JPH04361891A - レーザロボットのミラー支持装置 - Google Patents

レーザロボットのミラー支持装置

Info

Publication number
JPH04361891A
JPH04361891A JP3137790A JP13779091A JPH04361891A JP H04361891 A JPH04361891 A JP H04361891A JP 3137790 A JP3137790 A JP 3137790A JP 13779091 A JP13779091 A JP 13779091A JP H04361891 A JPH04361891 A JP H04361891A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
robot
laser beam
robot arm
laser
mirror
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP3137790A
Other languages
English (en)
Inventor
Akira Nihei
亮 二瓶
Akihiro Terada
彰弘 寺田
Yasuo Sasaki
康夫 佐々木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fanuc Corp
Original Assignee
Fanuc Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fanuc Corp filed Critical Fanuc Corp
Priority to JP3137790A priority Critical patent/JPH04361891A/ja
Publication of JPH04361891A publication Critical patent/JPH04361891A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Laser Beam Processing (AREA)
  • Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザロボットに関し
、特に、レーザロボット内部の各関節部にレーザビーム
の進路変更用として設けられるミラーユニットの支持装
置の改良構造に関する。
【0002】
【従来の技術】レーザロボットは、ロボット機体が多く
、多関節腕型ロボットとして形成され、ロボット機体に
おける縦軸周りに旋回可能な旋回胴部の頂部又は底部を
経て外部のレーザビーム発振器からレーザビーム管路を
介して導入し、ロボット機体の内部に配設したレーザビ
ーム管路と各関節部に配設されたビーム進路の変更用の
ミラーユニットとを経て最先端に設けられたレーザビー
ム出射装置にレーザビームを導き、その出射装置からレ
ーザビーム照射対象へレーザビームを出射する構造を有
している。このとき、ミラーユニットは1つのレーザビ
ーム管路を経て進行したレーザビームを別のレーザビー
ム管路へミラー表面における反射で進路変更を行なうた
めに、ロボット腕の関節部における旋回動作に依存して
レーザビーム進路が正規の進路からずれを生じないよう
に構成されることが必要とされ、従来からミラーの反射
点が各関節部における旋回軸心上に配置、維持される工
夫を有したミラーユニット支持装置が提供されている。
【0003】図4、図5は、このような従来のミラー支
持装置を備えたレーザロボットの内部構造を示した部分
断面図と、同従来のミラー支持装置によって発生する問
題点を説明した略示機構図である。
【0004】図4に示すように、多関節腕型レーザロボ
ットの機体は、縦軸周りに旋回可能な旋回胴10、同旋
回胴10の頂部の関節部12において水平軸心Wの周り
に地面に対して垂直な平面内で俯仰動作状に旋回可能に
回転軸受16を介して支持された第1のロボット腕14
、同第1のロボット腕14の先端の関節部18において
水平軸心Uの周りに旋回可能に回転軸受20を介して支
持された第2のロボット腕22を備え、この第2ロボッ
ト腕22の先端部の図示されていない関節部を介してレ
ーザビーム出射ユニット(図示なし)が設けられている
。レーザビームは外部のレーザビーム発振器から適宜の
レーザビーム管路を経て、例えば、旋回胴10に導入さ
れ、関節部12に設けられたミラーユニット24のミラ
ー24aで進路変更をして第1のロボット腕14の内部
のレーザビーム導管路26に入り、この導管路26を経
て関節部18に達し、同関節部18に設けられた1対の
ミラーユニット28、30におけるミラー28a、30
aを経て第2ロボット腕22のレーザビーム導管路32
を経て上述したレーザビーム出射ユニットへ導かれる構
成を有している。
【0005】このとき、従来のミラーユニット24、2
8、30等は何れも夫々、関節部12、18においてロ
ボット腕14、22にボルトねじで固定位置決めした固
定構造を有している。つまり、ロボットの組立工程や補
修工程で所定のレーザロボットの姿勢において精密なレ
ーザビームの光軸調整を行ない、ロボット腕が旋回動作
をしてもレーザビームの光路がずれを起こさないように
、腕の旋回軸心上にミラーユニット24等の受光点、反
射点を配し、かつ、ミラーの光軸が旋回軸心と一致して
いるように調整し、ねじで締め、固定する方式がとられ
ている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】然しながら、図5に略
示するように、特に、レーザロボットの第1のロボット
腕14では、その先端側に第2のロボット腕22やレー
ザビーム出射ユニット等の比較的重量物が負荷される取
付け構造が設けられているため、これらの重量物による
負荷が第1のロボット腕14に掛り、撓みを発生する。 このとき、ロボット腕14の撓みに対してレーザビーム
は相変わらず、ミラーユニット24、28を経る進路を
進行するが、第1ロボット腕14の先端側では腕の撓み
に応じてミラーユニット28の位置にずれを生じている
から、ミラーユニット28によるレーザビームの反射点
が変わり、反射後のレーザビーム進路は正規の進路から
ずれδを生ずる。この結果、レーザビームが第2ロボッ
ト腕22の先端の関節部を経由してレーザビーム出射ユ
ニットに達したときには、レーザビームの進路ずれは更
に拡大され、結局、目的の照射対象に対して高いレーザ
エネルギーを有したレーザビームを照射できない問題点
が発生することがあった。つまり、ロボット機体内部に
ロボット腕の撓みに追従して、レーザビームの進路を追
従、補正する手段が何ら設けられていないと言う欠点を
有しているのである。この結果、レーザロボットによる
レーザ加工等の作業性能も充分に高精度化できない問題
んが存在していた。
【0007】依って、本発明の目的は、このような従来
のレーザロボットにおけるロボット機体内のレーザビー
ムの進路機構、特に、ミラーユニットの支持装置におけ
る問題点を解決せんとするものである。
【0008】本発明の他の目的は、ミラーユニットを関
節部に有した多関節腕型レーザロボットの機体において
、重力効果を受けて撓みを生ずるロボット腕に対して撓
みの影響が直接、レーザビーム管路におけるミラーユニ
ットに及ばない構造を有したミラー支持装置を提供せん
とするものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は、レーザロボッ
トのロボット機体内部における各関節部に配設されたレ
ーザビーム進路の変更用ミラーユニットを支持する支持
装置に、重力効果によるロボット腕の撓みに追従したミ
ラーユニットの変位動作、特に回転と軸方向の伸縮変位
とを付与し得る機械的構造を有した支持装置を提供し、
以て、ロボット腕の撓みにも関わらず、レーザビームは
常にミラーユニットの正規の光軸上で入、反射し、所定
の進路を経てレーザビーム出射ユニットに到達するよう
にしたものである。
【0010】即ち、本発明によれば、関節結合構造を有
したロボット腕が地表面に対して垂直な面内で旋回可能
に配設されると共に該ロボット腕の端部の関節結合部分
に支持されたレーザビームの進路変更用ミラーユニット
を具備し、外部から導入したレーザビームを該ミラーユ
ニットを介して最先端のミラー出射装置へ順次に誘導し
、出射するレーザロボットにおいて、前記ミラーユニッ
トを支持するミラー支持装置は、前記関節結合部におい
て該ミラーユニットをロボット腕の旋回軸心と同軸の軸
心周りに旋回可能に保持する回転軸受手段と、前記ミラ
ーユニットのビーム入射端又は出射端に結合され、前記
ロボット腕の長さ方向に摺動自在に設けたビーム導管と
で構成され、前記ロボット腕の重力撓みに応じて前記ミ
ラーユニットを補正旋回可能にしたレーザロボットのミ
ラー支持装置が提供される。
【0011】又、本発明によれば、ロボット旋回胴と、
該旋回胴に設けた第1の関節部に対して水平軸心を旋回
軸心にして地面に垂直な平面内で旋回可能な第1のロボ
ット腕と、前記第1のロボット腕の先端に設けた第2の
関節部に対して水平軸心を旋回軸心にして旋回可能な第
2のロボット腕と、前記第2のロボット腕の先端に設け
られた第3の関節部に結合されたレーザビーム出射部と
、前記第1、第2、第3の関節部の各関節部に設けたレ
ーザビームの進路変更用ミラーユニットと、前記第1ロ
ボット腕、前記第2ロボット腕内に設けたレーザビーム
導管路手段とを具備したレーザロボットにおいて、少な
くとも前記第1のロボット腕の両端の前記第1、第2の
関節部に設けられた前記の各ミラーユニットは、該第1
のロボットの前記旋回軸心及び該第2のロボット腕の前
記旋回軸心と夫々同軸の旋回軸を中心にして旋回可能に
回転軸受手段により支持されると共に両ミラーユニット
間を結合する前記レーザビーム導管路手段がすべり軸受
を介して軸方向に伸縮変位可能な構造を具備しているこ
とを特徴としたレーザロボットが提供される。
【0012】
【作用】上述の構成によれば、ロボット機体内の各関節
部に設けたレーザビームの進路変更用ミラーユニットは
、ロボット腕の撓みに追従して旋回と軸方向の変位し、
レーザビームの進路は常に各ミラーユニットの反射ミラ
ーの所定の入、反射点で進路変更を行ない、その上、ロ
ボット腕の旋回による姿勢の変化で、重力効果が変化し
て撓み量が種々変動したときにも、その撓み量に追従し
たミラーユニットの変位が得られるから、ロボット機体
の先端に達した時点では、常に正規の進路を進行したレ
ーザビームがレーザビーム出射装置から照射対象に出射
されるのである。以下、本発明によるレーザロボットの
ミラー支持装置及び同装置を備えた多関節腕型レーザロ
ボットに就いて、添付図面を参照して更に、詳細に説明
する。
【0013】
【実施例】図1は、本発明に係るレーザロボットのミラ
ー支持装置の構成と作用とを説明する要部断面図、図2
は同ミラー支持装置が組み込まれる多関節腕型レーザロ
ボットの外観正面図、図3は、ロボット腕の撓みに追従
したミラーユニットの変位を説明する略示機構図である
。なお、本発明の実施例において、図4に示した従来の
多関節腕型レーザロボットと同一ないし等価な要素、部
分に就いては、同じ参照番号で示してある。
【0014】図1に示すレーザロボットの要部において
、ロボット機体を構成するロボット胴10、第1の関節
部12、第1のロボット腕14、第1の関節部12にお
いて第1ロボット腕14を水平軸心であるW軸心を中心
にして地面に鉛直な面内で旋回可能に支持する回転軸受
16、第1のロボット腕14の先端に設けられた第2の
関節部18、同第2の関節部18にいて水平軸心である
U軸を中心に第2のロボット腕22を旋回可能に支持す
る回転軸受20等の機構要素及び部分は図4に示した従
来のレーザロボットの対応要素及び部分と同様な構成、
作用を有するものと理解して良い。
【0015】従って、レーザビームはロボット機体の旋
回胴10の一部で外部の図示されていないレーザビーム
導管路を経て導入される。このレーザビームは、第1の
ロボット腕14の基端側の第1の関節部12に設けられ
た第1のミラーユニット24における反射ミラー24a
で反射されて進路を略直角に変更して第1のロボット腕
14の内部に設けられたレーザビーム導管路126に入
り、このレーザビーム導管路126を経て第1ロボット
腕14の先端の第2の関節部18に設けられた第2のミ
ラーユニット28における反射ミラー28aで反射され
て再び略直角に進路を変更される。レーザビームは更に
同じ第2の関節部18において、第2のミラーユニット
28と対向した位置に配設された第3のミラーユニット
30の反射ミラー30aに入射し、反射して進路を略直
角に変更され、第2のロボット腕22の内部に設けられ
たレーザビーム導管路132に入り、このレーザビーム
導管路132を経てロボット機体の先端の関節部に設け
られた他のミラーユニットを経てレーザビーム出射ユニ
ット(図示なし)に達する。
【0016】ここで、第1ロボット腕14は、その先端
に枢着された第2のロボット腕22を始めとする重量負
荷要素の負荷を受けてW軸心周りに旋回するから、第1
ロボット腕14が鉛直な平面内で旋回する場合に、種々
の旋回姿勢位置に応じて異なる重力効果を受け、強固な
機械的剛性を有しているにしても長尺であればある程、
モーメント腕が長くなるので、同第1ロボット腕14の
先端における撓みは大きくなる。この撓みはレーザビー
ム導管路126を進行するレーザビームの進路に悪影響
を及ぼし、第1のミラーユニット24の反射ミラー24
aで反射したレーザビームが第2のミラーユニット28
の反射ミラー28aにおける正規の反射点に入射しなく
なることは図5に基づく既述の説明通りである。
【0017】依って、本発明によれば、第1の関節部1
2に設けた第1のミラーユニット24を、第1のロボッ
ト腕14の旋回軸心であるW軸心と同軸心周りに回転軸
受40に依って同第1ロボット腕14の基端側機枠に対
して旋回可能に支持する支持装置とし、第1ロボット腕
14の撓みに追従して第1のミラーユニット24自体を
旋回可能にしている。
【0018】同様に、第1のロボット腕14の先端の第
2の関節部18に設けられた第2のミラーユニット28
も回転軸受50で第1のロボット腕14の先端側機枠に
対して旋回可能に支持する支持装置を構成している。 又、第1ロボット腕14の内部に設けられたレーザビー
ム導管路126は、第1ミラーユニット24に結合した
機械的剛性の高く、かつ比較的軽量なパイプ材、例えば
、アルミパイプ材、薄肉ステンレスパイプ材、硬質合成
樹脂製のパイプ材等から成る管路部127と、第2ミラ
ーユニット28に結合した機械的剛性の同様のパイプ材
から成る管路部128とをテレスコピックな入れ子式構
造で嵌合せしめると共に両パイプ材の先端側に滑り軸受
、例えば、周知の潤滑性樹脂材であるテトラフルオロエ
チレン材、または銅合金材からなる滑り軸受129、1
29又は同等な例えばボールを用いた直動軸受を夫々設
けて両管路部127、128が相互に摺動可能に直線変
位可能な構造で形成されている。
【0019】この結果、図3に示すように、第1ロボッ
ト腕14が撓み(点線で図示)を発生したときにも、第
1のミラーユニット24が旋回し、かつ撓みによる軸方
向の変位に対してもレーザビーム導管路126の伸縮動
作状の変位により追従しているから、レーザビームは第
1のミラーユニット24のミラー24aで反射してから
、腕先端側の第2のミラーユニット28の所定の正規の
入、反射点に到達してずれδを生ずることなく、反射さ
れる。
【0020】このために、レーザビームは第2のミラー
ユニット28で反射後も予め光軸合わせされた進路を進
行可能であり、従って、第2のロボット腕22の基端側
に設けられた第3のミラーユニット30における反射ミ
ラー30aの所定の入射点に入射できるのである。
【0021】ここで、好ましくは、第3のミラーユニッ
ト30に関しても第1、第2のミラーユニット24、2
8と同様に回転軸受60で関節部18の旋回軸心Uに対
して旋回可能に設けられ、かつ、レーザビーム導管路1
32も前述のバイプ材と同一のパイプ材からなる導管路
133で構成し(第2ロボット腕22の先端側に設けた
ミラーユニットの導管路と入れ子式構造で嵌合してある
)、かつ、滑り軸受135を有して摺動可能に構成して
あるから、第2のロボット腕22においても重力効果で
撓みが発生しても第3のミラーユニットが追従変位して
レーザビームの進路のずれが発生することは無いのであ
る。
【0022】図2は、上述したミラー支持装置を備えた
多関節腕型レーザロボットの全体的な外観を示した正面
図であり、同ロボットの機体は、ロボットベース8が地
面等のロボット設置領域に固定される基部として設けら
れ、同ロボットベース8の上に旋回胴10が縦軸心周り
の旋回(θ)が可能に設けられ、この旋回胴10の先端
の頂部に設けられた関節部12に第1のロボット腕14
がW軸心周りに旋回可能に枢着されている。この第1ロ
ボット腕14の旋回動作は関節部12に内蔵された駆動
モータ(図示に現れない)によって駆動される。また、
第1のロボット腕14の先端に設けられた関節部18に
おいて第2のロボット腕22が上記のW軸心と平行なU
軸心周りに旋回可能に設けられ、その旋回駆動は、前述
した旋回胴10の頂部の関節部12に内蔵されている。 この第2ロボット腕22の後端部には手首駆動モータM
が搭載され、かつ、この駆動モータMにより駆動される
ロボット手首25は、第2ロボット腕22の先端の関節
部27に結合され、第2ロボット腕22の長軸心周り及
びこれと垂直な軸心周りにα回転及びβ回転が可能に構
成されている。ロボット手首25には集光々学系から成
るレーザビーム出射ユニット25aが具備され、第1、
第2のロボット腕14、22等の姿勢制御動作に応じて
所望のレーザビーム照射対象に向けてレーザビームを照
射するようになっている。レーザビームはロボット機体
外に設備されたレーザ発振器(図示なし)より適宜のレ
ーザビーム導管路手段を経て関節部12に導入され、同
関節部12に設けられた本発明に係る支持装置で支持さ
れたミラーユニット、第1ロボット腕14内のレーザビ
ーム導管路手段、関節部18に内蔵された同様のミラー
ユニット、第2ロボット腕22内に設けられたレーザビ
ーム導管路手段、関節部27に設けられた同様のミラー
ユニット等を経て集光後にレーザビーム出射ユニット2
5aから出射される。
【0023】
【発明の効果】以上の実施例の構成、作用の説明を介し
て理解できるように、本発明は、レーザロボット、特に
、多関節腕型レーザロボットの関節に配置されるレーザ
ビームの進路変更用ミラーユニットを支持する支持装置
を従来の単なるボルトねじによる固定支持方式とは異な
り、回転軸受を具備して関節部におけるロボット腕の旋
回軸心と同軸心周りに旋回可能な構造を設け、かつ、腕
の両端のミラーユニット間に配置されるレーザビーム導
管路手段は、機械的に高剛性で軽量のパイプ材から成る
管路を滑り軸受で摺動可能に配設して両ミラーユニット
を支持する構成としたから、ロボット腕が関節部の旋回
軸心周りに地面に対して鉛直な平面内で旋回するとき、
腕先端に結合された他の腕等の重量負荷による重力効果
の影響で、腕には旋回姿勢に応じた撓みが発生するが、
その撓みの影響がミラーユニットによるレーザビームの
入、反射に悪影響を与えることなく、つまり、ミラーユ
ニットが腕の撓みに追従して変位するから、レーザビー
ムは常の所定の光軸路に沿って進行可能であり、従って
、レーザロボットが種々の姿勢を取る場合にも、常に所
望のレーザ照射対象に対して所望のエネルギーレベルを
有したレーザビームを安定して出射することが可能とな
る。この結果、レーザロボットの加工性能が、従来に比
較して一段と安定化される効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るレーザロボットのミラー支持装置
の構成と作用とを説明する要部断面図である。
【図2】同ミラー支持装置が組み込まれる多関節腕型レ
ーザロボットの外観正面図である。
【図3】ロボット腕の撓みに追従したミラーユニットの
変位を説明する略示機構図である。
【図4】レーザロボットにおける従来のミラー支持方式
を示す断面図である。
【図5】従来のミラーユニットにおいてロボット腕の撓
みに応じて発生するレーザビームの進路のずれδを説明
する略示機構図である。
【符合の説明】
10…旋回胴 12…第1の関節部 14…第1のロボット腕 18…第2の関節部 22…第2のロボット腕 24…第1のミラーユニット 24a…ミラー 25…ロボット手首 25a…レーザビーム出射ユニット 28…第2のミラーユニット 28a…ミラー 40…回転軸受 50…回転軸受 126…レーザビーム導管路 127…管路部 128…管路部 129…滑り軸受

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  関節結合構造を有したロボット腕が地
    表面に対して垂直な面内で旋回可能に配設されると共に
    該ロボット腕の端部の関節結合部分に支持されたレーザ
    ビームの進路変更用ミラーユニットを具備し、外部から
    導入したレーザビームを該ミラーユニットを介して最先
    端のミラー出射装置へ順次に誘導し、出射するレーザロ
    ボットにおいて、前記ミラーユニットを支持するミラー
    支持装置は、前記関節結合部において該ミラーユニット
    をロボット腕の旋回軸心と同軸の軸心周りに旋回可能に
    保持する回転軸受手段と、前記ミラーユニットのビーム
    入射端又は出射端に結合され、前記ロボット腕の長さ方
    向に摺動自在に設けたビーム導管とで構成され、前記ロ
    ボット腕の重力撓みに応じて前記ミラーユニットを補正
    旋回可能にしたことを特徴としたレーザロボットのミラ
    ー支持装置。
  2. 【請求項2】  ロボット旋回胴と、該旋回胴に設けた
    第1の関節部に対して水平軸心を旋回軸心にして地面に
    垂直な平面内で旋回可能な第1のロボット腕と、前記第
    1のロボット腕の先端に設けた第2の関節部に対して水
    平軸心を旋回軸心にして旋回可能な第2のロボット腕と
    、前記第2のロボット腕の先端に設けられた第3の関節
    部に結合されたレーザビーム出射部と、前記第1、第2
    、第3の関節部の各関節部に設けたレーザビームの進路
    変更用ミラーユニットと、前記第1ロボット腕、前記第
    2ロボット腕内に設けたレーザビーム導管路手段とを具
    備したレーザロボットにおいて、少なくとも前記第1の
    ロボット腕の両端の前記第1、第2の関節部に設けられ
    た前記の各ミラーユニットは、該第1のロボットの前記
    旋回軸心及び該第2のロボット腕の前記旋回軸心と夫々
    同軸の旋回軸を中心にして旋回可能に回転軸受手段によ
    り支持されると共に両ミラーユニット間を結合する前記
    レーザビーム導管路手段がすべり軸受を介して軸方向に
    伸縮変位可能な構造を具備していることを特徴としたレ
    ーザロボット。
  3. 【請求項3】  前記レーザビーム導管路手段は、機械
    的剛性度の高い中空管によって形成されていることを特
    徴とする請求項2に記載のレーザロボット。
JP3137790A 1991-06-10 1991-06-10 レーザロボットのミラー支持装置 Pending JPH04361891A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3137790A JPH04361891A (ja) 1991-06-10 1991-06-10 レーザロボットのミラー支持装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3137790A JPH04361891A (ja) 1991-06-10 1991-06-10 レーザロボットのミラー支持装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH04361891A true JPH04361891A (ja) 1992-12-15

Family

ID=15206913

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3137790A Pending JPH04361891A (ja) 1991-06-10 1991-06-10 レーザロボットのミラー支持装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH04361891A (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002040320A (ja) * 2000-07-26 2002-02-06 Toshiba Corp 反射鏡駆動装置
JP2006527085A (ja) * 2003-03-18 2006-11-30 ローマ リンダ ユニヴァーシティ メディカル センター 建造物の表面から材料を除去するためのレーザ照射ヘッド
CN109483569A (zh) * 2018-11-23 2019-03-19 杭州申昊科技股份有限公司 机器人
CN111880282A (zh) * 2020-07-31 2020-11-03 同济大学 一种大范围光轴粗精调整装置
CN112230239A (zh) * 2020-07-31 2021-01-15 同济大学 一种基于光轴折反射的监测装置

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002040320A (ja) * 2000-07-26 2002-02-06 Toshiba Corp 反射鏡駆動装置
JP2006527085A (ja) * 2003-03-18 2006-11-30 ローマ リンダ ユニヴァーシティ メディカル センター 建造物の表面から材料を除去するためのレーザ照射ヘッド
CN109483569A (zh) * 2018-11-23 2019-03-19 杭州申昊科技股份有限公司 机器人
CN111880282A (zh) * 2020-07-31 2020-11-03 同济大学 一种大范围光轴粗精调整装置
CN112230239A (zh) * 2020-07-31 2021-01-15 同济大学 一种基于光轴折反射的监测装置
CN111880282B (zh) * 2020-07-31 2021-10-08 同济大学 一种大范围光轴粗精调整装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4539462A (en) Robotic laser beam delivery apparatus
US3797908A (en) Optical arrangements and apparatus
US5140129A (en) Multi-articulated arm type industrial laser robot
US4972062A (en) Laser system
JPH04361891A (ja) レーザロボットのミラー支持装置
US4870246A (en) Laser beam robot for cutting and welding
US4967053A (en) Laser system
US5053602A (en) Laser beam delivery system
JPH0627364A (ja) 可動ミラー支持装置
JPH05107236A (ja) 超音波探触子の走査装置
JP2662679B2 (ja) 多関節形レーザ加工ロボット
JP3662319B2 (ja) 光軸移動形レーザ加工装置
EP0413826A1 (en) Method and apparatus for laser machining using non-axisymmetric parabolic reflector
JPH0292485A (ja) レーザ加工装置及びそのビーム軸調整方法
JPS6327113B2 (ja)
JPH07328785A (ja) レーザ加工装置
JP2559859B2 (ja) 極座標型多自由度レーザロボット
JPS6127191A (ja) レ−ザ−加工機
KR890000719B1 (ko) 레이저 광선 가공용 로보트
JPS62197289A (ja) レ−ザ加工装置
JP2576282B2 (ja) 産業用ロボット
JP2773932B2 (ja) レーザ加工装置の加工ヘッド
JPS5837115B2 (ja) ア−ムに旋回および回動可能に配置された工具を操作する装置
JPH0259193A (ja) レーザ加工機
JPH04105783A (ja) レーザ加工用多関節ロボット