JPH0438541Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は、印刷回路基板のパターン焼付等に用
いられる露光機に関する。

従来の技術 この種の露光桟は、例えば第２図に示すよう
に、上部に透明体３よりなる露光面３を有する筺
体４の底部に光源１が配置され、その光源１から
の放射光を直接または露光面３との間の光路上に
配置された光学系２により平行光に変換して露光
面に照射するようにしたものである。この光源１
は、必要な露光量を得るために比較的大きな消費
電力のものであり、その発熱を軽減するために、
光源１自体が水冷装置や空冷装置を備えると共
に、通常筺体４の側壁にも空冷装置５が設けられ
ている。

考案が解決しようとする問題点 しかしながら、光源１から発生する熱の露光面
３上への伝導を微少にし、そこに載置されるパタ
ーン膜等の変形が実用上影響を及ぼさない程度に
抑えるには、大きな冷却装置を必要とし、全体に
大型化すると共に高価になることが避けられなか
つた。尚、放射量を軽減するため光源１は筺体４
の外側に配置し、光源１からの放射光を筺体側壁
に穿つた開口部およびミラー等からなる光学系を
介して上方（または下方）の露光面に光を導くよ
うにし、露光面と光源間の光路を大にしたものも
あるが、これにおいてもなお上記と同様の問題点
の発生が避けられなかつた。

問題点を解決するための手段 本考案は、上記のいずれの方式の露光機におい
ても露光面への熱の放射がより軽減される簡略な
手段を有する露光機を提供するものである。すな
わち、本考案は光源からの放射光を透明体よりな
る露光面に照射するようにした露光機において、
前記露光面と光源の間に透明体よりなる隔壁を介
在させて露光面との間に小体積の空間を形成し、
その空間を空冷装置と連通したことを特徴とする
露光機である。

作 用 これにおいては、光源からの放射光は、透明体
よりなる隔壁を通過して露光面に達し、露光面上
に載置される被露光物に対しての焼付けが行なわ
れる。このとき、光源１から発生した熱は、光源
１自体の冷却装置により一部取除かれた後、外部
への自然放熱や筺体の冷却装置によつてさらに除
去され、さらに続いて隔壁と露光面との間の小空
間まで達した熱は、この小空間の空冷によりほと
んど除去され、露光面にはほとんど達しないこと
になる。

しかして、この場合には熱放射経路の最終段階
での冷却であり、しかも隔壁を介することによる
熱伝導量の減少もあり、この小空間空冷装置は小
さなもので十分となる。

実施例 第１図において、第２図と同番号を付した光源
１、光学系２、露光面３、筺体４、空冷装置５′
は第２図のものと同様に配置され、同様に動作す
る。但し、空冷装置５′は、第２図のものに比べ
て小容量のものとなるのでダツシユを付して示し
てある。６は透明のガラス材よりなる隔壁であ
り、その外側部は筺体４の内側に密着され、露光
面３との間は密室の小空間となり、その空間は外
部に設けた空冷装置とパイプ（図示されていな
い）を介して連通されている。したがつて、これ
においては、光は隔壁６を介して露光面３に達す
るが、光源からの熱は、この空間からパイプを介
して外部に放出され露光面には達しない。

尚、上記実施例において、密室の周囲の筺体部
分を断熱材により形成することにより、より一層
の断熱効果をあげることができる。また、上記は
小体積の空間を密室構造とした場合であるが、隔
壁６の外寸を小にした開放室構造とし、そこから
漏出する空気を筺体の空冷装置５′により排出さ
せるようにしても同様である。

【図面の簡単な説明】

第２図は従来のものの正面断面図、第１図は本
考案の実施例を示す正面断面図である。 １……光源、２……光学系、３……露光面、４
……筺体、６……隔壁。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 光源からの放射光を透明体よりなる露光面に照
   射するようにした露光機において、前記露光面と
   光源の間に透明体よりなる隔壁を介在させて露光
   面との間に小体積の空間を形成し、その空間を空
   冷装置と連通させたことを特徴とする露光機。