JPH0760096B2 - 自動オフセット調整機能付き測定機 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、測定物の状態を検出し
て表示又は印字する測定機に関し、特に表示又は印字出
力を調整するオフセット値を測定区間に先行する前置区
間、又は測定区間そのものの一部データから計算して自
動的に調整する自動オフセット調整機能付き測定機に関
する。

【０００２】

【従来の技術】物体表面の性状は、変化の小さい順に、
粗さ、うねり、輪郭（形状）等と呼ばれる。表面性状測
定機は、このような物体表面の性状を、接触型又は非接
触型の検出器を用いて高精度に検出する。接触型の検出
器（触針）を用いる表面性状測定機には、フルストロー
ク０．５ｍｍを数１０００分の１の分解能で測定できる
タイプもある。このような高分解能の測定機は、倍率の
異なる複数の測定レンジを有し、測定対象とする範囲が
できるだけ大振幅で表示できるように、測定レンジを選
択可能にしている。加えて、測定値に付加するオフセッ
ト値の調整も必要である。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
測定機では、予備的な測定を繰り返しながら最適なレン
ジの選択およびオフセット値の調整をしているため、本
測定可能となるまでの段取りに時間がかかり、特に、接
触型の触針を用いる測定機では、何度も測定を繰り返す
ことで測定物表面を傷つける心配がある。

【０００４】例えば、オフセット調整には、検出器のオ
フセット調整と拡大記録図形の表示又は印字出力オフセ
ット調整があり、前者の調整結果が後者に影響を与える
場合には、両方の調整を繰り返すため本測定までの準備
に手間取る欠点がある。

【０００５】本発明は、オフセット調整を自動化するこ
とで、本測定までの段取り時間を短縮し、測定を容易に
することを目的としている。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明では、測定物の状態を走査して検出する検出手段
と、この検出手段で検出された測定値を順次サンプリン
グしてディジタル値に変換するＡ／Ｄ変換手段と、この
Ａ／Ｄ変換手段でディジタル変換された測定データを処
理するデータ処理手段と、このデータ処理手段の処理結
果をアナログ値に変換するＤ／Ａ変換手段と、このＤ／
Ａ変換手段でアナログ変換されたデータを表示又は印字
する手段とを備え、前記データ処理手段は、前記検出手
段の走査による測定範囲がデータ処理上必要とされる測
定区間に対して先行する前置区間を有するか否かを判定
する判定手段と、この判定手段の判定結果に基づいて、
前記前置区間がある場合にはその区間から、前記前置区
間がない場合は前記測定区間から、それぞれ所定個数の
測定データを平均して出力オフセット値を算出する算出
手段と、この算出手段により得られた出力オフセット値
により前記測定区間の表示又は印字出力のレベル調整を
行うオフセット調整手段とを備えたことを特徴とする。

【０００７】本発明はまた、上述のオフセット調整機能
付き測定機において、前記データ処理手段が、表示又は
印字上の測定レンジに対応して所定のレンジ定数を前記
出力オフセット値に乗算する乗算手段を有することを特
徴とする。

【０００８】

【作用】本発明の構成によると、記録図形を表示又は印
字するときの倍率を任意に設定しても、検出データに共
通に含まれるオフセット分がキャンセルされるため、表
示又は印字する図形がオーバレンジし難くなり、失敗の
無い拡大記録図形を容易に得ることができる。同様の理
由から、検出データにオフセットが有っても良いので、
検出器の位置決めやオフセット調整がラフでも良くな
り、その分操作性が向上する。

【０００９】

【実施例】図１および図２は、本発明を適用するＣＰＵ
内蔵型表面性状測定機の分割されたブロック図である。
図１は主としてＣＰＵとその入出力回路を示す部分ブロ
ック図である。これに対し、図２は表面性状測定機特有
の構成を示す部分ブロック図である。これらの図を結ぶ
共通バス１０はアドレスバス、データバス、クロックラ
イン等を含んでいる。

【００１０】図１において、１１は制御中枢となるＣＰ
Ｕ（中央処理装置）である。このＣＰＵ１１は定期的な
処理と非定期的な処理を行うが、リアルタイムクロック
発生器１１ａは出力クロックで一定時間（例えば５ｍ
ｓ）毎に割り込みをかけ、定期的な処理を繰り返し実行
させる。このＣＰＵ１１は共通バス１０を介してメモリ
１２を使用する。このメモリ１２にはＲＡＭ（ランダム
アクセスメモリ）とＲＯＭ（リードオンリメモリ）とが
含まれる。このうち、ＲＯＭには主としてＣＰＵ１１の
動作プログラムや各種処理用の定数テーブルが格納され
ている。これに対し、ＲＡＭは各種測定条件や収集デー
タ等の格納に使用され、必要に応じて電源オフ後にもデ
ータが消滅しないようにバッテリ等でバックアップされ
る。

【００１１】このＣＰＵ１１の周辺にはプリンタ１３や
ＣＲＴディスプレイ１４等の出力機器、およびキーボー
ド１５、マウス１６、スイッチ１７等の入力機器が接続
される。プリンタ１３は各種の測定条件や収集データ等
を文字やグラフ等で印字出力するためのもので、このイ
ンターフェースには例えばセントロニクスタイプの出力
回路１２ａが使用される。ＣＲＴディスプレイ１４はビ
デオメモリ１４ｂに格納された測定条件や測定データ等
をＣＲＴ画面に表示する。ＣＲＴ制御回路１４ａはディ
スプレイ１４の水平掃引および垂直掃引の同期制御、お
よびビデオメモリ１４ｂのリード、ライト制御を行う。

【００１２】ビデオメモリ１４ｂには、例えばカラーグ
ラフィックディスプレイの使用時には、ディスプレイ１
４に表示される各画素の色情報が格納される。図３はデ
ィスプレイ画面の一例を示したものである。この例では
１つの画面を複数に分割し、大面積のＡ部には表面粗さ
を示す拡大記録図形を表示している。この拡大記録図形
表示部Ａの縦軸は凹凸の度合い（振幅）、横軸は距離
（後述の検出器送り位置）である。この他に触針ポジシ
ョン表示部Ｂやアイコン表示部Ｃ等もある。

【００１３】キーボード１５はアルファベットキー、数
字キー等を有し、各キーのオン情報をエンコード回路１
５ｂでコード化してＣＰＵ１１へ入力する。１５ａはこ
のとき使用されるキー入力回路である。マウス１６は２
軸のエンコーダとスイッチを内蔵し、エンコーダ出力は
計数器１６ｂで計数される。この計数器１６ｂの計数値
はマウス入力回路１６ａを介してＣＰＵ１１へ入力され
る。このとき、マウス１６のスイッチ信号もマウス入力
回路１６ａを介してＣＰＵ１１へ入力する。

【００１４】スイッチ１７は各種の押ボタンスイッチ、
選択スイッチ、リミットスイッチ等からなり、各スイッ
チの信号はスイッチ入力回路１７ａを介してＣＰＵ１１
へ入力する。後述する例で必要な信号には、検出器の上
昇、下降、左行、右行等の指示を与える手動操作信号
や、測定スタート等の自動操作信号、更には機構部分の
動作ストロークオーバ信号等がある。

【００１５】一方、図２の構成には粗さ検出器２１、記
録計２２、検出器送り位置スケール２３、検出器送りユ
ニット２４、コラム２５、傾斜補正用載物台２６が含ま
れる。粗さ検出器２１は、例えば機械的な触針を測定物
表面に接触させ、必要に応じて前記触針を移動させなが
ら測定物表面の凹凸を検出する。この検出器２１の出力
はレベルが低く雑音の影響を受け易いので、これをノイ
ズ除去用のブリッジ２１ａに入力し、さらにその出力
（正弦波信号）を同期整流器２１ｂに入力する。このブ
リッジ２１ａと同期整流器２１ｂは共に発振器２１ｃか
らの正弦波信号を入力されているので、この部分で同期
整流することにより触針の上下変位に応じた直流電圧だ
けが出力される。同期整流器２１ｂの出力は測定レンジ
（倍率）決定用の増幅器２１ｄで増幅された後、Ａ／Ｄ
変換器２１ｅでディジタル信号に変換され、検出器信号
入力回路２１ｆを通してＣＰＵ１１に取り込まれる。

【００１６】以上の基本的な構成に対し、加算器２７ａ
で零点調整用のオフセット電圧が加算される。このオフ
セット電圧は、触針の変位量とは独立して零点を決定で
きるようにするもので、ＣＰＵ１１から出力される。但
し、ＣＰＵ１１の出力はディジタル量であるので、これ
をオフセット出力回路２７ｃを介してＤ／Ａ変換器２７
ｂに入力し、ここでアナログ電圧に変換してから使用す
る。一方、増幅器２１ｄの増幅度を切換えるレンジ切替
信号はＣＰＵ１１から出力され、レンジ切替出力回路２
８ａを介して増幅器２１ｄに与えられる。このレンジ切
替信号の値を変えると増幅器２１ｄの増幅度を変化させ
ることができるので、これにより測定データに適した拡
大倍率で表示或いは印字等を行うことができる。

【００１７】記録計２２は主として触針変位を波形とし
て記録するものであるため、ＣＰＵ１１は触針変位値に
対し予め決められている定数値を乗算し、その結果を記
録計用出力回路２２ａを介して出力する。この出力回路
２２ａの出力はディジタル値であるので、これをＤ／Ａ
変換器２２ｂでアナログ値に変換して記録計２２へ入力
する。

【００１８】上述した粗さ検出器２１と記録計２２に関
係する部分は表面性状測定器の検出および記録に関する
ものであり、後述する検出器送り位置スケール２３から
傾斜補正用載物台２６までは測定対象とする測定物と触
針の位置関係を適正化したり、検出器を摺動させたりす
る機構部分に関する。

【００１９】検出器送り位置スケール２３は、粗さ検出
器２１（ここでは機械式の触針を想定する）を測定物の
表面と平行な方向に送った場合の平行方向位置、即ちデ
ィスプレイ１４や記録計２２における拡大記録図形の横
軸方向の位置を検出するためのスケールである。このス
ケール２３がインクリメンタル型である場合、所定の移
動量毎に１パルス発生するという出力形態をとるので、
後段の計数器２３ｂでこのパルスを計数してスタート位
置からの積算移動量（これを検出器の送り位置と呼ぶ）
を求める。ＣＰＵ１１はこの送り位置を表示や印字制御
上必要とするので、これを送り位置入力回路２３ａを介
してＣＰＵ１１へ転送する。

【００２０】尚、計数器２３ｂが所定の送り位置毎に距
離信号を発生する機能を有していると、この距離信号で
ＣＰＵ１１に割り込みをかけることができる。この割り
込みは、検出器２１の実際の位置に応じたものであるた
め、リアルタイムクロックによる時間割り込みとは別
に、表示或いは記録制御上便利な使い方ができる。

【００２１】検出器送りユニット２４は、図４に示すよ
うに検出器２１を水平方向（矢印Ｈ方向）に移動させる
機構である。上述のスケール２３はこの送りユニット２
４による検出器２１の移動量を計測する。送りユニット
２４はコラム機構２５によって上下動可能であり、これ
により測定物（ワーク）３０との垂直方向（矢印Ｖ方
向）の距離を任意に調整することができる。測定物３０
は傾斜補正用載物台（オートレベリングテーブル）２６
上に載置され、所定の範囲内で任意に水平度（角度θ）
を調整できる。３１は載物台３０や送りユニット２４等
を安定した位置関係に保つ定盤である。

【００２２】検出器送りユニット２４の駆動源には例え
ば直流電動モータを使用する。この場合、ＣＰＵ１１は
送り速度の指令信号を出力して送りユニット２４の送り
位置を制御する。この送り速度信号（ディジタル量）は
送り速度出力回路２４ａで取り込まれ、Ｄ／Ａ変換器２
４ｂでアナログ量に変換される。そして、このアナログ
電圧を駆動信号に変換するためパルス幅変調器２４ｃを
使用し、その出力を直流駆動モータの駆動増幅器２４ｄ
に入力する。

【００２３】検出器送りユニット２４を上下動作させる
コラム機構２５の駆動源に例えばパルスモータを使用し
た場合、ＣＰＵ１１が出力する上下移動データを上下移
動出力回路２５ａで取り込み、これをパルス発生器２５
ｂでパルス列に変換する。このパルスは単位移動量当た
り１パルスとなるように発生され、パルス計数器２５ｃ
で計数される。そして、この計数値を駆動増幅器２５ｄ
に入力することでコラム機構２５の上下移動量を制御で
きる。

【００２４】測定物３０の水平度を調整する傾斜補正用
載物台２６の駆動源にパルスモータを使用した場合は、
ＣＰＵ１１からの補正角度データを補正角度出力回路２
６ａで取り込む。あとはコラム２５の場合と同様にパル
ス発生器２６ｂ、パルス計数器２６ｃ、駆動増幅器２６
ｄを用いてパルスモータを駆動し、測定物３０を載置し
た載物台２６の傾きを調整する。

【００２５】このような測定器では、２種類のオフセッ
ト調整が必要である。１つは、検出器２１のオフセット
調整であり、これはオフセット出力回路２７ｃに対する
出力値の処理により行う。他の１つは、表示又は印字出
力に関するオフセット調整である。

【００２６】本発明は、後者のオフセット調整に関する
もので、具体的には、オフセット出力回路２７ｃの出力
操作に関係なく、検出器信号入力回路２１ｆから入力し
た検出器信号にレンジ定数を乗算し、更に、表示又は記
録計２２用の倍率定数を乗算して表示又は記録出力を求
める出力オフセット調整を行う（一般には出力オフセッ
ト値を減算する）。

【００２７】以下、本発明の実施例を説明する。図５
は、本発明の一実施例の説明図である。測定物の表面性
状を計測して表示または印字する測定機では、駆動系の
過渡応答を避けるために、或いはフィルタ計算上の過渡
状態の影響を避けるために、希望とする測定区間に先行
した前置区間を設定することがある。同図（ａ）はこの
ような前置区間と測定区間を同じ検出器で連続して測定
した場合の測定データを想定して表示してある。

【００２８】一般に、形状が平坦な測定物の前置区間は
測定区間の性状と似ているため、表面粗さに違いがあっ
ても前置区間の平均値は測定区間の平均値に近い値を持
つ。そこで、この前置区間の平均値を測定区間表示の出
力オフセット値として用いると、希望とする測定区間の
測定データを図５（ｂ）のように表示面上で零点を測定
開始値としたように自動的にオフセット調整される。こ
のため、高いレンジを使用して表面性状等を詳しく観測
することができる。尚、前置区間で平均値算出に使用す
るデータは前置区間の全部でも一部でも良い。

【００２９】測定物の表面が小面積で前置区間を充分に
とれないこともある。このような場合は、測定区間の任
意の一部のデータを平均化して出力オフセット値を算出
し、これを利用して同様の表示または印字形態とするこ
ともできる。例えば、測定区間の始めの部分のデータか
ら出力オフセット値を算出し、これを残りの部分に適用
するというのが一例である。

【００３０】図６〜図８は本発明の処理を示す各種タス
ク１〜３のフローャートである。このうち、タスク１
は、前置区間の設定の有無に関係なく実行される、検出
器２１の送り制御と検出器信号のサンプリングに関する
処理である。これに対し、タスク２は、前置区間の設定
が無い場合に実行される、出力オフセット調整と記録計
出力制御に関する処理である。また、タスク３は、前置
区間の設定が有る場合に実行される、出力オフセット調
整と記録計出力制御に関する処理である。

【００３１】タスク１はタスク２またはタスク３と組み
合わされ、タスク１，２の組（またはタスク１，３の
組）はマルチタスクリアルタイムモニタによって見かけ
上、同時的に実行され得る。

【００３２】先ず図６のタスク１の細部を説明する。こ
のタスク１の最初のステップＳ１は検出器の送り準備に
関するもので、ここでは、あらかじめ設定されているオ
フセット値をオフセット出力回路２７ｃに出力し、ま
た、あらかじめ設定されているレンジ番号をレンジ切替
出力回路２８ａに出力する。次のステップＳ２では検出
器の送りを開始する。即ち、あらかじめ設定されている
検出器送り速度を送り速度出力回路２４ａへ出力する。

【００３３】続くステップＳ３では測定区間に先立つ前
置区間が設定されているか否かを判定する。ここで設定
無しと判定されたらステップＳ４へ分岐し、設定有りと
判定されたらステップＳ９へ分岐する。

【００３４】ステップＳ４では検出器信号をサンプリン
グする。即ち、送り位置入力回路２３ａから検出器送り
位置信号を入力すると共に、あらかじめ設定されている
サンプリング間隔毎に検出器入力回路２１ｆから検出器
信号を取り込む。

【００３５】ステップＳ５ではｍ個を基準としてサンプ
リング数の大小を判定し、ｍ個未満と判定されたときは
ステップＳ４へ戻り、ｍ個以上と判定されたときはステ
ップＳ６を実行する。この処理は、前置区間を設定して
いない場合に、出力オフセット値を算出する測定区間
（全体でｎ個のデータとする）の一部、本例では先頭部
分のｍ個（ｍ＜ｎ）のデータが全てサンプリングされた
か否かを判定するものである。

【００３６】ステップＳ６では図７のタスク２を起動し
てから次のステップＳ７へ移る。タスク２はこの時点か
ら実行を開始するので、タスク１とタスク２はリアルタ
イムモニタによって同時併行的に実行される。

【００３７】ステップＳ７では測定区間の全データ数
（ｎ個）の検出器信号データのサンプリングが終了した
か否かを判定する。ここでｎ個以上と判定されたらステ
ップＳ８へ移るが、ｎ個未満と判定されたらステップＳ
４へ戻る。尚、ｎ個未満の時はステップＳ４からステッ
プＳ７までのループを通る毎にタスク２が起動される
が、２回目以降のタスク２の起動は事実上無作業になる
ので問題ない。

【００３８】ステップＳ８では検出器の送りを停止す
る。即ち、送り速度出力回路２４ａに零信号を出力して
検出器２１の送りを停止する。

【００３９】一方、ステップＳ３で前置区間設定有りと
判定されたときは、ステップＳ９においてステップＳ４
と同様の処理を行う。但し、続くステップＳ１０ではス
テップＳ５とは異なるｋ個（前置区間の全データ数）を
基準にサンプリング数の大小を判定する。そして、ｋ個
未満であればステップＳ９へ戻るが、ｋ個以上と判定さ
れたらステップＳ１１でタスク３を起動してからステッ
プＳ１２へ進む。

【００４０】ステップＳ１２では（ｋ＋ｎ）個を基準と
してサンプリング数の大小を判定し、（ｋ＋ｎ）個未満
のときはステップＳ９へ戻るが、（ｋ＋ｎ）個以上と判
定されたときはステップＳ８へ進んで検出器送りを停止
する。この（ｋ＋ｎ）個は前置区間と測定区間のデータ
数の総和である。尚、ステップＳ１２からステップＳ９
へ戻っても、ステップＳ１１におけるタスク３の起動は
１回目のみ有効であり、２回目以降は無作業となる。こ
れは、ステップＳ６の場合と同様である。

【００４１】図７は前置区間の設定がない場合に起動さ
れるタスク２の細部である。このタスク２の最初のステ
ップＳ２１では出力オフセットの計算を行う。具体的に
は、サンプリング済の検出器信号データの先頭からｍ個
のデータについて平均値を求め、これを出力オフセット
とする。次のステップＳ２２では、サンプリング済の検
出器信号データの１番目のデータから、ステップＳ２１
で得られた出力オフセットを減算する。

【００４２】以下、ステップＳ２２〜ステップＳ２６の
ループ処理において、ステップＳ２２を実行する毎に検
出器信号データの１番目から順次１データづつ出力オフ
セット調整を行う。この場合、ステップＳ２２までの処
理は、レンジによる信号の大きさを考慮せずに検出器信
号入力回路２１ｆからの入力値そのものを対象として処
理している。

【００４３】これに対し、ステップＳ２３ではレンジに
よる信号の大きさを考慮するためにレンジ定数の乗算を
行う。即ち、レンジ切替出力回路２８ａへ出力したレン
ジ番号によって決まるレンジ定数をＳとし、記録計出力
を行うために前もって設定されている記録拡大倍率によ
って決まる拡大定数をＲとした場合、上記のステップＳ
２２で得られた出力オフセット調整結果にこのレンジ定
数Ｓと拡大定数Ｒをそれぞれ乗算する。そして、次のス
テップＳ２４でステップＳ２３の乗算結果を記録計用出
力回路２２ａへ出力する。

【００４４】ステップＳ２５ではステップＳ２４による
記録計出力が何回行われたかを測定区間の全データ数ｎ
個と比較する。ここで、ｎ個以上と判定されたらタスク
２を終了するが、ｎ個未満と判定されたらステップＳ２
６へ進み、次のデータがサンプリングされるのを待つ。

【００４５】つまり、ステップＳ２２からステップＳ２
６では１ループあたり１データの処理を行う。このた
め、ステップＳ２６では、次に処理しようとする検出器
信号データ（ｉ個目のデータを処理したときは（ｉ＋
１）個目のデータ）がタスク１で既にサンプリングされ
たか否かを判定し、サンプリングされていない場合は、
サンプリングされるのを待つ。このステップＳ２６で次
のデータがサンプリング済と判定されたらステップＳ２
２へ戻り、上述したと同様の処理を繰り返す。

【００４６】図８は、前置区間を設定した場合に起動さ
れるタスク３の詳細である。このタスク３では前置区間
の検出器信号データを用いることができるため、最初の
ステップＳ３１ではｋ個のサンプリング済み前置区間検
出器信号データについて平均値を求め、これを出力オフ
セットとして使用する。

【００４７】次のステップＳ３２ではサンプリング済み
の検出器信号データの（ｋ＋１）番目、つまり測定区間
の１番目のデータからステップＳ３２で得られた出力オ
フセットを減算する。以下同様にして、ステップＳ３２
からステップＳ３６のループ処理を繰り返すに際し、１
ループ当たり１個のデータ（測定区間全体ではｎ個のデ
ータ）について同じ減算処理を行う。

【００４８】続くステップＳ３３では、図７のステップ
Ｓ２３と同様に、ステップＳ３２で得られた出力オフセ
ットにレンジ定数を乗算する。そして、ステップＳ３４
ではステップＳ３３の結果を記録計用出力回路２２ａへ
出力する。更に、ステップＳ３５では、ステップＳ３４
による記録計出力が、前置区間と測定区間のデータ数の
総和（ｋ＋ｎ）番目までのデータについて行なわれたか
を比較する。

【００４９】ステップＳ３５で（ｋ＋ｎ）番目以上と判
定されたら、このタスク３を終了するが、（ｋ＋ｎ）番
目未満と判定されたときは全データ数ｎ個の測定区間に
対する処理を完了していないので、ステップＳ３６へ進
む。このステップＳ３６は、図７のステップＳ２６と同
様に、記録計出力する次のデータのサンプリングを待つ
処理であり、この処理を完了したらステップＳ３２へ戻
る。

【００５０】

【発明の効果】以上述べた本発明の自動オフセット調整
機能付き測定機には、次の利点がある。 ａ）記録図形を表示または印字する時のレンジ倍率を任
意に選択しても、測定データに共通に含まれるオフセッ
ト分がキャンセルされるため、表示または印字する図形
がオーバレンジしにくくなり、失敗のない拡大記録図形
出力を容易に得ることができる。 ｂ）測定データに共通に含まれるオフセット分がキャン
セルされるため、測定データにオフセットが含まれてい
てもよい。このため、検出器の位置決め、検出器のオフ
セット調整がラフで済み、その分操作性が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明を適用した測定機の一部ブロック図で
ある。

【図２】 本発明を適用した測定機の残部ブロック図で
ある。

【図３】 ＣＲＴディスプレイの画面構成を示す説明図
である。

【図４】 表面性状測定器の機構図である。

【図５】 本発明の実施例の説明図である。

【図６】 本発明の処理を示すタスク１のフローチャー
トである。

【図７】 本発明の処理を示すタスク２のフローチャー
トである。

【図８】 本発明の処理を示すタスク３のフローチャー
トである。

【符号の説明】

Ａ…拡大記録図形表示部、１０…共通バス、１１…ＣＰ
Ｕ、１２…メモリ、１３…プリンタ、１４…ＣＲＴディ
スプレイ、１５…キーボード、１６…マウス、１７…ス
イッチ、２１…粗さ検出器、２１ｆ…検出器信号入力回
路、２２…記録計、２２ａ…記録計用出力回路、２３…
検出器送り位置スケール、２４…検出器送りユニット、
２５…コラム機構、２６…傾斜補正用載物台、２７ｃ…
オフセット出力回路、２８ａ…レンジ切替出力回路、３
０…測定物。

フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭55−47401（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−181623（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−57106（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−264212（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−48214（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−38471（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−26161（ＪＰ，Ａ)

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 測定物の状態を走査して検出する検出手
   段と、この検出手段で検出された測定値を順次サンプリ
   ングしてディジタル値に変換するＡ／Ｄ変換手段と、こ
   のＡ／Ｄ変換手段でディジタル変換された測定データを
   処理するデータ処理手段と、このデータ処理手段の処理
   結果をアナログ値に変換するＤ／Ａ変換手段と、このＤ
   ／Ａ変換手段でアナログ変換されたデータを表示又は印
   字する手段とを備え、 前記データ処理手段は、前記検出
   手段の走査による測定範囲がデータ処理上必要とされる
   測定区間に対して先行する前置区間を有するか否かを判
   定する判定手段と、この判定手段の判定結果に基づい
   て、前記前置区間がある場合にはその区間から、前記前
   置区間がない場合は前記測定区間から、それぞれ所定個
   数の測定データを平均して出力オフセット値を算出する
   算出手段と、この算出手段により得られた出力オフセッ
   ト値により前記測定区間の表示又は印字出力のレベル調
   整を行うオフセット調整手段とを備えたことを特徴とす
   るオフセット調整機能付き測定機。
2. 【請求項２】 前記データ処理手段は、表示又は印字上
   の測定レンジに対応して所定のレンジ定数を前記出力オ
   フセット値に乗算する乗算手段を有することを特徴とす
   る請求項１記載のオフセット調整機能付き測定機。