JPH0437400B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0437400B2 JPH0437400B2 JP57116078A JP11607882A JPH0437400B2 JP H0437400 B2 JPH0437400 B2 JP H0437400B2 JP 57116078 A JP57116078 A JP 57116078A JP 11607882 A JP11607882 A JP 11607882A JP H0437400 B2 JPH0437400 B2 JP H0437400B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- degree
- tube
- beam irradiation
- acceleration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Particle Accelerators (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、電子線照射装置のエージングを行
なう電子線照射装置のエージング制御方法に関
し、電子線照射装置のエージングを自動的かつ適
確に行なえるようにすることを目的とする。
なう電子線照射装置のエージング制御方法に関
し、電子線照射装置のエージングを自動的かつ適
確に行なえるようにすることを目的とする。
従来、電子線照射装置のエージングを行なう場
合、電子線照射装置の加速管および走査管の内部
を真空にし、真空計により表示される前記両管内
の真空度を作業者が読取るとともに、読取られた
前記両管内の真空度に応じ、作業者が前記加速管
内における電子の加速電圧および電子を放出する
フイラメントの加熱電力をそれぞれ制御してエー
ジングを行なつている。
合、電子線照射装置の加速管および走査管の内部
を真空にし、真空計により表示される前記両管内
の真空度を作業者が読取るとともに、読取られた
前記両管内の真空度に応じ、作業者が前記加速管
内における電子の加速電圧および電子を放出する
フイラメントの加熱電力をそれぞれ制御してエー
ジングを行なつている。
しかし、前記の場合、エージングに１日ないし
数日の長時間を要する場合があるとともに、作業
者による真空計の表示の読取りの際に読取り誤差
が生じ易く、当該誤差により前記加速電圧等を最
適値に制御することができないという不都合が生
じる。また、作業者による真空計の表示の読取り
が常時行なわれず、ある時間ごとに行なわれるた
め、作業者が前記加速管および走査管の内部の真
空度の悪化に気づかず、加速管内で放電の発生等
のトラブルが生じることがある。
数日の長時間を要する場合があるとともに、作業
者による真空計の表示の読取りの際に読取り誤差
が生じ易く、当該誤差により前記加速電圧等を最
適値に制御することができないという不都合が生
じる。また、作業者による真空計の表示の読取り
が常時行なわれず、ある時間ごとに行なわれるた
め、作業者が前記加速管および走査管の内部の真
空度の悪化に気づかず、加速管内で放電の発生等
のトラブルが生じることがある。
この発明は、前記の点に留意してなされたもの
であり、電子線照射装置の加速管内および走査管
内を真空引きしつつ前記両管内の真空度を真空度
検出手段により検出し、 最初に前記検出手段の検出信号を加速電圧制御
系に入力して電子の加速電圧を真空度に応じて制
御し、 前記加速電圧が所定値に達した後、前記加速電
圧を一定に保持して前記検出信号を電子流制御系
に入力し、 この状態でフイラメントの加熱電力を真空度に
応じて制御し、 これにより前記フイラメントの加熱電力を最終
的な所定値に制御することを特徴とする電子線照
射装置のエージング制御方法を提供するものであ
る。
であり、電子線照射装置の加速管内および走査管
内を真空引きしつつ前記両管内の真空度を真空度
検出手段により検出し、 最初に前記検出手段の検出信号を加速電圧制御
系に入力して電子の加速電圧を真空度に応じて制
御し、 前記加速電圧が所定値に達した後、前記加速電
圧を一定に保持して前記検出信号を電子流制御系
に入力し、 この状態でフイラメントの加熱電力を真空度に
応じて制御し、 これにより前記フイラメントの加熱電力を最終
的な所定値に制御することを特徴とする電子線照
射装置のエージング制御方法を提供するものであ
る。
したがつて、この発明の電子線照射装置のエー
ジング制御方法によると、真空引きしつつ真空度
検出手段からの検出信号に基づき、電子の加速電
圧、フイラメントの加熱電力を順に所定値に制御
し、２段階制御で電子線照射装置のエージングを
行なうため、制御が簡単になり、エージングが速
やかに行なえ、かつ、自動化が図れる。
ジング制御方法によると、真空引きしつつ真空度
検出手段からの検出信号に基づき、電子の加速電
圧、フイラメントの加熱電力を順に所定値に制御
し、２段階制御で電子線照射装置のエージングを
行なうため、制御が簡単になり、エージングが速
やかに行なえ、かつ、自動化が図れる。
つぎに、この発明を、その１実施例を示した図
面とともに詳細に説明する。
面とともに詳細に説明する。
図面において、１は加熱されたフイラメントか
ら放出される電子を加速する加速管および加速電
子流を走査する走査管等からなる電子線照射装
置、２は前記加速管および走査管の真空度を検出
して検出信号を出力する真空度検出手段、３は電
圧制御信号を出力して前記加速管内に配設された
電極への印加電圧、すなわち電子の加速電圧を制
御する加速電圧制御系、４は電子流制御信号を出
力して前記フイラメントの加熱電力を制御し該フ
イラメントからの電子流を制御する電子流制御
系、５は第１、第２接点６，７がそれぞれ加速電
圧制御系３および電子流制御系４の各入力端に接
続された切換スイツチであり、切換片８が真空度
検出手段２の出力端に接続されており、真空度検
出手段２からの検出信号が切換スイツチ５を介し
て加速電圧制御系３、電子流制御系４に入力され
る。
ら放出される電子を加速する加速管および加速電
子流を走査する走査管等からなる電子線照射装
置、２は前記加速管および走査管の真空度を検出
して検出信号を出力する真空度検出手段、３は電
圧制御信号を出力して前記加速管内に配設された
電極への印加電圧、すなわち電子の加速電圧を制
御する加速電圧制御系、４は電子流制御信号を出
力して前記フイラメントの加熱電力を制御し該フ
イラメントからの電子流を制御する電子流制御
系、５は第１、第２接点６，７がそれぞれ加速電
圧制御系３および電子流制御系４の各入力端に接
続された切換スイツチであり、切換片８が真空度
検出手段２の出力端に接続されており、真空度検
出手段２からの検出信号が切換スイツチ５を介し
て加速電圧制御系３、電子流制御系４に入力され
る。
そして、電子線照射装置１のエージングを行な
う場合、真空ポンプ等により加速管および走査管
の内部の真空引きを開始し、前記両管の内部の真
空度を真空度検出手段２により検出を開始し、真
空度が定められた値より良くなつたとき、前記加
速管内の電極への電圧の印加を開始する。
う場合、真空ポンプ等により加速管および走査管
の内部の真空引きを開始し、前記両管の内部の真
空度を真空度検出手段２により検出を開始し、真
空度が定められた値より良くなつたとき、前記加
速管内の電極への電圧の印加を開始する。
すなわち、最初は切換スイツチ５の切換片８を
第１接点６に接続し、真空度検出手段２により検
出された真空度に基づいて真空度検出手段２から
出力される検出信号を、切換スイツチ５を介して
加速電圧制御系３に出力し、加速電圧制御系３に
より、前記検出信号による加速管、走査管の内部
の真空度に応じて加速管の電極への印加電圧を制
御するとともに、電源電圧の変動にも応じて前記
印加電圧を制御しつつ、前記印加電圧を所定値に
なるまで徐々に増加し、前記印加電圧が前記所定
値になつた時点で該印加電圧を一定に保持する。
第１接点６に接続し、真空度検出手段２により検
出された真空度に基づいて真空度検出手段２から
出力される検出信号を、切換スイツチ５を介して
加速電圧制御系３に出力し、加速電圧制御系３に
より、前記検出信号による加速管、走査管の内部
の真空度に応じて加速管の電極への印加電圧を制
御するとともに、電源電圧の変動にも応じて前記
印加電圧を制御しつつ、前記印加電圧を所定値に
なるまで徐々に増加し、前記印加電圧が前記所定
値になつた時点で該印加電圧を一定に保持する。
つぎに、加速管の電極への印加電圧を所定値に
保持するとともに、切換スイツチ５の切換片８を
第２接点７に接続し、真空度検出手段２からの検
出信号を、切換スイツチ５を介して電子流制御系
４に出力し、前記の加速管の電極への印加電圧の
制御と同様に、前記検出信号による加速管、走査
管の内部の真空度に応じてフイラメントの加熱電
力を所定値に制御することにより、電子線照射装
置１のエージングが完了する。
保持するとともに、切換スイツチ５の切換片８を
第２接点７に接続し、真空度検出手段２からの検
出信号を、切換スイツチ５を介して電子流制御系
４に出力し、前記の加速管の電極への印加電圧の
制御と同様に、前記検出信号による加速管、走査
管の内部の真空度に応じてフイラメントの加熱電
力を所定値に制御することにより、電子線照射装
置１のエージングが完了する。
なお、前記の加速管の電極への印加電圧および
フイラメントの加熱電力の制御は、フイラメント
の加熱電力の場合、たとえば第２図中の曲線Ａに
示すように、時間的に変化する真空度が、予め設
定されたレベルａ，ｂに対してａ以下、ａとｂと
の間、ｂ以上にあるときに、同図中の曲線Ｂに示
すように、フイラメントの加熱電力をそれぞれ増
加、保持、減少させ、所定の真空度のもとで前記
加熱電力を最終的に所定の値に制御し、かつ前記
印加電圧も同様の動作により制御する。
フイラメントの加熱電力の制御は、フイラメント
の加熱電力の場合、たとえば第２図中の曲線Ａに
示すように、時間的に変化する真空度が、予め設
定されたレベルａ，ｂに対してａ以下、ａとｂと
の間、ｂ以上にあるときに、同図中の曲線Ｂに示
すように、フイラメントの加熱電力をそれぞれ増
加、保持、減少させ、所定の真空度のもとで前記
加熱電力を最終的に所定の値に制御し、かつ前記
印加電圧も同様の動作により制御する。
したがつて、前記実施例によると、真空引きし
つつ真空度検出手段２により電子線照射装置１の
加速管、走査管の内部の真空度を検出し、最初
は、真空度検出手段２から検出信号を加速電圧制
御系３に出力し、加速管の電極への印加電圧を前
記検出信号により真空度に応じ制御して所定値に
保持したのち、この状態で切換スイツチ５を切換
えて真空度検出手段２からの検出信号を電子流制
御系４に入力し、フイラメントの加熱電力を前記
検出信号により真空度に応じて最終的な所定値に
制御することにより、電子線照射装置１のエージ
ングを２段階制御で自動的に行なうことができ、
従来のように、作業者が常に待機する必要もな
く、簡単な制御でエージングを速やかに行なうこ
とができる。
つつ真空度検出手段２により電子線照射装置１の
加速管、走査管の内部の真空度を検出し、最初
は、真空度検出手段２から検出信号を加速電圧制
御系３に出力し、加速管の電極への印加電圧を前
記検出信号により真空度に応じ制御して所定値に
保持したのち、この状態で切換スイツチ５を切換
えて真空度検出手段２からの検出信号を電子流制
御系４に入力し、フイラメントの加熱電力を前記
検出信号により真空度に応じて最終的な所定値に
制御することにより、電子線照射装置１のエージ
ングを２段階制御で自動的に行なうことができ、
従来のように、作業者が常に待機する必要もな
く、簡単な制御でエージングを速やかに行なうこ
とができる。
なお、真空度の変化率を加味して前記制御を行
なうようにしてもよい。
なうようにしてもよい。
図面は、この発明の電子線照射装置のエージン
グ制御方法の１実施例を示し、第１図はブロツク
構成図、第２図はエージング制御におけるフイラ
メントの加熱電力および真空度と時間との関係図
である。 １…電子線照射装置、２…真空度検出手段、３
…加速電圧制御系、４…電子流制御系。
グ制御方法の１実施例を示し、第１図はブロツク
構成図、第２図はエージング制御におけるフイラ
メントの加熱電力および真空度と時間との関係図
である。 １…電子線照射装置、２…真空度検出手段、３
…加速電圧制御系、４…電子流制御系。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 電子線照射装置の加速管内および走査管内を
真空引きしつつ前記両管内の真空度を真空度検出
手段により検出し、 最初に前記検出手段の検出信号を加速電圧制御
系に入力して電子の加速電圧を真空度に応じて制
御し、 前記加速電圧が所定値に達した後、前記加速電
圧を一定に保持して前記検出信号を電子流制御系
に入力し、 この状態でフイラメントの加熱電力を真空度に
応じて制御し、 これにより前記フイラメントの加熱電力を最終
的な所定値に制御する ことを特徴とする電子線照射装置のエージング制
御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57116078A JPS596000A (ja) | 1982-07-02 | 1982-07-02 | 電子線照射装置のエ−ジング制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57116078A JPS596000A (ja) | 1982-07-02 | 1982-07-02 | 電子線照射装置のエ−ジング制御方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS596000A JPS596000A (ja) | 1984-01-12 |
| JPH0437400B2 true JPH0437400B2 (ja) | 1992-06-19 |
Family
ID=14678161
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57116078A Granted JPS596000A (ja) | 1982-07-02 | 1982-07-02 | 電子線照射装置のエ−ジング制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS596000A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013235706A (ja) * | 2012-05-08 | 2013-11-21 | Toshiba Corp | 加速器の制御装置およびその制御方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5737875Y2 (ja) * | 1977-01-27 | 1982-08-20 |
-
1982
- 1982-07-02 JP JP57116078A patent/JPS596000A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS596000A (ja) | 1984-01-12 |
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