JPS596000A - 電子線照射装置のエ−ジング制御方法 - Google Patents
電子線照射装置のエ−ジング制御方法Info
- Publication number
- JPS596000A JPS596000A JP57116078A JP11607882A JPS596000A JP S596000 A JPS596000 A JP S596000A JP 57116078 A JP57116078 A JP 57116078A JP 11607882 A JP11607882 A JP 11607882A JP S596000 A JPS596000 A JP S596000A
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- beam irradiation
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- 230000032683 aging Effects 0.000 title claims description 11
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- 238000001125 extrusion Methods 0.000 claims 1
- 210000003127 knee Anatomy 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 240000007594 Oryza sativa Species 0.000 description 1
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Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Particle Accelerators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発り１は、電子線照射装置のエージングを行なう電
子線照射装置のエージング制御力法に関し、電子線照射
装置ｄのエージング全自動的かつ適確に行なえるように
するこさをｌ」的とする。
子線照射装置のエージング制御力法に関し、電子線照射
装置ｄのエージング全自動的かつ適確に行なえるように
するこさをｌ」的とする。
従来、電子線照射装置ハ′のニー／ノブを行なう場合、
゛重子線照射装置１’−＜の加速管および走査管の内部
を真空にし、真草側Ｖこより表示される前記両管内の真
空度を作業者が読ＩＩ！るとともに、読１１ヌられた前
記両管内の真空度に応じ、作業者が前記加速管内におけ
る電子の加速゛電圧および電子を放出するフィラメント
の加熱゛電力をそねぞれ制御Ｉ−てエージングを行なっ
ている。
゛重子線照射装置１’−＜の加速管および走査管の内部
を真空にし、真草側Ｖこより表示される前記両管内の真
空度を作業者が読ＩＩ！るとともに、読１１ヌられた前
記両管内の真空度に応じ、作業者が前記加速管内におけ
る電子の加速゛電圧および電子を放出するフィラメント
の加熱゛電力をそねぞれ制御Ｉ−てエージングを行なっ
ている。
しかし、前記の場合、エージングに１日ないし数日の長
時間を要する場合があるとおもに、作業者による真空計
の表示の碑石りの際に読１しり誤差が生じ易く、当該誤
差により前記加速゛電圧等を最適１：ｎにｉ１１制御す
ることができないという不都合が生じる。捷た、作業者
による真空計の表示の胱１１ヌりが常時性なわれず、あ
る時間ごとに行々われるため、作米者が前記加速管およ
び走査管の内部の真空度の低下に気つかず、加速管内で
放電の定生等のトラブルが生じることかある。
時間を要する場合があるとおもに、作業者による真空計
の表示の碑石りの際に読１しり誤差が生じ易く、当該誤
差により前記加速゛電圧等を最適１：ｎにｉ１１制御す
ることができないという不都合が生じる。捷た、作業者
による真空計の表示の胱１１ヌりが常時性なわれず、あ
る時間ごとに行々われるため、作米者が前記加速管およ
び走査管の内部の真空度の低下に気つかず、加速管内で
放電の定生等のトラブルが生じることかある。
この発明は、＠記の点に留意してなされたものであり、
宙ｒ−線照射装置１゛ｑの加速管内および走査管内の貞
ソ、’ＩＪ ｌｊ：ｉ−を真空度４φ出手段Ｑτより検
出して検出信号を出力し７、’ｌ’ｌ Ｎ（２４φ出信
号を加速電圧制御系に入力して電ｒの加速電圧を制御す
るとともに、前記硬出１舊号を電イ流制側ｉ系に人力し
てフィラメントの加〃（電力を制＋＋ｌｉｌすることを
特徴とする電子線照射４ζ首のエージング制御力法を提
供するものである。
宙ｒ−線照射装置１゛ｑの加速管内および走査管内の貞
ソ、’ＩＪ ｌｊ：ｉ−を真空度４φ出手段Ｑτより検
出して検出信号を出力し７、’ｌ’ｌ Ｎ（２４φ出信
号を加速電圧制御系に入力して電ｒの加速電圧を制御す
るとともに、前記硬出１舊号を電イ流制側ｉ系に人力し
てフィラメントの加〃（電力を制＋＋ｌｉｌすることを
特徴とする電子線照射４ζ首のエージング制御力法を提
供するものである。
１−たがって、この１ｔ１叫の電子線照射装置のエージ
ング制御力法ＶＣよると、真空度検出手段からの検出信
刊を加速電圧器ｎＬｌｌ糸および電子流器側１系に入力
しで゛電子の加速電圧およびフイラメン；・の加熱電力
を制御するこさにより、電子線照射装置のエージングを
自動的かつ適確に行なうことができる。
ング制御力法ＶＣよると、真空度検出手段からの検出信
刊を加速電圧器ｎＬｌｌ糸および電子流器側１系に入力
しで゛電子の加速電圧およびフイラメン；・の加熱電力
を制御するこさにより、電子線照射装置のエージングを
自動的かつ適確に行なうことができる。
つぎＶＣｌこの一定１町を、その１実施例を示した図面
とともに詳卸１にη）１．１利する。
とともに詳卸１にη）１．１利する。
図面において、（１」は加熱されたフィラメントから放
出さねる′電子を加速する加速管および加速電子流を定
食する走査管等からなる電子線照射装置、ｔ２Ｊ ｋ：
Ｊ’ ＠記加速′Ｈおよび走査管の真空度を使用して横
１」４信号を１４４力する真空度検出手段、（３）は宙
圧制碑信号を出力して前記加速管内に配設さＩｔた電極
への印加電圧、すなわち電子の加速″電圧を制御する加
速′市Ｖ七制薗系、（４）は゛電子漆制御信号を出力１
−で前記フィラメントの加〃（電力を制御し該フィラメ
ントからの電子ｆＭを器側ｊする電子流制御系、（５）
１は第１．第２接点（＋＋＋ 、 （７）がそれぞれ加
速′重圧制御系１３）および電子流制御系（４）の各入
力端に接続さねた切換スイッチであり、切換片（８）が
真空度検出手段ｔｚｌの出力端に接続さねており、真空
度４φ出手段−２）からの検出信号が切換スイッチ（５
）を介して加速電圧制御系１：（Ｊ ｌ電子流制御系（
４）に入力される。
出さねる′電子を加速する加速管および加速電子流を定
食する走査管等からなる電子線照射装置、ｔ２Ｊ ｋ：
Ｊ’ ＠記加速′Ｈおよび走査管の真空度を使用して横
１」４信号を１４４力する真空度検出手段、（３）は宙
圧制碑信号を出力して前記加速管内に配設さＩｔた電極
への印加電圧、すなわち電子の加速″電圧を制御する加
速′市Ｖ七制薗系、（４）は゛電子漆制御信号を出力１
−で前記フィラメントの加〃（電力を制御し該フィラメ
ントからの電子ｆＭを器側ｊする電子流制御系、（５）
１は第１．第２接点（＋＋＋ 、 （７）がそれぞれ加
速′重圧制御系１３）および電子流制御系（４）の各入
力端に接続さねた切換スイッチであり、切換片（８）が
真空度検出手段ｔｚｌの出力端に接続さねており、真空
度４φ出手段−２）からの検出信号が切換スイッチ（５
）を介して加速電圧制御系１：（Ｊ ｌ電子流制御系（
４）に入力される。
そして、電子線照射装置（υのエージングを行なう場会
、真空ポンプ等により加速管および定食管の内部の空気
圧の低減を開始し、前記両管の内部の真空度を真空度検
出手段（２）により検出を開始し、真空度が定められた
狛より良くなったとき、前記加１ボ管内の電極への電圧
の印加を開始する。このとき、前記加速管内の電極への
電圧の印加開始直後ｄ、加速′α、走査管の内壁に付着
したガスが前記管内に放出さねるため、前記両管内の真
空度が一時低下することがあり、前記真空度の上昇率は
低い。
、真空ポンプ等により加速管および定食管の内部の空気
圧の低減を開始し、前記両管の内部の真空度を真空度検
出手段（２）により検出を開始し、真空度が定められた
狛より良くなったとき、前記加１ボ管内の電極への電圧
の印加を開始する。このとき、前記加速管内の電極への
電圧の印加開始直後ｄ、加速′α、走査管の内壁に付着
したガスが前記管内に放出さねるため、前記両管内の真
空度が一時低下することがあり、前記真空度の上昇率は
低い。
さらに、切萌スイッチ（５）の切換片（３）を第１接点
＋ｆｉｌに恢続［−７，真空度検出手段（２〕により検
出されたに輩度に基ついて員を度検出手段（２）から出
力される検出信号を、り換スイッチ（５）を介して加速
型圧制ｉｌｊ糸＋３）に出力１２、加速電圧制御系（３
）により、前記検出信号による加速管、走査管の内部の
真空度に応じて加速管の′電極への印加電圧を制御する
さともに、電源電圧の変動にも応じて前記印加電圧を制
御１〜つつ、前記印加電圧を所定値になるまで休々に増
加し、前記印加電圧が前記所定値になった時点で該印加
電圧を一定に保持する。
＋ｆｉｌに恢続［−７，真空度検出手段（２〕により検
出されたに輩度に基ついて員を度検出手段（２）から出
力される検出信号を、り換スイッチ（５）を介して加速
型圧制ｉｌｊ糸＋３）に出力１２、加速電圧制御系（３
）により、前記検出信号による加速管、走査管の内部の
真空度に応じて加速管の′電極への印加電圧を制御する
さともに、電源電圧の変動にも応じて前記印加電圧を制
御１〜つつ、前記印加電圧を所定値になるまで休々に増
加し、前記印加電圧が前記所定値になった時点で該印加
電圧を一定に保持する。
つぎに、ＩＪ＋＋速管の’？Ｉ’ｆ極への印加電圧を所
定値に保持する古ともに、切換スイッチ（５）の切換片
（８）を第２接点（７）Ｋ接続Ｌ 、真空度検出手段（
２］からの検ｆｔｌ信号を、切換スイッチ（５）を介し
て電子流制御系：４）に出力し、６り記の加速管の電極
への印加電圧の制御と同様に、前ｉＵ２横川横骨信号る
加速管、走査管の内部の真空度に応じてフィラメントの
加熱電力を所定ｎ＋４ＶＣ制御することにより、電子線
照射装置（υのニー／フグが完ｒする。
定値に保持する古ともに、切換スイッチ（５）の切換片
（８）を第２接点（７）Ｋ接続Ｌ 、真空度検出手段（
２］からの検ｆｔｌ信号を、切換スイッチ（５）を介し
て電子流制御系：４）に出力し、６り記の加速管の電極
への印加電圧の制御と同様に、前ｉＵ２横川横骨信号る
加速管、走査管の内部の真空度に応じてフィラメントの
加熱電力を所定ｎ＋４ＶＣ制御することにより、電子線
照射装置（υのニー／フグが完ｒする。
なお、前記の加速管の電極への印加電圧お」：びフィラ
メントの加熱電力の制御は、フィラメントの加熱電力の
ｉｌ制御の場合、たとえば第２図中の曲線Ａ［示すよう
に、時間的に変化する真空度が、予め設定されたレベル
ａ、ｈに対してｉＬ以下＋ １１と１〕すの１川、１）
以上にあるさきに、同図中の曲線Ｂに示すように、フィ
ラメントの加熱電力をそ力。
メントの加熱電力の制御は、フィラメントの加熱電力の
ｉｌ制御の場合、たとえば第２図中の曲線Ａ［示すよう
に、時間的に変化する真空度が、予め設定されたレベル
ａ、ｈに対してｉＬ以下＋ １１と１〕すの１川、１）
以上にあるさきに、同図中の曲線Ｂに示すように、フィ
ラメントの加熱電力をそ力。
ぞれ増加１保持、減少させ、所定の真空度のもとて前記
加熱゛出力を最終的に所定の値に制御ｉ−１かつ前記印
加電圧も同様の動作により制御する。
加熱゛出力を最終的に所定の値に制御ｉ−１かつ前記印
加電圧も同様の動作により制御する。
したがって、前記実施例によると、真空度検出手段（２
）により電子線照射装ｗ（１）の加速管、走査管の内部
の真空度を１會出するとともに、真空度検出手段（２］
から４チ出信号を加速電圧制御系（３）に出力し、力ロ
速青の電極への印加電圧を前記検出信号に応じ制御して
所定値に保持したのち、切換スイッチ（５）を切候えて
直空１！’！Ｊ 、１分出手段（２）からの検出信号を
電子Ｒｅ １ｌｉｌｌ ｊｉｌｌｌ糸（４）に入力（７
、フィラメントの加熱゛心力を前記Ａ４Ｒ出１バ号に応
、してｆｌ制御することにより、電子線照射装置’？＋
］）のニージンクをＩ」動的に行なうことができ、従来
のように、作業者が常に待機する必要もなく、ニージン
クを適蒲′に行なうことができる。
）により電子線照射装ｗ（１）の加速管、走査管の内部
の真空度を１會出するとともに、真空度検出手段（２］
から４チ出信号を加速電圧制御系（３）に出力し、力ロ
速青の電極への印加電圧を前記検出信号に応じ制御して
所定値に保持したのち、切換スイッチ（５）を切候えて
直空１！’！Ｊ 、１分出手段（２）からの検出信号を
電子Ｒｅ １ｌｉｌｌ ｊｉｌｌｌ糸（４）に入力（７
、フィラメントの加熱゛心力を前記Ａ４Ｒ出１バ号に応
、してｆｌ制御することにより、電子線照射装置’？＋
］）のニージンクをＩ」動的に行なうことができ、従来
のように、作業者が常に待機する必要もなく、ニージン
クを適蒲′に行なうことができる。
なお、真空度の変化率を加味ｌ〜でｉ′ｌＩ記制御全制
御うようにしてもよい。
御うようにしてもよい。
４ 図面の１Ｍ雫々説’！ｌＪ
図面に、この発り１の電子線照射装置のエージング器側
１力法の１実施例を示し、第１図はブロック構成図、躬
２図はエーンング制側１におけるフィラメントの加〃（
′重力および真空度と時間との関係図である。
１力法の１実施例を示し、第１図はブロック構成図、躬
２図はエーンング制側１におけるフィラメントの加〃（
′重力および真空度と時間との関係図である。
（１〕・・・電子線照射装置ｄ、（２）・・・真空度検
出手段、１３）・・・加速電圧制御系、（４）・・・電
子流制御系。
出手段、１３）・・・加速電圧制御系、（４）・・・電
子流制御系。
代理人 弁カ１１士 藤田龍太部
第１図
第２図
時Ｍ−
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ■ ′電子線照射装藺゛のＪＪＩＩ ；里管内および赤
青管内の真空度を真空度梗１」１手段により便用（−て
硬出信号を出力し、前記＝１４ｊ） ＩＪｊ信号を加速
゛目イ圧制御系に入力して゛電子の力［１速゛市川を制
御すると吉もに、ｉｌｌ配検出イを号を電子ｍ Ｍｊ制
御糸に入力して）１ラメントの加熱電力を１ｆｆｌｌ側
ｊすることを特徴とする電子線照射装置４のエージング
曲制御力法。 （２） 真空ｊＷ傅出手段の使用信号を加速電圧制御
系に入力して加速重圧を所定歯に制御したのち、前記・
助出信号を電子流制御系に入力して電子流を所定イ１ａ
に制御することを特徴とする″電子線照射装置のエージ
ング匍［徊ｊ）ｊ法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57116078A JPS596000A (ja) | 1982-07-02 | 1982-07-02 | 電子線照射装置のエ−ジング制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57116078A JPS596000A (ja) | 1982-07-02 | 1982-07-02 | 電子線照射装置のエ−ジング制御方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS596000A true JPS596000A (ja) | 1984-01-12 |
| JPH0437400B2 JPH0437400B2 (ja) | 1992-06-19 |
Family
ID=14678161
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57116078A Granted JPS596000A (ja) | 1982-07-02 | 1982-07-02 | 電子線照射装置のエ−ジング制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS596000A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013235706A (ja) * | 2012-05-08 | 2013-11-21 | Toshiba Corp | 加速器の制御装置およびその制御方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53103995U (ja) * | 1977-01-27 | 1978-08-22 |
-
1982
- 1982-07-02 JP JP57116078A patent/JPS596000A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53103995U (ja) * | 1977-01-27 | 1978-08-22 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013235706A (ja) * | 2012-05-08 | 2013-11-21 | Toshiba Corp | 加速器の制御装置およびその制御方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0437400B2 (ja) | 1992-06-19 |
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