JPH04368152A - 落下防止機構付きウェハ用ピンセット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ウェハ用ピンセットに
関し、更に詳しくは、ウェハを把持した時にウェハの落
下を確実に防止することができる落下防止機構付きウェ
ハ用ピンセットに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種のピンセットを用いてウェ
ハを掴む場合には、ウェハの一部を掴むようにしている
が、ウェハの一部をピンセットによって掴むと、その一
部に大きな力が掛り、時には力が入り過ぎてピンセット
の先端が開いてウェハを落下させてしまうことがあった
。そのため従来は、このような長年の経験とピンセット
自体の特性とにより、その掴み方に種々の工夫がなされ
たり、またはウェハが落下しないようにピンセット自体
に種々の工夫が施されたりしている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ピンセットを用いた場合には、力の入れ方を工夫しても
依然としてウェハを落下させてしまうことがあり、また
、従来もピンセット自体にウェハの落下防止機能を付加
したものがあるが、この機能が却って作業性を犠牲にす
るなどの課題があった。特に、ウェハ自体も８インチサ
イズのものが主流になるなどしてウェハが大型化、重量
化するに従って益々上記のような課題がクローズアップ
されている。

【０００４】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたもので、大型化、重量化したウェハであってもウェ
ハを落下させることなく確実に把持することができるウ
ェハ用ピンセットを提供することを目的としている。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明の落下防止機構付
きウェハ用ピンセットは、ピンセット本体と、ピンセッ
ト本体によって把持されたウェハの周縁に沿って往復動
してウェハの周縁を支承してウェハの落下を防止するよ
うにピンセット本体に取り付けられた略円弧状のウェハ
支承体と、ウェハ支承体の外周縁に形成された歯部に噛
合する歯車と、歯車を回転駆動させるモータと、モータ
を付勢するスイッチとを備えて構成されたものである。

【０００６】

【作用】本発明によれば、ピンセット本体によってウェ
ハを把持すると共にスイッチを操作すると、モータが駆
動してウェハ支承体をウェハの周縁に沿って移動させて
ウェハの周縁を支承してウェハの落下を防止することが
できる。

【０００７】

【実施例】以下、図１〜図５に示す実施例の基づいて本
発明を説明する。尚、各図中、図１は本発明の一実施例
の落下防止機構付きウェハ用ピンセットを用いてウェハ
を把持した状態を示す側面図、図２は図１に示す落下防
止機構付きウェハ用ピンセットを拡大し、ピンセット本
体を破断して示す側面図、図３の（ａ）、（ｂ）はそれ
ぞれウェハ支承体の一部を示す断面図で、（ａ）はその
先端部分を示す図、（ｂ）はその中間部分を示す図、図
４は図１に示すウェハ支承体の先端の接触スイッチを示
す構成図、図５は図１に示すウェハ用ピンセットを用い
てウェハをウェハカセットに出し入れする状態を示す側
面図である。

【０００８】本実施例のウェハ用ピンセットは、図１、
図２に示すように、ピンセット本体１と、ピンセット本
体１によって把持されたウェハＷの周縁に沿って往復動
してウェハＷを支承することによってウェハＷの落下を
防止するようにピンセット本体１に取り付けられた略円
弧状のウェハ支承体２と、ウェハ支承体２の外周縁に形
成された歯部２Ａに噛合する歯車３と、歯車３を回転駆
動させるモータ４と、モータ４を駆動させるスイッチ５
と、スイッチ５の付勢によってモータ４に動力源を供給
する電源（電池）６とを備えて構成されている。そして
、歯車３、モータ４、電池６はピンセット本体１に形成
された収納部１Ａに収納されている。

【０００９】また、上記円弧状のウェハ支承体２は、図
３の（ａ）に示すように、先端部分に二股状に形成され
た支承部２Ｂを有している。この支承部２Ｂには、ウェ
ハＷに接触した状態でその周縁に沿ってウェハＷを傷つ
けるとなく円滑に移動するとができるようにクッション
付きの円筒部材２Ｃが回転自在に取り付けられている。 また、ウェハ支承体２の内周縁（ウェハＷに対向する側
の周縁）には、図３の（ｂ）に示すように、その周縁に
沿って溝部２Ｄが形成されている。そして、この溝部２
Ｄは軟質素材２Ｅによって被覆され、ウェハＷに接触し
てもウェハＷを傷つけないようにしてある。

【００１０】また、上記ウェハ支承体２は、図２に示す
ように、先端に接触スイッチ２Ｆを有し、この先端で障
害物を検知し、そのオン、オフ状態は接触子２Ｇ、配線
８、８を介してモータ４に伝達するようにしてある。例
えば、本ウェハ用ピンセットを用いてウェハカセット７
においてウェハＷを出し入れする場合、同図に示すよう
にその先端がウェハカセット７に接触すると接触スイッ
チ２Ｆが作動してウェハ支承体２をそれ以上移動しない
ようにして、ウェハＷの出し入れ操作を阻害しないよう
になっている。

【００１１】また、上記スイッチ５は、ピンセット本体
１でウェハＷを把持する際に、操作し易いようにピンセ
ット本体１の先端部に取り付けられている。従って、ウ
ェハＷをピンセット本体１で把持する際に、このスイッ
チ５をオンすることによってウェハＷを把持すると共に
ウェハＷをウェハ支承体２によって支承してウェハＷが
その自重による落下を防止することができる。

【００１２】以上説明したように本実施例によれば、ピ
ンセット本体１によってウェハＷを把持すると共にスイ
ッチ５を操作すると、モータ４が駆動してウェハ支承体
２をウェハＷの周縁に沿って移動させてウェハＷを支承
してその落下を防止することができ、また、ウェハＷを
把持する際に、ウェハ支承体２の先端が障害物に接触す
ると接触スイッチ７が働いてそれ以上ウェハ支承体２が
移動しないため、把持操作を阻害することがない。また
、本実施例によれば、ウェハＷが大型化、重量化しても
同様の作用効果を期することができる。

【００１３】尚、本発明のウェハ用ピンセットは、ピン
セット本体と、ピンセット本体によって把持されたウェ
ハの周縁に沿って往復動してウェハの周縁を支承してウ
ェハの落下を防止するようにピンセット本体に取り付け
られた略円弧状のウェハ支承体と、ウェハ支承体の外周
縁に形成された歯部に噛合する歯車と、歯車を回転駆動
させるモータと、モータを付勢するスイッチとを備えた
ものであれば、それらは全て本発明に包含される。

【００１４】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、大
型化、重量化したウェハであってもウェハを落下させる
ことなく確実に把持することができるウェハ用ピンセッ
トを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は本発明の一実施例の落下防止機構付きウ
ェハ用ピンセットを用いてウェハを把持した状態を示す
側面図である。

【図２】図２は図１に示す落下防止機構付きウェハ用ピ
ンセットを拡大し、ピンセット本体を破断して示す側面
図である。

【図３】図３の（ａ）、（ｂ）はそれぞれウェハ支承体
の一部を示す断面図で、（ａ）はその中間部分を示す図
、（ｂ）はその先端部分を示す図である。

【図４】図４は図１に示すウェハ支承体の先端の接触ス
イッチを示す構成図である。

【図５】図５は図１に示すウェハ用ピンセットを用いて
ウェハをウェハカセットに出し入れする状態を示す側面
図である。

【符号の説明】

１　　　　ピンセット本体 ２　　　　ウェハ支承体 ２Ａ　　歯部 ３　　　　歯車 ４　　　　モータ ５　　　　スイッチ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　ピンセット本体と、ピンセット本体に
   よって把持されたウェハの周縁に沿って往復動してウェ
   ハの周縁を支承してウェハの落下を防止するようにピン
   セット本体に取り付けられた略円弧状のウェハ支承体と
   、ウェハ支承体の外周縁に形成された歯部に噛合する歯
   車と、歯車を回転駆動させるモータと、モータを付勢す
   るスイッチとを備えたことを特徴とする落下防止機構付
   きウェハ用ピンセット。