JPH0439698U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0439698U JPH0439698U JP7984990U JP7984990U JPH0439698U JP H0439698 U JPH0439698 U JP H0439698U JP 7984990 U JP7984990 U JP 7984990U JP 7984990 U JP7984990 U JP 7984990U JP H0439698 U JPH0439698 U JP H0439698U
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- JP
- Japan
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- transfer
- heating furnace
- heating
- receptacle
- transfers
- Prior art date
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- Pending
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- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Tunnel Furnaces (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
Description
第１図は、本考案による搬送式加熱炉の一実施
例を示す平面図、第２図は同正面図、第３図は、
本考案による搬送式加熱炉の使用状態を示す斜視
図、第４図従来の搬送式加熱炉の一例を示す平面
図、第５図は同正面図、第６図は同斜視図である
。 ３１……基板搬送部、３１ａ，３１ｂ……搬送
用チエーン、３７……遠赤外線セラミツクヒータ
ー、４８……受け皿部。
例を示す平面図、第２図は同正面図、第３図は、
本考案による搬送式加熱炉の使用状態を示す斜視
図、第４図従来の搬送式加熱炉の一例を示す平面
図、第５図は同正面図、第６図は同斜視図である
。 ３１……基板搬送部、３１ａ，３１ｂ……搬送
用チエーン、３７……遠赤外線セラミツクヒータ
ー、４８……受け皿部。
Claims (1)
- 搬送装置と、加熱装置を備えた搬送式加熱炉に
おいて、該搬送装置は、基板を支持して該加熱装
置に移送する搬送用チエーンの下に引出し可能に
収納した受け皿を設けた構成としたことを特徴と
する搬送式加熱炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7984990U JPH0439698U (ja) | 1990-07-27 | 1990-07-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7984990U JPH0439698U (ja) | 1990-07-27 | 1990-07-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0439698U true JPH0439698U (ja) | 1992-04-03 |
Family
ID=31624385
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7984990U Pending JPH0439698U (ja) | 1990-07-27 | 1990-07-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0439698U (ja) |
-
1990
- 1990-07-27 JP JP7984990U patent/JPH0439698U/ja active Pending