JPH061631A - 光ファイバ用多孔質母材の合成方法 - Google Patents
光ファイバ用多孔質母材の合成方法Info
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- JPH061631A JPH061631A JP4190048A JP19004892A JPH061631A JP H061631 A JPH061631 A JP H061631A JP 4190048 A JP4190048 A JP 4190048A JP 19004892 A JP19004892 A JP 19004892A JP H061631 A JPH061631 A JP H061631A
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- optical fiber
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- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 光ファイバ用多孔質母材のガラス微粒子の付
着率を向上させる光ファイバ用多孔質母材の合成方法(
装置) を提供する。 【構成】 ＳｉＣｌ4 およびＧｅＣｌ4 などの原料ガス
と水素および酸素などの燃焼ガスとをバーナ２に導入し
て，コアロッド１の上に付着させ堆積させて光ファイバ
のクラッド部分となるガラス微粒子７をバーナ２からコ
アロッド１に放射させるに際して，バーナ２内に電極線
３を挿入し，この電極線３に０Ｖを挟んで正負交互の極
性の直流電圧を印加して，ガラス微粒子７を正負に帯電
させる。ターゲットに付着されるガラス微粒子７とすで
に堆積されているガラス微粒子７との極性が異なるた
め，静電気による吸引作用で，付着率が向上する。特
に，０Ｖの帯電させない期間を設けることで，ターゲッ
トがほぼ０Ｖになる期間が設けられ，ガラス微粒子７の
付着効率が向上する。
着率を向上させる光ファイバ用多孔質母材の合成方法(
装置) を提供する。 【構成】 ＳｉＣｌ4 およびＧｅＣｌ4 などの原料ガス
と水素および酸素などの燃焼ガスとをバーナ２に導入し
て，コアロッド１の上に付着させ堆積させて光ファイバ
のクラッド部分となるガラス微粒子７をバーナ２からコ
アロッド１に放射させるに際して，バーナ２内に電極線
３を挿入し，この電極線３に０Ｖを挟んで正負交互の極
性の直流電圧を印加して，ガラス微粒子７を正負に帯電
させる。ターゲットに付着されるガラス微粒子７とすで
に堆積されているガラス微粒子７との極性が異なるた
め，静電気による吸引作用で，付着率が向上する。特
に，０Ｖの帯電させない期間を設けることで，ターゲッ
トがほぼ０Ｖになる期間が設けられ，ガラス微粒子７の
付着効率が向上する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光ファイバ用多孔質母
材の合成方法に関する。
材の合成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバ母材を製造するには、まず，
ＶＡＤ法によってコアおよびクラッドの一部を多孔質ガ
ラス母材として製造し、次いで，これをガラス化後さら
にこのガラス化したガラス母材（ターゲット）の表面に
外付け法によって残りのクラッド部を合成する。このよ
うにして合成された光ファイバ用多孔質母材（プリフォ
ーム）を線引して，たとえば，直径１０μｍのコアとそ
の外周に形成される外径１２５μｍのクラッドからなる
単一モード光ファイバを製造する。
ＶＡＤ法によってコアおよびクラッドの一部を多孔質ガ
ラス母材として製造し、次いで，これをガラス化後さら
にこのガラス化したガラス母材（ターゲット）の表面に
外付け法によって残りのクラッド部を合成する。このよ
うにして合成された光ファイバ用多孔質母材（プリフォ
ーム）を線引して，たとえば，直径１０μｍのコアとそ
の外周に形成される外径１２５μｍのクラッドからなる
単一モード光ファイバを製造する。
【０００３】光ファイバ用多孔質母材を合成する上記い
ずれのプロセスにおいても、一般的に、酸水素バーナー
を用いて、原料ガス、例えば、ＳｉＣｌ4 、ＧｅＣｌ4
の蒸気を酸水素火炎中で加水分解して、ＳｉＯ2 、Ｇｅ
Ｏ2 の微粒子を形成し，回転するコアロッドまたはこの
コアロッドの上に堆積されたガラス微粒子からなるター
ゲットへ付着させている。ターゲットに付着するガラス
微粒子の量や分布は、バーナー火炎の形状や、母材表面
の温度など様々な要因で変化する。
ずれのプロセスにおいても、一般的に、酸水素バーナー
を用いて、原料ガス、例えば、ＳｉＣｌ4 、ＧｅＣｌ4
の蒸気を酸水素火炎中で加水分解して、ＳｉＯ2 、Ｇｅ
Ｏ2 の微粒子を形成し，回転するコアロッドまたはこの
コアロッドの上に堆積されたガラス微粒子からなるター
ゲットへ付着させている。ターゲットに付着するガラス
微粒子の量や分布は、バーナー火炎の形状や、母材表面
の温度など様々な要因で変化する。
【０００４】これまでに上記の様々な要因を検討するこ
とにより安定した光ファイバ用多孔質母材の製造が実現
しているが、光ファイバの製造価格の低減という観点か
らは，ターゲットへの微粒子の付着率はいまだに十分と
はいえず、形成されたガラス微粒子の２０〜４０％程度
しか利用できていない。ターゲットに付着しなかったガ
ラス微粒子は、スクラバーへ捨てられる。ターゲットに
付着しなかったガラス微粒子は、ロスであると同時に、
スクラバーでの処理コストが高くなるという２重のデメ
リットを持っている。ターゲットへのガラス微粒子の付
着効率をさらに向上させることが，今後の光ファイバ用
多孔質母材，ひいては，光ファイバのコストダウンのた
めにも必要である。
とにより安定した光ファイバ用多孔質母材の製造が実現
しているが、光ファイバの製造価格の低減という観点か
らは，ターゲットへの微粒子の付着率はいまだに十分と
はいえず、形成されたガラス微粒子の２０〜４０％程度
しか利用できていない。ターゲットに付着しなかったガ
ラス微粒子は、スクラバーへ捨てられる。ターゲットに
付着しなかったガラス微粒子は、ロスであると同時に、
スクラバーでの処理コストが高くなるという２重のデメ
リットを持っている。ターゲットへのガラス微粒子の付
着効率をさらに向上させることが，今後の光ファイバ用
多孔質母材，ひいては，光ファイバのコストダウンのた
めにも必要である。
【０００５】このような要望に対して，極性が変化しな
い直流高電圧を用いることによって、バーナから噴射さ
せるガラス微粒子を帯電させ、静電気力によってターゲ
ットに効果的に付着させ，ガラス微粒子の付着効率の向
上を図ることがすでに試みられている。その方法は，バ
ーナ内に電極を挿入し，その電極にある極性の高電圧を
印加して，バーナから噴射されるガラス微粒子をある極
性に帯電させ，帯電させたガラス微粒子を静電気力の効
果をも用いてターゲットに付着する。
い直流高電圧を用いることによって、バーナから噴射さ
せるガラス微粒子を帯電させ、静電気力によってターゲ
ットに効果的に付着させ，ガラス微粒子の付着効率の向
上を図ることがすでに試みられている。その方法は，バ
ーナ内に電極を挿入し，その電極にある極性の高電圧を
印加して，バーナから噴射されるガラス微粒子をある極
性に帯電させ，帯電させたガラス微粒子を静電気力の効
果をも用いてターゲットに付着する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述した方法は，連続
して同一の極性に帯電させたガラス微粒子をターゲット
に付着させると，ターゲットにその電荷が蓄積され，そ
の電位のために後から付着されるガラス微粒子が反発
し，かえって付着効率が低下し，さらにはクラックが発
生するという問題に遭遇している。
して同一の極性に帯電させたガラス微粒子をターゲット
に付着させると，ターゲットにその電荷が蓄積され，そ
の電位のために後から付着されるガラス微粒子が反発
し，かえって付着効率が低下し，さらにはクラックが発
生するという問題に遭遇している。
【０００７】このような問題を解決する方法としては，
ガラス微粒子の付着前に除電用のイオンをターゲットに
吹きつけてターゲットの表面電位を下げることが行われ
ている。しかしながら，このようなイオンのターゲット
への吹きつけが，バーナからの火炎の形状を乱したり，
光ファイバ用多孔質母材の合成条件を変化させてしまう
という問題がある。このような問題を改善しようとする
と，光ファイバ用多孔質母材の合成装置が複雑になり，
結局，その光ファイバ用多孔質母材の合成装置を用いて
製造される光ファイバ用多孔質母材の価格を高騰させ，
ひいては，光ファイバの価格を高騰させるという問題を
有している。
ガラス微粒子の付着前に除電用のイオンをターゲットに
吹きつけてターゲットの表面電位を下げることが行われ
ている。しかしながら，このようなイオンのターゲット
への吹きつけが，バーナからの火炎の形状を乱したり，
光ファイバ用多孔質母材の合成条件を変化させてしまう
という問題がある。このような問題を改善しようとする
と，光ファイバ用多孔質母材の合成装置が複雑になり，
結局，その光ファイバ用多孔質母材の合成装置を用いて
製造される光ファイバ用多孔質母材の価格を高騰させ，
ひいては，光ファイバの価格を高騰させるという問題を
有している。
【０００８】
【課題を解決しようとする手段】本発明は、上述した問
題を解決し，ターゲットへのガラス微粒子の付着効率を
さらに向上させる光ファイバ用多孔質母材の合成方法を
提供することを目的とする。したがって，本発明によれ
ば，原料ガスの蒸気を酸水素火炎中で加水分解してガラ
ス微粒子を形成し、このガラス微粒子をターゲットに付
着させて光ファイバ用多孔質母材を合成する方法におい
て、正または負に帯電せしめた前記ガラス微粒子を交互
に前記ターゲットに到達させることを特徴とする光ファ
イバ用多孔質母材の合成方法が提供される。
題を解決し，ターゲットへのガラス微粒子の付着効率を
さらに向上させる光ファイバ用多孔質母材の合成方法を
提供することを目的とする。したがって，本発明によれ
ば，原料ガスの蒸気を酸水素火炎中で加水分解してガラ
ス微粒子を形成し、このガラス微粒子をターゲットに付
着させて光ファイバ用多孔質母材を合成する方法におい
て、正または負に帯電せしめた前記ガラス微粒子を交互
に前記ターゲットに到達させることを特徴とする光ファ
イバ用多孔質母材の合成方法が提供される。
【０００９】上記ガラス微粒子の帯電方法としては，
（１）第１の所定時間だけ正極性にガラス微粒子を帯電
させ，第２の所定時間はガラス微粒子を帯電させず，第
３の所定時間だけ負極性にガラス微粒子を帯電させるサ
イクルで連続的に前記ガラス微粒子を帯電させるよう
に，前記ガラス微粒子を噴射するバーナに挿入された電
極に電圧を印加する方法，（２）前記第２の所定時間を
零とする方法、つまり、無帯電時間を設けない方法、
（３）前記ターゲットに対して相対往復移動関係に配設
された少なくとも第１および第２のバーナのそれぞれに
挿入されたそれぞれの電極線に別々に正極性および負極
性の直流電圧を印加する方法，（４）前記ターゲットに
対して相対的に回転する位置において所定の角度を隔て
て配設された少なくとも第１および第２のバーナのそれ
ぞれに挿入されたそれぞれの電極線に別々に正極性およ
び負極性の直流電圧を印加する方法などがある。
（１）第１の所定時間だけ正極性にガラス微粒子を帯電
させ，第２の所定時間はガラス微粒子を帯電させず，第
３の所定時間だけ負極性にガラス微粒子を帯電させるサ
イクルで連続的に前記ガラス微粒子を帯電させるよう
に，前記ガラス微粒子を噴射するバーナに挿入された電
極に電圧を印加する方法，（２）前記第２の所定時間を
零とする方法、つまり、無帯電時間を設けない方法、
（３）前記ターゲットに対して相対往復移動関係に配設
された少なくとも第１および第２のバーナのそれぞれに
挿入されたそれぞれの電極線に別々に正極性および負極
性の直流電圧を印加する方法，（４）前記ターゲットに
対して相対的に回転する位置において所定の角度を隔て
て配設された少なくとも第１および第２のバーナのそれ
ぞれに挿入されたそれぞれの電極線に別々に正極性およ
び負極性の直流電圧を印加する方法などがある。
【００１０】
【作用】ターゲットに付着されるガラス微粒子を形成す
るバーナ内部に電極導体を挿入し、たとえば，０Ｖを挟
んで正負の極性の直通高電圧を一定間隔で交互に印加す
る（必要により、この間隔は零でもよい）ことによっ
て、正極性および負極性に帯電した微粒子流を交互にタ
ーゲットへ送り、たとえば，正極性に帯電したターゲッ
ト表面の微粒子が負極性に帯電した微粒子を静電気力に
よって効果的に引き寄せる。尚、正負の極性の高電圧の
間にガラス微粒子を帯電させない０Ｖ電圧期間を設ける
ことにより，ターゲットの表面電位を０Ｖ付近にさせる
ことができ，付着されるガラス微粒子の正負の帯電状態
を改善して，その付着効率をより向上させることができ
る。ガラス微粒子の上記帯電方法としては上述した方法
のいずれでもよい。
るバーナ内部に電極導体を挿入し、たとえば，０Ｖを挟
んで正負の極性の直通高電圧を一定間隔で交互に印加す
る（必要により、この間隔は零でもよい）ことによっ
て、正極性および負極性に帯電した微粒子流を交互にタ
ーゲットへ送り、たとえば，正極性に帯電したターゲッ
ト表面の微粒子が負極性に帯電した微粒子を静電気力に
よって効果的に引き寄せる。尚、正負の極性の高電圧の
間にガラス微粒子を帯電させない０Ｖ電圧期間を設ける
ことにより，ターゲットの表面電位を０Ｖ付近にさせる
ことができ，付着されるガラス微粒子の正負の帯電状態
を改善して，その付着効率をより向上させることができ
る。ガラス微粒子の上記帯電方法としては上述した方法
のいずれでもよい。
【００１１】
【実施例】図１に本発明の光ファイバ用多孔質母材の合
成方法を実施する光ファイバ用多孔質母材の合成装置の
構成例を示す。この光ファイバ用多孔質母材の合成装置
は，図示しない軸に固定されたコアロッド１にガラス微
粒子７を付着させて，多孔質ガラス母材８を合成する。
そのため，コアロッド１を軸支している軸（図示せず）
は，図示しない駆動機構により，回転方向Ｒに回転させ
られつつ，左右方向Ａ，Ｂに往復移動（トラバース）さ
れ，このコアロッド１の回転および往復移動に対して，
固定されている水酸素バーナ２から火炎９が噴射され，
コアロッド１およびコアロッド１の上に堆積されたガラ
ス微粒子７にさらに新たなガラス微粒子７が付着堆積さ
れていく。
成方法を実施する光ファイバ用多孔質母材の合成装置の
構成例を示す。この光ファイバ用多孔質母材の合成装置
は，図示しない軸に固定されたコアロッド１にガラス微
粒子７を付着させて，多孔質ガラス母材８を合成する。
そのため，コアロッド１を軸支している軸（図示せず）
は，図示しない駆動機構により，回転方向Ｒに回転させ
られつつ，左右方向Ａ，Ｂに往復移動（トラバース）さ
れ，このコアロッド１の回転および往復移動に対して，
固定されている水酸素バーナ２から火炎９が噴射され，
コアロッド１およびコアロッド１の上に堆積されたガラ
ス微粒子７にさらに新たなガラス微粒子７が付着堆積さ
れていく。
【００１２】バーナ２はこの例では，４重管として構成
され，バーナ内管２ａにつながる入口２１にはＡｒガス
とＳｉＣｌ4 が導入され，バーナ中間管２ｂにつながる
入口２２には水素ガス（Ｈ2 ）が導入され，バーナ外管
２ｃにつながる入口２３には酸素ガス（Ｏ2 ）が導入さ
れて，酸水素火炎中で加水分解して，光ファイバのクラ
ッドとなるガラス微粒子が火炎９として噴射される。ま
たバーナ２には電極線３が挿入されており，この電極線
３には電流計５を介して高圧電源６が接続されている。
され，バーナ内管２ａにつながる入口２１にはＡｒガス
とＳｉＣｌ4 が導入され，バーナ中間管２ｂにつながる
入口２２には水素ガス（Ｈ2 ）が導入され，バーナ外管
２ｃにつながる入口２３には酸素ガス（Ｏ2 ）が導入さ
れて，酸水素火炎中で加水分解して，光ファイバのクラ
ッドとなるガラス微粒子が火炎９として噴射される。ま
たバーナ２には電極線３が挿入されており，この電極線
３には電流計５を介して高圧電源６が接続されている。
【００１３】
【実施例１】図１を参照して，クラッドの外付け法での
実施例を説明する。コアロッド１を軸支している軸は，
約３００ＲＰＭの回転数で回転され，かつ、５００ｍｍ
／ｍｉｎの速度で左右にトラバースされる。この軸に
は，外径２０ｍｍ，長さ長さ１ｍのコアロッド１を）の
コアロッド１が固定される。このコアロッド１のその外
周にガラス（ＳｉＯ2 ）微粒子を外径１５０ｍｍ程度ま
で付着させて行く。バーナ２には、酸素ガス３０ＳＬ
Ｍ、水素ガス８０ＳＬＭ、アルゴンガス２０ＳＬＭ、Ｓ
ｉＣｌ4 ガス１０ＳＬＭを導入する。本実施例では、バ
ーナ２の中心層にタングステン製の外径１．６ｍｍの電
極３を、バーナ２の先端より３ｍｍ入った所まで挿入し
た。電極線３には直流高圧電源６から図２に示した波形
の電圧を印加する。
実施例を説明する。コアロッド１を軸支している軸は，
約３００ＲＰＭの回転数で回転され，かつ、５００ｍｍ
／ｍｉｎの速度で左右にトラバースされる。この軸に
は，外径２０ｍｍ，長さ長さ１ｍのコアロッド１を）の
コアロッド１が固定される。このコアロッド１のその外
周にガラス（ＳｉＯ2 ）微粒子を外径１５０ｍｍ程度ま
で付着させて行く。バーナ２には、酸素ガス３０ＳＬ
Ｍ、水素ガス８０ＳＬＭ、アルゴンガス２０ＳＬＭ、Ｓ
ｉＣｌ4 ガス１０ＳＬＭを導入する。本実施例では、バ
ーナ２の中心層にタングステン製の外径１．６ｍｍの電
極３を、バーナ２の先端より３ｍｍ入った所まで挿入し
た。電極線３には直流高圧電源６から図２に示した波形
の電圧を印加する。
【００１４】図３は、上記実施例によるターゲットへの
ガラス微粒子の付着量の増加を示すグラフである。図中
曲線ａは、上記のバーナ２に導入する原料ガスおよび燃
焼ガスの条件で、電極線３に直流高圧電源６からの電圧
をまったく印加しない場合のガラス微粒子７のターゲッ
トへの付着量の増加曲線である。曲線ｂは、バーナ２内
の電極線３に正極性の直流電圧，＋１０ＫＶを印加した
場合のガラス微粒子７のターゲットへの付着量である。
この場合、電極線３への高電圧の印加によってガラス微
粒子７の付着速度は、曲線ａに示す付着量より向上して
いるが、ターゲットの帯電量が増加するにしたがって、
次第に付着速度が減少して行き、最終的にはクラックが
発生した。曲線ｃは、本実施例によるガラス微粒子７の
付着量の増加曲線である。この例では，バーナ２内の電
極線３に直流高圧電源６から，図２に示すように，０Ｖ
の期間Ｔ３＝０．５秒を挟んで，正負の極性の直流電
圧，±１０ＫＶをそれぞれ，期間Ｔ１＝１秒，期間Ｔ２
＝１秒印加し，３秒のサイクルで連続的に印加した。こ
の場合は、ガラス微粒子７の付着速度の減少は見られ
ず、合成時間全体に渡って、電極線３に直流電圧を印加
しないときのガラス微粒子７の付着量を示す曲線ａの場
合より付着量が約２倍増加している。
ガラス微粒子の付着量の増加を示すグラフである。図中
曲線ａは、上記のバーナ２に導入する原料ガスおよび燃
焼ガスの条件で、電極線３に直流高圧電源６からの電圧
をまったく印加しない場合のガラス微粒子７のターゲッ
トへの付着量の増加曲線である。曲線ｂは、バーナ２内
の電極線３に正極性の直流電圧，＋１０ＫＶを印加した
場合のガラス微粒子７のターゲットへの付着量である。
この場合、電極線３への高電圧の印加によってガラス微
粒子７の付着速度は、曲線ａに示す付着量より向上して
いるが、ターゲットの帯電量が増加するにしたがって、
次第に付着速度が減少して行き、最終的にはクラックが
発生した。曲線ｃは、本実施例によるガラス微粒子７の
付着量の増加曲線である。この例では，バーナ２内の電
極線３に直流高圧電源６から，図２に示すように，０Ｖ
の期間Ｔ３＝０．５秒を挟んで，正負の極性の直流電
圧，±１０ＫＶをそれぞれ，期間Ｔ１＝１秒，期間Ｔ２
＝１秒印加し，３秒のサイクルで連続的に印加した。こ
の場合は、ガラス微粒子７の付着速度の減少は見られ
ず、合成時間全体に渡って、電極線３に直流電圧を印加
しないときのガラス微粒子７の付着量を示す曲線ａの場
合より付着量が約２倍増加している。
【００１５】曲線ｃに示す本実施例による直流高圧電源
６から電極線３への直流電圧印加のサイクル、正負の極
性の電圧印加時間Ｔ１とＴ２の割合、電圧印加しない期
間Ｔ３の長さ、正負の極性の電圧の振幅等の条件は、帯
電粒子をバーナ２とターゲットとの間の空間中で中和さ
せることなしにターゲット上に付着させたいことからバ
ーナ２で合成し火炎９として噴射するガス条件によっ
て、適切な値が存在し、結果的にターゲットの表面電位
が０ＫＶ付近になるようにすることが好ましい。直流高
圧電源６から電極線３への電圧印加のサイクルに関して
は、あまり短いと微粒子がターゲットに到達する前に中
和してしまい付着量の増加の効果が小さくなる。したが
って，バーナ２から噴射する微粒子の流速に合った下限
値がある。尚、この実施例ではＴ３＝０．５秒とってい
るが、これを０にしてもほぼ同様の効果が期待できる。
６から電極線３への直流電圧印加のサイクル、正負の極
性の電圧印加時間Ｔ１とＴ２の割合、電圧印加しない期
間Ｔ３の長さ、正負の極性の電圧の振幅等の条件は、帯
電粒子をバーナ２とターゲットとの間の空間中で中和さ
せることなしにターゲット上に付着させたいことからバ
ーナ２で合成し火炎９として噴射するガス条件によっ
て、適切な値が存在し、結果的にターゲットの表面電位
が０ＫＶ付近になるようにすることが好ましい。直流高
圧電源６から電極線３への電圧印加のサイクルに関して
は、あまり短いと微粒子がターゲットに到達する前に中
和してしまい付着量の増加の効果が小さくなる。したが
って，バーナ２から噴射する微粒子の流速に合った下限
値がある。尚、この実施例ではＴ３＝０．５秒とってい
るが、これを０にしてもほぼ同様の効果が期待できる。
【００１６】
【実施例２】第２実施例では、図４に示すように，２本
のバーナ２Ａ，２Ｂを用いる。２本のバーナ２Ａ，２Ｂ
はそれぞれ電極線３Ａ，３Ｂが挿入されており，これら
の電極線３Ａ，３Ｂには直流高圧電源６からそれぞれ，
正極性電圧と負極性電圧が印加されている。これら電極
線３Ａ，３Ｂに印加される直流電圧の極性は変化させな
い。したがって，バーナ２Ａから噴射する火炎９Ａの帯
電は正極性であり，バーナ２Ｂから噴射する火炎９Ｂの
帯電は負極性である。この第２実施例において，上述し
たバーナ２Ａ，２Ｂ，および，電極線３Ａ，３Ｂ以外の
光ファイバ用多孔質母材の合成装置の構成および条件
は，上述した第１実施例と同様である。
のバーナ２Ａ，２Ｂを用いる。２本のバーナ２Ａ，２Ｂ
はそれぞれ電極線３Ａ，３Ｂが挿入されており，これら
の電極線３Ａ，３Ｂには直流高圧電源６からそれぞれ，
正極性電圧と負極性電圧が印加されている。これら電極
線３Ａ，３Ｂに印加される直流電圧の極性は変化させな
い。したがって，バーナ２Ａから噴射する火炎９Ａの帯
電は正極性であり，バーナ２Ｂから噴射する火炎９Ｂの
帯電は負極性である。この第２実施例において，上述し
たバーナ２Ａ，２Ｂ，および，電極線３Ａ，３Ｂ以外の
光ファイバ用多孔質母材の合成装置の構成および条件
は，上述した第１実施例と同様である。
【００１７】コアロッド１は回転されつつ，往復移動さ
れる。向きＡにコアロッド１が移動するときは，先行す
るバーナ２Ｂから噴射した火炎９Ｂによる負極性のガラ
ス微粒子７Ｂがまずターゲットに付着し，その上にバー
ナ２Ａから噴射した火炎９Ａによる正極性のガラス微粒
子７Ａが付着堆積する。または，逆に，向きＢにコアロ
ッド１が移動するときは，先行するバーナ２Ａから噴射
した火炎９Ａによる正極性のガラス微粒子７Ａがまずタ
ーゲットに付着し，その上にバーナ２Ｂから噴射した火
炎９Ｂによる負極性のガラス微粒子７Ｂが付着堆積す
る。つまり，コアロッド１の移動によって交互に異なる
極性の帯電状態のガラス微粒子７Ａ，７Ｂがターゲット
に付着していく。帯電極性が異なるので，静電気による
吸引力によってガラス微粒子７Ａ，７Ｂが効率よくター
ゲットに付着する。電極線３Ａ，３Ｂに印加する電圧値
の調節によって、最適な付着条件が得られる。
れる。向きＡにコアロッド１が移動するときは，先行す
るバーナ２Ｂから噴射した火炎９Ｂによる負極性のガラ
ス微粒子７Ｂがまずターゲットに付着し，その上にバー
ナ２Ａから噴射した火炎９Ａによる正極性のガラス微粒
子７Ａが付着堆積する。または，逆に，向きＢにコアロ
ッド１が移動するときは，先行するバーナ２Ａから噴射
した火炎９Ａによる正極性のガラス微粒子７Ａがまずタ
ーゲットに付着し，その上にバーナ２Ｂから噴射した火
炎９Ｂによる負極性のガラス微粒子７Ｂが付着堆積す
る。つまり，コアロッド１の移動によって交互に異なる
極性の帯電状態のガラス微粒子７Ａ，７Ｂがターゲット
に付着していく。帯電極性が異なるので，静電気による
吸引力によってガラス微粒子７Ａ，７Ｂが効率よくター
ゲットに付着する。電極線３Ａ，３Ｂに印加する電圧値
の調節によって、最適な付着条件が得られる。
【００１８】図５は、本発明の第３実施例を説明する部
分図であり，ターゲットの回転移動を利用する。この実
施例では，ターゲットに対して，異なる角度位置にバー
ナ２Ｃ，２Ｄを配設し，これらのバーナ２Ｃ，２Ｄのそ
れぞれに電極線３Ｃ，３Ｄを挿入する。電極線３Ｃ，３
Ｄには第２実施例と同様，それぞれ一定の極性の電圧を
印加する。したがって，バーナ２Ｃ，２Ｄからはそれぞ
れ，正極性と負極性に帯電された火炎９Ｃ，９Ｄがター
ゲットに向けて噴射される。ターゲットの回転に対し
て，バーナ２Ｃ，２Ｄから噴射され，ターゲットに付着
するガラス微粒子７Ｃ，７Ｄの付着状態は第２実施例と
同様である。したがって，この第３実施例によっても，
第２実施例と同等の高いガラス微粒子の付着が実現され
た。
分図であり，ターゲットの回転移動を利用する。この実
施例では，ターゲットに対して，異なる角度位置にバー
ナ２Ｃ，２Ｄを配設し，これらのバーナ２Ｃ，２Ｄのそ
れぞれに電極線３Ｃ，３Ｄを挿入する。電極線３Ｃ，３
Ｄには第２実施例と同様，それぞれ一定の極性の電圧を
印加する。したがって，バーナ２Ｃ，２Ｄからはそれぞ
れ，正極性と負極性に帯電された火炎９Ｃ，９Ｄがター
ゲットに向けて噴射される。ターゲットの回転に対し
て，バーナ２Ｃ，２Ｄから噴射され，ターゲットに付着
するガラス微粒子７Ｃ，７Ｄの付着状態は第２実施例と
同様である。したがって，この第３実施例によっても，
第２実施例と同等の高いガラス微粒子の付着が実現され
た。
【００１９】以上の実施例は外づけ法について例示した
が，たとえば，ＶＡＤ法についても上記同様に本発明を
適用できることは勿論である。
が，たとえば，ＶＡＤ法についても上記同様に本発明を
適用できることは勿論である。
【００２０】
【発明の効果】本発明によれば，正負に帯電した微粒子
流を交互にターゲットへ送り、正極性に帯電したターゲ
ット表面の微粒子が負極性に帯電した微粒子を静電気力
によって引き寄せる，あるいは，逆の関係で，負極性に
帯電したターゲット表面の微粒子が正極性に帯電した微
粒子を静電気力によって引き寄せることにより，ターゲ
ットへのガラス微粒子の付着効率を大幅に向上させるこ
とができ，無駄なく，光ファイバ用多孔質母材の合成，
ひいては，光ファイバの製造を低価格で行うことができ
る。
流を交互にターゲットへ送り、正極性に帯電したターゲ
ット表面の微粒子が負極性に帯電した微粒子を静電気力
によって引き寄せる，あるいは，逆の関係で，負極性に
帯電したターゲット表面の微粒子が正極性に帯電した微
粒子を静電気力によって引き寄せることにより，ターゲ
ットへのガラス微粒子の付着効率を大幅に向上させるこ
とができ，無駄なく，光ファイバ用多孔質母材の合成，
ひいては，光ファイバの製造を低価格で行うことができ
る。
【図１】本発明の光ファイバ用多孔質母材の合成方法を
実施する光ファイバ用多孔質母材の合成装置の第１実施
例の概略構成を示す図である。
実施する光ファイバ用多孔質母材の合成装置の第１実施
例の概略構成を示す図である。
【図２】図１に示した電極線に印加する電圧の波形図で
ある。
ある。
【図３】図１に示した第１実施例によってターゲットに
付着されたガラス微粒子の付着量と，従来の方法による
ガラス微粒子の付着量とを示すグラフである。
付着されたガラス微粒子の付着量と，従来の方法による
ガラス微粒子の付着量とを示すグラフである。
【図４】本発明の光ファイバ用多孔質母材の合成方法を
実施する光ファイバ用多孔質母材の合成装置の第２実施
例の概略構成を示す図である。
実施する光ファイバ用多孔質母材の合成装置の第２実施
例の概略構成を示す図である。
【図５】本発明の光ファイバ用多孔質母材の合成方法を
実施する光ファイバ用多孔質母材の合成装置の第３実施
例の概略構成を示す図である。
実施する光ファイバ用多孔質母材の合成装置の第３実施
例の概略構成を示す図である。
１・・コアロッド ２，２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄ・・バーナ ３，３Ａ，３Ｂ，３Ｃ，３Ｄ・・電極線 ５・・電流計 ６・・直流高圧電源 ７，７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄ・・ガラス微粒子 ８・・多孔質ガラス母材 ９，９Ａ，９Ｂ，９Ｃ，９Ｄ・・火炎
Claims (5)
- 【請求項１】原料ガスの蒸気を酸水素火炎中で加水分解
してガラス微粒子を形成し、このガラス微粒子をターゲ
ットに付着させて光ファイバ用多孔質母材を合成する方
法において、 正または負極性に帯電せしめた前記ガラス微粒子を交互
に前記ターゲットに到達させることを特徴とする光ファ
イバ用多孔質母材の合成方法。 - 【請求項２】前記ガラス微粒子の帯電を，第１の所定時
間だけ正極性にガラス微粒子を帯電させ，第２の所定時
間はガラス微粒子を帯電させず，第３の所定時間だけ負
極性にガラス微粒子を帯電させるサイクルで連続的に前
記ガラス微粒子を帯電させるように，前記ガラス微粒子
を噴射するバーナに挿入された電極に直流電圧を印加し
て行う請求項１記載の光ファイバ用多孔質母材の合成方
法。 - 【請求項３】前記ガラス微粒子の帯電を、第１の所定時
間だけ正極性にガラス微粒子を帯電させ、第２の所定時
間だけ負極性にガラス微粒子を帯電させるサイクルで連
続的に前記ガラス微粒子を帯電させるように、前記ガラ
ス微粒子を噴射するバーナに挿入された電極に直流電圧
を印加して行う請求項１記載の光ファイバ用多孔質母材
の合成方法。 - 【請求項４】前記ガラス微粒子の帯電を，前記ターゲッ
トに対して相対往復移動関係に配設された少なくとも第
１および第２のバーナのそれぞれに挿入されたそれぞれ
の電極線に別々に正極性および負極性の直流電圧を印加
して行う請求項１記載の光ファイバ用多孔質母材の合成
方法。 - 【請求項５】前記ガラス微粒子の帯電を，前記ターゲッ
トに対して相対的に回転する位置において所定の角度を
隔てて配設された少なくとも第１および第２のバーナの
それぞれに挿入されたそれぞれの電極線に別々に正極性
および負極性の直流電圧を印加して行う請求項１記載の
光ファイバ用多孔質母材の合成方法。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4190048A JPH061631A (ja) | 1992-06-24 | 1992-06-24 | 光ファイバ用多孔質母材の合成方法 |
| CA002080860A CA2080860C (en) | 1991-10-25 | 1992-10-19 | Process and apparatus for production of optical fiber preform |
| EP92309652A EP0539198B1 (en) | 1991-10-25 | 1992-10-22 | Process and apparatus for production of optical fiber preform |
| DE69226748T DE69226748T2 (de) | 1991-10-25 | 1992-10-22 | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Vorformen für optische Fasern |
| KR1019920019778A KR950006187B1 (ko) | 1991-10-25 | 1992-10-26 | 광섬유모재의 제조방법과 그 장치 |
| US08/906,805 US6003342A (en) | 1991-10-25 | 1997-08-06 | Apparatus for production of optical fiber preform |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4190048A JPH061631A (ja) | 1992-06-24 | 1992-06-24 | 光ファイバ用多孔質母材の合成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH061631A true JPH061631A (ja) | 1994-01-11 |
Family
ID=16251487
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4190048A Pending JPH061631A (ja) | 1991-10-25 | 1992-06-24 | 光ファイバ用多孔質母材の合成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH061631A (ja) |
-
1992
- 1992-06-24 JP JP4190048A patent/JPH061631A/ja active Pending
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