JPH04366367A - スターリング冷凍機用ガス圧縮機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はスターリング冷凍機用ガ
ス圧縮機にかかるもので、とくに冷媒ガスの汚染防止可
能であるとともに、電磁気的ノイズおよび振動による悪
影響を防止可能なスターリング冷凍機用ガス圧縮機に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来から、スターリングサイクルを利用
したスターリング冷凍機は、冷凍サイクルの中でも高い
冷凍効率を発揮可能であるとともに、その機構がシンプ
ルであるために小型化および軽量化が容易であり、各種
用途の冷凍機として利用されている。

【０００３】たとえば、赤外線画像装置などの心臓部と
なる受光素子を冷却する手段として、図４、図５および
図６に示すようなものがある。

【０００４】図４に示す赤外線画像装置１は、ヘリウム
ガスなどの冷媒ガスの圧縮部２およびコールドヘッドと
呼ばれる膨張部（冷却部）３を有するスターリング冷凍
機４と、赤外線センサー部５とを有し、圧縮部２と膨張
部３とを一体型としたものである。

【０００５】圧縮部２は、駆動モータ（リニアモータ）
６と、圧縮ピストン７と、シール８とを有し、駆動モー
タ６による圧縮ピストン７の往復動により冷媒ガスを圧
縮空間９内で圧縮し、配管１０を通して膨張部３に圧縮
供給する。

【０００６】膨張部３は、圧縮シリンダ１１と、熱交換
作用を行う蓄冷器を内蔵するとともに冷媒ガスの圧力変
化により作動するディスプレーサ１２とを有する。

【０００７】ディスプレーサ１２は、駆動モータ６の駆
動によって圧縮ピストン７とは約９０度の位相ずれをも
って往復動することにより膨張空間１３において吸熱し
、赤外線センサー部５を冷却する。

【０００８】すなわち、冷媒ガスの等温圧縮、等容移送
（等容冷却）、等温膨張、および等容移送（等容加熱）
の行程サイクルを繰り返すことにより、赤外線センサー
部５を冷却する。

【０００９】赤外線センサー部５は、真空容器１４と、
赤外線センサ（受光素子）１５と、光学窓１６とを有し
、赤外線センサ１５が真空容器１４内の真空部１７を通
った赤外線を検出可能としてある。

【００１０】図５に示す赤外線画像装置１８は、スター
リング冷凍機４の圧縮部２と膨張部３とを分離した構成
のスプリット型のものであって、フレキシブル配管１９
により圧縮部２と膨張部３とを連結してある。

【００１１】なお、図６に示す赤外線画像装置２０は、
スターリング冷凍機４のかわりに液体窒素２１などの寒
冷材を用いたものである。

【００１２】こうした従来からの冷凍システムにおいて
、液体空気温度以下の冷凍を発生させる冷媒ガスとして
は、極力純粋のヘリウムガスにより冷凍を行う必要があ
るが、現状の圧縮機構成では冷媒ガスがガス汚染される
ことによる冷却不良が問題となっている。

【００１３】すなわち、冷却部（膨張部）３の低温領域
において、ヘリウムガス以外の不純物成分が凍結、凝固
するため、ディスプレーサ１２が動作不良におちいり、
冷却不能のトラブルが起きる。

【００１４】具体的には、図４に示した赤外線画像装置
１、および図５に示した赤外線画像装置１８において、
圧縮ピストン７のシール８には通常、圧縮ガス（ヘリウ
ムガス）のリークを最小に保つ機能を持たせているが、
実際上は圧縮空間９と圧縮ピストン７の駆動装置との間
に完全な機密性を保持しておくことはできず、わずかな
間隙が存在している。

【００１５】したがって、駆動モータ６も含めた圧縮ピ
ストン７を駆動するための構成部品類に残留付着するグ
リースなどの油脂や、種々の材料構成から放出される汚
染ガス成分がシール８を介して次第に圧縮空間９に侵入
し、作動冷媒ガスを汚染し、正常な冷凍機能を保持する
ことができなくなるという問題がある。

【００１６】さらに、ヘリウムガスの圧縮膨張による正
常な冷凍機能が損なわれることに加えて、水、炭酸ガス
、塩素ガスなどが圧縮シリンダ１１内に侵入し、ディス
プレーサ１２部分においてこれらが凍結することにより
ディスプレーサ１２の往復動を不可能とする問題がある
。

【００１７】さらにまた、赤外線画像装置１（図４）お
よび赤外線画像装置１８（図５）のように機械式圧縮部
２を有するスターリング冷凍機４を適用した場合には、
スターリング冷凍機４つまり圧縮部２から発生する振動
によって、光学窓１６ないし赤外線センサ１５が振動す
る結果、入射赤外線を的確に検出することができないと
いう問題がある。こうした振動を極力排除することによ
り、赤外線センサ１５および光学系に対する影響を軽減
させることが重要である。

【００１８】もちろん、赤外線画像装置１８の基本的な
特徴は、フレキシブル配管１９により圧縮部２と膨張部
３とを所定距離だけ離すことにより、電気的なノイズや
機械的な振動を赤外線画像装置１よりは少なくする点に
あるあるが、フレキシブル配管１９の長さにも限度があ
るため、ノイズおよび振動防止策としては十分ではない
。

【００１９】また図６に示した赤外線画像装置２０の場
合には、機械的振動および電磁気的な影響は受けにくい
が、液体窒素２１の供給システムの問題、携帯性に劣る
問題、およびコストアップの問題がある。

【００２０】こうした赤外線画像装置１および赤外線画
像装置１８の機械的な構造に起因する諸問題を回避する
ために、図７に示すような赤外線画像装置２２も提案さ
れている（本出願人による実願昭６２−１４５３０１号
：この公開番号を記載）。

【００２１】この赤外線画像装置２２は、赤外線画像装
置１８と同様にスプリット型であるが、とくにその圧縮
部２に電磁駆動式のツイン対向型リニア圧縮機２３を採
用し、交番磁界を印加することにより内部の圧縮ピスト
ンを往復動させて冷媒ガスを供給可能としてある。

【００２２】しかしながら、この赤外線画像装置２２に
おいても、圧縮ピストンの駆動部には回転モータやリニ
アモータなどを採用しているため、磁束漏洩や交番磁界
など、電気的なノイズが発生し、赤外線検出器に悪影響
を及ぼすことは避けられない。

【００２３】さらに、スターリング冷凍機４を組み込ん
だ他の例として、図８に示す赤外線カメラ２４は、その
ハウジング２５内にスターリング冷凍機４のツイン対向
型リニア圧縮機２３と、レンズ系２６と、赤外線センサ
ー部５と、冷却ファン２７と、赤外線検出アンプ回路２
８と、カメラ制御装置２９と、磁気シールド３０とを有
する。

【００２４】この赤外線カメラ２４では、ツイン対向型
リニア圧縮機２３周囲の磁気遮断対策や信号線のシール
ド対策が不可欠であり、こうした対策が非常に困難であ
るとともに、磁気シールド対策としてツイン対向型リニ
ア圧縮機２３を鉄系材料などにより完全に覆う構造が必
要となり、赤外線カメラ２４全体の重量増加、機動性お
よび汎用性の喪失などの問題がある。

【００２５】なお、ツイン対向型リニア圧縮機２３本体
ないしは圧縮部２を赤外線センサー部５や検出アンプな
どからはなして配置することも考えられるが、スプリッ
ト型スターリング冷凍機４の原理的な制約からスターリ
ング冷凍機４と圧縮部２との間のフレキシブル配管１９
の長さには限界があり、根本的な解決策とはならないと
いう点がある。

【００２６】要するに、スターリング冷凍機４の圧縮部
２部分の構成は、回転モータや永久磁石を利用した電磁
的なリニアモータなどによる駆動システムであるため、
これらから発生する機械的振動、電気的ノイズや磁気的
な影響が赤外線センサ１５や検出回路に影響し、良好な
画像を得ることが困難であるとともに、こうした影響に
対する対策が非常に難しく、スターリング冷凍機４を赤
外線画像装置や赤外線カメラなどに適用するに際して運
用技術上の障害となっている。

【００２７】

【発明が解決しようとする課題】本発明は以上のような
諸問題にかんがみなされたもので、冷凍性能低下の最大
の原因である冷媒ガスのガス汚染を防止することにより
、信頼性向上と長寿命化を実現することができるスター
リング冷凍機用ガス圧縮機を提供することを課題とする
。

【００２８】さらに、冷媒ガス圧縮部の駆動に起因する
電磁気的ノイズおよび機械的振動による赤外線センサー
部などへの悪影響を解消可能なスターリング冷凍機用ガ
ス圧縮機を提供することを課題とする。

【００２９】

【課題を解決するための手段】すなわち本発明は、冷媒
ガスの圧縮空間を他の駆動部分から隔離するための手段
としてベローズを採用することに着目したもので、冷却
部に形成した膨張空間に連通する圧縮空間を形成した圧
縮シリンダ内を往復動する圧縮ピストンと、この圧縮ピ
ストンを駆動する駆動部とを有し、冷媒ガスを圧縮供給
するスターリング冷凍機用ガス圧縮機であって、上記圧
縮ピストンに取り付けるとともに上記圧縮空間を他の駆
動部分から遮断可能なベローズを設けたことを特徴とす
るスターリング冷凍機用ガス圧縮機である。第二の発明
は、上記圧縮ピストンの駆動部を空圧式とすることに着
目したもので、上記圧縮シリンダとは別に設けた駆動用
空気圧縮機により上記圧縮ピストンを駆動し、かつ上記
圧縮ピストンに取り付けるとともに上記圧縮空間を他の
駆動部分から遮断可能なベローズを設けたことを特徴と
するスターリング冷凍機用ガス圧縮機である。なお上記
第二の発明において、空気吸い込み開始時には開放し、
所定圧の空気圧に応じて閉鎖する吸気弁と、空気吸い込
み開始時には閉鎖し、この吸気弁の閉鎖に応じて開放す
る排気弁とを上記駆動用空気圧縮機の吸気部分に設ける
ことができる。

【００３０】

【作用】第一の発明によるスターリング冷凍機用ガス圧
縮機においては、圧縮ピストンにベローズを取り付け、
その往復駆動に追随してベローズを伸縮させる構成とし
た。

【００３１】したがって、こうした構成においては、圧
縮空間とベローズ内部空間とは互いに完全な密閉系とな
り、外部の他の駆動部分とは気密的に遮断されることと
なるため、これらの駆動部分から発生するガスによる冷
媒ガスの汚染の影響を減少させることができる。

【００３２】第二の発明によるスターリング冷凍機用ガ
ス圧縮機においては、第一の発明と同様に圧縮ピストン
にベローズを取り付けるとともに、圧縮シリンダとは別
に配置した駆動用空気圧縮機の圧力変動を利用すること
によって、この圧縮ピストンを駆動し、冷媒ガスを圧縮
させる構成とした。なおこの場合、駆動用の空気圧縮機
は、カメラ本体その他の検出部とは数メートル離れた電
源部やモニター装置のユニットにこれを設置し、エアホ
ースにより圧縮ピストン部分に空気圧力（パルス圧）を
伝達させるものとする。

【００３３】つまり、空気圧式の駆動機構を採用するこ
とにより電気的なノイズの障害がまったく発生しない冷
媒ガス圧縮機を実現可能である。

【００３４】なお、上記吸気弁および排気弁を上記駆動
用空気圧縮機の吸気部分に設けることにより、所定圧力
に達したのちはこの駆動用空気圧縮機内での圧縮空気の
変動のみによって必要な圧力パルスを冷媒ガス圧縮部に
供給することができる。

【００３５】

【実施例】つぎに本発明の第一の実施例によるスターリ
ング冷凍機用ガス圧縮機４０を図１にもとづき説明する
。ただし、以下の説明においては、図４ないし図８と同
様の部分には同一符号を付し、その詳述はこれを省略す
る。

【００３６】図１はスターリング冷凍機用ガス圧縮機４
０の拡大断面図であって、このスターリング冷凍機用ガ
ス圧縮機４０は、耐圧ケーシング４１と、この耐圧ケー
シング４１に接続した冷媒ガス吐出接続チューブ４２お
よび冷媒ガス充填部接続チューブ４３と、電源部気密端
子４４とを有する。

【００３７】なおスターリング冷凍機用ガス圧縮機４０
は、冷媒ガス吐出用接続チューブ４２ないし冷媒ガス充
填部接続チューブ４３に対して左右ほぼ同様の構成であ
るので、その右方構成のみを図示してある。また冷媒ガ
ス吐出用接続チューブ４２の長さは、スターリング冷凍
機用ガス圧縮機４０の振動や電磁気的な障害を回避可能
な適当な長さとする。

【００３８】耐圧ケーシング４１内には、磁気回路を形
成するための電磁駆動部４５と、圧縮ピストン４６を有
する可動コイル４７と、ピストン制御スプリング４８と
、電流リード４９とを設けてある。

【００３９】電磁駆動部４５は、リニア駆動方式を採用
したもので、永久磁石５０を有し、圧縮ピストン４６と
の間に圧縮空間９に相当する圧縮空間５１を形成すると
ともに、圧縮シリンダ５２、および冷媒ガス吐出用接続
チューブ４２に連通する連通路５３を形成している。

【００４０】可動コイル４７と圧縮ピストン４６との部
分は基端部５４によりこれを一体化し、一体的に駆動可
能としてある。

【００４１】圧縮ピストン４６の部分にベローズ５５を
取り付ける。具体的には、電磁駆動部４５のセンターヨ
ーク５６と圧縮ピストン４６の基端部５４との間にベロ
ーズ５５を介在させる。

【００４２】かくして前記シール８に加えてこのベロー
ズ５５により、圧縮空間５１と、他の駆動部分つまり可
動コイル４７、ピストン制御スプリング４８、および電
流リード４９の部分とを遮断可能としている。

【００４３】なお、電磁駆動部４５にはバイパス弁５７
を設けることにより、耐圧ケーシング４１内を圧縮空間
５１と同一の充填圧力による冷媒ガスにより充満可能と
し、ベローズ５５に亀裂や破損が生じた場合でも冷凍運
転を継続可能としている。

【００４４】こうした構成のスターリング冷凍機用ガス
圧縮機４０において、電源部気密端子４４からの交番電
流による励磁により可動コイル４７が電磁駆動部４５内
を往復動（図中左右方向）することにより冷媒ガスを圧
縮および吐出し、こうしたパルス圧を膨張部３に与え、
既述のように冷媒ガスの等温圧縮、等容移送（等容冷却
）、等温膨張、等容移送（等容加熱）の冷凍サイクルを
行い、冷凍を発生する。

【００４５】なお、可動コイル４７ないし圧縮ピストン
４６とベローズ５５とを一体に形成することにより、ベ
ローズ５５の内部側も含む圧縮空間５１は可動コイル４
７、電磁駆動部４５、ピストン制御スプリング４８、電
流リード４９などとは気密的に遮断され、これら構成材
料から発生する放出ガスの冷媒ガスへの影響を完全に防
止することができる。

【００４６】かくして圧縮部分にベローズ５５を採用す
ることにより、駆動部分からの汚染ガスの侵入を完全に
防止可能で、ガス汚染による冷却不能を完全に防止する
ことができる。

【００４７】なお、一般に圧縮駆動部分にベローズを採
用すると、デッドボリュームを小さくすることが困難で
、圧縮性流体移送の場合にはその圧縮効率が低下する問
題があるが、スターリング冷凍機用の圧縮機の場合には
配管の内部あるいはディスプレーサ内部など全体の作動
空間にデッドボリュームが存在するため、その効率を低
下させることなくベローズを採用することが可能である
。

【００４８】また、危険な毒性ガスや放射線、同位体分
離関連の循環用圧縮機においても、ベローズ５５が破壊
され、リークが生じても耐圧ケーシング４１構成により
その拡散を防止することができる。

【００４９】つぎに、本発明の第二の実施例によるスタ
ーリング冷凍機用ガス圧縮機６０を図２および図３にも
とづき説明する。

【００５０】図２は当該スターリング冷凍機用ガス圧縮
機６０を搭載した赤外線画像装置６１の斜視図、図３は
赤外線画像装置６１の断面図であり、赤外線画像装置６
１は赤外線撮像カメラ６２と、カメラ制御部６３と、ス
ターリング冷凍機用ガス圧縮機６０とを有する。

【００５１】赤外線撮像カメラ６２は、前記赤外線セン
サー部５を備えた冷却部（膨張部）３を有し、エアホー
ス６４によりスターリング冷凍機用ガス圧縮機６０にこ
れを接続するとともに、ケーブル６５によりカメラ制御
部６３にこれを接続してある。

【００５２】スターリング冷凍機用ガス圧縮機６０は、
ツイン対向型ベローズ圧縮機６６と、駆動用空気圧縮機
６７とを有する。

【００５３】ツイン対向型ベローズ圧縮機６６は、前記
スターリング冷凍機用ガス圧縮機４０（図１）と同様に
耐圧ケーシング４１を有し、シリンダ構成部材６８に形
成した圧縮シリンダ６９内に圧縮ピストン７０を往復動
可能に収容するとともに、その間に圧縮空間７１を形成
している。

【００５４】また、圧縮ピストン７０を中立位置復帰用
スプリング７２により付勢するとともに、圧縮ピストン
７０に一体的にベローズ７３を取り付けてある。具体的
にはシリンダ構成部材６８の基端部と圧縮ピストン７０
の基端部との間にベローズ７３を介在させる。

【００５５】なお、ベローズ７３の駆動に必要な駆動空
気圧力は、圧縮ピストン７０の面積とベローズ７３のば
ね定数およびこの受圧面積比によりこれを決定する。

【００５６】駆動用空気圧縮機６７は、上記エアホース
６４によりツイン対向型ベローズ圧縮機６６に接続して
あるもので、エアシリンダ７４と、エアピストン７５と
、これを駆動するモータ７６と、吸気弁７７と、排気弁
７８と、吸気弁７７に接続したニューマチックバルブ７
９とを有する。この駆動用空気圧縮機６７の形式はモー
タ駆動のクランク式あるいはリニア駆動式などを採用す
る。

【００５７】なおエアシリンダ７４には逆止弁８０を取
り付けることにより、クランク室８１の内部もこれを加
圧可能とすることにより、エアピストン室８２とクラン
ク室８１との間の差圧を減少させ、駆動用空気圧縮機６
７の駆動力を低減させるものである。

【００５８】ニューマチックバルブ７９は、吸気部分つ
まり吸気弁７７に連通する空気吸込み弁８３および循環
用弁８４と、反力スプリング８５と、バルブボディ８６
とを有する。

【００５９】こうした構成のスターリング冷凍機用ガス
圧縮機６０ないし赤外線画像装置６１において、モータ
７６の回転駆動により吸気弁７７および排気弁７８の吸
排気によってエアホース６４から空気圧を受けたツイン
対向型ベローズ圧縮機６７内のベローズ７３が伸縮し、
このベローズ７３で気密化された圧縮ピストン７０は耐
圧ケーシング４１内の駆動空間８７の空気圧力の変化に
応じて冷媒ガスを冷媒ガス吐出用接続チューブ４２を介
して膨張部３にこれを供給し、冷凍機能を行う。

【００６０】なおニューマチックバルブ７９により、駆
動用空気圧縮機６７の起動時には外部空気を吸入圧縮し
、起動後ベローズ７３を駆動するために見合う圧力にバ
ランスすると外部からの空気吸入を停止することによっ
て、ベローズ７３部分の駆動力に見合う最適な圧力変動
を発生させることとしている。

【００６１】具体的には、駆動用空気圧縮機６７はその
停止時には、空気吸込み弁８３が「開」、循環用弁８４
が「閉」の状態である。この駆動用空気圧縮機６７が起
動して次第に空気圧力が上昇すると、空気吸込み弁８３
が「閉」、循環用弁８４が「開」に切り替わり、外部か
らの空気吸入なしで、自動的に圧力変動のみを発生させ
ることができる。この動作圧力は反力スプリング８５の
定数によりこれを設定する。

【００６２】かくして、エアホース６４の装着および駆
動用空気圧縮機６７の起動によりツイン対向型ベローズ
圧縮機６６の駆動を簡単に行うことができるとともに、
最適な運転条件を自動的に得ることができる。

【００６３】さらに、こうしたスターリング冷凍機用ガ
ス圧縮機６０によれば、空圧駆動式のツイン対向型ベロ
ーズ圧縮機６６に適用したため電磁気的ノイズおよび機
械的振動がきわめて少ない。

【００６４】また、ベローズ７３により作動冷媒ガスの
ガス汚染の問題を大幅に解消することができるとともに
、従来方式のような、モータ構成、永久磁石構成、コイ
ルなどの電磁駆動部が不要であるため、圧縮機全体を小
型化、軽量化することができ、かつ赤外線カメラ本体も
小型化、軽量化可能である。

【００６５】したがって、圧縮機構性がきわめて単純と
なり、製作が容易となるため、コストを低減可能であり
、可動部分がほとんどないため信頼性を大幅に向上可能
である。

【００６６】なお図１のスターリング冷凍機用ガス圧縮
気４０においては電源部気密端子４４が用いられていた
が、当該赤外線画像装置６０においてはこれを省略する
ことができるため、冷媒ガスのリークに対する信頼性を
向上可能である。

【００６７】駆動用空気圧縮機６７としては市販の汎用
圧縮機を利用することができ、コスト的に有利である。 また、クランク軸など可動機構部分は油潤滑が可能であ
るため、耐久性能を確保可能であり、さらにこの駆動電
源については種々の対応が可能である。

【００６８】さらにベローズ７３を駆動することにより
圧力パルスを発生するため、従来のように圧縮機冷却用
の空冷ファンが不要となり、同時にこの電気的障害を解
消することができる。

【００６９】なお本発明は、既述のような赤外線検出装
置の冷却機として利用することができるほか、毒性ガス
圧縮機、核燃料トリチウム用圧縮機、リニアモータなど
の強磁場発生の影響を受ける場所での低温冷凍装置、Ｍ
ＲＩなど微少磁界の影響を嫌う場所に設置する場合の冷
凍機などに応用可能である。

【００７０】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、ベローズ
の採用により冷媒ガスの汚染を防止するとともに、駆動
用空気圧縮機の採用により機械的振動および電磁気的な
影響を極力排除可能である。

【００７１】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一の実施例によるスターリング冷凍
機用ガス圧縮機４０の断面図である。

【図２】本発明の第二の実施例によるスターリング冷凍
機用ガス圧縮機６０を装備した赤外線画像装置６１の斜
視面図である。

【図３】同、断面図である。

【図４】従来の赤外線画像装置１の断面図である。

【図５】従来の他の赤外線画像装置１８の断面図である
。

【図６】従来のさらに他の赤外線画像装置２０の断面図
である。

【図７】従来のさらに他の赤外線画像装置２２の断面図
である。

【図８】従来の赤外線カメラ２４の断面図である。

【符号の説明】

１　　赤外線画像装置 ２　　圧縮部 ３　　膨張部（冷却部、コールドヘッド）４　　スター
リング冷凍機 ５　　赤外線センサー部 ６　　駆動モータ（リニアモータ） ７　　圧縮ピストン ８　　シール ９　　圧縮空間 １０　　配管 １１　　圧縮シリンダ １２　　ディスプレーサ １３　　膨張空間 １４　　真空容器 １５　　赤外線センサ（受光素子） １６　　光学窓 １７　　真空部 １８　　赤外線画像装置 １９　　フレキシブル配管 ２０　　赤外線画像装置 ２１　　液体窒素（寒冷材） ２２　　赤外線画像装置 ２３　　ツイン対向型リニア圧縮機 ２４　　赤外線カメラ ２５　　ハウジング ２６　　レンズ系 ２７　　冷却ファン ２８　　赤外線検出アンプ回路 ２９　　カメラ制御装置 ３０　　磁気シールド ４０　　スターリング冷凍機用ガス圧縮機４１　　耐圧
ケーシング ４２　　冷媒ガス吐出用接続チューブ ４３　　冷媒ガス充填部接続チューブ ４４　　電源部気密端子 ４５　　電磁駆動部 ４６　　圧縮ピストン ４７　　可動コイル ４８　　ピストン制御スプリング ４９　　電流リード ５０　　永久磁石 ５１　　圧縮空間 ５２　　圧縮シリンダ ５３　　連通路 ５４　　基端部 ５５　　ベローズ ５６　　センターヨーク ５７　　バイパス弁 ６０　　スターリング冷凍機用ガス圧縮機６１　　赤外
線画像装置 ６２　　赤外線撮像カメラ ６３　　カメラ制御部 ６４　　エアホース ６５　　ケーブル ６６　　ツイン対向型ベローズ圧縮機 ６７　　駆動用空気圧縮機 ６８　　シリンダ構成部材 ６９　　圧縮シリンダ ７０　　圧縮ピストン ７１　　圧縮空間 ７２　　中立位置復帰用スプリング ７３　　ベローズ ７４　　エアシリンダ ７５　　エアピストン ７６　　モータ ７７　　吸気弁 ７８　　排気弁 ７９　　ニューマチックバルブ ８０　　逆止弁 ８１　　クランク室 ８２　　エアピストン室 ８３　　空気吸込み弁 ８４　　循環用弁 ８５　　反力スプリング ８６　　バルブボディ ８７　　駆動空間

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　　　冷却部に形成した膨張空間に連通
   する圧縮空間を形成した圧縮シリンダ内を往復動する圧
   縮ピストンと、この圧縮ピストンを駆動する駆動部とを
   有し、冷媒ガスを圧縮供給するスターリング冷凍機用ガ
   ス圧縮機であって、前記圧縮ピストンに取り付けるとと
   もに前記圧縮空間を他の駆動部分から遮断可能なベロー
   ズを設けたことを特徴とするスターリング冷凍機用ガス
   圧縮機。
2. 【請求項２】　　　　冷却部に形成した膨張空間に連通
   する圧縮空間を形成した圧縮シリンダ内を往復動する圧
   縮ピストンと、この圧縮ピストンを駆動する駆動部とを
   有し、冷媒ガスを圧縮供給するスターリング冷凍機用ガ
   ス圧縮機であって、前記圧縮シリンダとは別に設けた駆
   動用空気圧縮機により前記圧縮ピストンを駆動し、かつ
   前記圧縮ピストンに取り付けるとともに前記圧縮空間を
   他の駆動部分から遮断可能なベローズを設けたことを特
   徴とするスターリング冷凍機用ガス圧縮機。
3. 【請求項３】　　　　空気吸い込み開始時には開放し、
   所定圧の空気圧に応じて閉鎖する吸気弁と、空気吸い込
   み開始時には閉鎖し、この吸気弁の閉鎖に応じて開放す
   る排気弁とを、前記駆動用空気圧縮機の吸気部分に設け
   たことを特徴とする請求項（２）記載のスターリング冷
   凍機用ガス圧縮機。