JPH0436242U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0436242U JPH0436242U JP7744390U JP7744390U JPH0436242U JP H0436242 U JPH0436242 U JP H0436242U JP 7744390 U JP7744390 U JP 7744390U JP 7744390 U JP7744390 U JP 7744390U JP H0436242 U JPH0436242 U JP H0436242U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- support rod
- boat
- pair
- wafer boat
- holders
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Description
第１図は、本考案のウエーハボートの一実施例
の正面図。第２図は、本考案のウエーハボートの
一実施例の平面図。第３図は、本考案のウエーハ
ボートの一実施例を構成する支持棒受けの正面図
。第４図は、本考案のウエーハボートの一実施例
を構成する下部支持棒の正面図。第５図は、本考
案のウエーハボートの一実施例を構成する上部支
持棒の正面図。第６図は、従来のウエーハボート
の斜視図。第７図乃至第１１図は、従来の他のウ
エーハボートの正面図。 １……支持棒受け、２……下部支持棒、３……
上部支持棒、４ａ，４ｂ，４ｃ……半導体ウエー
ハ、７，８，９……係合部、１１……係止部、２
０……ウエーハボート。
の正面図。第２図は、本考案のウエーハボートの
一実施例の平面図。第３図は、本考案のウエーハ
ボートの一実施例を構成する支持棒受けの正面図
。第４図は、本考案のウエーハボートの一実施例
を構成する下部支持棒の正面図。第５図は、本考
案のウエーハボートの一実施例を構成する上部支
持棒の正面図。第６図は、従来のウエーハボート
の斜視図。第７図乃至第１１図は、従来の他のウ
エーハボートの正面図。 １……支持棒受け、２……下部支持棒、３……
上部支持棒、４ａ，４ｂ，４ｃ……半導体ウエー
ハ、７，８，９……係合部、１１……係止部、２
０……ウエーハボート。
Claims (1)
- 半導体製造に用いられるウエーハボートにおい
て、ボートを構成する一対の、ボート前後部に対
向させて設けられた支持棒受けと、支持棒受け間
を着脱自在に橋渡しする一対の上部支持棒と、さ
らに、支持棒受け間を下部で連結する下部支持棒
とから成り、前記支持棒受けの上面には、前記上
部支持棒との係合部を、左右対称に、ボート中央
に漸次下降する階段状に複数設けたことを特徴と
するウエーハボート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7744390U JPH0635472Y2 (ja) | 1990-07-23 | 1990-07-23 | ウェーハボート |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7744390U JPH0635472Y2 (ja) | 1990-07-23 | 1990-07-23 | ウェーハボート |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0436242U true JPH0436242U (ja) | 1992-03-26 |
| JPH0635472Y2 JPH0635472Y2 (ja) | 1994-09-14 |
Family
ID=31619837
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7744390U Expired - Lifetime JPH0635472Y2 (ja) | 1990-07-23 | 1990-07-23 | ウェーハボート |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0635472Y2 (ja) |
-
1990
- 1990-07-23 JP JP7744390U patent/JPH0635472Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0635472Y2 (ja) | 1994-09-14 |