JPH0439032B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0439032B2 JPH0439032B2 JP61219487A JP21948786A JPH0439032B2 JP H0439032 B2 JPH0439032 B2 JP H0439032B2 JP 61219487 A JP61219487 A JP 61219487A JP 21948786 A JP21948786 A JP 21948786A JP H0439032 B2 JPH0439032 B2 JP H0439032B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnification
- exciter
- vibrator
- feedback
- amplitude
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、超音波顕微鏡に係り、特に機械走査
型の超音波顕微鏡に関するものである。
型の超音波顕微鏡に関するものである。
従来、超音波顕微鏡の高速走査軸は、その駆動
源として加振器を用い、この振れ幅を制御して倍
率を調整していた。このような構成の場合、加振
器の制御はオープンループで行なうものと、位置
検知あるいは加速度検知を行ないこれらの検知量
によりフイードバツク値を加振器に印加する電圧
値にフイードバツクして行なうものとがある。
源として加振器を用い、この振れ幅を制御して倍
率を調整していた。このような構成の場合、加振
器の制御はオープンループで行なうものと、位置
検知あるいは加速度検知を行ないこれらの検知量
によりフイードバツク値を加振器に印加する電圧
値にフイードバツクして行なうものとがある。
オープンループ制御の場合、加振器は板ばね等
で支持している加振連結部材を電磁石によつて加
振するため、板ばねの特性や、走査の振動と印加
電圧との位相ずれなど種々の原因により駆動用入
力信号に対して加振が歪む恐れがあり、この現象
は低倍率の場合に振幅が大きいので顕著に現れ
る。フイードバツク制御の場合は、高倍率にする
振幅が小さく従つて印加電圧が小さいためにフイ
ードバツク値のＳ／Ｎが悪くなり、振幅がノイズ
によつて変化する恐れがあり、一定の振幅を得る
点について十分な配慮がなされていなかつた。
で支持している加振連結部材を電磁石によつて加
振するため、板ばねの特性や、走査の振動と印加
電圧との位相ずれなど種々の原因により駆動用入
力信号に対して加振が歪む恐れがあり、この現象
は低倍率の場合に振幅が大きいので顕著に現れ
る。フイードバツク制御の場合は、高倍率にする
振幅が小さく従つて印加電圧が小さいためにフイ
ードバツク値のＳ／Ｎが悪くなり、振幅がノイズ
によつて変化する恐れがあり、一定の振幅を得る
点について十分な配慮がなされていなかつた。
本発明の目的とするところ、は低倍率から高倍
率まで一定の振幅で加振が行なえ、正確な撮像が
できる超音波顕微鏡を提供することにある。
率まで一定の振幅で加振が行なえ、正確な撮像が
できる超音波顕微鏡を提供することにある。
上記目的は、加振器の位置あるいは加速度をフ
イードバツクして、該加振器の制御を行なうもの
において、使用倍率を判定すなわち設定値と比較
し高倍率の場合に前記フイードバツク系を断ち、
低倍率の場合に該フイードバツク系を生かす切換
手段を設けることにより、達成される。
イードバツクして、該加振器の制御を行なうもの
において、使用倍率を判定すなわち設定値と比較
し高倍率の場合に前記フイードバツク系を断ち、
低倍率の場合に該フイードバツク系を生かす切換
手段を設けることにより、達成される。
加振器の制御系においては、高倍率の場合にお
けるフイードバツク値はその信頼性が保てず、フ
イードバツク系が加振幅に悪影響を及ぼす。一
方、低倍率の場合には前記フイードバツク系を用
いて加振幅を一定に保たなければならない。した
がつて、倍率を判定し、高倍率あるいは低倍率に
対応させて、フイードバツク系を接続し、又は切
り離す制御を行なうことにより、全倍率域におい
て一定の振幅が得られる。
けるフイードバツク値はその信頼性が保てず、フ
イードバツク系が加振幅に悪影響を及ぼす。一
方、低倍率の場合には前記フイードバツク系を用
いて加振幅を一定に保たなければならない。した
がつて、倍率を判定し、高倍率あるいは低倍率に
対応させて、フイードバツク系を接続し、又は切
り離す制御を行なうことにより、全倍率域におい
て一定の振幅が得られる。
以下、本発明の一実施例を第１図によつて説明
する。同図において、１は高周波電流を発振する
発振器で、球面レンズ６の一端に設けた圧電素子
５に前記高周波電流を印加する。前記圧電素子５
で超音波に変換されて、球面レンズ６内を超音波
ビームとして伝播する。該球面レンズ６と試料８
との間には水等の媒質７が設けられ、該媒質７と
球面リンズ６との音速比によつて前記超音波ビー
ムは集束し、試料８に発振される。該試料８にて
反射された超音波は、前述と逆の系路を伝達し、
電圧素子５で電気信号に変換され受信器２によつ
て受信される。３は該受信器２に接続されたエコ
ー処理部で、受信器２で受信された電気信号を画
像信号に変換して表示装置（以下CRという）に
出力し、該CRT４で画像化する。一方、前記試
料８は、試料台９上に載せられており、球面レン
ズ６は加振器１５によつて加振され、該試料を走
査する。また、試料台９は前記加振器１５による
加振方向と直角方向に前記加振に同期して移動す
ることでＸ，Ｙの２軸走査を行なうものである。
この試料台９の走査動作を制御するものとして試
料台制御部１０が設けられている。１２は操作者
が観察倍率を設定する倍率設定器、１３は設定さ
れた前記倍率に対応して前記加振器１５に所定周
波数の所定電圧を印加するように制御する加振ア
ンプ、１６は加振器１５取付けられ加振動作に伴
う加速度を検出する加速度計である。１４は加速
度計１６の検出結果を前記加振アンプ１３にフイ
ードバツクする回路に設けられる切換え部であ
る。１１は前記倍率設定部１２に設定された倍率
を予め記憶してある一定の倍率値と比較して大小
を判定し、高倍率時には前記切換え部１４を開路
してフイードバツク系を断ち、低倍率時には切換
え部１４を閉路してフイードバツク系を接続する
制御を行なうとともに、設定された倍率に対応し
て、加振アンプ１３および試料台制御部１０に走
査指令を行なうものである。
する。同図において、１は高周波電流を発振する
発振器で、球面レンズ６の一端に設けた圧電素子
５に前記高周波電流を印加する。前記圧電素子５
で超音波に変換されて、球面レンズ６内を超音波
ビームとして伝播する。該球面レンズ６と試料８
との間には水等の媒質７が設けられ、該媒質７と
球面リンズ６との音速比によつて前記超音波ビー
ムは集束し、試料８に発振される。該試料８にて
反射された超音波は、前述と逆の系路を伝達し、
電圧素子５で電気信号に変換され受信器２によつ
て受信される。３は該受信器２に接続されたエコ
ー処理部で、受信器２で受信された電気信号を画
像信号に変換して表示装置（以下CRという）に
出力し、該CRT４で画像化する。一方、前記試
料８は、試料台９上に載せられており、球面レン
ズ６は加振器１５によつて加振され、該試料を走
査する。また、試料台９は前記加振器１５による
加振方向と直角方向に前記加振に同期して移動す
ることでＸ，Ｙの２軸走査を行なうものである。
この試料台９の走査動作を制御するものとして試
料台制御部１０が設けられている。１２は操作者
が観察倍率を設定する倍率設定器、１３は設定さ
れた前記倍率に対応して前記加振器１５に所定周
波数の所定電圧を印加するように制御する加振ア
ンプ、１６は加振器１５取付けられ加振動作に伴
う加速度を検出する加速度計である。１４は加速
度計１６の検出結果を前記加振アンプ１３にフイ
ードバツクする回路に設けられる切換え部であ
る。１１は前記倍率設定部１２に設定された倍率
を予め記憶してある一定の倍率値と比較して大小
を判定し、高倍率時には前記切換え部１４を開路
してフイードバツク系を断ち、低倍率時には切換
え部１４を閉路してフイードバツク系を接続する
制御を行なうとともに、設定された倍率に対応し
て、加振アンプ１３および試料台制御部１０に走
査指令を行なうものである。
このような構成において、操作者が倍率設定器
１２に設定した倍率が高い場合には、倍率判定部
１１の判定によつて切換え部１４を断つので加振
器１５の制御はオープンループになる。したがつ
て、フイールドバツク値のＳ／Ｎ低下による加振
動作への悪影響を防止でき、加振幅を一定にでき
る。一方、倍率設定器１２に設定した倍率が低い
場合には、倍率判定部１１の判定によつて切換え
部１４を接続するのでフイードバツク制御にな
る。これによつて、大きな振幅の場合に、その振
幅を一定に保つことができる。
１２に設定した倍率が高い場合には、倍率判定部
１１の判定によつて切換え部１４を断つので加振
器１５の制御はオープンループになる。したがつ
て、フイールドバツク値のＳ／Ｎ低下による加振
動作への悪影響を防止でき、加振幅を一定にでき
る。一方、倍率設定器１２に設定した倍率が低い
場合には、倍率判定部１１の判定によつて切換え
部１４を接続するのでフイードバツク制御にな
る。これによつて、大きな振幅の場合に、その振
幅を一定に保つことができる。
このような構成によれば、観察倍率の変化に伴
つて、加振器１５の制御を高倍率の際はオープン
ループ制御、低倍率の際にフイードバツク制御に
よつて行なうため、各制御系の利点のみを利用
し、不具合点を除去することができる。
つて、加振器１５の制御を高倍率の際はオープン
ループ制御、低倍率の際にフイードバツク制御に
よつて行なうため、各制御系の利点のみを利用
し、不具合点を除去することができる。
なお、本実施例では加振器１５によつて球面レ
ンズ６を加振する構成について説明したが、試料
台９を加振する構成としても同様に本発明を実施
できる。
ンズ６を加振する構成について説明したが、試料
台９を加振する構成としても同様に本発明を実施
できる。
以下説明したように本発明によれば、観察倍率
を変化されても、常に所定の振幅で良好な加振が
行なえ、新鮮な画像が得られる。
を変化されても、常に所定の振幅で良好な加振が
行なえ、新鮮な画像が得られる。
第１図は本発明による超音波顕微鏡の一実施例
を示すブロツク図である。 １……発振器、２……受信機、６……球面レン
ズ、８……試料、９……試料台、１０……試料合
制御部、１１……倍率判定部、１２……倍率設定
部、１３……加振アンプ、１４……切換え部、１
５……加振器、１６……加速度計。
を示すブロツク図である。 １……発振器、２……受信機、６……球面レン
ズ、８……試料、９……試料台、１０……試料合
制御部、１１……倍率判定部、１２……倍率設定
部、１３……加振アンプ、１４……切換え部、１
５……加振器、１６……加速度計。
Claims (1)
- １ 倍率を設定する手段と、設定された倍率に応
じて高速走査を行なう加振器と、該加振器の動作
状態におけるフイードバツク量を検知する検知器
と、前記加振器を制御する加振器制御手段と、前
記検知器の検知結果を前記加振器制御手段にフイ
ードバツクする回路とを備えた機械走査型の超音
波顕微鏡において、設定された倍率の所定倍率値
に対する大小を判定する倍率判定部と、この倍率
判定部の判定信号を受け設定された倍率が所定倍
率より小さいときは前記フイードバツクする回路
を接続し、所定倍率より大きいときは前記フイー
ドバツクする回路を断とする切換手段とを備えた
ことを特徴とする超音波顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61219487A JPS6375661A (ja) | 1986-09-19 | 1986-09-19 | 超音波顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61219487A JPS6375661A (ja) | 1986-09-19 | 1986-09-19 | 超音波顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6375661A JPS6375661A (ja) | 1988-04-06 |
| JPH0439032B2 true JPH0439032B2 (ja) | 1992-06-26 |
Family
ID=16736213
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61219487A Granted JPS6375661A (ja) | 1986-09-19 | 1986-09-19 | 超音波顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6375661A (ja) |
-
1986
- 1986-09-19 JP JP61219487A patent/JPS6375661A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6375661A (ja) | 1988-04-06 |
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