JPS6375661A - 超音波顕微鏡 - Google Patents
超音波顕微鏡Info
- Publication number
- JPS6375661A JPS6375661A JP61219487A JP21948786A JPS6375661A JP S6375661 A JPS6375661 A JP S6375661A JP 61219487 A JP61219487 A JP 61219487A JP 21948786 A JP21948786 A JP 21948786A JP S6375661 A JPS6375661 A JP S6375661A
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- Japan
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- magnification
- exciter
- judge
- amplitude
- feedback
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- Granted
Links
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 title claims description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 4
- 230000005284 excitation Effects 0.000 abstract description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 4
- 230000002411 adverse Effects 0.000 abstract description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 4
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、超音波顕微鏡に係り、特に機械走査型の超音
波顕微鏡に関するものである。
波顕微鏡に関するものである。
従来、超音波顕微鏡の高速走査軸は、その駆動源として
加振器を用い、この振れ幅を制御して倍率を調整してい
た。このような構成の場合、加振器の制御はオープンル
ープで行なうものと、位置検知あるいは加速度検知を行
ないこれらフィードバック値をフィードバックして行な
うものとがあるが、前者の場合、加振器は板ばね等で支
持している加振連結部材を電磁石によって加振するため
、駆動用入力信号に対して加振が歪む恐れがあり、後者
の場合、高倍率時にフィードバック値のＳ／Ｎが悪く、
連続して同一振幅が得られない恐れがあった。この種の
例としては、特開６０−９７２５７号が公知である。
加振器を用い、この振れ幅を制御して倍率を調整してい
た。このような構成の場合、加振器の制御はオープンル
ープで行なうものと、位置検知あるいは加速度検知を行
ないこれらフィードバック値をフィードバックして行な
うものとがあるが、前者の場合、加振器は板ばね等で支
持している加振連結部材を電磁石によって加振するため
、駆動用入力信号に対して加振が歪む恐れがあり、後者
の場合、高倍率時にフィードバック値のＳ／Ｎが悪く、
連続して同一振幅が得られない恐れがあった。この種の
例としては、特開６０−９７２５７号が公知である。
前述のように従来の機械走査型の超音波顕微鏡は、高速
走査を行なうため、加振制御について低倍率時の歪を小
さくする必要から、位置検知結果あるいは加速度検知結
県をフィードバックする制御が行なわれていた。しかし
、高倍率の場合にはフィードバック値のＳ／Ｎが悪（な
り、振幅がノイズによって変化する恐れがあり、一定の
糸幅を得する点にってい十分な配慮がなされていなかっ
た。
走査を行なうため、加振制御について低倍率時の歪を小
さくする必要から、位置検知結果あるいは加速度検知結
県をフィードバックする制御が行なわれていた。しかし
、高倍率の場合にはフィードバック値のＳ／Ｎが悪（な
り、振幅がノイズによって変化する恐れがあり、一定の
糸幅を得する点にってい十分な配慮がなされていなかっ
た。
本発明の目的とするところは、低倍率から高倍率まで一
定の振幅で加振が行なえ、正確な撮像ができる超音波顕
微鏡を提供することｌこある。
定の振幅で加振が行なえ、正確な撮像ができる超音波顕
微鏡を提供することｌこある。
上記目的は、加振器の位１あるいは加速度をフィードバ
ックして、該加振器の制御を行なうものにおいて、使用
倍率を判定すなわち設定値と比較し高倍率の場合に前記
フィードバック系を断ち、低倍率の場合に該フィードバ
ック系を生かす切換手段を設けることにより、達成され
る。
ックして、該加振器の制御を行なうものにおいて、使用
倍率を判定すなわち設定値と比較し高倍率の場合に前記
フィードバック系を断ち、低倍率の場合に該フィードバ
ック系を生かす切換手段を設けることにより、達成され
る。
加振器の制御系に３いては、高倍率の場合におけるフィ
ードバック値はその信頼性が保てず、フィードバック系
が加振幅に悪影響を及ぼす。一方、低倍率の場合には前
記フィードバック系を用いて加振幅を一定に保たなけれ
ばならない。したがって、倍率を判定し、高倍率の場合
あるいは低倍率に対応させて、フィードバック系の断続
制御を行なうことにより、全倍率域において一定の振幅
が得つる。
ードバック値はその信頼性が保てず、フィードバック系
が加振幅に悪影響を及ぼす。一方、低倍率の場合には前
記フィードバック系を用いて加振幅を一定に保たなけれ
ばならない。したがって、倍率を判定し、高倍率の場合
あるいは低倍率に対応させて、フィードバック系の断続
制御を行なうことにより、全倍率域において一定の振幅
が得つる。
［実 施 例〕
以下、本発明の一実施例を第１図によって説明する。同
図において、１は高周波電流を発振する発振器で、球面
レンズ６の一端に設けた圧電素子５に前記高周波電流を
印加する。前記圧電素子５で超音波に変換されて、球面
レンズ６内を超音波ビームとして伝播する。該球面レン
ズ６と試料８との間には水等の媒質７が設けられ、該媒
質７と球面レンズ６との音速比によって前記超音波ビー
ムは集束し、試料８に発振される。該試料８１ζて反射
さｎた超音波は、前述と逆の糸路を伝達し、圧電素子５
で電気信号に変換され受信器２によって受信される。３
は該受信器２に接続されたエコー処理部で、受信器２で
受信された電気信号を画像信号に変換して表示装置（以
下ＣＲＴという）ｌこ出力し、該ＣＲＴ４で画像化する
。一方、前記試料８は、試料台９上に載せられており、
該試料台９は加振器１５によって加振される。また、試
料台９は前着加振器１５による加振方向と直角方向に前
記加振に同期して移動するもので走査を行なうものであ
る。この走査動作を制御するものとして試料台制御部１
０が設けられている。１２は操作者が観察倍率を設定す
る倍率設定器、１３は前記加振器１５を直接的ｌこ制御
する加振アンプ、１６は加振器１５に取付けられ加振動
作ｌこ伴う加速度を検出する加速度計である。１４は加
速度計１６の検出結果を前記加振アンプ１３にフィード
バックする回路に設けられる切換え部である。１１は前
記倍率設定部１２に設定された倍率を判定し、高倍率時
には前記切換え部１４を開路してフィードバック系を断
ち、低倍率時には切換え部１４を閉路してフィードバッ
ク系を接続する制御を行なうとともに、設定された倍率
に対応して、加振アンプ１３および試料台制御部１０に
査走指令を行なうものである。
図において、１は高周波電流を発振する発振器で、球面
レンズ６の一端に設けた圧電素子５に前記高周波電流を
印加する。前記圧電素子５で超音波に変換されて、球面
レンズ６内を超音波ビームとして伝播する。該球面レン
ズ６と試料８との間には水等の媒質７が設けられ、該媒
質７と球面レンズ６との音速比によって前記超音波ビー
ムは集束し、試料８に発振される。該試料８１ζて反射
さｎた超音波は、前述と逆の糸路を伝達し、圧電素子５
で電気信号に変換され受信器２によって受信される。３
は該受信器２に接続されたエコー処理部で、受信器２で
受信された電気信号を画像信号に変換して表示装置（以
下ＣＲＴという）ｌこ出力し、該ＣＲＴ４で画像化する
。一方、前記試料８は、試料台９上に載せられており、
該試料台９は加振器１５によって加振される。また、試
料台９は前着加振器１５による加振方向と直角方向に前
記加振に同期して移動するもので走査を行なうものであ
る。この走査動作を制御するものとして試料台制御部１
０が設けられている。１２は操作者が観察倍率を設定す
る倍率設定器、１３は前記加振器１５を直接的ｌこ制御
する加振アンプ、１６は加振器１５に取付けられ加振動
作ｌこ伴う加速度を検出する加速度計である。１４は加
速度計１６の検出結果を前記加振アンプ１３にフィード
バックする回路に設けられる切換え部である。１１は前
記倍率設定部１２に設定された倍率を判定し、高倍率時
には前記切換え部１４を開路してフィードバック系を断
ち、低倍率時には切換え部１４を閉路してフィードバッ
ク系を接続する制御を行なうとともに、設定された倍率
に対応して、加振アンプ１３および試料台制御部１０に
査走指令を行なうものである。
このような構成において、操作者が倍率設定器１２に設
定した倍率が高い場合には、倍率判定部１１の判定によ
って切換え部１４を断ち、加振器１５の制御をオーブン
ループで行なう。したがって、フィードバック値のＳ／
／Ｎ低下による、加振動作への悪影響を防止でき、加振
幅を一定にできる。一方、倍率設定器１２に設定した倍
率が低い場合には、倍率判定部１１の判定によって切換
え部１４を接続し、フィードバック制御を行なう。これ
によって、大きな振幅の場合に、その振幅を一定に保つ
ことができる。
定した倍率が高い場合には、倍率判定部１１の判定によ
って切換え部１４を断ち、加振器１５の制御をオーブン
ループで行なう。したがって、フィードバック値のＳ／
／Ｎ低下による、加振動作への悪影響を防止でき、加振
幅を一定にできる。一方、倍率設定器１２に設定した倍
率が低い場合には、倍率判定部１１の判定によって切換
え部１４を接続し、フィードバック制御を行なう。これ
によって、大きな振幅の場合に、その振幅を一定に保つ
ことができる。
このような構成によれば、観察倍率の変化に伴って、加
振器１５の制御を高倍率の際オープンループ、低倍率の
際にフィードバックによって行なうため、各制御系の利
点のみを利用し、不具合点を除却することができる。
振器１５の制御を高倍率の際オープンループ、低倍率の
際にフィードバックによって行なうため、各制御系の利
点のみを利用し、不具合点を除却することができる。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明によれば、観察倍率を変化さ
せても、常に所定の振幅で良好な加振が行なえ、鮮明な
画像が得られる。
せても、常に所定の振幅で良好な加振が行なえ、鮮明な
画像が得られる。
第１図は本発明による超音波顕微鏡の一実施例を示すブ
ロックＮである。 １・・・発振器、２・・・受信器、６・・・球面レンズ
、８・・・試料、９・・・試料台、１０・・・試料台制
御部、１１・・・倍率判定部、１２・・・倍率設定部、
１３・・・加振アンプ、１４・・・切換え部、１５・・
・加振器、１６・・・加速度計 ぐ・・、）代理人
弁理士 小 川 佛 男 ゛パ−ツ′オ１図
ロックＮである。 １・・・発振器、２・・・受信器、６・・・球面レンズ
、８・・・試料、９・・・試料台、１０・・・試料台制
御部、１１・・・倍率判定部、１２・・・倍率設定部、
１３・・・加振アンプ、１４・・・切換え部、１５・・
・加振器、１６・・・加速度計 ぐ・・、）代理人
弁理士 小 川 佛 男 ゛パ−ツ′オ１図
Claims (1)
- １、機械走査型の超音波顕微鏡において、高速走査を行
なう加振器と、該加振器の動作状態におけるフィードバ
ック量を検知する検知器と、前記加振器を制御する加振
器制御手段と、前記検知器の検知結果をフィードバック
する回路に設けられフィードバック値を継続する切換部
と、倍率が所定倍率より小さい時に前記切換部を接続と
し、かつ、所定倍率より大きい時に前記切換部を断とす
る倍率判定部とから構成したことを特徴とする超音波顕
微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61219487A JPS6375661A (ja) | 1986-09-19 | 1986-09-19 | 超音波顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61219487A JPS6375661A (ja) | 1986-09-19 | 1986-09-19 | 超音波顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6375661A true JPS6375661A (ja) | 1988-04-06 |
| JPH0439032B2 JPH0439032B2 (ja) | 1992-06-26 |
Family
ID=16736213
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61219487A Granted JPS6375661A (ja) | 1986-09-19 | 1986-09-19 | 超音波顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6375661A (ja) |
-
1986
- 1986-09-19 JP JP61219487A patent/JPS6375661A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0439032B2 (ja) | 1992-06-26 |
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