JPH0440491U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案になる真空雰囲気用ヒータ端子
を示す一部拡大断面図、第２図は上記端子による
シースヒータを採用した真空蒸着装置の基板加熱
構造を説明する内部構造斜視図、第３図及び第４
図は上記基板加熱構造に使用されるシースヒータ
の端子部拡大断面図及びその全体図、第５図は上
記本考案になる端子によるシースヒータを採用し
た他の実施例になる加熱構造を示す一部斜視図、
第６図は本考案の他の実施例になる真空雰囲気用
ヒータ端子を示す一部拡大断面図、そして、第７
図及び第８図は従来技術になるシースヒータの端
子及びそれを利用した真空装置の内部構造を示す
一部拡大断面図及び斜視図である。 １０……シースヒータ、１１……シース管、１
２……絶縁材、１３……発熱線、１４……端管部
、１５……絶縁部、１６……貫通孔、１８……棒
状端子、１９……ロート状部材、２０……中央突
出部。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 金属製のシースの内部に絶縁材を介して発
   熱線を配線した真空雰囲気用ヒータの端子であつ
   て、上記シースの内部の発熱線に接続されて外部
   に突出する棒状端子を、上記シースに固定したセ
   ラミツクの部材に形成した貫通孔を介して取り出
   したことを特徴とする真空雰囲気用ヒータ端子。 (2) 上記実用新案登録請求の範囲第１項の真空
   雰囲気用ヒータ端子において、さらに、上記セラ
   ミツクの部材を円筒に形成し、その一端は上記シ
   ースの端部に固定すると共に、その他端には、貫
   通孔を形成したロート状の金属部材を取り付け、
   このロート状金属部材を上記突出した棒状端子に
   接合したことを特徴とする真空雰囲気用ヒータ端
   子。 (3) 上記実用新案登録請求の範囲第１項の真空
   雰囲気用ヒータ端子において、上記発熱線に接続
   されて外部に突出する棒状端子を複数本取り付け
   たことを特徴とする真空雰囲気用ヒータ端子。