JPH0437624A - 光ファイバ用多孔質母材の製造装置 - Google Patents
光ファイバ用多孔質母材の製造装置Info
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- JPH0437624A JPH0437624A JP14243490A JP14243490A JPH0437624A JP H0437624 A JPH0437624 A JP H0437624A JP 14243490 A JP14243490 A JP 14243490A JP 14243490 A JP14243490 A JP 14243490A JP H0437624 A JPH0437624 A JP H0437624A
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
- C03B37/0142—Reactant deposition burners
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、光ファイバ用多孔質母材の製造装置に関する
ものである。
ものである。
［従来の技術］
光ファイバ用多孔質母材を外付は法で製造する場合には
、５ｉＣＪ２４からなる原料ガスを酸水素バーナに送り
、該バーナから出る酸水素火炎中で、該酸水素火炎の水
分と５ＩＣＪ２４とを５ｉＣｊ２４工２Ｈ２０→Ｓ ｉ
ｏ２＋４ＨＣβのように加水分解反応させて５ｉｎ２を
主体とする微粒子を形成し、該微粒子を回転中の種棒の
外周に付着することにより行なっていた。
、５ｉＣＪ２４からなる原料ガスを酸水素バーナに送り
、該バーナから出る酸水素火炎中で、該酸水素火炎の水
分と５ＩＣＪ２４とを５ｉＣｊ２４工２Ｈ２０→Ｓ ｉ
ｏ２＋４ＨＣβのように加水分解反応させて５ｉｎ２を
主体とする微粒子を形成し、該微粒子を回転中の種棒の
外周に付着することにより行なっていた。
この工程の５１０２の付着収率は２０〜４０％であり、
付着速度は５〜ｊＯｇ／ｍｌｎである。微粒子の付着が
進み、光ファイバ用多孔質母材の径が大きくなると、付
着収率も付着速度も大きくなる。最終の光ファイバ用多
孔質母材の重量は例えば４〜５眩であり、外径は５０〜
８０ｍｍになる。種棒側；二付着されなかったＳｉＯ２
及びＨＣｌ２は排気され、スクラバーにより処理される
。しかし、５ｌｏ２等の排出物の処理量が多いと、これ
を処理するコストも高く付くので、収率の向上が望まれ
ている。
付着速度は５〜ｊＯｇ／ｍｌｎである。微粒子の付着が
進み、光ファイバ用多孔質母材の径が大きくなると、付
着収率も付着速度も大きくなる。最終の光ファイバ用多
孔質母材の重量は例えば４〜５眩であり、外径は５０〜
８０ｍｍになる。種棒側；二付着されなかったＳｉＯ２
及びＨＣｌ２は排気され、スクラバーにより処理される
。しかし、５ｌｏ２等の排出物の処理量が多いと、これ
を処理するコストも高く付くので、収率の向上が望まれ
ている。
そこで、直流高電圧の印加によりガス流を負イオンに帯
電させ、この負イオンガスを種棒又は光ファイバ用多孔
質母材の表面に吹き付けることにより該種棒又は光ファ
イバ母材を負に帯電させ、微粒子を電位差を利用して該
種棒又は光ファイバ用多孔質母材の表面に付着させる光
ファイバ用多孔質母材の製造装置が提案されている（特
開昭５８−２１７４４７号）。
電させ、この負イオンガスを種棒又は光ファイバ用多孔
質母材の表面に吹き付けることにより該種棒又は光ファ
イバ母材を負に帯電させ、微粒子を電位差を利用して該
種棒又は光ファイバ用多孔質母材の表面に付着させる光
ファイバ用多孔質母材の製造装置が提案されている（特
開昭５８−２１７４４７号）。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、このような従来の光ファイバ用多孔質母
材の製造装置では、負イオンガスを光ファイバ用多孔質
母材に吹き付けるので、該光ファイバ用多孔質母材の表
面が壊されたり、或いは該表面の堆積雰囲気が乱された
りして、微粒子を種棒の長手方向にほぼ均一に付着させ
ることか難しい問題点があった。
材の製造装置では、負イオンガスを光ファイバ用多孔質
母材に吹き付けるので、該光ファイバ用多孔質母材の表
面が壊されたり、或いは該表面の堆積雰囲気が乱された
りして、微粒子を種棒の長手方向にほぼ均一に付着させ
ることか難しい問題点があった。
本発明の目的は、微粒子を効率よく、かつ種棒の長手方
向にほぼ均一に付着させることを容易に行なうことがで
きる光ファイバ用多孔質母材の製造装置を提供すること
にある。
向にほぼ均一に付着させることを容易に行なうことがで
きる光ファイバ用多孔質母材の製造装置を提供すること
にある。
［課題を解決するための手段］
上記の目的を達成するための本発明の詳細な説明すると
、次の通りである。
、次の通りである。
請求項（１）に記載の本発明は、バーナの火炎中に原料
ガスを供給して形成したＳｉＯ２を主体とする微粒子を
種棒に付着させて光ファイバ用多孔質母材を製造する光
ファイバ用多孔質母材の製造装置において、 前記微粒子を正、負いずれかの極性に帯電させる微粒子
帯電器が設けられていることを特徴とする 請求項（２）に記載の発明は、バーナの火炎中に原料ガ
スを供給して形成したＳｉＯ２を主体とする微粒子を種
棒に付着させて光ファイバ用多孔質母材を製造する光フ
ァイバ用多孔質母材の製造装置において、 前記種棒又は前記光ファイバ用多孔質母材を正。
ガスを供給して形成したＳｉＯ２を主体とする微粒子を
種棒に付着させて光ファイバ用多孔質母材を製造する光
ファイバ用多孔質母材の製造装置において、 前記微粒子を正、負いずれかの極性に帯電させる微粒子
帯電器が設けられていることを特徴とする 請求項（２）に記載の発明は、バーナの火炎中に原料ガ
スを供給して形成したＳｉＯ２を主体とする微粒子を種
棒に付着させて光ファイバ用多孔質母材を製造する光フ
ァイバ用多孔質母材の製造装置において、 前記種棒又は前記光ファイバ用多孔質母材を正。
負いずれかの極性に帯電させる種棒・母材帯電器が設け
られていることを特徴とする。
られていることを特徴とする。
［作用］
請求項（１）のように微粒子自身を微粒子帯電器で正、
負いずれかに帯電させるか、又は請求項（２）のように
種棒又は光ファイバ用多孔質母材を種棒・母材帯電器で
正、負いずれかに帯電させると、効率よく該微粒子を種
棒側に付着させることができる。また、このような装置
によれば、イオンガスを吹き付ける必要がなくなり、従
って光ファイバ用多孔質母材の表面か壊されたり、該表
面の堆積雰囲気が乱されたすせず、該微粒子を種棒の長
手方向に容易にほぼ均一に付着させることができる。
負いずれかに帯電させるか、又は請求項（２）のように
種棒又は光ファイバ用多孔質母材を種棒・母材帯電器で
正、負いずれかに帯電させると、効率よく該微粒子を種
棒側に付着させることができる。また、このような装置
によれば、イオンガスを吹き付ける必要がなくなり、従
って光ファイバ用多孔質母材の表面か壊されたり、該表
面の堆積雰囲気が乱されたすせず、該微粒子を種棒の長
手方向に容易にほぼ均一に付着させることができる。
［実施例］
以下、本発明の実施例を図面を参照して詳細に説明する
。
。
第１図は、本発明に係る光ファイバ用多孔質母材の製造
装置の第１実施例を示したものである。
装置の第１実施例を示したものである。
本実施例の装置は、図示しない回転・移動手段により回
転されつつ長手方向に移動されるガラス製の種棒１を備
え、該種棒１に対向する位置には酸水素バーナ２か配置
されている。該酸水素バーナ２からは、酸水素火炎３か
発生するようになっている。該酸水素バーナ２に送り込
まれた原料ガスか酸水素火炎３で加水分解されて種棒１
の外周には、光ファイバ用多孔質母材４が形成されるよ
うになっている。一部のみしか図示しないか、光ファイ
バ用多孔質母材４は容器５内に収容されるようになって
いる。該容器５には、バーナ２に対向して排気口６か設
けられている。バーナ２から発生する火炎３に対向する
位置には、該火炎３で形成されたＳｉｎ、を主体とする
微粒子を一方の極性に帯電させる微粒子帯電器７が配置
されている。
転されつつ長手方向に移動されるガラス製の種棒１を備
え、該種棒１に対向する位置には酸水素バーナ２か配置
されている。該酸水素バーナ２からは、酸水素火炎３か
発生するようになっている。該酸水素バーナ２に送り込
まれた原料ガスか酸水素火炎３で加水分解されて種棒１
の外周には、光ファイバ用多孔質母材４が形成されるよ
うになっている。一部のみしか図示しないか、光ファイ
バ用多孔質母材４は容器５内に収容されるようになって
いる。該容器５には、バーナ２に対向して排気口６か設
けられている。バーナ２から発生する火炎３に対向する
位置には、該火炎３で形成されたＳｉｎ、を主体とする
微粒子を一方の極性に帯電させる微粒子帯電器７が配置
されている。
光ファイバ用多孔質母材４の両端側で種棒１又は光ファ
イバ用多孔質母材４に対向する位置には、該種棒１又は
光ファイバ用多孔質母材４を前述した微粒子の極性とは
逆の極性に帯電させる種棒・母材帯電器８かそれぞれ配
置されている。また、これら帯電器８に隣接した位置に
は、種棒１又は光ファイバ用多孔質母材４の帯電量を測
定するセンサ９がそれぞれ配置されている。
イバ用多孔質母材４に対向する位置には、該種棒１又は
光ファイバ用多孔質母材４を前述した微粒子の極性とは
逆の極性に帯電させる種棒・母材帯電器８かそれぞれ配
置されている。また、これら帯電器８に隣接した位置に
は、種棒１又は光ファイバ用多孔質母材４の帯電量を測
定するセンサ９がそれぞれ配置されている。
第２図及び第３図は、各帯電器７，８の具体例を示した
ものである。該帯電器７．８は、いずれも同一の構造と
なっている。即ち、該帯電器７゜８は、帯電させるべき
対象物を間にして対向配置された第１．第２の交流コロ
ナ発生器１０．１１を有する。これら第１．第２の交流
コロナ発生器１０．１１は、セラミック等の絶縁体１２
．１３に内蔵された内部電極１４．１５と、該絶縁体１
２．１３の表面に設けられた複数条の外部電極１６．１
７と、該内部電極１４．１５と外部電極１６．１７との
間に交流電圧を印加して交流コロナを発生させる交流コ
ロナ発生交流電源１８．１９とを備えて構成されている
。これら第１．第２の交流コロナ発生器１０．１１の外
部電極１６．１７には、これら外部電極１６．１７に正
、負いずれか一方の極性の矩形パルス電圧を交互に印加
して該第１．第２の交流コロナ発生器１０．１１の一方
から他方へ、次に他方から一方へ前記一方の極性のイオ
ンを交互に逆向きに帯電対象物を横切って移動させる制
御を行なうイオン引出し用パルス発生器２０が接続され
ている。
ものである。該帯電器７．８は、いずれも同一の構造と
なっている。即ち、該帯電器７゜８は、帯電させるべき
対象物を間にして対向配置された第１．第２の交流コロ
ナ発生器１０．１１を有する。これら第１．第２の交流
コロナ発生器１０．１１は、セラミック等の絶縁体１２
．１３に内蔵された内部電極１４．１５と、該絶縁体１
２．１３の表面に設けられた複数条の外部電極１６．１
７と、該内部電極１４．１５と外部電極１６．１７との
間に交流電圧を印加して交流コロナを発生させる交流コ
ロナ発生交流電源１８．１９とを備えて構成されている
。これら第１．第２の交流コロナ発生器１０．１１の外
部電極１６．１７には、これら外部電極１６．１７に正
、負いずれか一方の極性の矩形パルス電圧を交互に印加
して該第１．第２の交流コロナ発生器１０．１１の一方
から他方へ、次に他方から一方へ前記一方の極性のイオ
ンを交互に逆向きに帯電対象物を横切って移動させる制
御を行なうイオン引出し用パルス発生器２０が接続され
ている。
次に、このような装置による光ファイバ用多孔質母材４
の形成について説明する。
の形成について説明する。
微粒子帯電器７では、第１．第２の交流コロナ発生器１
０．１１の内部電極１４．１５と外部電極１６．１７と
の間に、例えば１ＯＫＨｚの交流電圧を印加してそれぞ
れ交流コロナを発生させる。かかる状態で、該第１．第
２の交流コロナ発生器１０．１１の外部電極１６．１７
には、例えば２００Ｈ２の周波数で正の矩形パルスを交
互に印加する。
０．１１の内部電極１４．１５と外部電極１６．１７と
の間に、例えば１ＯＫＨｚの交流電圧を印加してそれぞ
れ交流コロナを発生させる。かかる状態で、該第１．第
２の交流コロナ発生器１０．１１の外部電極１６．１７
には、例えば２００Ｈ２の周波数で正の矩形パルスを交
互に印加する。
このようにすると、負イオンが第１の交流コロナ発生器
１０から第２の交流コロナ発生器１１へ、次に該第２の
交流コロナ発生器１１から第１の交流コロナ発生器１０
へ交互に逆向きに酸水素火炎３を横切って移動する。こ
の負イオンの移動により、ＳｉＯ□を主体とする微粒子
を負に帯電させる。
１０から第２の交流コロナ発生器１１へ、次に該第２の
交流コロナ発生器１１から第１の交流コロナ発生器１０
へ交互に逆向きに酸水素火炎３を横切って移動する。こ
の負イオンの移動により、ＳｉＯ□を主体とする微粒子
を負に帯電させる。
同様にして、種棒・母材帯電器８の第１．第２の交流コ
ロナ発生器１０．１１間には正イオンを交互に逆向きに
種棒１又は光ファイバ用多孔質母材４を横切って移動さ
せ、これにより該種棒１又は光ファイバ用多孔質母材４
を正に帯電させる。
ロナ発生器１０．１１間には正イオンを交互に逆向きに
種棒１又は光ファイバ用多孔質母材４を横切って移動さ
せ、これにより該種棒１又は光ファイバ用多孔質母材４
を正に帯電させる。
このように微粒子を負に帯電させ、種棒１又は光ファイ
バ用多孔質母材４を正に帯電させると、効率よく微粒子
を種棒１側に付着させることができる。微粒子の付着収
率は、従来２０〜４０％であったか、本発明によれば７
０〜９０％になった。一方、微粒子の付着速度は、従来
５〜ｌＯｇ／ｍｉｎであったか、本発明では２０〜３０
ｇ／ｎ＋ｉｎとなった。また、本発明では光ファイバ用
多孔質母材４にイオンガスを吹き付けることをしないの
で、光ファイバ用多孔質母材４の表面が壊されたり、或
いは該表面の堆積雰囲気か乱されたすせず、長手方向に
ほぼ均一な微粒子の付着を容易に行なわせることができ
る。
バ用多孔質母材４を正に帯電させると、効率よく微粒子
を種棒１側に付着させることができる。微粒子の付着収
率は、従来２０〜４０％であったか、本発明によれば７
０〜９０％になった。一方、微粒子の付着速度は、従来
５〜ｌＯｇ／ｍｉｎであったか、本発明では２０〜３０
ｇ／ｎ＋ｉｎとなった。また、本発明では光ファイバ用
多孔質母材４にイオンガスを吹き付けることをしないの
で、光ファイバ用多孔質母材４の表面が壊されたり、或
いは該表面の堆積雰囲気か乱されたすせず、長手方向に
ほぼ均一な微粒子の付着を容易に行なわせることができ
る。
光ファイバ用多孔質母材４の表面に微粒子が付着すると
、該光ファイバ用多孔質母材４上で正。
、該光ファイバ用多孔質母材４上で正。
負の電荷が打消しあって零電位になる。該光ファイバ用
多孔質母材４上の帯電量は、センサ９で測定し、その測
定値に応じてイオンパルス引出し用パルス発生器２０か
らのパルス電圧を変えることにより、該光ファイバ用多
孔質母材４上の帯電量を調整する。このように光ファイ
バ用多孔質母材４上の帯電量を調整すると、帯電によっ
て該光ファイバ用多孔質母材４か崩れることを防止でき
る。
多孔質母材４上の帯電量は、センサ９で測定し、その測
定値に応じてイオンパルス引出し用パルス発生器２０か
らのパルス電圧を変えることにより、該光ファイバ用多
孔質母材４上の帯電量を調整する。このように光ファイ
バ用多孔質母材４上の帯電量を調整すると、帯電によっ
て該光ファイバ用多孔質母材４か崩れることを防止でき
る。
本実施例の帯電器７，８を用いると、パルス電圧の調整
により容易に帯電量の調整を行なうことができる。
により容易に帯電量の調整を行なうことができる。
光ファイバ用多孔質母材４の形成終了後は、該多孔質母
材４が帯電していると、容器５の外に取り出したとき大
気中の微粒子等が付着するので、これを防止するため除
電器を用いて容器５内の該多孔質母材４の帯電量を零に
し、しかる後、該多孔質母材４を容器５の外に取り出す
のが好ましい。
材４が帯電していると、容器５の外に取り出したとき大
気中の微粒子等が付着するので、これを防止するため除
電器を用いて容器５内の該多孔質母材４の帯電量を零に
し、しかる後、該多孔質母材４を容器５の外に取り出す
のが好ましい。
帯電量が零になったか否かは、センサ９で検出できる。
実験例
種棒の回転数＝１００〜２０Ｏｒｐｍ
種棒の往復速度＝２０〜３０ｃｍ／ｍｉｎ多孔質母材の
長さニア００〜１１０００Ｉｎ多孔質母材の最終外径ニ
ア０〜１００［［［ｍ第４図は、本発明に係る光ファイ
バ用多孔質母材の製造装置の第２実施例を示したもので
ある。
長さニア００〜１１０００Ｉｎ多孔質母材の最終外径ニ
ア０〜１００［［［ｍ第４図は、本発明に係る光ファイ
バ用多孔質母材の製造装置の第２実施例を示したもので
ある。
本実施例では、バーナ２からの微粒子が付着する種棒１
又は光ファイバ用多孔質母材４の位置に対応させて種棒
・母材帯電器８を配置した例を示したものである。
又は光ファイバ用多孔質母材４の位置に対応させて種棒
・母材帯電器８を配置した例を示したものである。
このようにすると、より効率よく微粒子を種棒１又は光
ファイバ用多孔質母材４に付着させることができる。
ファイバ用多孔質母材４に付着させることができる。
なお、図示しないが交流コロナ発生器１０，１１の外部
電極１６．１７の表面にはＳｉＯ２の薄い被覆をして、
微粒子への不純物の混入を防ぎ、同時に耐熱性を向上さ
せている。
電極１６．１７の表面にはＳｉＯ２の薄い被覆をして、
微粒子への不純物の混入を防ぎ、同時に耐熱性を向上さ
せている。
上記実施例では、バーナ２から酸水素火炎を発生させた
が、メタン（ＣＨ４）と酸素による火炎でもよい。
が、メタン（ＣＨ４）と酸素による火炎でもよい。
また、上記実施例では、交流コロナ発生器１０゜１１を
互いに並行する向きに配置したか、本発明はこれに限定
されるものではなく、イオンの移動経路上に帯電対象物
が存在する位置関係となるならば、どのような配置でも
よい。例えば、７字状に配置してもよく、或いは対向面
か円弧状になるようにして配置してもよい。
互いに並行する向きに配置したか、本発明はこれに限定
されるものではなく、イオンの移動経路上に帯電対象物
が存在する位置関係となるならば、どのような配置でも
よい。例えば、７字状に配置してもよく、或いは対向面
か円弧状になるようにして配置してもよい。
かつまた、上記実施例では、微粒子を微粒子帯電器７で
負に帯電させ、種棒１又は光ファイバ用多孔質母材４を
種棒・母材帯電器８で正に帯電させたが、これとは逆に
、微粒子を正に帯電させ、種棒１又は光ファイバ用多孔
質母材４を負に帯電させてもよい。或いは、微粒子を微
粒子帯電器７て正、負いずれかに帯電させ、種棒１又は
光ファイバ用多孔質母材４を接地させてもよい。若しく
は、微粒子は帯電させずに、種棒１又は光ファイバ用多
孔質母材４のみを種棒・母材帯電器８で正。
負に帯電させ、種棒１又は光ファイバ用多孔質母材４を
種棒・母材帯電器８で正に帯電させたが、これとは逆に
、微粒子を正に帯電させ、種棒１又は光ファイバ用多孔
質母材４を負に帯電させてもよい。或いは、微粒子を微
粒子帯電器７て正、負いずれかに帯電させ、種棒１又は
光ファイバ用多孔質母材４を接地させてもよい。若しく
は、微粒子は帯電させずに、種棒１又は光ファイバ用多
孔質母材４のみを種棒・母材帯電器８で正。
負いずれかに帯電させることもてきる。
このようにしても、前述した各実施例とほぼ同様の効果
を得ることができる。
を得ることができる。
口発明の効果］
以上説明したように本発明に係る光ファイバ用多孔質母
材の製造装置では、微粒子又は光ファイバ用多孔質母材
の少なくとも一方を帯電器で帯電させるようにしている
ので、微粒子の付着速度と付着収率が上り、効率よ（短
時間に光ファイバ用母材の製造を行なうことかできる。
材の製造装置では、微粒子又は光ファイバ用多孔質母材
の少なくとも一方を帯電器で帯電させるようにしている
ので、微粒子の付着速度と付着収率が上り、効率よ（短
時間に光ファイバ用母材の製造を行なうことかできる。
また、微粒子の付着収率の向上により、該微粒子の排出
量か減り、低コストで光ファイバ用多孔質母材の製造を
行なうことができる。また、このような装置によれば、
イオンガスを吹き付ける必要がなくなり、従って光ファ
イバ用多孔質母材の表面が壊されたり、該表面の堆積雰
囲気が乱されたすせず、該微粒子を種棒の長手方向に容
易にほぼ均一に付着させることができる。
量か減り、低コストで光ファイバ用多孔質母材の製造を
行なうことができる。また、このような装置によれば、
イオンガスを吹き付ける必要がなくなり、従って光ファ
イバ用多孔質母材の表面が壊されたり、該表面の堆積雰
囲気が乱されたすせず、該微粒子を種棒の長手方向に容
易にほぼ均一に付着させることができる。
第１図は本発明に係る装置の第１実施例の概略構成を示
す縦断面図、第２図は本実施例で用いている帯電器の一
例を示す横断面図、第３図は本実施例で用いている帯電
器の交流コロナ発生器の斜視図、第４図は本発明に係る
装置の第２実施例の概略構成を示す平面図である。 １・・・種棒、２・・・バーナ、３・・・火炎、４・・
・光ファイバ用多孔質母材、５・・・容器、６・・・排
気口、７・・・微粒子帯電器、７・・・種棒・母材帯電
器、９・・・センサ、１０．１１・・・第１．第２の交
流コロナ発生器、１２．１３・・・絶縁体、１４．１５
・・・内部電極、〕。 ６．１７・・・外部電極、１８．１９・・・交流コロナ
発生電源、２０・・・イオン引出し用パルス発生器。
す縦断面図、第２図は本実施例で用いている帯電器の一
例を示す横断面図、第３図は本実施例で用いている帯電
器の交流コロナ発生器の斜視図、第４図は本発明に係る
装置の第２実施例の概略構成を示す平面図である。 １・・・種棒、２・・・バーナ、３・・・火炎、４・・
・光ファイバ用多孔質母材、５・・・容器、６・・・排
気口、７・・・微粒子帯電器、７・・・種棒・母材帯電
器、９・・・センサ、１０．１１・・・第１．第２の交
流コロナ発生器、１２．１３・・・絶縁体、１４．１５
・・・内部電極、〕。 ６．１７・・・外部電極、１８．１９・・・交流コロナ
発生電源、２０・・・イオン引出し用パルス発生器。
Claims (2)
- （１）バーナの火炎中に原料ガスを供給して形成したＳ
ｉＯ＿２を主体とする微粒子を種棒に付着させて光ファ
イバ用多孔質母材を製造する光ファイバ用多孔質母材の
製造装置において、 前記微粒子を正、負いずれかの極性に帯電させる微粒子
帯電器が設けられていることを特徴とする光ファイバ用
多孔質母材の製造装置。 - （２）バーナの火炎中に原料ガスを供給して形成したＳ
ｉＯ＿２を主体とする微粒子を種棒に付着させて光ファ
イバ用多孔質母材を製造する光ファイバ用多孔質母材の
製造装置において、 前記種棒又は前記光ファイバ用多孔質母材を正、負いず
れかの極性に帯電させる種棒・母材帯電器が設けられて
いることを特徴とする光ファイバ用多孔質母材の製造装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14243490A JPH0437624A (ja) | 1990-05-31 | 1990-05-31 | 光ファイバ用多孔質母材の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14243490A JPH0437624A (ja) | 1990-05-31 | 1990-05-31 | 光ファイバ用多孔質母材の製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0437624A true JPH0437624A (ja) | 1992-02-07 |
Family
ID=15315224
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14243490A Pending JPH0437624A (ja) | 1990-05-31 | 1990-05-31 | 光ファイバ用多孔質母材の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0437624A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010520045A (ja) * | 2007-02-28 | 2010-06-10 | コーニング インコーポレイテッド | 静電的に堆積する粒子のためのシステムおよび方法 |
-
1990
- 1990-05-31 JP JP14243490A patent/JPH0437624A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010520045A (ja) * | 2007-02-28 | 2010-06-10 | コーニング インコーポレイテッド | 静電的に堆積する粒子のためのシステムおよび方法 |
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