JPH04364241A - 光ディスク情報記録装置 - Google Patents
光ディスク情報記録装置Info
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- JPH04364241A JPH04364241A JP26725191A JP26725191A JPH04364241A JP H04364241 A JPH04364241 A JP H04364241A JP 26725191 A JP26725191 A JP 26725191A JP 26725191 A JP26725191 A JP 26725191A JP H04364241 A JPH04364241 A JP H04364241A
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- Japan
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- glass substrate
- information recording
- optical disc
- slit
- recording device
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【技術分野】本発明は、光ディスク情報記録装置に関す
る。例えば、光学式エンコーダに適用されるものである
。
る。例えば、光学式エンコーダに適用されるものである
。
【0002】
【従来技術】光ディスク原盤記録装置は、ガラス円板上
にフォトレジストを塗り、回転させながら細く絞ったレ
ーザ光を変調信号により断続照射させ、ガラス面上にピ
ットと称する卵形の凹部を形成することにより、音,画
像,コンピュータメモリ等の信号を記憶する装置である
。実際のディスクは、この原盤をもとにレプリカとして
複数枚複製されるため、この原盤は最も重要なものであ
り、その記録装置は高精度な機械装置となる。特に、最
近の記録密度の高密度化等により、円周方向の位置の高
精度化,半径方向のピット間隔の狭小化が必要となり、
高精細な記録技術はより高度なものとなってきている。
にフォトレジストを塗り、回転させながら細く絞ったレ
ーザ光を変調信号により断続照射させ、ガラス面上にピ
ットと称する卵形の凹部を形成することにより、音,画
像,コンピュータメモリ等の信号を記憶する装置である
。実際のディスクは、この原盤をもとにレプリカとして
複数枚複製されるため、この原盤は最も重要なものであ
り、その記録装置は高精度な機械装置となる。特に、最
近の記録密度の高密度化等により、円周方向の位置の高
精度化,半径方向のピット間隔の狭小化が必要となり、
高精細な記録技術はより高度なものとなってきている。
【0003】例えば、サブミクロンの位置決めができる
光ディスク原盤記録装置として、特開昭60−1543
56号公報のものが提案されている。この公報のものは
、ディスクの回転軸受と、半径方向にネジ送りによって
移動するガイドに、空気軸受を用いたものである。また
、特開平1−300429号公報のものは、追記型光情
報記録媒体等に関するもので、プリフォーマット部およ
びデータ部のうしろに当該領域に記録された情報の位相
を非記録状態に反転する位相補正部を設け、アドレス部
およびデータ部に情報をピットエッジ記録できるように
したものである。
光ディスク原盤記録装置として、特開昭60−1543
56号公報のものが提案されている。この公報のものは
、ディスクの回転軸受と、半径方向にネジ送りによって
移動するガイドに、空気軸受を用いたものである。また
、特開平1−300429号公報のものは、追記型光情
報記録媒体等に関するもので、プリフォーマット部およ
びデータ部のうしろに当該領域に記録された情報の位相
を非記録状態に反転する位相補正部を設け、アドレス部
およびデータ部に情報をピットエッジ記録できるように
したものである。
【0004】図9は、従来の原盤記録装置の構成図で、
図中、20は偏向ビームスプリッタ、21,22はミラ
ー、23は記録ヘッド、24はガラス基板、25a,2
5bは音響光学(A/O)変調器、26はターンデーブ
ル、27はエンコーダ、28は半導体レーザ、29はエ
アースライド、30は基板移動モータ、31はボールネ
ジ(送りネジ)、32はハーフミラー、33はアルゴン
レーザである。
図中、20は偏向ビームスプリッタ、21,22はミラ
ー、23は記録ヘッド、24はガラス基板、25a,2
5bは音響光学(A/O)変調器、26はターンデーブ
ル、27はエンコーダ、28は半導体レーザ、29はエ
アースライド、30は基板移動モータ、31はボールネ
ジ(送りネジ)、32はハーフミラー、33はアルゴン
レーザである。
【0005】アルゴンレーザ発振器33から出た光はハ
ーフミラー32により溝用とプレピット用の2つのビー
ムに分割され、AO変調器25a,25bにおいて所定
の信号に変調されて偏向ビームスプリッタ20により合
成され、フォーカス制御機構を有する記録ヘッド23に
入り、ガラス基板24に照射される。ガラス基板24は
ターンテーブル26に吸着により固定され、ターンテー
ブル26はその下にあるモータ27により回転し、下端
にはディスクのインデックス回転制御用エンコーダ28
に取付けられている。該回転系はエアースライド29に
乗せられ、送りネジ31及びモータ30により原盤のピ
ッチが形成される。
ーフミラー32により溝用とプレピット用の2つのビー
ムに分割され、AO変調器25a,25bにおいて所定
の信号に変調されて偏向ビームスプリッタ20により合
成され、フォーカス制御機構を有する記録ヘッド23に
入り、ガラス基板24に照射される。ガラス基板24は
ターンテーブル26に吸着により固定され、ターンテー
ブル26はその下にあるモータ27により回転し、下端
にはディスクのインデックス回転制御用エンコーダ28
に取付けられている。該回転系はエアースライド29に
乗せられ、送りネジ31及びモータ30により原盤のピ
ッチが形成される。
【0006】前述したように、光ディスク原盤記録装置
は、ガラス円板上にフォトレジストを塗り、回転させな
がら細く絞ったレーザ光を変調信号により断続照射させ
、ガラス面上にピット及びグループ溝を形成し、音,画
像等の信号を記録装置で高精度が要求されている。特に
、最近記録密度の高密度化等により円周方向に位置の高
精度化,半径方向のピットの整列位置の高精度化が必要
となってきている。従来、回転制御のための検出器エン
コーダは、記録されるガラス基板とは離れた位置にあり
(例えば、前述の特開昭60−154356号公報に記
載のもの)、ねじれ剛性の不足などにより、回転制御及
び計測する検出器としては不向きである。
は、ガラス円板上にフォトレジストを塗り、回転させな
がら細く絞ったレーザ光を変調信号により断続照射させ
、ガラス面上にピット及びグループ溝を形成し、音,画
像等の信号を記録装置で高精度が要求されている。特に
、最近記録密度の高密度化等により円周方向に位置の高
精度化,半径方向のピットの整列位置の高精度化が必要
となってきている。従来、回転制御のための検出器エン
コーダは、記録されるガラス基板とは離れた位置にあり
(例えば、前述の特開昭60−154356号公報に記
載のもの)、ねじれ剛性の不足などにより、回転制御及
び計測する検出器としては不向きである。
【0007】
【目的】本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなされた
もので、ガラス基板を直接センシングすることにより回
転精度の向上を図るようにしたこと、また、セクタ間隔
の長さを一定とし、ピットの整列(ジッタ)の向上を図
るようにしたこと、また、ゴミなどが基板のスリットに
付着し、誤検出が起ることからこの誤検出を防ぐため、
基板を円筒状にしてゴミの積重なりを防ぐこと、また、
ターンテーブル1回転に1回、例えば、エンコーダz相
のように信号検出では、記録された原盤の半径の方向一
ヶ所の精度は把握可能だが、各角度の点における原盤の
精度は不明であるので、セクタ間隔の位置の精度の把握
をするために、セクタ間隔のスリットを基板に設けるか
、エンコーダの複数あるスリットを分周し、セクタ間隔
の信号を取り出すことにより、ターンテーブルの回転精
度によって得られる原盤のセクタ角度の精度を把握する
こと、また、フォマッタから出力するセクタ信号と差を
とることにより、さらに正確な原盤で得られる精度が測
定できること、また、原盤露光機の回転は高精度である
が、変動を0にすることはできない。そこで、ターンテ
ーブルの回転変動に合せて、セクタ信号の記録開始位置
を合せることにより、高精度の光ディスク原盤を提供す
ることを目的としてなされたものである。
もので、ガラス基板を直接センシングすることにより回
転精度の向上を図るようにしたこと、また、セクタ間隔
の長さを一定とし、ピットの整列(ジッタ)の向上を図
るようにしたこと、また、ゴミなどが基板のスリットに
付着し、誤検出が起ることからこの誤検出を防ぐため、
基板を円筒状にしてゴミの積重なりを防ぐこと、また、
ターンテーブル1回転に1回、例えば、エンコーダz相
のように信号検出では、記録された原盤の半径の方向一
ヶ所の精度は把握可能だが、各角度の点における原盤の
精度は不明であるので、セクタ間隔の位置の精度の把握
をするために、セクタ間隔のスリットを基板に設けるか
、エンコーダの複数あるスリットを分周し、セクタ間隔
の信号を取り出すことにより、ターンテーブルの回転精
度によって得られる原盤のセクタ角度の精度を把握する
こと、また、フォマッタから出力するセクタ信号と差を
とることにより、さらに正確な原盤で得られる精度が測
定できること、また、原盤露光機の回転は高精度である
が、変動を0にすることはできない。そこで、ターンテ
ーブルの回転変動に合せて、セクタ信号の記録開始位置
を合せることにより、高精度の光ディスク原盤を提供す
ることを目的としてなされたものである。
【0008】
【構成】本発明は、上記目的を達成するために、(1)
ガラス基板に感光性材料を塗布し、該ガラス基板を回転
させながら情報を記録する光ディスク原盤記録装置にお
いて、前記ガラス基板とは別に設けた他の基板にスリッ
ト状の光通過部を設け、光学検出ユニットにて前記ガラ
ス基板の回転制御すること、或いは、(2)ガラス基板
に感光性材料を塗布し、該ガラス基板を回転させながら
情報を記録する光ディスク原盤記録装置において、前記
ガラス基板とは別に設けた他の基板にスリット状の光通
過部を設け、該ガラス基板をターンテーブルに取付けて
回転精度が測定できるようにしたこと、更には、(3)
前記(1)又は(2)において、出射ビームを前記ガラ
ス基板のスリット状のエンコーダ部で微小に絞るように
した光学検出ユニットを設けたこと、更には、(4)前
記(3)において、前記出射ビームのビームウェストを
合致させる機構を有すること、更には、(5)前記(1
)又は(2)において、前記別に設けた他の基板が円筒
状であること、更には、(6)前記(2)において、前
記回転精度測定において、フォマッタよりセクタ間隔に
分周された信号と、ターンテーブルに取付けられたセク
タ間隔の分割数のスリットから得られる信号とを比較測
定する測定手段と、ピットの整列状態を表わすことがで
きる表示手段を有すこと、或いは、(7)光ディスク原
盤露光装置において、ターンテーブルに取付けられたセ
クタ間隔の分割数から得られた信号に同期を取り、セク
タを書き初めることを特徴としたものである。 以下、本発明の実施例に基づいて説明する。
ガラス基板に感光性材料を塗布し、該ガラス基板を回転
させながら情報を記録する光ディスク原盤記録装置にお
いて、前記ガラス基板とは別に設けた他の基板にスリッ
ト状の光通過部を設け、光学検出ユニットにて前記ガラ
ス基板の回転制御すること、或いは、(2)ガラス基板
に感光性材料を塗布し、該ガラス基板を回転させながら
情報を記録する光ディスク原盤記録装置において、前記
ガラス基板とは別に設けた他の基板にスリット状の光通
過部を設け、該ガラス基板をターンテーブルに取付けて
回転精度が測定できるようにしたこと、更には、(3)
前記(1)又は(2)において、出射ビームを前記ガラ
ス基板のスリット状のエンコーダ部で微小に絞るように
した光学検出ユニットを設けたこと、更には、(4)前
記(3)において、前記出射ビームのビームウェストを
合致させる機構を有すること、更には、(5)前記(1
)又は(2)において、前記別に設けた他の基板が円筒
状であること、更には、(6)前記(2)において、前
記回転精度測定において、フォマッタよりセクタ間隔に
分周された信号と、ターンテーブルに取付けられたセク
タ間隔の分割数のスリットから得られる信号とを比較測
定する測定手段と、ピットの整列状態を表わすことがで
きる表示手段を有すこと、或いは、(7)光ディスク原
盤露光装置において、ターンテーブルに取付けられたセ
クタ間隔の分割数から得られた信号に同期を取り、セク
タを書き初めることを特徴としたものである。 以下、本発明の実施例に基づいて説明する。
【0009】図1は、本発明による光ディスク情報記録
装置の一実施例を説明するための構成図で、図中、1は
光検出器、2は筐体、3は調整ネジ、4は基板、5は固
定板、6はターンテーブル、7はエンコーダ、8は半導
体レーザ、9はコリメートレンズ、10は対物レンズ、
11はガラス基板、12はフォトレジスト、13は吸着
溝である。基板4は、フォトレジスト12が塗布された
ガラス基板11とは異なる。
装置の一実施例を説明するための構成図で、図中、1は
光検出器、2は筐体、3は調整ネジ、4は基板、5は固
定板、6はターンテーブル、7はエンコーダ、8は半導
体レーザ、9はコリメートレンズ、10は対物レンズ、
11はガラス基板、12はフォトレジスト、13は吸着
溝である。基板4は、フォトレジスト12が塗布された
ガラス基板11とは異なる。
【0010】ターンテーブル6にスリットが設れられた
基板4が固定板5によって固定される。該スリットには
、半導体レーザ8から出た光がコリメータレンズ9によ
り整形され、対物レンズ10により絞られた光が照射さ
れる。スリットから通過した光は光検出器1に入る。 半導体レーザ8,対物レンズ10は一体となり、ネジ3
により上下方向に移動される。
基板4が固定板5によって固定される。該スリットには
、半導体レーザ8から出た光がコリメータレンズ9によ
り整形され、対物レンズ10により絞られた光が照射さ
れる。スリットから通過した光は光検出器1に入る。 半導体レーザ8,対物レンズ10は一体となり、ネジ3
により上下方向に移動される。
【0011】図2は、図1の他の実施例を示す図で、基
板4が円筒状に構成されており、スリット状のエンコー
ダ7が外周部に設けられている。その他の構成は図1と
同様である。
板4が円筒状に構成されており、スリット状のエンコー
ダ7が外周部に設けられている。その他の構成は図1と
同様である。
【0012】図3は、本発明による光ディスク情報記録
装置の他の実施例を示す図で、図中の符号は図1と同様
である。ガラス基板11のフォトレジスト12が塗布さ
れた裏側に、エンコーダ7の役割をするスリットが設れ
られ、図1と同様な光学系が設けられている。エンコー
ダ7は、ガラス基板11の感光性材料が塗布された裏側
に感光性の膜厚変動をあたえないために付ける。
装置の他の実施例を示す図で、図中の符号は図1と同様
である。ガラス基板11のフォトレジスト12が塗布さ
れた裏側に、エンコーダ7の役割をするスリットが設れ
られ、図1と同様な光学系が設けられている。エンコー
ダ7は、ガラス基板11の感光性材料が塗布された裏側
に感光性の膜厚変動をあたえないために付ける。
【0013】図4(a)〜(c)は、ビーム径が絞られ
た時の本発明と従来のものとの比較を示す図で、図中、
14はセクタに対応したスリットで、その他、図1、図
2、図3と同じ作用をする部分は同一の符号が付してあ
る。図4(a)において、太いビームAが、従来用いら
れていたLED(発光ダイオード)などのビーム径を表
わし、細いビームBが本発明により得られたビーム径を
表わし、図4(b),(c)に光強度の立上り・立下り
を示す。集束光のスポット径はD≒λ/NA(NA;レ
ンズの開口数)で表わされ、半導体レーザ8の波長83
0nm、対物レンズNA=0.5、したがって、スポッ
ト径Dは、1.66μm以下となる。この様に絞られた
スポット径を用いると、光強度の立上り・立下りは早く
なる。
た時の本発明と従来のものとの比較を示す図で、図中、
14はセクタに対応したスリットで、その他、図1、図
2、図3と同じ作用をする部分は同一の符号が付してあ
る。図4(a)において、太いビームAが、従来用いら
れていたLED(発光ダイオード)などのビーム径を表
わし、細いビームBが本発明により得られたビーム径を
表わし、図4(b),(c)に光強度の立上り・立下り
を示す。集束光のスポット径はD≒λ/NA(NA;レ
ンズの開口数)で表わされ、半導体レーザ8の波長83
0nm、対物レンズNA=0.5、したがって、スポッ
ト径Dは、1.66μm以下となる。この様に絞られた
スポット径を用いると、光強度の立上り・立下りは早く
なる。
【0014】図5は、CAV方式の光ディスク媒体の平
面図で、図6(a)〜(d)は、図5に対応したセクタ
数のスリットの作製例を示す図で、図中、15は光ディ
スク記録原盤、16はプリピット、17はセクタ、その
他図4と同じ作用をする部分は同一の符号を付してある
。である。図(a)は平面基板の平面図、図(b)は図
(a)の側面図、図(c)は円筒状基板の平面図、図(
d)は図(c)の側面図である。
面図で、図6(a)〜(d)は、図5に対応したセクタ
数のスリットの作製例を示す図で、図中、15は光ディ
スク記録原盤、16はプリピット、17はセクタ、その
他図4と同じ作用をする部分は同一の符号を付してある
。である。図(a)は平面基板の平面図、図(b)は図
(a)の側面図、図(c)は円筒状基板の平面図、図(
d)は図(c)の側面図である。
【0015】図7の最上部に、フォマット信号とピット
形成を示す(横軸は時間を示す)。フォマッタ信号のセ
クタ開始位置からのセクタ間隔信号を形成した状態を下
段に示す。その下段にターンテーブルからのセクタ間隔
の波形出力を示し、このターンテーブルの回転精度によ
って得られたピットの形成状態を下側に示す。この様に
フォマッタ信号により形成されたセクタ間隔の波形と、
ターンテーブルより出力した波形との時間の差を計測す
ることにより、光ディスク原盤にピットが形成される。 また、各セクタ位置の半径方向の位置ズレが計測できる
。
形成を示す(横軸は時間を示す)。フォマッタ信号のセ
クタ開始位置からのセクタ間隔信号を形成した状態を下
段に示す。その下段にターンテーブルからのセクタ間隔
の波形出力を示し、このターンテーブルの回転精度によ
って得られたピットの形成状態を下側に示す。この様に
フォマッタ信号により形成されたセクタ間隔の波形と、
ターンテーブルより出力した波形との時間の差を計測す
ることにより、光ディスク原盤にピットが形成される。 また、各セクタ位置の半径方向の位置ズレが計測できる
。
【0016】図8はターンデーブルの各セクタの位置に
おける出力信号に同期をとって、フォマッタの出力した
時間の関係を示す。下段に上記の同期した状態において
のピットの形成状態を示す。
おける出力信号に同期をとって、フォマッタの出力した
時間の関係を示す。下段に上記の同期した状態において
のピットの形成状態を示す。
【0017】
【効果】以上の説明から明らかなように、本発明による
と、以下のように効果がある。 (1)ガラス基板の偏心は、取付時に充分小さくするこ
とはできるが、全くなくすることは困難であり、それに
よる不釣合によってガラス基板部とエンコーダ部は異な
る動きとなり、回転変動となって表われ、円周方向の位
置精度及び半径方向のピットの整列が悪くなっていたが
、本発明のように、図3の様なガラス基板を直接センシ
ングする構成によれば回転精度が向上できる。又、回転
精度をモニターすることにより、ガラス基板に記録され
たピットの整列が正確に把握できる。 (2)上記方法によると、精度上は最も良いが、ガラス
基板にエンコーダ用のスリットを毎回設けなければなら
ず、製造上コストアップになってしまう。そこで、ガラ
ス基板の最も近い位置にエンコーダをターンテーブル下
部に固定配置し、コストアップを防ぐ。 (3)従来のLED等の発光体はビーム径が太く、光強
度の立上り・立下りが悪く、精度向上が困難であるが、
本発明は、ビームを絞り、光強度の立上り・立下りが良
くなり、誤差の少ない検出が可能となる。 (4)半導体レーザから出力されたビームは、対物レン
ズで絞られるこのビームウェスト部が、光強度の立上り
・立下りが最も早い。設計上の配置ではエンコーダ部と
ビームウェスト部をもってくるのは困難なため、調整機
構を設けることによる適正な状態が得られる。 (5)図3の様な方法によると、精度上は最も良いが、
ガラス基板にエンコーダ用のスリットを毎回設計しなけ
ればならず、製造上のコストアップになる。そこで、フ
ォトレジストが塗布されたガラス基板に最も近い位置に
エンコーダをターンテーブル下部に固定配置し、コスト
アップを防ぐことができる。 (6)図1の様な構成配置であると、ガラス基板11の
着脱によって、又は空気中の雰囲気によってガラス基板
のスリットの上にゴミなどが降り積り、誤検出になる。 そこで、スリットを縦に配置してゴミの降り積りなどを
防止し、誤検出を防ぎ、生産性が向上できる。 (7)Arレーザの光を制御するフォマッタの信号をセ
クタ間隔に分周された信号とターンテーブルのセクタ間
隔の分割数との信号を比較すると、光ディスク原盤の各
セクタ位置における半径方向のピットの整列が光ディス
ク情報記録装置で保証でき、後工程の検査の必要がなく
なる。 (8)ターンテーブルのセクタ間隔信号を基準として、
フォマッタ出力のセクタ信号を出力することにより、各
セクタ位置における半径方向のピット整列が高精度に配
列できる。
と、以下のように効果がある。 (1)ガラス基板の偏心は、取付時に充分小さくするこ
とはできるが、全くなくすることは困難であり、それに
よる不釣合によってガラス基板部とエンコーダ部は異な
る動きとなり、回転変動となって表われ、円周方向の位
置精度及び半径方向のピットの整列が悪くなっていたが
、本発明のように、図3の様なガラス基板を直接センシ
ングする構成によれば回転精度が向上できる。又、回転
精度をモニターすることにより、ガラス基板に記録され
たピットの整列が正確に把握できる。 (2)上記方法によると、精度上は最も良いが、ガラス
基板にエンコーダ用のスリットを毎回設けなければなら
ず、製造上コストアップになってしまう。そこで、ガラ
ス基板の最も近い位置にエンコーダをターンテーブル下
部に固定配置し、コストアップを防ぐ。 (3)従来のLED等の発光体はビーム径が太く、光強
度の立上り・立下りが悪く、精度向上が困難であるが、
本発明は、ビームを絞り、光強度の立上り・立下りが良
くなり、誤差の少ない検出が可能となる。 (4)半導体レーザから出力されたビームは、対物レン
ズで絞られるこのビームウェスト部が、光強度の立上り
・立下りが最も早い。設計上の配置ではエンコーダ部と
ビームウェスト部をもってくるのは困難なため、調整機
構を設けることによる適正な状態が得られる。 (5)図3の様な方法によると、精度上は最も良いが、
ガラス基板にエンコーダ用のスリットを毎回設計しなけ
ればならず、製造上のコストアップになる。そこで、フ
ォトレジストが塗布されたガラス基板に最も近い位置に
エンコーダをターンテーブル下部に固定配置し、コスト
アップを防ぐことができる。 (6)図1の様な構成配置であると、ガラス基板11の
着脱によって、又は空気中の雰囲気によってガラス基板
のスリットの上にゴミなどが降り積り、誤検出になる。 そこで、スリットを縦に配置してゴミの降り積りなどを
防止し、誤検出を防ぎ、生産性が向上できる。 (7)Arレーザの光を制御するフォマッタの信号をセ
クタ間隔に分周された信号とターンテーブルのセクタ間
隔の分割数との信号を比較すると、光ディスク原盤の各
セクタ位置における半径方向のピットの整列が光ディス
ク情報記録装置で保証でき、後工程の検査の必要がなく
なる。 (8)ターンテーブルのセクタ間隔信号を基準として、
フォマッタ出力のセクタ信号を出力することにより、各
セクタ位置における半径方向のピット整列が高精度に配
列できる。
【図1】 本発明による光ディスク情報記録装置の一
実施例を説明するための構成図である。
実施例を説明するための構成図である。
【図2】 図1の他の実施例を示す図である。
【図3】 本発明による光ディスク情報記録装置の他
の実施例を説明するための構成図である。
の実施例を説明するための構成図である。
【図4】 ビーム径が絞られた時の本発明と従来のも
のとの比較を示す図である。
のとの比較を示す図である。
【図5】 CAV方式の光ディスク媒体の平面図であ
る。
る。
【図6】 図6に対応したセクタ数のスリットの作製
例を示す図である。
例を示す図である。
【図7】 最上部にフォマット信号とピット形成を示
す図である。
す図である。
【図8】 ターンテーブルの各セクタの位置における
出力信号を示す図である。
出力信号を示す図である。
【図9】 従来の原盤記録装置の構成図である。
1…光検出器、2…筐体、3…調整ネジ、4…基板、5
…固定板、6…ターンテーブル、7…エンコーダ、8…
半導体レーザ、9…コリメートレンズ、10…対物レン
ズ、11…ガラス基板、12…フォトレジスト、13…
吸着溝。
…固定板、6…ターンテーブル、7…エンコーダ、8…
半導体レーザ、9…コリメートレンズ、10…対物レン
ズ、11…ガラス基板、12…フォトレジスト、13…
吸着溝。
Claims (7)
- 【請求項1】 ガラス基板に感光性材料を塗布し、該
ガラス基板を回転させながら情報を記録する光ディスク
原盤記録装置において、前記ガラス基板とは別に設けた
他の基板にスリット状の光通過部を設け、光学検出ユニ
ットにて前記ガラス基板の回転制御することを特徴とす
る光ディスク情報記録装置。 - 【請求項2】 ガラス基板に感光性材料を塗布し、該
ガラス基板を回転させながら情報を記録する光ディスク
原盤記録装置において、前記ガラス基板とは別に設けた
他の基板にスリット状の光通過部を設け、該ガラス基板
をターンテーブルに取付けて回転精度が測定できるよう
にしたことを特徴とする光ディスク情報記録装置。 - 【請求項3】 出射ビームを前記ガラス基板のスリッ
ト状のエンコーダ部で微小に絞るようにした光学検出ユ
ニットを設けたことを特徴とする請求項1又は2記載の
光ディスク情報記録装置。 - 【請求項4】 前記出射ビームのビームウェストを合
致させる機構を有することを特徴とする請求項3記載の
光ディスク情報記録装置。 - 【請求項5】 前記別に設けた他の基板が円筒状であ
ることを特徴とする請求項1又は2記載の光ディスク情
報記録装置。 - 【請求項6】 前記回転精度測定において、フォマッ
タよりセクタ間隔に分周された信号と、ターンテーブル
に取付けられたセクタ間隔の分割数のスリットから得ら
れる信号とを比較測定する測定手段と、ピットの整列状
態を表わすことができる表示手段を有することを特徴と
する請求項2記載の光ディスク情報記録装置。 - 【請求項7】 光ディスク原盤露光装置において、タ
ーンテーブルに取付けられたセクタ間隔の分割数から得
られた信号に同期を取り、セクタを書き初めることを特
徴とする光ディスク情報記録装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26725191A JPH04364241A (ja) | 1991-01-24 | 1991-09-17 | 光ディスク情報記録装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3-25602 | 1991-01-24 | ||
| JP2560291 | 1991-01-24 | ||
| JP26725191A JPH04364241A (ja) | 1991-01-24 | 1991-09-17 | 光ディスク情報記録装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04364241A true JPH04364241A (ja) | 1992-12-16 |
Family
ID=26363244
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26725191A Pending JPH04364241A (ja) | 1991-01-24 | 1991-09-17 | 光ディスク情報記録装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04364241A (ja) |
-
1991
- 1991-09-17 JP JP26725191A patent/JPH04364241A/ja active Pending
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