JPH04362784A - パターン検証方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、パターン検証方法に
関し、半導体集積回路のマスクパターンやプリント基板
のパターンの検証を行う方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体集積回路のマスクパターンは多数
のレイヤで構成されており、通常、マスクパターン検証
を行なう場合は、これらのレイヤを論理和（ＯＲ）、論
理積（ＡＮＤ）、ナンド（ＡＮＤＮＯＴ）、排他的論理
和（ＥＸＯＲ）等の論理演算を行って、幾何学的ルール
チェックや電気的接続チェックを行っている。

【０００３】通常のマスクパターン検証の処理手順を図
８に示す。また図５及び図６はマスクパターン検証処理
手順に基づく幾何学的ルールチェックの実施例を示すも
のである。

【０００４】従来の処理手順は、図８に示すように、ま
ずマスクパターンを各レイヤ毎に分割し、処理目的に応
じてレイヤを論理演算する。そして、処理目的に応じた
チェック即ち、幾何学的ルールチェック、電気的接続チ
ェックを行なう。その結果をＣＲＴ等に表示する。

【０００５】図５および図６に従いＡ、Ｂの２つのマス
クパターンのレイヤについての幾何学的ルールチェック
について説明する。ルールとしては図５（ａ）〜（ｆ）
に示すものがある。図５（ａ）はＡの幅をチェック、（
ｂ）はＢの幅をチェック、（ｃ）はＡの間隔をチェック
、（ｄ）はＢの間隔をチェック、（ｅ）はＡとＢの重な
る部分Ｃについて、Ｃの幅をチェック、（ｆ）はＡとＢ
の重なる部分について、Ｃの間隔をチェックするものと
する。

【０００６】幾何学的ルールチェックの処理は図６に示
すように、まず処理１としてマスクパターンよりＡのレ
イヤを分割する。そして処理２としてマスクパターンよ
りＢのレイヤを分割する。

【０００７】続いて処理３にて、ＡとＢのアンドをとり
Ｃのレイヤを求める。

【０００８】その後、処理４にてＡの幅、処理５にてＢ
の幅、処理６にてＣ幅、処理７にてＡの幅、処理８にて
Ｂの幅、処理９にてＣの幅を夫々チェックする。

【０００９】次に、処理１０にて処理４の結果を、処理
１１にて処理５の結果を、処理１２にて処理６の結果を
、処理１３にて処理７の結果を、処理１４にて処理８の
結果を、処理１５にて処理９の結果を夫々表示する。

【００１０】従来、マスクパターンの検証は、処理１〜
１５までの処理を順次行なっている。

【００１１】この処理のうち、処理３は処理１、２が終
っていなければ処理できず、また、処理４〜９は、処理
１、２及び処理３が終了していなければならない。更に
処理１０〜１５は同様に処理４〜９が終了していなけれ
ばならない。

【００１２】しかし、処理１、２は別々に処理を行なっ
ても良く、処理４から９も同様である。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】レイヤの論理演算や、
幾何学的ルールチェック、電気的接続チェックは、前段
階の処理結果を利用しなければならない場合もあるが、
まったく別々に処理を行なえるものもある。

【００１４】従来、単一の演算装置を持つワークステー
ション（ＷＳ）では、上記の処理を順次処理しなければ
ならず、最近の半導体の高集積化の影響もあり、処理時
間が膨大なものとなっている。

【００１５】また、複数の演算装置を内蔵するＷＳでは
、並列処理を行なうことができ、処理を高速化すること
が可能であるが、装置が高価であり、柔軟な構成即ち拡
張性等に問題があった。

【００１６】更に、最近は、低価格で、比較的高性能な
ＷＳが販売されており、このようなＷＳを多数導入して
、半導体集積回路設計技術者毎に、ＷＳを割り当てるこ
とが容易になってきている。このようなＷＳは多目的に
利用されるが、個人仕様が多いため、稼働率の点ではあ
まり高くなく、使用していない時間もかなりあるのが現
状である。

【００１７】この発明は上記の点に着目して、空いてい
るＷＳを検索し、処理に膨大な時間のかかるマスタパタ
ーン検証を高速化することを目的とする。

【００１８】

【課題を解決するための手段】この発明のパターン検証
方法は、記憶装置に格納されたマスクパターンデータを
検証する演算及び制御等を行なう演算装置を備えたワー
クステーションを、ネットワークで複数個接続し、少な
くとも１つのワークステーションが、検証処理手順の管
理を行なうとともに、検証処理が並列処理が可能な処理
手順の場合、負荷の少ない他のワークステーションを用
いて並列処理を行なうことを特徴とする。

【００１９】更に、上記検証処理手順の管理を行なうワ
ークステーションにて、並列処理を行なう各ワークステ
ーションの処理能力と処理するデータ量を比較し、各ワ
ークステーションでの処理終了時間が均一化するように
処理を分配することを特徴とする。

【００２０】

【作用】この発明では、並列処理が可能な場合、複数の
ＷＳで並列処理を行なうため、処理速度が向上する。ま
た、利用度等を考慮して、ＷＳを選択することで、ＷＳ
の稼働率を向上させることができる。

【００２１】

【実施例】以下、この発明の実施例を図面を参照して説
明する。

【００２２】図１はこの発明の検証方法に用いられる装
置の全体構成を示すブロック図である。図１に示すよう
に、複数のワークステーション（ＷＳ）１０−１、１０
−２、１０−３、１０−４がネットワーク１により接続
されている。

【００２３】各ワークステーション（ＷＳ）１０−１…
は、図２に示すように、演算装置１１、入力装置１２、
記憶装置１３、表示装置１４等で構成される。

【００２４】演算装置１１、はマスクパターンデータや
回路の接続情報を格納した記憶装置１３から、データを
受けとり、マスクパターンデータを検証する演算または
制御を行なう。

【００２５】表示装置１４は、演算装置１１で演算した
結果を視覚的に表示するＣＲＴ、液晶パネルなどで構成
される。

【００２６】入力装置１２は、キーボード及びマスク等
の入力部を持ち、検証を行なうための命令等が入力され
る。

【００２７】尚、上記表示装置１４及び入力装置１２は
全てのＷＳに必要とするものではなく、用途によっては
省略されている。

【００２８】この発明は、図１、２に示した構成をとっ
ており、図３に示す処理手順により、動作する。使用者
が、検証処理を支持するＷＳをサーバＷＳとし、処理の
管理と実行をする。その他のネットワークに接続してい
るＷＳをクライアントＷＳとする。

【００２９】まずサーバＷＳでは、検証の種別やルール
に応じて、処理手順を決定する。次に、処理を順次にし
なけばならないか、並列に処理可能かを判断する。順次
の場合は、サーバＷＳで実行する。並列処理可能のとき
は、クライアントＷＳで他の使用者が使用していないか
、または、使用していても、使用度が低いかを調べる。

【００３０】まず、クライアントＷＳのチェック方法に
つき、図４を参照して説明する。あらかじめクライアン
トＷＳとなるＷＳのリストを作っておき、この中からチ
ェックをする。このとき、ネットワークに接続している
ＷＳ全てが対象となる訳ではない。そして、使用者がい
るかどうかをチェックする。すなわち、ログインしてい
る使用者がいるかどうかをチェックする。

【００３１】そのチェックの結果、使用者がいない場合
は、クライアントＷＳとして使用できる。また、使用者
がいる場合は、演算装置の使用頻度を調べ、ある頻度以
下ならクライアントＷＳとして使用できるとする。この
頻度の判定値は、あらかじめ決めておき、また、頻度は
、その瞬間値でなく、過去一定時間の平均値とする。

【００３２】図４に従って、ＷＳをチェックして、クラ
イアントＷＳとして、使用可能なＷＳがある場合、サー
バＷＳとクライアントＷＳを含めて複数のＷＳが使用で
きることになる。

【００３３】次に、使用可能なＷＳの処理能力に差があ
る場合があるため、処理能力に応じた処理割り当てを各
ＷＳについて行う。処理能力による処理割り当てについ
て説明すると、各ＷＳ毎に処理速度や記憶装置に容量等
の処理能力が異なる場合があり、また、検証の処理につ
いても図形数や処理の複数さ等その規模が処理毎に異な
る。このため、サーバＷＳでは、これらを考慮して適切
な処理に対するＷＳを割り当てる。即ち、処理の終了時
間を予測して各ＷＳの処理終了時間が均一化するように
ＷＳを割り当てる。

【００３４】割り当てが決定したら、クライアントＷＳ
に処理に必要なデータを転送して実行を開始する。この
時、サーバＷＳは自分でデータを保持しているため、転
送は不要である。よってサーバＷＳでは、すぐ実行でき
る。またクライアントＷＳでは、処理終了後、結果をサ
ーバＷＳに転送する。

【００３５】これらの処理を前処理が処理するまで繰り
返し行って、最後に、サーバＷＳでは使用者に実行結果
を表示して終了する。

【００３６】具体的として、図７に、図５及び図６で示
した処理例を示す。処理１、２は、並列可能であるため
、クライアントＷＳがあれば並列処理を行う。次に処理
３は並列処理ができないため、サーバＷＳで実行する。 処理４〜９は並列処理可能なため、クライアントＷＳが
あれば並列処理を行う。このとき、最大５つのクライア
ントＷＳがあれば理想的であるが、これより少ない場合
は、分割して処理を行う。例えば、クライアントＷＳが
２台あれば、サーバＷＳと合わせて３つの処理ができる
ため、処理４、５、６と処理７、８、９と分割して実行
する）最後に、処理１０〜１５の処理をサーバＷＳで行
い実行を終了する。尚、処理３をサーバＷＳで実行する
と同時に、クライアントＷＳがあれば４、５、７、８も
同時に実行できるが、上述の実施例では説明を簡単にす
るためにこのような処理例を示した。

【００３７】この発明の動作としては、以上のようにな
るが、別のバリエーションとして、クライアントＷＳが
ないとき以外はサーバＷＳは主に処理手順の管理のみを
行ない、実際の処理はクライアントＷＳで行なうことも
可能である。このときは、サーバＷＳの負荷が軽くなる
ため、使用者が他の検証以外の処理を行うこともできる
。

【００３８】

【発明の効果】以上説明したように、この発明は、マス
クパターン検証において、複数のＷＳで処理を効率良く
分散して実行できるため、処理時間を短縮することがで
きる。また、他のＷＳを使用している人の処理を妨害す
ることもなくＷＳの資源の稼働率を向上させることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明に用いられている装置の全体構造を示
すブロック図である。

【図２】ワークステーションの構成を示すブロック図で
ある。

【図３】この発明の処理動作を示すフローチャートであ
る。

【図４】この発明において、クライアントワークステー
ションをチェックする動作を示すフローチャートである
。

【図５】幾何学的チェックのルールを説明するための模
式図である。

【図６】幾何学的チェックの処理手順を説明するための
説明図である。

【図７】図６の幾何学的チェックの並列処理を説明する
ための説明図である。

【図８】従来の検証方法を示すフローチャートである。

【符号の説明】

１　　ネットワーク １０−１　　ワークステーション １０−２　　ワークステーション １０−３　　ワークステーション １０−４　　ワークステーション

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　記憶装置に格納されたマスクパターン
   データを検証する演算及び制御等を行なう演算装置を備
   えたワークステーションを、ネットワークで複数個接続
   し、少なくとも１つのワークステーションが、検証処理
   手順の管理を行なうとともに、検証処理が並列処理が可
   能な処理手順の場合、負荷の少ない他のワークステーシ
   ョンを用いて並列処理を行なうことを特徴とするパター
   ン検証方法。
2. 【請求項２】　　上記検証処理手順の管理を行なうワー
   クステーションにて、並列処理を行なう各ワークステー
   ションの処理能力と処理するデータ量を比較し、各ワー
   クステーションでの処理終了時間が均一化するように処
   理を分配することを特徴とする請求項１に記載のパター
   ン検証方法。