここでＮｕ＞Ｎｏと判定されたら処理を終了
するが、Ｎｕ＝＜Ｎｏと判定されたらステップＳ３８へ
ジャンプして前述の処理を行う。ステップＳ４１では、
図９の表示データテーブルＴ１のＮｕ番目のＺ軸座標値
としてＮｐ番目の予備測定データを、また、Ｘ座標値と
してＸの値をセットする。このステップＳ４１はＺ軸座
標値としてセットする値がステップＳ３５とは異なる。 次のステップＳ４２では下記の数４の演算を行う。

【００４０】

【数４】Ｄｄ＝Ｄｄ＋Ｎｉ Ｎｕ＝Ｎｕ＋１

【００４１】次にステップＳ４３でＮｕとＮｏの大小比
較を行なう。ここでＮｕ＞Ｎｏと判定されたら処理を終
了するが、Ｎｕ＝＞Ｎｏと判定されたら、続くステップ
Ｓ４４でＤｄとＮｏの大小比較を行い、Ｄｄ＜Ｎｏのと
きはステップＳ４１へ戻る。これに対し、Ｄｄ＝＞Ｎｏ
のときはステップＳ４５において下記の数５の演算を行
い、ステップＳ４１へ戻る。

【００４２】

【数５】Ｄｄ＝Ｄｄ−Ｎｏ Ｎｐ＝Ｎｐ＋１

【００４３】尚、以上の説明において、Ｄｄ＝０は変数
Ｄｄへ０を代入し、またＤｄ＝Ｄｄ＋Ｎｏは変数Ｄｄへ
Ｎｏを加算することを示している。

【００４４】次に、図８におけるステップＳ１３の波形
表示方法の具体例を説明する。図１２はこの説明図であ
る。この図に示すグラフ枠は、縦（Ｚ軸）が（２ｈ−１
）ドット、横（Ｘ軸）がｗドットの矩形状である。表示
座標の原点Ｏ（０，０）をＺ軸の中点に設定すると、Ｘ
方向にはｗドット、Ｚ方向には＋側ｈドット、−側ｈド
ットの範囲で波形表示できる。図示の例では実線で拡大
記録図形を示してある。図９の表示データテーブルＴ１
のｎ組目（ｎ＝１，２，３，…，Ｎｏ）の座標値Ｚｎと
ｎから表示座標Ｘｎ，Ｙｎを次の数６で求める。

【００４５】

【数６】Ｘｎ＝表示データテーブルの組番号ｎＺｎ＝（
Ｚｎ／Ｚｍａｘ）・ｈ

【００４６】上記のＺｍａｘはグラフ上でのＺ軸座標値
の最大値を示し、通常はグラフ描画時の拡大倍率によっ
て１００μｍ最大、１０μｍ最大のように、ある一定値
が決められる。尚、Ｚｎは小数点以下を四捨五入して整
数とする。このようにして、Ｘｎ，Ｚｎを求め、ＣＲＴ
ディスプレイ１４上のグラフの表示座標（Ｘｎ，Ｚｎ）
の点をプロットする。これをｎ＝１からＮｏまで繰り返
すと、図１２のような波形表示を実現できる。

【００４７】一方、図１０のステップＳ２３（カーソル
Ｋによる検出器のＸ軸方向位置決め）は、図１３の詳細
フローチャートのように行うことができる。即ち、最初
のステップＳ５１でグラフ上のカーソルＫの表示座標を
入力し、これを基に次のステップＳ５２でカーソルＫの
指示する位置のＸ軸座標値を算出する。これは、カーソ
ルＫの横方向表示座標値ｃを基に表示データテーブルＴ
１のｃ番目のＸ軸座標値Ｘｃを求めることで実現される
。次に、ステップＳ５３で現在の検出器送り位置Ｘｐを
入力し、続くステップＳ５４でＸｐとＸｃの差を求める
。ここで両者が一致したと判定されたときはステップＳ
５６で検出器の送りを停止する。これに対し、ステップ
Ｓ５４で不一致と判定されたときは、ステップＳ５５で
検出器送り動作を行う。この送り動作は、Ｘｐ＞Ｘｃな
ら正方向、Ｘｐ＜Ｘｃなら負方向というように、両者の
大小関係に応じて送り方向が逆になる。尚、送り速度は
予め決めておけば良い。ステップＳ５６の送り停止は、
出力している送り速度を零とすることで実現できる。

【００４８】

【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、物体
の表面性状を検出して表示する表面性状測定機において
、画面に表示されている予備測定曲線上で希望とする点
をカーソル等で指示すると、実際の本測定をその点から
自動的に開始することができる。このため、本測定まで
の段取り時間を短縮することができ、しかも接触型の検
出器を使用する場合に何回も予備測定を繰りかえすこと
による測定物表面の損傷を未然に防止することができる
。

【図面の簡単な説明】

【図１】　　本発明の実施例を示す一部ブロック図であ
る。

【図２】　　本発明の実施例を示す残部ブロック図であ
る。

【図３】　　ＣＲＴディスプレイの画面構成を示す説明
図である。

【図４】　　表面性状測定器の機構図である。

【図５】　　本発明に係る拡大記録図形表示部の一例を
示す説明図である。

【図６】　　本発明に係る拡大記録図形表示部の他の例
を示す説明図である。

【図７】　　予備測定データの説明図である。

【図８】　　予備測定データの表示処理を示す概略フロ
ーチャートである。

【図９】　　予備測定データの表示データの説明図であ
る。

【図１０】　　検出器の自動位置決め処理の概略フロー
チャートである。

【図１１】　　表示データ作成処理の詳細フローチャー
トである。

【図１２】　　波形表示の説明図である。

【図１３】　　検出器の自動位置決め処理の詳細フロー
チャートである。

【符号の説明】

Ａ…拡大記録図形表示部、Ｋ…本測定開始位置カーソル
、１０…共通バス、１１…ＣＰＵ、１２…メモリ、１３
…プリンタ、１４…ＣＲＴディスプレイ、１５…キーボ
ード、１６…マウス、１７…スイッチ、２１…粗さ検出
器、２２…記録計、２３…検出器送りスケール、２４…
検出器送り位置ユニット、２５…コラム機構、２６…傾
斜補正用載物台、２７ｃ…オフセット出力回路、２８ａ
…レンジ切替出力回路、３０…測定物。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　測定物の表面性状を検出する手段と、
   この検出手段を測定送り方向に移動させる手段と、前記
   検出手段の出力を順次処理する手段と、この処理手段の
   処理結果を二次元的に画面表示する表示手段と、前記画
   面上の１点を指示する手段と、この指示手段により指示
   された点の位置情報を前記移動手段に与えて次の測定開
   始点とする手段とを備えてなることを特徴とする表面性
   状測定機。