JPH0669663U - 小型冷凍機 - Google Patents
小型冷凍機Info
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- JPH0669663U JPH0669663U JP009902U JP990293U JPH0669663U JP H0669663 U JPH0669663 U JP H0669663U JP 009902 U JP009902 U JP 009902U JP 990293 U JP990293 U JP 990293U JP H0669663 U JPH0669663 U JP H0669663U
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- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 リニアモータ駆動式のピストンを備えた小型
冷凍機に適用するのに好適なピストン軸受を有する小型
冷凍機に関し、ピストンとシリンダの接触を低減するこ
とのできる小型冷凍機を提供することを目的とする。 【構成】 内壁で中空状空間を画定するシリンダ(1
4)と、前記シリンダ中に挿入されたピストン(13)
と、前記シリンダの内壁と前記ピストンとの間隙の大き
さを検出するすき間センサ(5)と、前記シリンダと結
合され、磁気ギャップ(8)を有する磁気回路(9、1
2、15)と、前記ピストンと結合され、前記磁気ギャ
ップ中に挿入された位置制御用コイル(7)と、前記す
き間センサの検出出力に基づいて制御された電流を前記
位置制御用コイルに供給するコントローラ(6)とを有
する。
冷凍機に適用するのに好適なピストン軸受を有する小型
冷凍機に関し、ピストンとシリンダの接触を低減するこ
とのできる小型冷凍機を提供することを目的とする。 【構成】 内壁で中空状空間を画定するシリンダ(1
4)と、前記シリンダ中に挿入されたピストン(13)
と、前記シリンダの内壁と前記ピストンとの間隙の大き
さを検出するすき間センサ(5)と、前記シリンダと結
合され、磁気ギャップ(8)を有する磁気回路(9、1
2、15)と、前記ピストンと結合され、前記磁気ギャ
ップ中に挿入された位置制御用コイル(7)と、前記す
き間センサの検出出力に基づいて制御された電流を前記
位置制御用コイルに供給するコントローラ(6)とを有
する。
Description
【0001】
本考案は、小型冷凍機に関し、特にリニアモータ駆動式のピストンを備えた小 型冷凍機に適用するのに好適なピストン軸受を有する小型冷凍機に関する。
【0002】
小型で100K程度以下の低温を発生させることのできる冷凍機としてスター リング冷凍機、ヴェルミエ冷凍機、ギフォードマクマホン冷凍機等が知られてい る。以下、制限的な意味を有することなく、スターリング冷凍機について説明す る。
【0003】 スターリング冷凍機は、逆スターリングサイクルを利用した冷凍機で、理論的 には熱効率がカルノーサイクルに等しく効率が高く、バルブを使用しないので構 造が簡単になり、小型化が容易である。
【0004】 図3(A)にスターリングサイクルを概略的に示す。図中横軸は容積を示し、 縦軸は圧力を示す。スターリングサイクルは、曲線PQで示される等温圧縮、曲 線QRで示される等容移送、曲線RSで示される等温膨張、曲線SPで示される 等容移送の4工程を含む。この4工程を矢印の方向に進むとき、冷凍サイクルが 実現され、逆方向に進めば加熱サイクルが実現される。
【0005】 図3(A)に示すようなスターリングサイクルを行なわせるため、スターリン グ冷凍機は圧縮機と膨張機およびそれらの間の配管を含む。 図3(B)に、スターリング冷凍機の動作を概略的に示す。図中左側に膨張機 (コールドヘッド)、右側に圧縮機、その間に配管を示す。圧縮機は、圧縮シリ ンダを含み、圧縮シリンダによって圧縮された作動ガスは配管を介してコールド ヘッドに移送される。コールドヘッド内には、ディスプレーサが設けられており 、作動ガスはディスプレーサ内を通って移動することができる。ディスプレーサ 内には、蓄冷器が充填される。
【0006】 圧縮機においては、図3(B)1段目から3段目の状態において圧縮行程が行 なわれ、3段目から4段目を介して1段目に戻る間において膨張行程が行なわれ る。
【0007】 コールドヘッド内においては、ディスプレーサが圧縮シリンダとは約90°位 相をずらせて往復運動を行なう。1段目から2段目にかけて主に等容移送が行な われ、2段目から3段目にかけて主に等温圧縮が行なわれる。3段目から4段目 にかけては主に等容移送が行なわれ、4段目から1段目に戻る際に主に等温膨張 が行なわれる。
【0008】 このようなスターリングサイクルにより、コールドヘッド先端に冷凍が発生し 、人工衛星、放射線危険区域等、メンテナンスフリーが要求される場所等におい て、赤外線検出装置等の冷却対象物が冷却される。
【0009】 図4に、従来技術によるスターリング冷凍機の構成例を示す。図4(A)は、 スターリング冷凍機の全体構成を概略的に示す。圧縮機51とコールドヘッド5 2とは配管53で接続され、分離型構造を構成している。
【0010】 圧縮機51においては、シリンダ56の中にピストン57が挿入され、その間 に圧縮空間60を画定している。シリンダ56の外側に、磁気ギャップ58を有 する磁気回路が構成され、磁気ギャップ58内にピストン57と結合したリニア モータの往復運動用コイル59が挿入されている。なお、圧縮機51は2つの圧 縮ピストンを対向して配置し、その中間から共通に圧縮ガスを配管53に接続し ている。
【0011】 ディスプレーサ52においては、シリンダ61内にディスプレーサ62が配置 され、ディスプレーサ62内には鉛粒、銅金網等の蓄冷器63が配置されている 。ディスプレーサ62とシリンダ61の間に膨張空間65が画定され、冷凍を発 生する。膨張空間65に隣接して、冷却対象70が配置されている。
【0012】 図4(B)は、圧縮機の構成例を拡大して示す。シリンダ56内に挿入される ピストン57は、2つのコイルばね74、75によって軸方向の中立位置に保持 される。なお、これらの2つのばね74、75はリニアモータのコイル59に対 する電流供給端子も兼用する。
【0013】 シリンダ56の外側に磁気ギャップ58を有する磁気回路が結合されている。 磁気ギャップ58中に往復運動用リニアモータのコイル59が配置され、ピスト ン57に結合されている。なお、72は作動ガス充填用の配管を示す。
【0014】 このような冷凍機の圧縮機、もしくはコールドヘッドにおいて、シリンダとピ ストンの間は気密に保たれねばならない。このため、たとえばピストン表面にフ ッ素樹脂を貼付けて、気密シール兼摺動材として用いている。ピストンとシリン ダの間には10μm程度の間隙があり、クリアランスシールを構成している。
【0015】
気密を保たせるためのシール材と、ピストンをシリンダ内で運動させるための 摺動材とが同一部材によって兼用されていると、長時間の運転の後にはシール兼 摺動材が摩耗してしまう。すると、ピストンとシリンダ間の間隙が拡がってしま い、シール性が低下する。シール性の低下は、冷凍機の性能劣化を招く。
【0016】 また、摩耗によって摩耗粉が発生し、冷凍機内に飛び散り、作動ガスの流れを 阻害したり、運動部材の運動を阻害する。この結果も、冷凍機の性能低下になっ て表れる。このように、冷凍機の寿命はシール材の摩耗によって制限されている 。
【0017】 本考案の目的は、ピストンとシリンダの接触を低減することのできる小型冷凍 機を提供することである。
【0018】
本考案の小型冷凍機は、内壁で中空状空間を画定するシリンダと、前記シリン ダ中に挿入されたピストンと、前記シリンダの内壁と前記ピストンとの間隙の大 きさを検出するすき間センサと、前記シリンダと結合され、磁気ギャップを有す る磁気回路と、前記ピストンと結合され、前記磁気ギャップ中に挿入された位置 制御用コイルと、前記すき間センサの検出出力に基づいて制御された電流を前記 位置制御用コイルに供給するコントローラとを有する。
【0019】
磁気ギャップ内にピストンと結合された位置制御用コイルが配置され、ピスト ンの半径方向位置を制御することができる。シリンダとピストンとの間隙をすき 間センサによって検出し、コントローラから位置制御用コイルへ制御した電流を 供給することにより、シリンダとピストンとの間に適正な間隙を常に保つことが 可能となる。このようにして、シリンダとピストンとの接触が低減する。
【0020】
図1に、本考案の実施例によるスターリング冷凍機を示す。図1(A)は、全 体の構成を概略的に示し、図1(B)は、リニアモータと位置制御機能の部分を 拡大して示し、図1(C)は、磁気回路における動作概念を概略的に示す。
【0021】 図1(A)において、圧縮機1とコールドヘッド3とは配管2によって接続さ れている。圧縮機1においては、シリンダ14内にピストン13が配置されてい る。ピストン13とシリンダ14の内壁との間の間隙は、10μm程度である。
【0022】 シリンダ14の内周面に、少なくとも2つのすき間センサ5が埋め込まれてお り、シリンダ14の内壁とピストン13との間隙を検出し、検出信号をコントロ ーラ6に送出する。シリンダ14は、磁性体で形成され、磁気ヨークを兼用する 基部12に連続している。
【0023】 基部12には、永久磁石15が接続され、永久磁石15の他端はポールピース 9に接続されている。ポールピース9は、シリンダ14と磁気ギャップ8を介し て対向する。
【0024】 なお、図示の構成においては、永久磁石15は軸方向に磁化されており、ポー ルピース9において磁束は軸方向から半径方向に曲げられ、磁気ギャップ8にお いて半径方向の磁束が発生する。
【0025】 磁気ギャップ8内に、ピストン13と結合したリニアモータのコイル19が配 置されている。コイル19は、ピストン13から延びるアーム20に結合されて いる。
【0026】 さらに、リニアモータ用コイル19の内側に、少なくとも2つの位置制御用コ イル7が配置され、コントローラ6からの駆動信号を受ける。位置制御用コイル 7は、好ましくは対称的に4個配置される。
【0027】 ピストン13の後端は、2つのコイルばね18、23に結合されている。これ ら2つのコイルばね18、23は、ピストン13を中立位置に保持する役目と、 リニアモータ用コイル19に対する電流供給の役割を果たす。なお、これらのコ イルの他、図示しない導線が配置され、位置制御用コイル7に対する電流供給を 行なう。
【0028】 コイルばね18、23の他端は、圧縮機1の内側ケース16に固定されている 。内側ケース16を覆って、外側ケース11が配置されている。なお、これら2 つのケースを通ってコイルばね18、23に対する電流供給リードが設けられて いる。
【0029】 なお、図1においては、圧縮機1の右側部分のみが図示されているが、左側に も対称的な構造が配置されている。これら左右の部分によって対向型圧縮機を構 成する。
【0030】 コールドヘッド3においては、シリンダ37内にディスプレーサ34が配置さ れ、ディスプレーサ34はその内部に銅金網、鉛球等の蓄冷器36を含む。シリ ンダ37とディスプレーサ34との間に、膨張空間35が画定される。
【0031】 ディスプレーサ34の後端は、コイルばね38によってハウジング31に結合 されている。なお、ディスプレーサ34とシリンダ37との間の気密性を保持す るためにシール部材33が設けられている。
【0032】 このような構成の圧縮機1とコールドヘッド3とが約90°の位相ずれをもっ て動作することにより、コールドヘッドの膨張空間35において冷凍が発生する 。この冷凍により、冷却対象40が冷却される。
【0033】 図1(B)は、ポールピース9、リニアモータ用コイル19、位置制御用コイ ル7の部分を拡大して示す。ポールピース9は、円筒状空間を画定し、その中に リニアモータ用コイル19および位置制御用コイル7を収容する。
【0034】 ポールピース9からは半径方向に磁束が発生する。リニアモータ用コイル19 は、円周方向に巻回されている。位置制御用コイル7は、鞍形の形状を有し、半 径方向に磁束を発生させることができる。
【0035】 図1(C)は、リニアモータ用コイル19および位置制御用コイル7において どのような力が作用するかを示す概念図である。ポールピース9からは半径方向 の磁束B1が発生する。この磁束B1内にリニアモータ用コイル19が配置され 、円周方向に電流を流す。磁束に対してほぼ直角に電荷が移動するため、ローレ ンツ力が発生し、リニアモータ用コイル19は軸方向の力を受ける。
【0036】 これに対して位置制御用コイル7においては、円周面の一部領域を囲んでコイ ルが形成され、半径方向に磁束B2aまたはB2bを発生する。磁束B2の方向 がポールピース9から発生する磁束B1と反対方向であれば斥力が発生し、同一 方向であれば引力が発生する。これらの力は磁束B1と同一の方向、すなわち半 径方向に生じる。
【0037】 リニアモータ用コイル19に電流を流すと、軸方向の力が発生し、ピストン1 3を軸方向に駆動する。 位置制御用コイル7に電流を流すと、半径方向に磁束B2が発生し、ピストン 13を半径方向に駆動する。なお、半径方向の力と軸方向の力とはほぼ直角に配 置されているため、相互の干渉は少ない。たとえば、ポールピースから発生する 磁束密度B1は5000ガウス程度、位置制御用コイル7が発生する磁束密度は B1に比べて無視できる程度とする。
【0038】 ピストン13の半径方向位置を固定するためには、少なくとも2軸方向の制御 を行なうことが必要であり、少なくとも2つの位置制御用コイルを用いることが 必要である。位置制御用コイル7を3つ以上使用すれば、引力を用いず、斥力の みによってピストン13の位置を制御することが可能となる。4つの位置制御用 コイルを用いれば、直交成分のみで斥力によってピストン13の位置を制御する ことが可能となる。
【0039】 図2は、ピストンの半径方向位置の制御を説明するための図である。図2(A )は、圧縮機の半径方向の概略断面図を示す。中心にピストン13が配置されて おり、その周囲にシリンダ14が配置されている。
【0040】 シリンダ14の内周面には直交する位置にx方向のすき間センサ5xとy方向 のすき間センサ5yが埋め込まれている。シリンダ14の外側には、磁気ギャッ プを介してポールピース9が配置されている。
【0041】 磁気ギャップ内には外側に円周方向に巻線が巻回されたリニアモータ用コイル 19、その内側にそれぞれ鞍形の4つの位置制御用コイル7xa、7xy、7y a、7ybが配置されている。コイル7xaと7xbはx方向で対向し、コイル 7yaと7ybはy方向で対向する。
【0042】 図2(B)は、すき間センサ5と位置制御用コイル7との間の電気的結線の様 子を示す。すき間センサ5x、5yは、シリンダ14とピストン13の間の間隙 をx方向およびy方向について検出する。
【0043】 検出された間隙を表す電気的信号は、コントローラ6に送られ、位置修正用電 気信号が発生する。これら位置制御用電気信号は、位置制御用コイル7x、7y に送られる。なお、図にはx方向の位置制御用コイル7xa、7xbのみを図示 したが、直交する関係に7ya、7ybも配置される。
【0044】 すき間センサ5xで検出されたx方向の間隙に応じた電気的信号は、x方向用 の位置制御用コイル7xa、7xbのいずれかに供給され、ピストン13のx方 向位置を修正する。
【0045】 同様、すき間センサ5iによって検出された電気信号に基づく制御電流は、y 方向用の位置制御用コイル7ya、7ybのいずれかに送られ、ピストン13の y方向位置を修正する。
【0046】 このような構成により、ピストン13の半径方向位置を常にすき間センサによ ってモニタし、位置制御用コイル7の発生する力によってピストン13の半径方 向位置が修正される。ピストン13を常にシリンダ14の内壁が画定する円筒状 空間の中心近傍に配置することにより、ピストンとシリンダとの衝突が回避され る。
【0047】 衝撃等の外界からの激しい擾乱に対しては、位置制御用コイルの発生する力の みでは対向しきれないが、ピストン13の位置のふらつきによるピストンとシリ ンダとの接触等に対しては、位置制御用コイルの発生する力が十分な力を発揮し 、衝突は大幅に低減する。このため、冷凍機の耐久性を格段に向上することがで きる。
【0048】 なお、軸方向に着磁した永久磁石を用いて磁気回路を構成する場合を説明した が、半径方向に着磁した永久磁石を用い、同様の構成を実現することもできる。 永久磁石の代わりに、電磁石を用いることも可能である。
【0049】 また、位置制御用コイルを4つ配置する構成を図示したが、3つ以上の位置制 御用コイルを用いれば、シリンダの面内位置を制御することができることは当業 者に自明であろう。また、すき間センサも2個に限らず、3個以上を用いること も可能である。
【0050】 なお、同様の構成は、シリンダ内を往復運動するピストンの半径方向位置制御 に有効であり、圧縮機に限らず、コールドヘッドにも利用することができる。 以上実施例に沿って本考案を説明したが、本考案はこれらに制限されるもので はない。たとえば、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に自 明であろう。
【0051】
ピストンとシリンダとの間の衝突が低減するため、小型冷凍機の寿命を大幅に 向上することができる。
【図1】本考案の実施例によるスターリング冷凍機を示
す。図1(A)は断面図、図1(B)は一部破断斜視
図、図1(C)は概念図である。
す。図1(A)は断面図、図1(B)は一部破断斜視
図、図1(C)は概念図である。
【図2】図1の圧縮機におけるピストンの半径方向位置
の制御を説明するための図である。図2(A)は半径方
向の断面図、図2(B)は回路ブロック図である。
の制御を説明するための図である。図2(A)は半径方
向の断面図、図2(B)は回路ブロック図である。
【図3】スターリングサイクルを説明するための図であ
る。図3(A)はスターリングサイクルにおける圧力対
容積の関係を示すグラフ、図3(B)はスターリング冷
凍機における膨張機と圧縮機の相対的関係を示す概念図
である。
る。図3(A)はスターリングサイクルにおける圧力対
容積の関係を示すグラフ、図3(B)はスターリング冷
凍機における膨張機と圧縮機の相対的関係を示す概念図
である。
【図4】従来の技術によるスターリング冷凍機の構成例
を示す。図4(A)は全体を概略的に示す断面図、図4
(B)は圧縮機の一部を拡大して示す断面図である。
を示す。図4(A)は全体を概略的に示す断面図、図4
(B)は圧縮機の一部を拡大して示す断面図である。
1 圧縮機 2 配管 3 膨張機(コールドヘッド) 5 すき間センサ 6 コントローラ 7 位置制御用コイル 8 磁気ギャップ 9 ポールピース 12 基部(ヨーク) 13 ピストン 14 シリンダ 15 永久磁石 19 リニアモータ用コイル
Claims (3)
- 【請求項1】 内壁で中空状空間を画定するシリンダ
(14)と、 前記シリンダ中に挿入されたピストン(13)と、 前記シリンダの内壁と前記ピストンとの間隙の大きさを
検出するすき間センサ(5)と、 前記シリンダと結合され、磁気ギャップ(8)を有する
磁気回路(9、12、15)と、 前記ピストンと結合され、前記磁気ギャップ中に挿入さ
れた位置制御用コイル(7)と、 前記すき間センサの検出出力に基づいて制御された電流
を前記位置制御用コイルに供給するコントローラ(6)
とを有する小型冷凍機。 - 【請求項2】 前記磁気回路が永久磁石(15)を含
み、前記磁気ギャップにおいてピストンの駆動軸に対す
る半径方向に磁束を発生させ、前記位置制御用コイルは
前記半径方向に少なくとも2つの独立に制御できる磁束
を発生させることができる請求項1記載の小型冷凍機。 - 【請求項3】 さらに、前記ピストンに結合され、前記
磁気ギャップ中に挿入され、円周方向に電流を流す往復
動用コイル(19)を有する請求項1ないし2記載の小
型冷凍機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993009902U JP2563275Y2 (ja) | 1993-03-09 | 1993-03-09 | 小型冷凍機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993009902U JP2563275Y2 (ja) | 1993-03-09 | 1993-03-09 | 小型冷凍機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0669663U true JPH0669663U (ja) | 1994-09-30 |
| JP2563275Y2 JP2563275Y2 (ja) | 1998-02-18 |
Family
ID=18529322
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1993009902U Expired - Lifetime JP2563275Y2 (ja) | 1993-03-09 | 1993-03-09 | 小型冷凍機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2563275Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996039599A1 (en) * | 1995-06-05 | 1996-12-12 | Daikin Industries, Ltd. | Stirling refrigerator |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5879462A (ja) * | 1981-10-02 | 1983-05-13 | ナシヨナル・エアロノ−テイツクス・アンド・スペ−ス・アドミニストレ−シヨン | 低温冷却装置 |
| JPS63148055A (ja) * | 1986-12-11 | 1988-06-20 | 三菱電機株式会社 | ガスサイクル機関 |
| JPH04366367A (ja) * | 1991-06-11 | 1992-12-18 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | スターリング冷凍機用ガス圧縮機 |
-
1993
- 1993-03-09 JP JP1993009902U patent/JP2563275Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5879462A (ja) * | 1981-10-02 | 1983-05-13 | ナシヨナル・エアロノ−テイツクス・アンド・スペ−ス・アドミニストレ−シヨン | 低温冷却装置 |
| JPS63148055A (ja) * | 1986-12-11 | 1988-06-20 | 三菱電機株式会社 | ガスサイクル機関 |
| JPH04366367A (ja) * | 1991-06-11 | 1992-12-18 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | スターリング冷凍機用ガス圧縮機 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996039599A1 (en) * | 1995-06-05 | 1996-12-12 | Daikin Industries, Ltd. | Stirling refrigerator |
| US6460347B1 (en) | 1995-06-05 | 2002-10-08 | Daikin Industries, Ltd. | Stirling refrigerating machine |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2563275Y2 (ja) | 1998-02-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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